JP2959824B2 - Method for evaluating wear resistance of magnetic disk media surface - Google Patents
Method for evaluating wear resistance of magnetic disk media surfaceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 コンピュータシステムにおけるファイル装置として使
用される磁気ディスク装置の記録媒体である磁気ディス
ク媒体の表面の耐摩耗性を評価する方法に関し、 極めて薄い膜を有する磁気ディスク媒体の表面の耐摩
耗性を、短時間に効率的にしかも正確に評価できる方法
を実現することを目的とし、 定速で回転している磁気ディスク媒体の表面におい
て、一定の位置に所定の圧力でラッピングテープを圧接
させて摺動させ、 所定時間経過した後に、磁気ディスク媒体表面のラッ
ピングテープにより摺動された部分の深さを測定するこ
とを特徴とする。The present invention relates to a method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium which is a recording medium of a magnetic disk device used as a file device in a computer system, and relates to a magnetic disk medium having an extremely thin film. The purpose of this method is to realize a method for efficiently and accurately evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium in a short time. The method is characterized in that the lapping tape is slid in contact with the wrapping tape, and after a lapse of a predetermined time, the depth of the portion slid by the wrapping tape on the surface of the magnetic disk medium is measured.
本発明は、コンピュータシステムにおけるファイル装
置として使用される磁気ディスク装置の記録媒体である
磁気ディスク媒体の表面の耐摩耗性を評価する方法に関
する。The present invention relates to a method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium that is a recording medium of a magnetic disk device used as a file device in a computer system.
磁気ディスク媒体は、高記録密度化に伴い、磁気ヘッ
ドの浮上量が微小化の傾向にあり、0.2μｍ以下となっ
ている。その結果、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体と摺
動接触し易くなり、摩耗粉によるヘッドクラッシュを招
く恐れがあるので、摩耗しにくく、耐久性の高い磁気デ
ィスク媒体が要求されている。そのため、磁気ディスク
媒体の製造段階において、磁気ディスク媒体の表面の耐
摩耗性を正確に評価できる方法の確立が求められてい
る。As the recording density of magnetic disk media increases, the flying height of the magnetic head tends to be smaller, and is 0.2 μm or less. As a result, the magnetic head easily comes into sliding contact with the magnetic disk medium, which may cause head crash due to abrasion powder. Therefore, a magnetic disk medium which is hard to wear and has high durability is required. Therefore, it is required to establish a method for accurately evaluating the wear resistance of the surface of the magnetic disk medium at the stage of manufacturing the magnetic disk medium.
第６図は薄膜型の磁気ディスク媒体の断面図である。
薄膜型磁気ディスク媒体は、Ni−Ｐメッキを施したALの
基板１に、Cr等の下地膜２、CoCrTa等の磁性膜３、Ｃ等
の保護膜４の順に積層した構成になっている。FIG. 6 is a sectional view of a thin film type magnetic disk medium.
The thin-film magnetic disk medium has a configuration in which a base film 2 made of Cr or the like, a magnetic film 3 made of CoCrTa or the like, and a protective film 4 made of C or the like are stacked in this order on a Ni-P plated AL substrate 1.
各層の膜厚は、下地膜２が500〜2000Å程度、磁気膜
３が200〜600Å程度、保護膜４が250〜400Å程度であ
る。The thickness of each layer is about 500 to 2000 Å for the base film 2, about 200 to 600 が for the magnetic film 3, and about 250 to 400 が for the protective film 4.
薄膜型の磁気ディスク媒体における耐摩耗性評価は、
表面の保護膜４の耐摩耗性を評価することにほかならな
い。したがって、膜厚が500Å以下の保護膜４の耐摩耗
性を正確に評価できることが肝要である。The wear resistance evaluation of thin-film magnetic disk media
This is nothing less than evaluating the wear resistance of the protective film 4 on the surface. Therefore, it is important that the wear resistance of the protective film 4 having a thickness of 500 ° or less can be accurately evaluated.
従来の磁気ディスク媒体の耐摩耗性を評価する方法に
は、ビッカス硬度計による方法、荷重をかけた触針
の圧痕深さを測定する方法、触針による引きずり痕を
観察する方法、実際の磁気ヘッドを摺動させて、摩耗
状態を観察する方法、などが知られている。Methods for evaluating the wear resistance of conventional magnetic disk media include a Viccus hardness tester, a method of measuring the depth of indentation of a loaded stylus, a method of observing a drag mark by a stylus, and a method of measuring the actual magnetic force. A method of observing a worn state by sliding a head is known.
のビッカス硬度計による方法は、四角錘の圧子を磁
気ディスク媒体に押しつけ、その時に生じた四角形の窪
みの対角線の長さを測定する方法である。ところが、保
護膜の厚さが前記のように500Å以下と極めて薄いた
め、ビッカス圧子が磁性膜や下地膜まで届き、結局磁気
膜や下地膜の硬度も測定していることになる。また磁性
膜や下地膜まで届かないように微小圧を加えると、圧痕
の面積が小さく、対角線の長さが測定不可能となる。圧
痕の大きさを測定するには、１〜２μｍ程度の膜厚が必
要である。Is a method of pressing a quadrangular pyramid indenter against a magnetic disk medium and measuring the length of a diagonal line of a rectangular depression generated at that time. However, since the thickness of the protective film is extremely thin, that is, 500 ° or less as described above, the Viccus indenter reaches the magnetic film and the underlying film, and the hardness of the magnetic film and the underlying film is also measured. Further, if a minute pressure is applied so as not to reach the magnetic film or the base film, the area of the indentation is small, and the length of the diagonal cannot be measured. To measure the size of the indentation, a film thickness of about 1 to 2 μm is required.
の荷重をかけた触針の圧痕深さを測定する方法は、
前記のビッカス硬度計の場合と圧子が異なるのみであっ
て、基本的には共通する問題をかかえている。したがっ
て、保護膜のように数百Å程度の薄い膜の耐摩耗性の評
価には適しない。The method of measuring the indentation depth of a stylus with a load of
Only the indenter is different from that of the above-mentioned Viccus hardness tester, and basically has a common problem. Therefore, it is not suitable for evaluating the wear resistance of a thin film having a thickness of about several hundreds of mm, such as a protective film.
の触針による引きずり痕を観察する方法は、特願平
１−265514号にも記載されている方法であり、第７図に
示すように、所定荷重の重り６を載せた触針７を磁気デ
ィスク媒体５上で引きずった後に、媒体表面の引きずり
痕を観察する。すなわち、引きずり痕におけるクラック
の有無などを判定する。クラックには、保護膜が貝殻状
に欠損するチッピングやメディアンクラック、ヘルツク
ラック等がある。Is a method described in Japanese Patent Application No. 1-265514, in which a stylus 7 on which a weight 6 having a predetermined load is placed is magnetically applied as shown in FIG. After dragging on the disk medium 5, drag marks on the medium surface are observed. That is, the presence or absence of a crack in the drag trace is determined. Cracks include chipping, median cracks, Hertz cracks, and the like, in which the protective film is shell-shaped.
しかしながら、この方法では、重り６の荷重が保護膜
４と磁性膜３との界面８に加わって、触針７下部の該界
面８に引張力Ｆが生じ、該引張力Ｆがクラック発生の原
因となることがある。このように、保護膜４と磁性膜３
との界面密着力の影響を受けるため、保護膜４の密着性
の評価には有効であるが、保護膜４の硬度を正確に評価
するのは困難である。また、目視観察でクラックの種類
や程度を判定するため、個人差が発生し、定量化しにく
いという問題がある。However, in this method, the load of the weight 6 is applied to the interface 8 between the protective film 4 and the magnetic film 3, and a tensile force F is generated at the interface 8 below the stylus 7, and the tensile force F is a cause of the crack generation. It may be. Thus, the protection film 4 and the magnetic film 3
Although it is effective in evaluating the adhesion of the protective film 4 because it is affected by the interface adhesion to the protective film 4, it is difficult to accurately evaluate the hardness of the protective film 4. Further, since the type and degree of cracks are determined by visual observation, there is a problem that individual differences occur and it is difficult to quantify.
の実際の磁気ヘッドを摺動させて、摩耗状態を観察
する方法は、特願平１−296708号にも記載されている方
法であり、連続回転している磁気ディスク媒体に磁気ヘ
ッドを載せて摺動させ、摩耗状態を観察する。このよう
に摺動させる方法は、摺動する相手の状態が変化する
と、摩耗状態も変化するという問題がある。すなわち、
測定を行なうと磁気ヘッドの摩耗も進行するため、常に
正確な測定を行なうために、一度使用した磁気ヘッド
は、再使用しないとなると、測定のために大量の磁気ヘ
ッドを用意しなければならず、コスト高となる。たとえ
常に新しい磁気ヘッドを使用したとしても、磁気ヘッド
の状態は１個ずつ異なり、また薄板ばねで支持されてい
る磁気ヘッドと回転している磁気ディスク媒体との間の
加圧力のばらつきや不安定を皆無とすることもできない
ため、再現性に欠け、正確な測定は無理である。しか
も、磁気ヘッドのコアスライダによって磁気ディスク媒
体の表面が摩耗するまでには時間がかかり、能率が悪
い。The method of observing the wear state by sliding the actual magnetic head is a method described in Japanese Patent Application No. 1-296708, in which the magnetic head is mounted on a continuously rotating magnetic disk medium. Slide and observe the abrasion state. The method of sliding in this manner has a problem that when the state of the sliding partner changes, the wear state also changes. That is,
When measuring, the magnetic head wears out, so in order to always perform accurate measurements, once a magnetic head has been used, if it is not reused, a large amount of magnetic heads must be prepared for measurement , Resulting in high costs. Even if a new magnetic head is always used, the state of the magnetic head is different one by one, and the applied pressure between the magnetic head supported by the thin leaf spring and the rotating magnetic disk medium is unstable or unstable. Since it is not possible to completely eliminate the measurement, the reproducibility is lacking, and accurate measurement is impossible. Moreover, it takes time until the surface of the magnetic disk medium is worn by the core slider of the magnetic head, which is inefficient.
また、、の磁気ディスク媒体表面で触針をひきず
ったり、コアスライダを摺動させる方法は、保護膜とそ
の下の磁性膜との密着性も評価できるのに対し、の
硬度測定方法では、局部の硬度のみしか測定できず、膜
の密着状態を評価することはできない。In addition, the method of dragging the stylus on the surface of the magnetic disk medium or sliding the core slider can evaluate the adhesion between the protective film and the magnetic film thereunder. Can be measured only, and the adhesion state of the film cannot be evaluated.
本発明の技術的課題は、このような問題に着目し、極
めて薄い膜を有する磁気ディスク媒体の表面の耐摩耗性
を、短時間に効率的にしかも正確に評価できる方法を実
現することにある。A technical object of the present invention is to realize a method capable of efficiently and accurately evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium having an extremely thin film in a short time, focusing on such a problem. .
第１図は本発明による磁気ディスク媒体表面の耐摩耗
性評価方法の基本原理を説明する断面図である。５は磁
気ディスク媒体であり、一定の速度で回転している。Ｌ
はラッピングテープであり、回転状態の磁気ディスク媒
体５の表面に圧接している。この場合の圧接力は、空気
力やバネによって、所定の荷重Ｗを加えることで、与え
られる。また、ラッピングテープＬは、一定位置で磁気
ディスク媒体５の表面に接している。FIG. 1 is a sectional view for explaining the basic principle of the method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium according to the present invention. Reference numeral 5 denotes a magnetic disk medium which rotates at a constant speed. L
Is a wrapping tape, which is pressed against the surface of the rotating magnetic disk medium 5. The pressure contact force in this case is given by applying a predetermined load W by pneumatic force or a spring. The wrapping tape L is in contact with the surface of the magnetic disk medium 5 at a certain position.
このように、回転状態の磁気ディスク媒体５の表面に
ラッピングテープＬを圧接させることで、磁気ディスク
媒体５の表面は、ラッピングテープＬが摺動した位置９
のみ真円状に摩耗する。本発明の方法は、所定時間摺動
させた後に、この摩耗部９の摩耗深さを測定する。As described above, by pressing the wrapping tape L against the surface of the rotating magnetic disk medium 5, the surface of the magnetic disk medium 5 is moved to the position 9 where the wrapping tape L slides.
Only a perfect circular wear. The method according to the present invention measures the wear depth of the wear portion 9 after sliding for a predetermined time.
ラッピングテープＬは、回転している磁気ディスク媒
体５上の一定位置に押しつけるため、ラッピングテープ
が摺動した位置９のみが比較的短時間に摩耗する。しか
も、ラッピングテープＬが圧接した領域全体が摩耗する
ため、摩耗深さは、段差測定器や膜厚計などによって、
容易にかつ正確に測定することができる。Since the wrapping tape L is pressed against a fixed position on the rotating magnetic disk medium 5, only the position 9 where the wrapping tape slides is worn in a relatively short time. Moreover, since the entire area where the wrapping tape L is pressed against is worn, the wear depth is determined by a step difference measuring device or a film thickness meter.
It can be measured easily and accurately.
また、ラッピングテープＬで磁気ディスク媒体の表面
を摩耗させるので、摩耗速度が速く、短時間に効率的に
耐摩耗性を測定し評価できる。Further, since the surface of the magnetic disk medium is abraded by the wrapping tape L, the abrasion speed is high, and the abrasion resistance can be measured and evaluated efficiently in a short time.
次に本発明による磁気ディスク媒体表面の耐摩耗性評
価方法が実際上どのように具体化されるかを実施例で説
明する。第２図はラッピングテープを磁気ディスク媒体
の表面に摺動させる装置の平面図と断面図である。２枚
の側板10・10間に、ラッピングテープＬの繰り出しロー
ル11の支軸12、巻取りロール13の支軸14、ガイドローラ
15、（ラッピング）テープ送りローラ16、ピンチローラ
21が取り付け支持されている。また、側板10・10間に取
り付けられたガイド板17に、（ラッピング）テープ押さ
え18が固定された軸19が挿通され、テープ押さえ18とガ
イド板17との間に圧縮コイルスプリング20が挟まれてい
る。Next, how the method for evaluating wear resistance of the surface of a magnetic disk medium according to the present invention is actually embodied will be described with reference to examples. FIG. 2 is a plan view and a sectional view of an apparatus for sliding a wrapping tape on the surface of a magnetic disk medium. Between the two side plates 10, 10, the spindle 12 of the roll 11 for feeding the wrapping tape L, the spindle 14 of the winding roll 13, and the guide roller
15, (wrapping) tape feed roller 16, pinch roller
21 are mounted and supported. In addition, a shaft 19 to which a (wrapping) tape retainer 18 is fixed is inserted into a guide plate 17 attached between the side plates 10 and 10, and a compression coil spring 20 is sandwiched between the tape retainer 18 and the guide plate 17. ing.
いま、モータＭでテープ送りローラ16が回転駆動され
ると、繰り出しロール11から繰り出されたラッピングテ
ープＬが、ガイドローラ15、テープ押さえ18と磁気ディ
スク媒体５間、テープ送りローラ16とピンチローラ21間
を経由して、巻取りロール13に巻取られる。Now, when the tape feed roller 16 is driven to rotate by the motor M, the wrapping tape L fed from the feed roll 11 is transferred between the guide roller 15, the tape holder 18 and the magnetic disk medium 5, the tape feed roller 16 and the pinch roller 21. It is taken up by the take-up roll 13 via the space.
被測定磁気ディスク媒体５は、スピンドルモータによ
って、所定の速度で定速回転される。このように回転し
ている磁気ディスク媒体５の表面に、テープ押さえ18の
表面のパッドでラッピングテープＬを押しつけ、圧縮コ
イルスプリング20のバネ圧を予め設定しておき、ラッピ
ングテープＬを一定圧で磁気ディスク媒体面に押圧す
る。そして、テープ押さえ18の位置は固定なため、磁気
ディスク媒体５の表面の一定位置９のみが真円状に摩耗
する。The magnetic disk medium 5 to be measured is rotated at a predetermined speed by a spindle motor. The wrapping tape L is pressed against the surface of the rotating magnetic disk medium 5 with a pad on the surface of the tape retainer 18, the spring pressure of the compression coil spring 20 is set in advance, and the wrapping tape L is pressed at a constant pressure. Press against the surface of the magnetic disk medium. Since the position of the tape retainer 18 is fixed, only the fixed position 9 on the surface of the magnetic disk medium 5 is worn in a perfect circular shape.
ラッピングテープＬは、モータ駆動されるテープ送り
ローラ16とピンチローラ21との間を通過することで、一
定速度でテープ送りされ、巻取りロール13に巻取られる
ので、常にラッピングテープＬの新しい面で摩耗でき
る。そのため、テープ送り速度さえ一定に制御すれば、
摩耗の条件は常に一定となる。The wrapping tape L is fed at a constant speed by passing between the motor-driven tape feed roller 16 and the pinch roller 21 and is wound on the take-up roll 13. Can be worn. Therefore, if the tape feed speed is controlled to be constant,
Wear conditions are always constant.
なお、圧縮コイルスプリング20に代えて、ノズルから
圧縮空気を噴出させ、空気圧でラッピングテープＬを磁
気ディスク媒体面に押しつけることもできる。Note that, instead of the compression coil spring 20, compressed air may be ejected from a nozzle, and the wrapping tape L may be pressed against the surface of the magnetic disk medium by air pressure.
ラッピングテープＬは、磁気ディスク媒体の製造工程
において、磁気ディスク媒体の表面のテープバニッシュ
等に使用されるものと同じで、SiO2、Al2O3、SiCやダイ
ヤモンドなどのような硬質微粒子を、バインダーでフィ
ルムに固着したものである。The wrapping tape L is the same as that used for tape burnishing the surface of the magnetic disk medium in the manufacturing process of the magnetic disk medium, and hard fine particles such as SiO 2 , Al 2 O 3 , SiC and diamond are used. It is fixed to the film with a binder.
このように、ラッピングテープＬの研磨材の微粒子
が、テープ押さえ18で磁気ディスク媒体面に圧接される
ため、磁気ディスク媒体面が迅速に摩耗し、磁気ヘッド
のコアスライダを用いる場合に比べて短時間で効率的に
摩耗できる。As described above, since the fine particles of the abrasive of the wrapping tape L are pressed against the surface of the magnetic disk medium by the tape retainer 18, the surface of the magnetic disk medium is quickly worn away, and is shorter than when the core slider of the magnetic head is used. Can wear efficiently in time.
こうして、ラッピングテープＬを所定の時間摺動させ
ることで、磁気ディスク媒体面が摩耗すると、磁気ディ
スク媒体の回転を止めて、摩耗部９の摩耗深さを測定す
る。この測定は、段差測定器や蛍光Ｘ線膜厚計などによ
って、容易にかつ正確に測定することができ、耐摩耗性
を定量的に評価可能となる。When the surface of the magnetic disk medium is worn by sliding the wrapping tape L for a predetermined time in this manner, the rotation of the magnetic disk medium is stopped, and the wear depth of the worn portion 9 is measured. This measurement can be easily and accurately performed by a step difference measuring device, a fluorescent X-ray film thickness meter, or the like, and the wear resistance can be quantitatively evaluated.
第３図は、ラッピングテープで磁気ディスク媒体面を
摩耗させ、その摩耗深さを蛍光Ｘ線膜厚計で測定した結
果を示す図である。被測定磁気ディスク媒体は、表面が
カーボン保護膜で覆われたものであり、研摩材として３
μｍのアルミナ微粒子が固着された、幅12.7mmのラッピ
ングテープを、磁気ディスク媒体の半径約44mmの位置に
圧縮空気圧で押しつけ、30分間回転させた。また、磁気
ディスク媒体の回転速度は、周速換算で580m/min（2500
rpm）、圧縮空気流量は45/min、ラッピングテープ送
り速度40mm/minとし、摩耗後の摩耗深さを、スポット径
が15mmの蛍光Ｘ線膜厚計で測定した。黒丸が摩耗深さの
測定値であり、摩耗部の膜厚が薄くなっており、他の摩
耗していない面の膜厚との差の値75Åが摩耗深さとな
る。なお、白丸は、ラッピングテープによる摩耗前のカ
ーボン保護膜の膜厚である。FIG. 3 is a view showing the result of abrading the surface of a magnetic disk medium with a wrapping tape and measuring the depth of wear with a fluorescent X-ray film thickness meter. The magnetic disk medium to be measured had a surface covered with a carbon protective film, and was used as an abrasive.
A wrapping tape having a width of 12.7 mm to which μm alumina fine particles were fixed was pressed against a position of a radius of about 44 mm of the magnetic disk medium by compressed air pressure and rotated for 30 minutes. The rotation speed of the magnetic disk medium is 580 m / min (2500
rpm), the compressed air flow rate was 45 / min, the wrapping tape feed rate was 40 mm / min, and the abrasion depth after abrasion was measured with a fluorescent X-ray film thickness meter having a spot diameter of 15 mm. The black circles are the measured values of the wear depth, and the thickness of the wear portion is thin, and the value of the difference between the film thicknesses of the other unworn surfaces of 75 ° is the wear depth. White circles indicate the thickness of the carbon protective film before abrasion by the wrapping tape.
この膜厚測定では、ラッピングテープの幅より蛍光Ｘ
線の検出径の方が大きいので、磁気ディスク媒体の半径
方向にカーボン膜厚分布を測定した場合、第３図に黒丸
で示すように、段差付近の状態が正確に現れない。段差
部分も正確に知りたい場合は、第３図の値とラッピング
テープ幅を元にして計算するだけで足りる。第４図は計
算結果であり、白丸が実測値、黒丸が計算結果（実際の
膜厚）である。この計算結果から明らかなように、ラッ
ピングテープが摺動した部分は、カーボン膜がかなり均
一に摩耗している。In this film thickness measurement, the fluorescent X
Since the detected diameter of the line is larger, when the carbon film thickness distribution is measured in the radial direction of the magnetic disk medium, the state near the step does not appear accurately as shown by the black circle in FIG. If it is desired to know the step portion accurately, it is sufficient to calculate based on the values in FIG. 3 and the width of the wrapping tape. FIG. 4 shows the calculation results, in which the white circles are the actual measurement values and the black circles are the calculation results (actual film thickness). As is evident from the calculation results, the carbon film is considerably uniformly worn at the portion where the wrapping tape slides.
第５図はラッピングテープの摺動時間と摩耗深さとの
関係を示す図であり、第３図の場合と同じ条件でラッピ
ングテープを摺動させた結果である。図の黒丸は、非磁
性基板面に円周方向の微細筋を入れるテクスチャ加工を
行なった面に磁性膜およびカーボン保護膜を積層した磁
気ディスク媒体であり、白膜はテクスチャ加工を施さな
い平坦な非磁性基板に磁性膜およびカーボン保護膜を積
層した磁気ディスク媒体である。いずれの場合も、摺動
時間に比例して摩耗深さが深くなっている。FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the sliding time of the wrapping tape and the wear depth, and is the result of sliding the wrapping tape under the same conditions as in FIG. The black circles in the figure are the magnetic disk media in which the magnetic film and the carbon protective film are laminated on the surface of the non-magnetic substrate which has been subjected to the texturing process in which fine lines are formed in the circumferential direction, and the white film is a flat surface which is not subjected to the texturing process. This is a magnetic disk medium in which a magnetic film and a carbon protective film are laminated on a non-magnetic substrate. In each case, the wear depth increases in proportion to the sliding time.
ラッピングテープＬを一定速度で繰り出して常に新し
い研摩面を摺動させているため、常に摺動条件が一定と
なり、その結果摩耗深さが摺動時間に比例して増大して
いることが認められる。Since the lapping tape L is fed out at a constant speed and the new polished surface is always slid, the sliding conditions are always constant, and as a result, it is recognized that the wear depth increases in proportion to the sliding time. .
このような本発明の方法によれば、磁気ディスク媒体
面の耐摩耗性を正確にかつ定量的に測定できるため、カ
ーボン保護膜のスパッタ条件や熱処理条件と摩耗深さと
の関係、スパッタパワーと摩耗深さとの関係等を測定す
ることで、最適な製造条件を求めたりするのにも有効で
ある。According to the method of the present invention, since the wear resistance of the magnetic disk medium surface can be measured accurately and quantitatively, the relationship between the sputter conditions and the heat treatment conditions of the carbon protective film and the wear depth, the sputter power and the wear By measuring the relationship with the depth and the like, it is effective to determine the optimum manufacturing conditions.
以上のように本発明によれば、定速で回転している磁
気ディスク媒体の表面にラッピングテープを圧接させて
摺動させ、所定時間経過した後の摩耗深さを測定するた
め、短時間摺動させるだけで、容易に深さ測定できる程
度の摩耗深さを得ることができ、効率的に耐摩耗性評価
を行なうことができる。また、ラッピングテープを繰り
出しながら摺動させるため、摺動条件が常に一定とな
り、耐摩耗性を正確かつ定量的に測定し評価できる。As described above, according to the present invention, the lapping tape is pressed against the surface of the magnetic disk medium rotating at a constant speed and slid, and the wear depth after a predetermined time has elapsed is measured. By merely moving the wear depth, it is possible to obtain a wear depth such that the depth can be easily measured, and it is possible to efficiently evaluate the wear resistance. In addition, since the wrapping tape is slid while being fed, the sliding conditions are always constant, and the wear resistance can be accurately and quantitatively measured and evaluated.
第１図は本発明による磁気ディスク媒体表面の耐摩耗性
評価方法の基本原理を説明する断面図、 第２図は本発明によるラッピングテープの摺動装置を例
示する平面図と断面図、 第３図はラッピングテープによる摺動部の摩耗深さを蛍
光Ｘ線で測定した結果を示す図、 第４図は同測定結果から計算で得られた摩耗深さを示す
図、 第５図は摺動時間と摩耗深さとの関係を示す図、 第６図は薄膜型磁気ディスク媒体の積層構成を示す図、 第７図は従来の磁気ディスク媒体表面の耐摩耗性評価方
法を例示する断面図である。 図において、１は非磁性基板、２は下地膜、３は磁性
膜、４は保護膜、５は磁気ディスク媒体、６は重り、７
は触針、８は界面、９は摺動部、Ｌはラッピングテー
プ、Ｗはラッピングテープの加圧力、10は側板、11は繰
り出しロール、13は巻取りロール、15はガイドローラ、
16はテープ送りローラ、Ｍはテープ送りモータ、18はテ
ープ押さえ、20は圧縮コイルスプリング、21はピンチロ
ーラをそれぞれ示す。FIG. 1 is a cross-sectional view for explaining the basic principle of the method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium according to the present invention. FIG. 2 is a plan view and a cross-sectional view illustrating a wrapping tape sliding device according to the present invention. The figure shows the results of measuring the wear depth of the sliding part by wrapping tape with fluorescent X-rays. FIG. 4 shows the wear depth obtained by calculation from the measurement results. FIG. 5 shows the slide depth. FIG. 6 is a view showing the relationship between time and wear depth, FIG. 6 is a view showing a laminated structure of a thin-film magnetic disk medium, and FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a conventional method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium. . In the figure, 1 is a non-magnetic substrate, 2 is a base film, 3 is a magnetic film, 4 is a protective film, 5 is a magnetic disk medium, 6 is a weight, 7
Is a stylus, 8 is an interface, 9 is a sliding portion, L is a wrapping tape, W is a pressing force of a wrapping tape, 10 is a side plate, 11 is a feeding roll, 13 is a take-up roll, 15 is a guide roller,
16 is a tape feed roller, M is a tape feed motor, 18 is a tape presser, 20 is a compression coil spring, and 21 is a pinch roller.
Claims (1)
（５）の表面において、一定の位置に所定の圧力（Ｗ）
でラッピングテープ（Ｌ）を圧接させて摺動させ、 所定時間経過した後に、磁気ディスク媒体表面のラッピ
ングテープ（Ｌ）により摺動された部分（９）の深さを
測定することを特徴とする磁気ディスク媒体表面の耐摩
耗性評価方法。A predetermined pressure (W) is applied to a fixed position on a surface of a magnetic disk medium (5) rotating at a constant speed.
Then, the lapping tape (L) is brought into pressure contact and slid, and after a lapse of a predetermined time, the depth of the portion (9) slid on the surface of the magnetic disk medium by the wrapping tape (L) is measured. A method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP26600090A JP2959824B2 (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Method for evaluating wear resistance of magnetic disk media surface |
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|---|---|---|---|
| JP26600090A JP2959824B2 (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Method for evaluating wear resistance of magnetic disk media surface |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JPH04142444A JPH04142444A (en) | 1992-05-15 |
| JP2959824B2 true JP2959824B2 (en) | 1999-10-06 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26600090A Expired - Fee Related JP2959824B2 (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Method for evaluating wear resistance of magnetic disk media surface |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2959824B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111033214A (en) * | 2017-08-25 | 2020-04-17 | 日铁日新制钢株式会社 | Yarn path abrasion testing machine and yarn path abrasion testing method |
-
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|---|---|
| JPH04142444A (en) | 1992-05-15 |
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