JPH04134315A - Scanning optical device - Google Patents

Scanning optical device

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JPH04134315A
JPH04134315A JP25630490A JP25630490A JPH04134315A JP H04134315 A JPH04134315 A JP H04134315A JP 25630490 A JP25630490 A JP 25630490A JP 25630490 A JP25630490 A JP 25630490A JP H04134315 A JPH04134315 A JP H04134315A
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JP
Japan
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rotating mirror
mirror
optical device
rotary
rotating
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JP25630490A
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Japanese (ja)
Inventor
Mikio Nakasugi
幹夫 中杉
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication of JPH04134315A publication Critical patent/JPH04134315A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain high accuracy at low cost by providing a disuse part which is not used for optical deflection on the peripheral surface of a rotary mirror and providing an energizing means which presses the rotary shaft of the rotary driving motor for the rotary mirror and the internal surface of the rotary mirror against the disuse part and fits them. CONSTITUTION:The rotary mirror 101 is constituted by grinding the part which faces a cylindrical metallic member into a parallel plane, using the two surfaces as reflecting surfaces 101a for deflecting a light beam for scanning, and using the cylinder part as the disuse part 101b which is not used for the deflection scanning. This disuse part 101b is thread-cut and the inner peripheral surface of the rotary mirror 101 is pressed against the outer peripheral surface of the rotary shaft 2 and fixed with a screw 102. Thus, the rotary shaft 22 of the rotary driving motor 2 and the internal surface of the rotary mirror 101 are pressed against the disuse part 101b and fitted, so the high accuracy is obtained at low cost.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はレーザビームプリンタ、バーコード読み取り装
置に使用される被走査部を光走査する走査光学装置に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a scanning optical device for optically scanning a scanned part used in a laser beam printer or a bar code reading device.

[従来の技術] 従来、光ビームを走査する走査光学装置においては、回
転速度の安定性、走査速度などの面から1方向に回転す
る回転多面鏡が広く使用されている。
[Prior Art] Conventionally, in a scanning optical device that scans a light beam, a rotating polygon mirror that rotates in one direction has been widely used in terms of rotational speed stability and scanning speed.

しかし、こうした回転多面鏡にはこれの偏向走査面ない
し反射面がこれによる偏向走査ビームの形成すべき理想
主走査面に垂直な面から倒れるなどといった問題がある
。この様な問題を解決する手段として、例えば特開昭6
3−188112号に開示された次の如きものがある。
However, such a rotating polygon mirror has a problem in that its deflection scanning surface or reflection surface is tilted from a plane perpendicular to the ideal main scanning surface on which the deflected scanning beam is to be formed. As a means to solve such problems, for example,
The following is disclosed in No. 3-188112.

即ち、円筒状の金属部材の対向する部分を平行な平面に
切削し、この2面を光ビームを偏向走査するための反射
面として使用する。そして、この回転鏡をこれの取り付
はフランジ面の傾斜方向に対して2つの平行反射面が平
行となるように取り付けることにより、取り付はフラン
ジ面の傾斜による回転鏡の反射面の上述の倒れが生じな
いようにし、走査ビームによる被走査面上の走査線のピ
ッチむらを最小限にしている。この方法により、従来で
は必要とされた上述の倒れを補正するための高価で特殊
な光学系(いわゆる倒れ補正光学系)を使用しなくて済
むようにしている。
That is, opposing portions of a cylindrical metal member are cut into parallel planes, and these two surfaces are used as reflective surfaces for deflecting and scanning the light beam. The rotating mirror can be mounted so that the two parallel reflecting surfaces are parallel to the direction of inclination of the flange surface. This prevents tilting and minimizes the pitch unevenness of the scanning line on the surface to be scanned by the scanning beam. This method eliminates the need to use an expensive and special optical system (so-called tilt correction optical system) for correcting the above-mentioned tilt, which was conventionally required.

また、この回転鏡をこれの取り付はフランジ面の傾斜方
向に対して2つの平行反射面が平行となるように取り付
ける方法としては、例えば第5図に示す如(様な、特願
平1−30234号に開示されたものがある。第5図に
おいて、lは対向する2面が平面に切削されて鏡面加工
されレーザ光を偏向走査するための反射面となった回転
鏡である。回転鏡1は駆動モータ2のロータ20の中央
部に取り付は部21(取り付はフランジ)の上に取り付
けられており、フランジ21は回転軸22とは焼ばめや
接着などで固定されロータ20とは加締められて固定さ
れている。このロータ20の内側には駆動マグネット2
3の対向位置にありモータ2の本体部に取り付けられた
駆動コイル24に通電することによりマグネット23と
コイル24間に発生する力に従ってロータ20が回転駆
動される。この回転鏡の回転駆動は不図示のホール素子
などによって高精度に制御されている。更に駆動モータ
2は軸受25やこの軸受25などを内部に有するモータ
ケース26により構成されている。回転鏡1は星形をし
たバネなどの弾性部材11(付勢手段)によって上部か
ら規制されてフランジ21に押し付けられて固定され、
ロータ20フランジ21.回転軸221回転鏡1等が一
体となって回転する。弾性部材11の上部には緊定ワッ
シャなどの固定部材12が回転軸22に固定されてあり
、弾性部材11を回転鏡1の上との間で押え付けている
Furthermore, as a method of mounting this rotating mirror so that the two parallel reflecting surfaces are parallel to the direction of inclination of the flange surface, for example, as shown in FIG. There is one disclosed in No. 30234. In Fig. 5, l is a rotating mirror whose two opposing surfaces are cut flat and mirror-finished to serve as reflective surfaces for deflecting and scanning the laser beam. The mirror 1 is attached to the central part of the rotor 20 of the drive motor 2 on a part 21 (attached to a flange), and the flange 21 is fixed to the rotating shaft 22 by shrink fit or adhesive, and the rotor 20 is crimped and fixed. Inside this rotor 20 is a drive magnet 2.
The rotor 20 is rotationally driven in accordance with the force generated between the magnet 23 and the coil 24 by energizing the drive coil 24 mounted on the main body of the motor 2 at a position opposite to the magnet 3 . The rotational drive of this rotating mirror is controlled with high precision by a Hall element (not shown) or the like. Further, the drive motor 2 includes a bearing 25 and a motor case 26 having the bearing 25 and the like therein. The rotating mirror 1 is regulated from above by an elastic member 11 (biasing means) such as a star-shaped spring, and is pressed and fixed against a flange 21.
Rotor 20 flange 21. The rotating shaft 221, rotating mirror 1, etc. rotate together. A fixing member 12 such as a tension washer is fixed to the rotating shaft 22 above the elastic member 11 and presses the elastic member 11 against the top of the rotating mirror 1.

そして、回転鏡1の側面に設けられた反射面がフランジ
の面の傾斜方向と平行となるように調整して固定される
Then, the rotating mirror 1 is adjusted and fixed so that the reflective surface provided on the side surface thereof is parallel to the direction of inclination of the surface of the flange.

[発明が解決しようとしている課題] しかしながら上記従来例では、回転鏡lが回転軸22に
フランジ21を介して取り付けられているために、 (1)回転鏡1の反射面と、フランジ21との取付は面
と直角度を高精度にしなければならない。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above conventional example, since the rotating mirror l is attached to the rotating shaft 22 via the flange 21, (1) the reflection surface of the rotating mirror 1 and the flange 21 are When mounting, the surface and perpendicularity must be highly accurate.

(2)回転鏡lの内周面と回転軸22には、取付は位置
を調整するために隙間を大きく設けられるために、回転
軸22の中心軸と回転鏡1の各反射面の距離が異なるた
めに各面による走査時間が異なる。
(2) Since a large gap is provided between the inner peripheral surface of the rotating mirror 1 and the rotating shaft 22 in order to adjust the mounting position, the distance between the central axis of the rotating shaft 22 and each reflective surface of the rotating mirror 1 is Due to the difference, the scanning time for each surface is different.

(3)回転鏡1はフランジ21に押付けられるために、
各取付は面を高精度に維持していないと回転鏡lの各反
射面の面精度も劣化する。
(3) Since the rotating mirror 1 is pressed against the flange 21,
Unless the mounting surface is maintained with high precision, the surface precision of each reflective surface of the rotating mirror l will also deteriorate.

などの欠点があり、さらにコスト的にも安価することが
困難であった。
In addition, it has been difficult to reduce the cost.

[課題を解決するための手段] 本発明によれば、回転鏡の周面に光偏向に使用する使用
部と光偏向に使用しない非使用部を有し、且つ、非使用
部には回転鏡の回転駆動モータの回転軸と回転鏡内面と
が押付けられて取り付けられる付勢手段を設けることに
より、安価で高精度な走査光学装置を可能にしたもので
ある。
[Means for Solving the Problems] According to the present invention, the rotating mirror has a used part used for light deflection and an unused part not used for light deflection on the peripheral surface of the rotating mirror, and the rotating mirror is provided in the unused part. By providing a biasing means for attaching the rotary shaft of the rotary drive motor and the inner surface of the rotary mirror against each other, an inexpensive and highly accurate scanning optical device is made possible.

[実施例] 第1図と第2図は本発明の走査光学装置の一実施例を示
す図である。図中、第5図と同一部材で機能が同じもの
については、同一番号を符し説明を省略する。回転鏡1
01は円筒状の金属部材の対向する部分を平行な平面に
切削し、この2面を光ビームを偏向走査するための反射
面101aとして使用し、円筒部は偏向走査しない非使
用部101bとして使用している。この非使用部101
bには、ネジが切られており、ビス102によって回転
軸22に固定される。つまり、回転鏡101の内周面が
回転軸22の外周面に押し付けられて固定されている。
[Embodiment] FIGS. 1 and 2 are diagrams showing an embodiment of the scanning optical device of the present invention. In the figure, the same members and the same functions as those in FIG. 5 are designated by the same numerals and their explanations will be omitted. rotating mirror 1
In 01, opposing parts of a cylindrical metal member are cut into parallel planes, and these two surfaces are used as reflective surfaces 101a for deflecting and scanning the light beam, and the cylindrical part is used as an unused part 101b that is not used for deflecting and scanning. are doing. This unused part 101
b is threaded and fixed to the rotating shaft 22 with a screw 102. In other words, the inner peripheral surface of the rotating mirror 101 is pressed against and fixed to the outer peripheral surface of the rotating shaft 22.

概略構成を示す第2図において、半導体レーザとコリメ
ータレンズを含むレーザ光源ユニット3から出射したレ
ーザ光りは回転鏡101に入射してここで偏向走査され
、f・0機能(理想像高が焦点距離fとビーム入射角θ
との積で与えられるもの)を備えた結像レンズ系4を通
過した後、被走査面である感光ドラム5上に結像されて
潜像を形成する。さらに、感光ドラム5の周囲には、不
図示のプロセス機器、即ち、−次帯電器、感光ドラム5
の露光を受けた部分に現像剤を付着させて反転現像を行
なう現像器、転写帯電器、クリーナ等が配設されており
、既知の電子写真プロセスでもって紙などに印字される
。ここで、モータ2の回転軸22の外周面に、反射面1
01aを有した回転鏡101の内周面が押し付けられて
固定されているために、回転鏡101の反射面101a
と内周面とが高精度に構成されていれば、回転鏡101
のフランジ21との取付面(底面)の精度が悪い場合や
、フランジ21の回転軸22との傾斜角度がある場合、
さらにはこれらの取付面がゆがんでいる場合であっても
、これらの精度に関係な(、回転軸22に回転鏡を取り
付けることができる。したがって、各反射面の回転軸に
対する傾きの差によって生じるはずの、主走査面(偏向
走査されるビームが経時的に形成する光線束面)と直角
な方向である副走査方向の走査線ピッチむらを防ぐこと
ができる。尚1フランジ21の座面には回転鏡101は
押し付けないで高さの基準とするだけである。第1図に
おいて、回転鏡101の内周面のネジを切られた部分に
は円周状の溝103が設けられており、ビス102によ
って回転鏡101が回転軸22に押付けられた時に、回
転軸の外周面と回転鏡の内周面との2つの面で接触固定
するために回転軸22に対して精度的に安定して固定さ
れる。また、回転軸22が動的なアンバランス等により
みそすり運動(角度振れ)を起こして回転した場合には
その傾き方向と平行となる様に調整するが、前記溝10
3が設けられているために、ビス102により回転軸2
2にキズ等を生じた場合にも取付は精度に影響を及ぼさ
ないという利点もある。
In FIG. 2, which shows a schematic configuration, laser light emitted from a laser light source unit 3 including a semiconductor laser and a collimator lens enters a rotating mirror 101, where it is deflected and scanned. f and beam incidence angle θ
After passing through an imaging lens system 4 equipped with an image (given by the product of Further, around the photosensitive drum 5, there are process equipment (not shown), such as a secondary charger and a photosensitive drum 5.
A developing device, a transfer charger, a cleaner, etc., are provided to apply a developer to the exposed portion of the image and perform reversal development, and the image is printed on paper or the like using a known electrophotographic process. Here, a reflective surface 1 is provided on the outer peripheral surface of the rotating shaft 22 of the motor 2.
Since the inner circumferential surface of the rotating mirror 101 having 01a is pressed and fixed, the reflecting surface 101a of the rotating mirror 101
If the inner circumferential surface and the rotating mirror 101 are configured with high precision, the rotating mirror 101
If the accuracy of the mounting surface (bottom surface) with the flange 21 is poor, or if there is an inclination angle between the flange 21 and the rotating shaft 22,
Furthermore, even if these mounting surfaces are distorted, it is not related to their accuracy (a rotating mirror can be attached to the rotating shaft 22. Therefore, it is possible to attach a rotating mirror to the rotating shaft 22. It is possible to prevent scanning line pitch unevenness in the sub-scanning direction, which is a direction perpendicular to the main scanning plane (the ray bundle surface formed by the deflected and scanned beam over time). The rotating mirror 101 is not pressed, but is merely used as a height reference.In Fig. 1, a circumferential groove 103 is provided in the threaded portion of the inner peripheral surface of the rotating mirror 101. When the rotating mirror 101 is pressed against the rotating shaft 22 by the screw 102, it is accurately stabilized with respect to the rotating shaft 22 because it is fixed in contact with two surfaces: the outer circumferential surface of the rotating shaft and the inner circumferential surface of the rotating mirror. In addition, when the rotating shaft 22 rotates with a wobbling motion (angle wobbling) due to dynamic imbalance, etc., it is adjusted so that it is parallel to the direction of inclination, but the groove 10
3 is provided, the rotating shaft 2 is connected by the screw 102.
There is also the advantage that even if there is a scratch or the like on 2, the mounting accuracy will not be affected.

また、フランジの座面に回転鏡を押付けて固定調整をし
ないので、回転鏡101の内周面と回転軸22の隙間を
必要以上に大きくする必要はなく、回転軸22の中心軸
と回転鏡101の各反射面の距離が安定するため、各反
射面による走査時間の差異は少ない。
Furthermore, since the rotary mirror is not fixed and adjusted by pressing it against the seat surface of the flange, there is no need to make the gap between the inner circumferential surface of the rotary mirror 101 and the rotary shaft 22 larger than necessary, and the gap between the central axis of the rotary shaft 22 and the rotary mirror Since the distance between each reflective surface 101 is stable, there is little difference in scanning time depending on each reflective surface.

以上の説明の様に、回転鏡101をこの内周面と回転軸
22とを押付けて固定することにより、高精度に加工す
るのは回転鏡101の内周面だけ良く、コスト的に安価
にでき、また高精度な走査光学装置とすることが可能と
なる。
As explained above, by fixing the rotating mirror 101 by pressing the inner circumferential surface and the rotating shaft 22, only the inner circumferential surface of the rotating mirror 101 can be machined with high precision, and the cost can be reduced. In addition, it becomes possible to provide a highly accurate scanning optical device.

[実施例2] 第3図は本発明の走査光学装置に用いられる回転鏡駆動
機構の第2の実施例を示す図である。回転軸222には
へリングボーン状の浅溝231が2ケ所に刻設され、モ
ータケース226の内部には前記回転軸222と回転可
能に嵌合するスリーブ225が前記へリングポーン状浅
溝231とスリーブ225の内周面が対向する位置に配
置されており動圧ラジアル軸受を形成している。また、
回転軸222の軸下端面と対向する位置には、スパイラ
ル状の浅溝232を刻設されたスラスト部材227かス
リーブ225の下端部に配置されており、動圧スラスト
軸受を形成してされ、回転軸222は非接触で回転支持
されている。ここで回転軸222の外周面には[実施例
1]と同様に回転鏡101の内周面がビス102によっ
て押し付けられて固定されている。
[Embodiment 2] FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of a rotating mirror drive mechanism used in the scanning optical device of the present invention. The rotating shaft 222 has two herringbone-shaped shallow grooves 231, and inside the motor case 226, a sleeve 225 that rotatably fits on the rotating shaft 222 is formed in the herringbone-shaped shallow grooves 231. The inner circumferential surfaces of the sleeve 225 and the sleeve 225 are arranged at opposing positions, forming a dynamic pressure radial bearing. Also,
At a position facing the lower end surface of the rotating shaft 222, a thrust member 227 having a spiral shallow groove 232 is disposed at the lower end of the sleeve 225, forming a hydrodynamic thrust bearing. The rotating shaft 222 is rotatably supported without contact. Here, the inner circumferential surface of the rotary mirror 101 is pressed and fixed to the outer circumferential surface of the rotating shaft 222 by screws 102, as in [Embodiment 1].

この様に構成されると、回転鏡101は高精度な回転が
実現されるためにより高精度な走査光学装置を実現する
ことができる。
With this configuration, the rotating mirror 101 can be rotated with high precision, so that a scanning optical device with higher precision can be realized.

尚、スラスト軸受には上記の様な動圧スラスト軸受でな
く、ピボット軸受等のすべり軸受を用いることも可能で
、コスト的に安価にできる。
Incidentally, instead of the above-mentioned dynamic pressure thrust bearing, a sliding bearing such as a pivot bearing can be used as the thrust bearing, and the cost can be reduced.

[実施例3コ 第4図は本発明の走査光学装置に用いられる回転鏡駆動
機構の第3の実施例を示す図である。回転鏡301の偏
向走査しない非使用部301bに、孔302設けられて
おり、前記孔302にはこれより経の大なる部分303
が設けられている。ここで前記孔302にはバネ等の弾
性部材304が挿入され、さらに孔302より経の大な
る部分303と係止する係止部材305を挿入すること
により、回転鏡301の内周面が回転軸22の外周面に
押し付けられて固定されている。この様な簡単な方法に
よっても本発明の効果が実現できる。また、接合面に接
着剤を挿入して固定を確実してもよい。
[Embodiment 3] FIG. 4 is a diagram showing a third embodiment of a rotating mirror drive mechanism used in the scanning optical device of the present invention. A hole 302 is provided in an unused portion 301b of the rotating mirror 301 that does not perform deflection scanning, and a portion 303 with a larger diameter than the hole 302 is provided in the unused portion 301b of the rotating mirror 301, which is not used for deflection scanning.
is provided. Here, an elastic member 304 such as a spring is inserted into the hole 302, and a locking member 305 that locks with a portion 303 having a larger diameter than the hole 302 is inserted, whereby the inner circumferential surface of the rotating mirror 301 is rotated. It is pressed against and fixed to the outer peripheral surface of the shaft 22. The effects of the present invention can also be achieved by such a simple method. Alternatively, adhesive may be inserted into the joint surfaces to ensure fixation.

[発明の効果] 以上説明したように、回転鏡の周面に光偏向に使用する
使用部と光偏向に使用しない非使用部を有し、且つ、非
使用部には回転鏡の回転駆動モータの回転軸と回転鏡内
面とが押付けられて取り付けられる付勢手段を設けるこ
とにより、安価で高精度な走査光学装置を可能にできる
効果がある。
[Effects of the Invention] As explained above, the rotating mirror has a used part used for optical deflection and an unused part not used for optical deflection on the circumferential surface, and the unused part has a rotation drive motor for the rotating mirror. By providing a biasing means to which the rotating shaft of the rotating mirror and the inner surface of the rotating mirror are pressed against each other, an inexpensive and highly accurate scanning optical device can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の断面図、 第2図はその概略構成図、 第3図は第2の実施例の断面図、 第4図は第3の実施例の断面図、 第5図は従来の走査光学装置を説明するための断面図で
ある。 1.101,301・・・・・回転鏡 102.304,305・・・付勢手段103・・・・
・・円周状の溝 2・・・・・・・・モータ 22.222・・・回転軸 25・・・・・・・軸受 225・・・・・・軸受スリーブ 231・・・・・・ヘリングボーン状の浅溝232・・
・・・・スパイラル状の浅溝第3図 第4図 第5図
FIG. 1 is a cross-sectional view of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic configuration diagram thereof, FIG. 3 is a cross-sectional view of the second embodiment, FIG. 4 is a cross-sectional view of the third embodiment, FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining a conventional scanning optical device. 1.101,301...Rotating mirror 102.304,305...Biasing means 103...
...Circumferential groove 2 ...Motor 22.222 ...Rotating shaft 25 ...Bearing 225 ...Bearing sleeve 231 ... Herringbone-shaped shallow groove 232...
・・・・Spiral-shaped shallow groove Figure 3 Figure 4 Figure 5

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)光ビーム発生手段から出射された光ビームを回転
鏡により光偏向する走査光学装置において、該回転鏡は
その周面に光偏向に使用する使用部と光偏向に使用しな
い非使用部を有し、且つ、非使用部には、回転鏡駆動用
モータの回転軸と前記回転鏡内面とが押付けられて取り
付けられる付勢手段を設けたことを特徴とする走査光学
装置。
(1) In a scanning optical device in which a light beam emitted from a light beam generating means is deflected by a rotating mirror, the rotating mirror has a used part used for light deflection and an unused part not used for light deflection on its peripheral surface. What is claimed is: 1. A scanning optical device, comprising: a biasing means attached to an unused portion of the rotating mirror by pressing the rotating shaft of the rotating mirror drive motor against the inner surface of the rotating mirror.
(2)前記付勢手段がネジ部材からなることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の走査光学装置。
(2) The scanning optical device according to claim 1, wherein the biasing means comprises a screw member.
(3)前記付勢手段が弾性部材と係止部材とからなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の走査光学装
置。
(3) The scanning optical device according to claim 1, wherein the biasing means includes an elastic member and a locking member.
(4)前記回転鏡内面に内周状の溝が設けられており、
前記溝の位置に回転鏡駆動用モータの回転軸と回転鏡内
面とが押付けられて取り付けられる付勢手段が位置する
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の走査光学
装置。
(4) an inner circumferential groove is provided on the inner surface of the rotating mirror;
2. The scanning optical device according to claim 1, wherein a biasing means is located in the groove so that the rotating shaft of the rotating mirror drive motor and the inner surface of the rotating mirror are pressed against each other.
(5)前記回転鏡が取り付けられる回転軸が動圧軸受で
支持されたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の走査光学装置。
(5) The scanning optical device according to claim 1, wherein the rotating shaft to which the rotating mirror is attached is supported by a dynamic pressure bearing.
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