JPH04132926A - Method and apparatus for leak test - Google Patents

Method and apparatus for leak test

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JPH04132926A
JPH04132926A JP25406890A JP25406890A JPH04132926A JP H04132926 A JPH04132926 A JP H04132926A JP 25406890 A JP25406890 A JP 25406890A JP 25406890 A JP25406890 A JP 25406890A JP H04132926 A JPH04132926 A JP H04132926A
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Abstract

PURPOSE:To discern a variety of test specimens in accordance with the actual condition by discerning the test specimens to be good if the leaking component is not larger than a permissible value even when it is not zero. CONSTITUTION:A pseudo leak test of a reference container which is already known to have no leak is performed, thereby to detect the pressure change Pr does not include leaking components, error components Eo can be obtained based on the pressure change Pr. Immediately after the error components Eo are detected, namely, before the error components are changed, a leak test for a test specimen is carried out to detect the pressure change Ps. The average value Ao of the leaking components of the good test specimen is obtained on the basis of the pressure change Ps and error components Eo. Subsequently, a leak test for many test specimens is sequentially carried out. At this time, the leaking components Ai are obtained b an equation Ai= Pi- Pav+Ao wherein Pav is the virtual average value of the pressure change of the good test specimens tested before the specimens being tested.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、容器等の検体のリークテスト方法および装置
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method and apparatus for leak testing a specimen such as a container.

[従来の技術] 一般的なリークテスト装置の構成について、差圧検出型
を例にとって説明する。このリークテスト装置は、エア
通路(流体通路)を備えており、エア通路の一端に圧縮
エア源(流体圧源)が接続されている。エア通路の他端
部は2つに分岐しており、これら分岐路の中途部にはそ
れぞれ弁が設置されている。そして、2つの分岐路の端
には、それぞれ基準容器と検体が接続される。基準容器
は、予め漏れがないことが確認された容器であり、一方
の分岐路に接続されたまま継続して用いられる。そして
、多数の検体を順次他方の分岐路に接続して以下に述べ
るリークテストを行う。最初に、2つの弁を開いて基準
容器および検体にテスト圧を導入した後で弁を閉じ、所
定時間経過後に、検体と基準容器の差圧を検出する。テ
スト圧力が正圧の場合、検体に漏れがあると検体の圧力
が低下し、基準容器と検体の圧力に差か生じる。この差
圧を差圧センサ(圧力検出手段)で検出することにより
、検体の漏れを知ることができる。
[Prior Art] The configuration of a general leak test device will be explained by taking a differential pressure detection type as an example. This leak test device includes an air passage (fluid passage), and a compressed air source (fluid pressure source) is connected to one end of the air passage. The other end of the air passage is branched into two, and a valve is installed in each of these branch passages. A reference container and a sample are connected to the ends of the two branched paths, respectively. The reference container is a container that has been previously confirmed to have no leakage, and is continuously used while being connected to one branch path. Then, a leak test described below is performed by sequentially connecting a large number of specimens to the other branch path. First, the two valves are opened to introduce test pressure into the reference container and the specimen, and then the valves are closed, and after a predetermined period of time, the differential pressure between the specimen and the reference container is detected. If the test pressure is positive, if there is a leak in the sample, the pressure of the sample will drop, creating a pressure difference between the reference container and the sample. By detecting this differential pressure with a differential pressure sensor (pressure detection means), leakage of the sample can be detected.

上記差圧は、理論的には検体の漏れに起因する検体の圧
力変動を表すものである。しかし、実際には、検体に漏
れが無くても差圧センサが差圧を検出してしまう。この
差圧に含まれる誤差成分は、例えば周囲温度、湿度等に
よる基準容器と検体への影響が異なることに起因して生
じる。
The differential pressure described above theoretically represents the pressure fluctuation of the specimen due to leakage of the specimen. However, in reality, the differential pressure sensor detects a differential pressure even if there is no leakage in the sample. The error component included in this differential pressure is caused by, for example, the influence of ambient temperature, humidity, etc. on the reference container and the specimen being different.

特公平1−34333号に開示されたリークテスト装置
は、検出された差圧からこの誤差成分を差し引いて検体
の漏れに起因する成分だけを検出し、この漏れ成分がゼ
ロか否かで検体の良否を判定している。ここで、上記誤
差成分は周囲温度等により変化するから、リークテスト
中の検体の前に良品と判定された複数の検体における差
圧の平均を、上記誤差成分として提供している。
The leak test device disclosed in Japanese Patent Publication No. 1-34333 subtracts this error component from the detected differential pressure to detect only the component caused by the leakage of the specimen, and determines whether the leakage component is zero or not. Judging whether it is good or bad. Here, since the error component changes depending on the ambient temperature and the like, the average of the differential pressures of a plurality of samples determined to be good before the sample being tested for leakage is provided as the error component.

[発明が解決しようとする課題〕 上記公報の場合には、検体の漏れがゼロであることを良
否の判定基準としている。しかし、検体の漏れが許容範
囲であれば良品である、と判定することか要求される場
合も考えられる。例えば、液体を封入するのに用いられ
る容器(検体)を、圧縮エアでリークテストする場合で
ある。
[Problems to be Solved by the Invention] In the case of the above-mentioned publication, zero leakage of the sample is used as a criterion for determining pass/fail. However, there may be cases where it is required to determine that the product is non-defective if the leakage of the sample is within an acceptable range. For example, a container (specimen) used to enclose a liquid is subjected to a leak test using compressed air.

上記公報の装置では、この要求に答えられない。The device disclosed in the above publication cannot meet this requirement.

なぜなら、漏れ成分が許容範囲であれば良品と判定した
場合に、上記良品の検体における差圧の平均値には、誤
差成分たけでなく許容範囲の漏れ成分の平均値が含まれ
てしまうからであり、テスト中の検体の差圧からこの差
圧平均値を差し引いた値は、実際の漏れ成分を表さず、
これより低い値となってしまうのである。その結果、良
否の判定ができな(なってしまう。
This is because if the leak component is determined to be good if it is within the allowable range, the average value of the differential pressure of the above-mentioned non-defective sample includes not only the error component but also the average value of the leak component within the allowable range. Yes, the value obtained by subtracting this average differential pressure from the differential pressure of the specimen under test does not represent the actual leakage component;
This results in a value lower than this. As a result, it becomes impossible to determine pass/fail.

[課題を解決するための手段] 上記課題を解決するために、第1の発明の要旨は、次の
工程を備えたことを特徴とするリークテスト方法にある
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, the gist of the first invention resides in a leak test method characterized by comprising the following steps.

(a)最初に、漏れのない基準容器の疑似リークテスト
を行い、その際に生じる圧力変動ΔPrを検出し、この
圧力変動に基づき初期誤差成分E○を求める。
(a) First, a pseudo-leak test is performed on a leak-free reference container, the pressure fluctuation ΔPr that occurs at that time is detected, and the initial error component E○ is determined based on this pressure fluctuation.

(b)その直後から検体のリークテストを順次行う。す
なわち、検出された圧力変動のうちの漏れ成分を許容値
A m a xと比較し、許容値以下の時には良品と判
定し、許容値を超えた時には不良品と判定する。上記疑
似リークテスト直後の漏れ成分Asは次式から求める。
(b) Immediately thereafter, perform leak tests on the specimens one after another. That is, the leakage component of the detected pressure fluctuation is compared with the allowable value Amax, and when it is below the allowable value, it is determined to be a good product, and when it exceeds the allowable value, it is determined to be a defective product. The leakage component As immediately after the pseudo-leak test is determined from the following equation.

次式において、△PSは検出された圧力変動である。In the following equation, ΔPS is the detected pressure fluctuation.

As=ΔPs−Eo 上記良否判定と合わせて、良品と判定された複数の検体
の漏れ成分Asの平均値Aoを求める。
As=ΔPs−Eo In addition to the above quality determination, the average value Ao of the leakage component As of a plurality of samples determined to be non-defective is determined.

(c)引き続いて行われる検体のリークテストでは、漏
れ成分Aiは次式から求める。次式において、ΔPiは
検出された圧力変動、ΔPavは、現在テスト中の検体
より前に良品と判定された検体における圧力変動の実質
的な平均値である。
(c) In the subsequent leak test of the sample, the leakage component Ai is calculated from the following equation. In the following equation, ΔPi is the detected pressure variation, and ΔPav is the substantial average value of the pressure variation in the sample determined to be good before the sample currently being tested.

Ai=ΔPi−ΔPav+Ao 第2の発明の要旨は、次の工程を備えたことを特徴とす
るリークテスト方法にある。
Ai=ΔPi−ΔPav+Ao The gist of the second invention resides in a leak test method characterized by comprising the following steps.

(a)最初に、漏れのない基準容器の疑似リークテスト
を行い、その際に生じる圧力変動ΔPrを検出し、この
圧力変動に基づき初期誤差成分Eoを求める。
(a) First, a pseudo-leak test is performed on a leak-free reference container, a pressure fluctuation ΔPr occurring at that time is detected, and an initial error component Eo is determined based on this pressure fluctuation.

(b)その直後に複数の良品の検体の疑似リークテスト
を行って、その圧力変動ΔPsを検出し、この圧力変動
と上記初期誤差成分Eoに基づいて良品の検体の漏れ成
分の平均値Aoを求める。
(b) Immediately after that, perform a pseudo leak test on multiple non-defective samples to detect the pressure fluctuation ΔPs, and calculate the average value Ao of the leakage components of the non-defective samples based on this pressure variation and the above initial error component Eo. demand.

(c)次に、検体のリークテストを順次行う。(c) Next, perform leak tests on the specimens one after another.

すなわち、検出された圧力変動ΔPiのうちの漏れ成分
Aiを許容値Amaxと比較し、許容値以下の時には良
品と判定し、許容値を超えた時には不良品と判定する。
That is, the leakage component Ai of the detected pressure fluctuation ΔPi is compared with the allowable value Amax, and when it is less than the allowable value, it is determined to be a good product, and when it exceeds the allowable value, it is determined to be a defective product.

上記漏れ成分Aiは次式から求める。次式において、Δ
Pavは、現在テスト中の検体より前に良品と判定され
た検体における圧力変動の実質的な平均値である。
The above leakage component Ai is determined from the following equation. In the following equation, Δ
Pav is a substantial average value of pressure fluctuations in samples that were determined to be good before the sample currently being tested.

Ai−ΔPi−ΔPav+Ao 第3の発明の要旨は、流体通路と、流体通路の一端に接
続された流体圧源と、流体通路の中途部に配された弁手
段と、流体通路の他端と弁手段との間の圧力を検出する
圧力検出手段と、この圧力検出手段に接続されたマイク
ロコンピュータとを備えたリークテスト装置において、
上記マイクロコンピュータか次の構成を備えていること
を特徴とするリークテスト装置にある。
Ai-ΔPi-ΔPav+Ao The third gist of the invention is to include a fluid passage, a fluid pressure source connected to one end of the fluid passage, a valve means disposed in the middle of the fluid passage, and a valve connected to the other end of the fluid passage. A leak test device comprising a pressure detection means for detecting pressure between the pressure detection means and a microcomputer connected to the pressure detection means,
A leak test device is characterized in that it includes the above-mentioned microcomputer and the following configuration.

(a)漏れの全くない複数個の基準容器を流体通路の他
端に接続して疑似リークテストを行った際に圧力検出手
段で検出された圧力変動ΔPrの平均値を演算して、初
期誤差成分Eoを求める初期誤差成分演算手段。
(a) Calculate the average value of the pressure fluctuation ΔPr detected by the pressure detection means when performing a pseudo leak test by connecting multiple reference containers with no leakage to the other end of the fluid passage, and calculate the initial error. Initial error component calculation means for calculating component Eo.

(b)上記基準容器の疑似リークテストの直後のテスト
で検出された複数の良品の検体の圧力変動ΔPsと上記
初期誤差成分Eoに基ついて漏れ成分の平均値Aoを求
める漏れ成分平均値演算手段。
(b) Leak component average value calculation means for calculating the average value Ao of the leak component based on the pressure fluctuation ΔPs of a plurality of non-defective specimens detected in a test immediately after the pseudo leak test of the reference container and the initial error component Eo. .

(c)現在リークテスト中の検体の前に良品と判定され
た複数の検体における圧力変動の実質的な平均値ΔPa
vを演算する圧力変動平均値演算手段。
(c) Substantial average value ΔPa of pressure fluctuations in multiple samples determined to be good before the sample currently undergoing leak testing
Pressure fluctuation average value calculation means for calculating v.

(d)現在のリークテストで検出された圧力変動ΔPi
のうちの漏れ成分Aiを次式に基づいて演算する漏れ成
分演算手段。
(d) Pressure fluctuation ΔPi detected in the current leak test
Leakage component calculation means for calculating the leakage component Ai of the leakage components based on the following equation.

Ai−ΔPi−ΔPav−!−A。Ai-ΔPi-ΔPav-! -A.

(e)上記漏れ成分Aiを許容値Amaxと比較して、
許容値以下の場合には良品と判定し、許容値を超えた場
合には不良品と判定する良否判定手段。
(e) Compare the above leakage component Ai with the allowable value Amax,
A quality determination means that determines the product to be non-defective if it is below the tolerance value, and determines it to be defective if it exceeds the tolerance value.

[作用] 一般的に、テストされた検体の圧力変動ΔPiは、漏れ
によって発生した変動成分すなわち漏れ成分Aiと、漏
れ以外の影響で発生した変動成分すなわち誤差成分Ei
とを含んでいる。式で表すと下記のようになる。
[Effect] Generally, the pressure fluctuation ΔPi of the tested specimen is composed of a fluctuation component caused by leakage, that is, leakage component Ai, and a fluctuation component caused by effects other than leakage, that is, error component Ei.
Contains. Expressed as a formula, it is as follows.

ΔPi=Ai+Ei 本発明の最も重要な点は、上記漏れ成分Aiが実質的に
ゼロでな(でも、ある許容値A max以下であれば良
品と判定することである。漏れ成分Aiを正確に検出す
るためには特別な工夫が必要となる。以下、詳述する。
ΔPi=Ai+Ei The most important point of the present invention is to determine that the product is good if the leakage component Ai is not substantially zero (but is below a certain tolerance value Amax).The leakage component Ai is accurately detected. In order to do so, special measures are required, which will be explained in detail below.

まず、漏れがゼロであることが判明している基準容器の
疑似リークテストを行い、圧力変動ΔPrを検出する。
First, a pseudo leak test is performed on a reference container that is known to have no leakage, and pressure fluctuation ΔPr is detected.

この圧力変動ΔPrは、漏れ成分を含まないから、この
圧力変動ΔPrに基ついて誤差成分Eoか求められる。
Since this pressure fluctuation ΔPr does not include a leakage component, the error component Eo can be determined based on this pressure fluctuation ΔPr.

誤差成分Eo検出の直後、すなわち誤差成分Eoが変化
しないうちに、検体のリークテストを行い圧力変動ΔP
sを検出する。そして、この圧力変動ΔPsと上記誤差
成分Eoに基ついて、良品の検体における漏れ成分の平
均値Aoを求める。
Immediately after the error component Eo is detected, that is, before the error component Eo changes, a leak test is performed on the sample to detect the pressure fluctuation ΔP.
Detect s. Then, based on this pressure fluctuation ΔPs and the error component Eo, the average value Ao of the leakage component in the non-defective specimen is determined.

この平均値Aoを求める場合、良否か判別しない検体を
用い、検体の漏れ成分と許容値Amaxとを比較して検
体の良否判定を行い、良品と判定された検体について漏
れ成分の平均値を求めてもよい。また、あらかじめ良品
と判定された検体を用いて平均値Aoを求めてもよい。
When calculating this average value Ao, use a sample that is not determined to be good or bad, compare the leakage component of the sample with the allowable value Amax to determine the quality of the sample, and then calculate the average value of the leakage component for the samples that are determined to be good. You can. Alternatively, the average value Ao may be determined using samples that have been previously determined to be non-defective.

引き続いて、多数の検体のリークテストを順次実行する
。この際、漏れ成分Aiは、次式で求められる。
Subsequently, leak tests are performed on a large number of samples in sequence. At this time, the leakage component Ai is determined by the following equation.

Ai=ΔPi  −ΔPav+Ao ここでΔPavは、テスト中の検体の前にテストされた
検体のうち良品における圧力変動の実質的な平均値であ
る。
Ai=ΔPi−ΔPav+Ao where ΔPav is a substantial average value of pressure fluctuations in good specimens tested before the specimen under test.

上述したように、本発明では漏れ成分か許容値A ma
x以下であれば検体が良品であると判定するから、ΔP
avには誤差成分の平均値だけでなく、良品の漏れ成分
の平均値Aoが含まれてしまう。
As mentioned above, in the present invention, the leakage component or the allowable value A ma
If it is less than or equal to x, the sample is determined to be good, so ΔP
av includes not only the average value of error components but also the average value Ao of leakage components of non-defective products.

しかし、上記式のように漏れ成分の平均値Aoを加える
ことにより、正確な漏れ成分Aiが求められる。その理
由をさらに述べることにする。上記式は次のように書き
換えることができる。
However, by adding the average value Ao of the leakage components as in the above equation, an accurate leakage component Ai can be determined. I will explain the reason further. The above formula can be rewritten as follows.

Ai=ΔPi−(ΔPav−Ao) この式の(ΔPav−Ao)は上記テスト中の誤差成分
Eiを正確に表している。したがって、検出された圧力
変動ΔPiから正確な誤差成分Eiを差し引くことによ
り、正確な漏れ成分Aiを求めることができ、ひいては
正確な良否判定を行うことができる。
Ai=ΔPi-(ΔPav-Ao) In this equation, (ΔPav-Ao) accurately represents the error component Ei during the above test. Therefore, by subtracting the accurate error component Ei from the detected pressure fluctuation ΔPi, the accurate leakage component Ai can be determined, and as a result, accurate quality determination can be performed.

[実施例コ 以下、本発明の一実施例を第1図から第3図までの図面
に基づいて説明する。第1図に示す差圧検出型のリーク
テスト装置は、ブロックに形成された孔またはバイブか
らなるエア通路10(流体通路)を備えている。エア通
路10は、上流側に接続端10aを有し、下流側に2つ
の分岐路11゜12を有しており、これら分岐路11.
12の端が接続端10b、IOCとして提供されている
[Example 1] Hereinafter, an example of the present invention will be described based on the drawings from FIG. 1 to FIG. 3. The differential pressure detection type leak test device shown in FIG. 1 includes an air passage 10 (fluid passage) consisting of a hole or a vibrator formed in a block. The air passage 10 has a connecting end 10a on the upstream side and two branch passages 11.degree. 12 on the downstream side.These branch passages 11.
Twelve ends are provided as connection ends 10b, IOCs.

上記接続端10aは圧縮エア源20(流体圧源)に接続
されている。
The connecting end 10a is connected to a compressed air source 20 (fluid pressure source).

エア通路10には上流から下流に向かって順に、リリー
フ弁付き減圧弁からなるレギュレータ21、圧力計22
.二位置三ボート電磁弁23が設けられている。また、
エア通路10の分岐路11.12にはそれぞれ常開の二
位置二ポート電磁弁2425が設けられている。
In the air passage 10, from upstream to downstream, there is a regulator 21 consisting of a pressure reducing valve with a relief valve, and a pressure gauge 22.
.. A two-position three-boat solenoid valve 23 is provided. Also,
Each branch 11.12 of the air passage 10 is provided with a normally open two-position, two-port solenoid valve 2425.

リークテスト装置は、さらに差圧センサ26(圧力検出
手段)を備えている。この差圧センサ26は、周知なの
で詳述しないが、2つの圧力導入ポートを有しており、
一方の圧力導入ポートは、電磁弁24と接続端10b間
に位置する上記一方の分岐路11に接続され、他方の圧
力導入ポートは電磁弁25と接続端10cとの間に位置
する他方の分岐路12に接続されている。両ポートの差
圧か差圧センサ26で電圧信号に変換される。
The leak test device further includes a differential pressure sensor 26 (pressure detection means). Although this differential pressure sensor 26 is well known and will not be described in detail, it has two pressure introduction ports.
One pressure introduction port is connected to the one branch path 11 located between the solenoid valve 24 and the connection end 10b, and the other pressure introduction port is connected to the other branch path 11 located between the solenoid valve 25 and the connection end 10c. 12. The differential pressure between both ports is converted into a voltage signal by the differential pressure sensor 26.

リークテスト装置は、さらにマイクロコンピュータ30
を備えている。マイクロコンピュータの人力ポートには
、上記差圧センサ26の出力が増幅器27.アナログデ
ジタルコンバータ28を介して入力される。マイクロコ
ンピュータ30の出力ボートには、ブザーやランプ等か
らなる警報器29が接続されている。マイクロコンピュ
ータ30は、上記電磁弁23,24.25をシーケンス
制御する機能と、第3図に示すように上記差圧センサ2
6からの出力に基づいてリーク検出を行う機能を備えて
いる。すなわち、マイクロコンピュータ30は初期誤差
成分演算手段31と、漏れ成分平均値演算手段32と、
差圧平均値演算手段33(圧力変動平均値演算手段)と
、漏れ成分演算手段34a、34k)と、許容値設定手
段35と、良否判定手段36a、36bとを備えている
The leak test device further includes a microcomputer 30.
It is equipped with The output of the differential pressure sensor 26 is connected to the human power port of the microcomputer through an amplifier 27. It is input via an analog-to-digital converter 28. An alarm device 29 consisting of a buzzer, lamp, etc. is connected to the output port of the microcomputer 30. The microcomputer 30 has the function of sequentially controlling the electromagnetic valves 23, 24, 25, and the differential pressure sensor 2 as shown in FIG.
It has a function to perform leak detection based on the output from 6. That is, the microcomputer 30 includes an initial error component calculation means 31, a leakage component average value calculation means 32,
It includes a differential pressure average value calculation means 33 (pressure fluctuation average value calculation means), leakage component calculation means 34a, 34k), permissible value setting means 35, and quality determination means 36a, 36b.

上記構成において、第1図に示すように、一方の分岐路
11の接続端10bには、漏れがないことが確認されて
いる基準容器100か接続されたまま維持されている。
In the above configuration, as shown in FIG. 1, the reference container 100, which has been confirmed to be free of leakage, is maintained connected to the connection end 10b of one branch path 11.

この状態で、漏れかないことか確認されている池の数個
の基準容器100′について順次に疑似リークテストを
行う。これら基準容器100,100’ は後述する検
体200と同一形状であるのか好ましい。特に基準容器
100′は同一形状であるのか好ましい。しかし、これ
ら基準容器100,100’は検体200と形状、容量
が異なっていてもよい。
In this state, a pseudo-leak test is sequentially performed on several reference containers 100' in the pond that have been confirmed to be leak-free. It is preferable that these reference containers 100, 100' have the same shape as a specimen 200, which will be described later. In particular, it is preferable that the reference containers 100' have the same shape. However, these reference containers 100, 100' may differ in shape and capacity from the sample 200.

上記基準容器100′の疑似リークテストについて詳述
すると、電磁弁23,24.25がオフの状態、すなわ
ち第1図に示すように分岐路11゜12が圧縮エア源2
0に対して遮断され大気に開放されている状態で、他方
の接続端10cに基準容器100′を接続する。この状
態で、電磁弁23をオンにしレギュレータ21と基準容
器100゜100′とを連通させ、基準容器100.1
00′内の圧力をレギュレータ21のセット圧力すなわ
ちテスト圧力にする。この状態を所定時間続けて基準容
器100,100’内の圧力を安定させた後で、電磁弁
24.25をオンにして閉じ、これにより、基準容器1
00,100’を閉鎖系にする。所定時間経過後に、差
圧センサ26からの差圧ΔPr(基準容器100′の圧
力変動)を表す電圧信号をマイクロコンピュータ30て
読み込む。この後、電磁弁23,24.25をオフにし
て基準容器100,100’ を大気に開放し、基準容
器100′を接続端10Cから外す。
To explain in detail the pseudo-leak test of the reference container 100', when the solenoid valves 23, 24, and 25 are off, that is, as shown in FIG.
The reference container 100' is connected to the other connection end 10c in a state where the reference container 100' is shut off from zero and opened to the atmosphere. In this state, the solenoid valve 23 is turned on to communicate the regulator 21 and the reference container 100.1.
The pressure in 00' is set to the set pressure of the regulator 21, that is, the test pressure. After this state continues for a predetermined period of time to stabilize the pressure inside the reference containers 100 and 100', the solenoid valves 24 and 25 are turned on and closed, thereby causing the reference containers 1
Make 00,100' a closed system. After a predetermined period of time has elapsed, the microcomputer 30 reads a voltage signal representing the differential pressure ΔPr (pressure fluctuation in the reference container 100') from the differential pressure sensor 26. Thereafter, the solenoid valves 23, 24, 25 are turned off, the reference containers 100, 100' are exposed to the atmosphere, and the reference containers 100' are removed from the connection end 10C.

上記のようにして数個の基準容器100′の疑似リーク
テストを順次行う。マイクロコンピュータ30では、そ
の差圧ΔPrの平均値を演算する。
As described above, pseudo-leak tests are sequentially performed on several reference containers 100'. The microcomputer 30 calculates the average value of the differential pressure ΔPr.

この差圧ΔPrには漏れ成分がないから、その平均値は
その時の周囲温度等により決定される初期誤差成分Eo
を表している。したがって、マイクロコンピュータ30
は前述した初期誤差成分演算手段31を実質的に備えて
いる。
Since this differential pressure ΔPr has no leakage component, its average value is the initial error component Eo determined by the ambient temperature, etc.
represents. Therefore, the microcomputer 30
substantially includes the above-mentioned initial error component calculation means 31.

上記疑似リークテストの直後、すなわち上記初期誤差成
分Eoが変化しないうちに、検体の17−クチストを開
始する。すなわち、接続端10Cに検体200を接続し
て、前述の疑似リークテストと同様のテストを行って差
圧ΔPs(圧力変動)を求める。この差圧ΔPsは、初
期誤差成分Eoと漏れ成分Asを含んでいる。そこで、
マイクロコンピュータ30は次式により漏れ成分Asを
求める。この機能は第3図の漏れ成分演算手段34aで
示される。
Immediately after the pseudo-leak test, ie, before the initial error component Eo changes, 17-cut testing of the specimen is started. That is, the specimen 200 is connected to the connection end 10C, and a test similar to the above-described pseudo leak test is performed to determine the differential pressure ΔPs (pressure fluctuation). This differential pressure ΔPs includes an initial error component Eo and a leakage component As. Therefore,
The microcomputer 30 determines the leakage component As using the following equation. This function is shown by leakage component calculation means 34a in FIG.

As−ΔPs−Eo   −(1) そして、上記漏れ成分Asを許容値設定部35からの許
容値Amaxと比較し、良否判定を行う。
As-ΔPs-Eo-(1) Then, the leakage component As is compared with the allowable value Amax from the allowable value setting section 35 to determine the quality.

この機能は第3図の良否判定手段3.6aで示される。This function is shown by the quality determining means 3.6a in FIG.

マイクロコンピュータ30は、良品と判定された検体2
00の漏れ成分Asの平均値Aoを演算する。換言すれ
ば、マイクロコンピュータ30は実質的に、良否判定手
段36aからの良品判定信号Sokと、漏れ成分演算手
段34aがらの漏れ成分Asに基づいて平均値Aoを演
算する漏れ成分平均値演算手段32を備えている。
The microcomputer 30 is a sample 2 determined to be good.
The average value Ao of the leakage component As of 00 is calculated. In other words, the microcomputer 30 essentially operates the leakage component average value calculation means 32 that calculates the average value Ao based on the non-defective determination signal Sok from the quality determination means 36a and the leakage component As from the leakage component calculation means 34a. It is equipped with

上記漏れ成分平均値Aoを求めるリークテストにおいて
、上記検体200は予め良品であることか分かっている
ものを用いてもよい。この場合、良否判定手段36aは
不要となる。
In the leak test for determining the leakage component average value Ao, the sample 200 may be a sample whose quality is known in advance. In this case, the quality determining means 36a becomes unnecessary.

次に、多数の検体について順次本格的なリークテストを
行う。このリークテストにおいては、周囲温度等に起因
する誤差成分か時間の経過につれて変化し、初期誤差成
分Eoと異なるので、もはや上記(1)式と同様にして
漏れ成分を求めることはできない。そこで、マイクロコ
ンピュータ30では次の演算を行う。なお、この機能は
第3図の漏れ成分演算手段34bに示されている。
Next, a full-scale leak test is performed on a large number of samples one after another. In this leak test, the error component due to the ambient temperature etc. changes over time and is different from the initial error component Eo, so the leak component can no longer be determined in the same way as the above equation (1). Therefore, the microcomputer 30 performs the following calculation. Note that this function is shown in the leakage component calculation means 34b in FIG.

Ai−ΔPi−ΔPav+Ao・ (2)ここで、At
は、i番目の検体200のリークテストでの漏れ成分、
ΔPiは検出された差圧(圧力変動)、ΔPavはi番
目の検体200の前にテストされた多数の検体200(
但し良品と判定されたものだけに限る)の検出差圧の平
均値であり、例えば(i−1)番目の検体200が良品
である場合には、次式で表される。
Ai-ΔPi-ΔPav+Ao・ (2) Here, At
is the leakage component in the leak test of the i-th sample 200,
ΔPi is the detected differential pressure (pressure fluctuation), ΔPav is the number of specimens 200 tested before the i-th specimen 200 (
However, this is the average value of the detected differential pressures of only those determined to be non-defective products. For example, when the (i-1)th specimen 200 is a non-defective product, it is expressed by the following equation.

ΔPav= (ΔP(i−11+ (n −1)ΔPa
v’ l/ n・・ (3) 但し、ΔP(i−11は、(i−1)番目の検体200
のテストて検出された差圧てあり、ΔPavは、(i−
1)番目の検体200の前に検出された検体200(但
し良品と判定されたものだけに限る)の検出差圧の平均
値である。(3)式の差圧平均値ΔPavの演算の機能
は、第3図の差圧平均値演算手段33て示されている。
ΔPav= (ΔP(i-11+ (n -1)ΔPa
v'l/n... (3) However, ΔP(i-11 is the (i-1)th sample 200
ΔPav is (i-
1) It is the average value of the detected differential pressures of the specimens 200 detected before the second specimen 200 (limited to those determined to be non-defective products). The function of calculating the differential pressure average value ΔPav in equation (3) is shown by the differential pressure average value calculating means 33 in FIG.

なお、本格的なリークテストの1番目の検体200の漏
れ成分を演算する際には、(2)式におけるΔPavと
して、漏れ成分平均値Eoを求める時に検出した良品検
体での差圧ΔPsの平均値を用いる。
In addition, when calculating the leakage component of the first sample 200 in a full-scale leak test, ΔPav in equation (2) is the average of the differential pressure ΔPs in the good sample detected when calculating the leakage component average value Eo. Use value.

上記平均値ΔPavを求める式において、nを小さくと
れば直前の(i−1)番目の検体200のリークテスト
で得られた差圧ΔPiの占める割合が高くなり、周囲温
度変化の対して敏感になる。
In the formula for calculating the average value ΔPav, if n is set small, the ratio of the differential pressure ΔPi obtained in the leak test of the immediately preceding (i-1)th specimen 200 will increase, making it less sensitive to changes in ambient temperature. Become.

なお、nは整数でなくてもよい。Note that n may not be an integer.

また、マイクロコンピュータ30は、漏れ成分平均値A
oと差圧平均値成分ΔPavとを記憶して、検体の漏れ
成分を演算すればよいので、記憶容量の小さいマイクロ
コンピュータを用いることかできる。
The microcomputer 30 also calculates the leakage component average value A.
Since it is sufficient to store o and the differential pressure average value component ΔPav and calculate the leakage component of the sample, a microcomputer with a small storage capacity can be used.

マイクロコンピュータ30では、上記漏れ成分Aiと許
容値A m a xとを比較して、許容値以下の時には
良品と判定し、許容値以下の時には不良品と判定してN
G倍信号出力して、警報器29を作動させる。この機能
は第3図の良否判定手段36bで示されている。
The microcomputer 30 compares the leakage component Ai with the allowable value Amax, and when it is below the allowable value, it is determined to be a good product, and when it is below the allowable value, it is determined to be a defective product, and N
A G-times signal is output and the alarm 29 is activated. This function is shown by the quality determining means 36b in FIG.

上記実施例において、良品検体の漏れ成分平均値Aoは
、良品検体の差圧ΔPs(圧力変動)の平均値を演算し
、この平均値から初期誤差成分Eoを差し引くことによ
り求めてもよい。
In the above embodiment, the leakage component average value Ao of the non-defective samples may be determined by calculating the average value of the differential pressure ΔPs (pressure fluctuation) of the non-defective samples, and subtracting the initial error component Eo from this average value.

また、差圧平均値ΔPavは、直前に良品と判定された
一定個数mの検体の差圧の単純平均であってもよい。す
なわち、マイクロコンピュータでは、差圧のための記憶
部をm個有しており、最も古い差圧データが新しく良品
と判定された差圧データと入れ換えられ、m個の差圧デ
ータの単純平均が演算される。これは、一般に移動平均
と称されるものである。
Further, the average differential pressure value ΔPav may be a simple average of the differential pressures of a certain number m of specimens that were determined to be non-defective immediately before. In other words, the microcomputer has m memory units for differential pressure, and the oldest differential pressure data is replaced with the new differential pressure data determined to be good, and the simple average of the m differential pressure data is Calculated. This is generally referred to as a moving average.

第4図は本発明の他の実施例を示す。第4図の装置では
、エア通路10′の下流側は分岐されていない。ここで
は、前述の実施例の基準容器100は用いない。差圧セ
ンサ26の一方の圧力導入ポートは、大気に開放されて
いる。この装置を用いる場合、基準容器too’、検体
200を下流側の接続端10dに接続した状態でテスト
圧を導入すると、差圧センサ26には大気圧とテスト圧
との差圧に起因した電圧が生じる。差圧センサ26では
この電圧を基準として検体200の圧力変動の変化に対
応して変化する電圧信号が検出される。他の点は前述の
実施例と同じであるので説明を省略する。
FIG. 4 shows another embodiment of the invention. In the device shown in FIG. 4, the downstream side of the air passage 10' is not branched. Here, the reference container 100 of the previous embodiment is not used. One pressure introduction port of the differential pressure sensor 26 is open to the atmosphere. When using this device, when a test pressure is introduced with the reference container too' and the specimen 200 connected to the downstream connection end 10d, the differential pressure sensor 26 detects a voltage due to the differential pressure between the atmospheric pressure and the test pressure. occurs. The differential pressure sensor 26 detects a voltage signal that changes in response to changes in the pressure fluctuation of the specimen 200 using this voltage as a reference. The other points are the same as those of the previous embodiment, so the explanation will be omitted.

本発明は上記実施例に制約されず種々の態様が可能であ
る。
The present invention is not limited to the above embodiments, and various embodiments are possible.

[発明の効果] 以上説明したように本発明では、検体の良否の判定をす
る際に、漏れ成分がゼロでなくても許容値以下であれば
良品であるとすることにより、実情に即した幅広い良否
判定を行うことができる。
[Effects of the Invention] As explained above, in the present invention, when determining whether a sample is good or bad, even if the leakage component is not zero, if it is less than the allowable value, it is considered to be a good product. A wide range of pass/fail judgments can be made.

また、最初に基準容器について疑似リークテストを行っ
て、初期誤差成分を求め、この初期誤差成分と良品検体
において検出された圧力変動とに基づいて、良品検体の
漏れ成分の平均値を求め、本格的なリークテストでは、
検出された圧力変動からそれ以前の良品検体の圧力変動
の平均値を差し引くとともに漏れ成分の平均値を加える
ことにより、正確な漏れ成分を得ることができ、ひいて
は上記良否判定を正確に行うことができる。
In addition, we first perform a pseudo-leak test on the reference container to determine the initial error component, and based on this initial error component and the pressure fluctuation detected in the non-defective sample, we determine the average value of the leakage component in the non-defective sample. In a typical leak test,
By subtracting the average value of the pressure fluctuations of previous non-defective samples from the detected pressure fluctuation and adding the average value of the leakage component, it is possible to obtain accurate leakage components, and as a result, it is possible to accurately perform the above-mentioned pass/fail judgment. can.

【図面の簡単な説明】 第1図、第2図は本発明に係わる装置の一実施例を示す
概略構成図であり、第1図は菖ア通路の両方の分岐路に
基準容器を接続した状態を示す図、第2図はエア通路の
一方の分岐路に基準容器を接続し、他方の分岐路に検体
を接続した状態を示す図、第3図は第1図、第2図のマ
イクロコンピュータで実行されるタスクをブロックで概
略的に示す図である。第4図は本発明の他の態様を示す
概略構成図である。 10・・・流体通路(エア通路)、20・・・流体圧源
(圧縮エア源)、24.25  弁手段(二位置ニポー
ト弁)、26 ・圧力検出手段(差圧センサ)、30・
マイクロコンピュータ、31・・初期誤差成分演算手段
、32・・漏れ成分平均値演算手段、33圧力変動平均
値演算手段(差圧平均値演算手段)、34b−漏れ成分
演算手段、35・・・許容値設定手段、36b ・良否
判定手段。
[Brief Description of the Drawings] Figures 1 and 2 are schematic configuration diagrams showing an embodiment of the device according to the present invention, and Figure 1 shows a case in which a reference container is connected to both branches of the irises passage. Figure 2 shows the state in which the reference container is connected to one branch of the air passage and the sample is connected to the other branch. 1 is a diagram schematically showing, in blocks, tasks executed by a computer; FIG. FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the present invention. 10...Fluid passage (air passage), 20...Fluid pressure source (compressed air source), 24.25 Valve means (two-position two-port valve), 26. Pressure detection means (differential pressure sensor), 30.
Microcomputer, 31: Initial error component calculation means, 32: Leakage component average value calculation means, 33 Pressure fluctuation average value calculation means (differential pressure average value calculation means), 34b-Leakage component calculation means, 35: Allowance Value setting means, 36b - Good/failure judging means.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)検体に所定の流体圧を付与し、この検体の圧力の
変動を検出してリークの有無を判定するリークテスト方
法において、次の工程を備えたことを特徴とするリーク
テスト方法。 (a)最初に、漏れのない基準容器の疑似リークテスト
を行い、その際に生じる圧力変動ΔPrを検出し、この
圧力変動に基づき初期誤差成分Eoを求める。 (b)その直後から検体のリークテストを順次行う。す
なわち、検出された圧力変動のうちの漏れ成分を許容値
Amaxと比較し、許容値以下の時には良品と判定し、
許容値を超えた時には不良品と判定する。上記疑似リー
クテスト直後の漏れ成分Asは次式から求める。次式に
おいて、ΔPsは検出された圧力変動である。 As=ΔPs−Eo 上記良否判定と合わせて、良品と判定された複数の検体
の漏れ成分Asの平均値Aoを求める。 (c)引き続いて行われる検体のリークテストでは、漏
れ成分Aiは次式から求める。次式において、ΔPiは
検出された圧力変動、ΔPavは、現在テスト中の検体
より前に良品と判定された検体における圧力変動の実質
的な平均値である。 Ai=ΔPi−ΔPav+Ao
(1) A leak test method in which the presence or absence of a leak is determined by applying a predetermined fluid pressure to a sample and detecting changes in the pressure of the sample, the method comprising the following steps. (a) First, a pseudo-leak test is performed on a leak-free reference container, a pressure fluctuation ΔPr occurring at that time is detected, and an initial error component Eo is determined based on this pressure fluctuation. (b) Immediately thereafter, perform leak tests on the specimens one after another. That is, the leakage component of the detected pressure fluctuation is compared with the allowable value Amax, and when it is below the allowable value, it is determined to be a good product.
If the value exceeds the allowable value, the product is determined to be defective. The leakage component As immediately after the pseudo-leak test is determined from the following equation. In the following equation, ΔPs is the detected pressure fluctuation. As=ΔPs−Eo In addition to the above quality determination, the average value Ao of the leakage component As of a plurality of samples determined to be non-defective is determined. (c) In the subsequent leak test of the sample, the leakage component Ai is calculated from the following equation. In the following equation, ΔPi is the detected pressure variation, and ΔPav is the substantial average value of the pressure variation in the sample determined to be good before the sample currently being tested. Ai=ΔPi−ΔPav+Ao
(2)検体に所定の流体圧を付与し、この検体の圧力の
変動を検出してリークの有無を判定するリークテスト方
法において、次の工程を備えたことを特徴とするリーク
テスト方法。 (a)最初に、漏れのない基準容器の疑似リークテスト
を行い、その際に生じる圧力変動ΔPrを検出し、この
圧力変動に基づき初期誤差成分Eoを求める。 (b)その直後に複数の良品の検体の疑似リークテスト
を行って、その圧力変動ΔPsを検出し、この圧力変動
と上記初期誤差成分Eoに基づいて良品の検体の漏れ成
分の平均値Aoを求める。 (c)次に、検体のリークテストを順次行う。 すなわち、検出された圧力変動ΔPiのうちの漏れ成分
Aiを許容値Amaxと比較し、許容値以下の時には良
品と判定し、許容値を超えた時には不良品と判定する。 上記漏れ成分Aiは次式から求める。次式において、Δ
Pavは、現在テスト中の検体より前に良品と判定され
た検体における圧力変動の実質的な平均値である。 Ai=ΔPi−ΔPav+Ao
(2) A leak test method in which the presence or absence of a leak is determined by applying a predetermined fluid pressure to a sample and detecting changes in the pressure of the sample, the method comprising the following steps. (a) First, a pseudo-leak test is performed on a leak-free reference container, a pressure fluctuation ΔPr occurring at that time is detected, and an initial error component Eo is determined based on this pressure fluctuation. (b) Immediately after that, perform a pseudo-leak test on multiple non-defective samples to detect the pressure fluctuation ΔPs, and calculate the average value Ao of the leakage components of the non-defective samples based on this pressure variation and the above initial error component Eo. demand. (c) Next, perform leak tests on the specimens one after another. That is, the leakage component Ai of the detected pressure fluctuation ΔPi is compared with the allowable value Amax, and when it is less than the allowable value, it is determined to be a good product, and when it exceeds the allowable value, it is determined to be a defective product. The above leakage component Ai is determined from the following equation. In the following equation, Δ
Pav is a substantial average value of pressure fluctuations in samples that were determined to be good before the sample currently being tested. Ai=ΔPi−ΔPav+Ao
(3)流体通路と、流体通路の一端に接続された流体圧
源と、流体通路の中途部に配された弁手段と、流体通路
の他端と弁手段との間の圧力を検出する圧力検出手段と
、この圧力検出手段に接続されたマイクロコンピュータ
とを備えたリークテスト装置において、上記マイクロコ
ンピュータが次の構成を備えていることを特徴とするリ
ークテスト装置。 (a)漏れの全くない複数個の基準容器を流体通路の他
端に接続して疑似リークテストを行った際に圧力検出手
段で検出された圧力変動ΔPrの平均値を演算して、初
期誤差成分Eoを求める初期誤差成分演算手段。 (b)上記基準容器の疑似リークテストの直後のテスト
で検出された複数の良品の検体の圧力変動Δpsと上記
初期誤差成分Eoに基づいて漏れ成分の平均値Aoを求
める漏れ成分平均値演算手段。 (c)現在リークテスト中の検体の前に良品と判定され
た複数の検体における圧力変動の実質的な平均値ΔPa
vを演算する圧力変動平均値演算手段。 (d)現在のリークテストで検出された圧力変動ΔPi
のうちの漏れ成分Aiを次式に基づいて演算する漏れ成
分演算手段。 Ai=ΔPi−ΔPav+Ao (e)上記漏れ成分Aiを許容値Amaxと比較して、
許容値以下の場合には良品と判定し、許容値を超えた場
合には不良品と判定する良否判定手段。
(3) Pressure for detecting the pressure between the fluid passage, the fluid pressure source connected to one end of the fluid passage, the valve means arranged in the middle of the fluid passage, and the other end of the fluid passage and the valve means A leak test device comprising a detection means and a microcomputer connected to the pressure detection means, wherein the microcomputer has the following configuration. (a) Calculate the average value of the pressure fluctuation ΔPr detected by the pressure detection means when performing a pseudo leak test by connecting multiple reference containers with no leakage to the other end of the fluid passage, and calculate the initial error. Initial error component calculation means for calculating component Eo. (b) Leak component average value calculation means for calculating the average value Ao of the leak components based on the pressure fluctuation Δps of a plurality of non-defective specimens detected in a test immediately after the pseudo leak test of the reference container and the initial error component Eo. . (c) Substantial average value ΔPa of pressure fluctuations in multiple samples determined to be good before the sample currently undergoing leak testing
Pressure fluctuation average value calculation means for calculating v. (d) Pressure fluctuation ΔPi detected in the current leak test
Leakage component calculation means for calculating the leakage component Ai of the leakage components based on the following equation. Ai=ΔPi−ΔPav+Ao (e) Compare the above leakage component Ai with the allowable value Amax,
A quality determination means that determines the product to be non-defective if it is below the tolerance value, and determines it to be defective if it exceeds the tolerance value.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5367797A (en) * 1993-10-25 1994-11-29 Omega Environmental, Inc. Process for testing a vessel
US5467641A (en) * 1993-02-13 1995-11-21 Lucas Industries Public Limited Company Method of and apparatus for detecting fuel system leak
JP2004219253A (en) * 2003-01-15 2004-08-05 Mitsubishi Rayon Co Ltd Leak inspection method for water purifying cartridge
WO2017104643A1 (en) * 2015-12-14 2017-06-22 株式会社フクダ Leakage inspection device and method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59142748U (en) * 1983-03-14 1984-09-25 トヨタ自動車株式会社 Differential pressure detection type leak test device with learning function
JPS6079132U (en) * 1983-11-04 1985-06-01 株式会社コスモ計器 Leak test device
JPS6434333A (en) * 1987-07-31 1989-02-03 Toshiba Corp Image processing apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59142748U (en) * 1983-03-14 1984-09-25 トヨタ自動車株式会社 Differential pressure detection type leak test device with learning function
JPS6079132U (en) * 1983-11-04 1985-06-01 株式会社コスモ計器 Leak test device
JPS6434333A (en) * 1987-07-31 1989-02-03 Toshiba Corp Image processing apparatus

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5467641A (en) * 1993-02-13 1995-11-21 Lucas Industries Public Limited Company Method of and apparatus for detecting fuel system leak
US5367797A (en) * 1993-10-25 1994-11-29 Omega Environmental, Inc. Process for testing a vessel
JP2004219253A (en) * 2003-01-15 2004-08-05 Mitsubishi Rayon Co Ltd Leak inspection method for water purifying cartridge
WO2017104643A1 (en) * 2015-12-14 2017-06-22 株式会社フクダ Leakage inspection device and method
JPWO2017104643A1 (en) * 2015-12-14 2018-10-04 株式会社フクダ Leak inspection apparatus and method
CN108700485A (en) * 2015-12-14 2018-10-23 日本福田株式会社 Leak inspection device and method
US10816434B2 (en) 2015-12-14 2020-10-27 Fukuda Co., Ltd. Apparatus and method for leak testing

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