JPH04131961U - Monitor structure in solid-state laser equipment - Google Patents
Monitor structure in solid-state laser equipmentInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フォトダイオードの信号と実際のレーザパワ
ーとの比例関係がとれるようにする。
【構成】 本モニタ構造は、発振器(図示せず)から出
射されたレーザ光10を一部反射させるハーフミラー1
1と、このハーフミラー11で反射されたレーザ光12
をフォトダイオード13側へ反射しかつ白板に砂目処理
を施した非平坦面状の拡散板14と、このフォトダイオ
ード13の拡散板14寄り側に配置されたフィルタ15
とから構成されている。
(57) [Summary] [Purpose] To establish a proportional relationship between the photodiode signal and the actual laser power. [Structure] This monitor structure includes a half mirror 1 that partially reflects a laser beam 10 emitted from an oscillator (not shown).
1 and a laser beam 12 reflected by this half mirror 11
a non-flat diffuser plate 14 that reflects light toward the photodiode 13 and has a grained white plate; and a filter 15 disposed on the side of the photodiode 13 closer to the diffuser plate 14.
It is composed of.
Description
【0001】0001
本考案は、固体レーザ装置におけるモニタ構造に係わり、特に、レーザロッド として3価の希土類元素イオンNd3+を含んだYAGを使用したNd:YAGレ ーザ装置におけるモニタ構造に関する。The present invention relates to a monitor structure in a solid-state laser device, and particularly to a monitor structure in an Nd:YAG laser device using YAG containing trivalent rare earth element ions Nd 3+ as a laser rod.
【0002】0002
従来の固体レーザ装置におけるモニタ構造は図3に示すように構成されている 。図3において、発振器(図示せず)から出射されたレーザ光1は第1のハーフ ミラー2にて数%反射され、直進するレーザ光3は実加工に利用される。一方、 反射されたレーザ光4は、第2のハーフミラー5にてさらに数%反射されると共 に、拡散板6にて拡散される。この後、フィルタ7にて減衰され、フォトダイオ ード8にて受光されるようになっている。そして、この受光された光は、フォト ダイオード8にて信号に変換され、レーザパワーのモニタ表示として使用される 。なお、第1のハーフミラー2、第2のハーフミラー5は誘電体多層膜を蒸着し たガラス板であり、多層膜の膜厚により反射光と透過光の分配比を自由に選択で きるようになっている。 The monitor structure in a conventional solid-state laser device is configured as shown in Figure 3. . In FIG. 3, a laser beam 1 emitted from an oscillator (not shown) is in a first half. The laser beam 3, which is reflected by a few percent by the mirror 2 and travels straight, is used for actual processing. on the other hand, The reflected laser beam 4 is further reflected by a few percent at the second half mirror 5 and Then, the light is diffused by the diffusion plate 6. After that, it is attenuated by filter 7, and the photodiode The light is received by the card 8. This received light then becomes a photo It is converted into a signal by diode 8 and used as a monitor display of laser power. . Note that the first half mirror 2 and the second half mirror 5 are made by depositing a dielectric multilayer film. The distribution ratio of reflected light and transmitted light can be freely selected depending on the thickness of the multilayer film. It is now possible to
【0003】0003
しかしながら、従来の固体レーザ装置におけるモニタ構造においては、拡散板 6がフォトダイオード8の近くに配置されているため、十分にレーザ光4が拡散 されない状態でフォトダイオード8に入光する。したがって、フォトダイオード 8で信号をモニタリングした場合、このフォトダイオード8の信号と実際のレー ザパワーとの比例関係がとれなくなる場合があるという問題があった。また、単 に拡散板6にモニタするレーザ光4を透過させただけであっても、同様な問題が あった。 However, in the monitor structure of conventional solid-state laser devices, the diffuser plate 6 is placed near the photodiode 8, so the laser beam 4 is sufficiently diffused. The light enters the photodiode 8 in a state where it is not detected. Therefore, the photodiode When monitoring the signal with 8, the signal of this photodiode 8 and the actual laser There was a problem in that there were cases where the proportional relationship with The Power could not be established. Also, simple Even if the laser beam 4 to be monitored is simply transmitted through the diffuser plate 6, a similar problem occurs. there were.
【0004】 本考案の目的は上述した問題に鑑みなされたもので、フォトダイオードの信号 と実際のレーザパワーとの比例関係がとれるようにした固体レーザ装置における モニタ構造を提供するにある。0004 The purpose of this invention was made in view of the above-mentioned problems. In a solid-state laser device that has a proportional relationship between Provides a monitor structure.
【0005】[0005]
前記した目的を達成するために本考案は、発振器から出射されたレーザ光を一 部反射させるハーフミラーと、このハーフミラーで反射されたレーザ光をフォト ダイオード側へ反射される拡散板を備えた固体レーザ装置におけるモニタ構造に おいて、前記した拡散板は非平坦面状に形成された構成としたものである。 In order to achieve the above object, the present invention combines laser light emitted from an oscillator. A half mirror that partially reflects the laser beam and a photo of the laser beam reflected by this half mirror. For the monitor structure in a solid-state laser device equipped with a diffuser plate that reflects back to the diode side. In this case, the above-mentioned diffusion plate has a non-flat configuration.
【0006】[0006]
このように本考案によれば、発振器より出射されたレーザ光を拡散板にて反射 および拡散した後、フォトダイオードに入光させるようにしているので、十分に レーザ光が拡散した状態でフォトダイオードに入光し、フォトダイオードの信号 と実際のレーザパワーとの比例関係がとれる。また、レーザ光の出射位置からフ ォトダイオードの位置までの同一距離で拡散板を透過拡散に使用する場合に比べ て、反射拡散に使用する場合の方が、フォトダイオードの信号と実際のレーザパ ワーとの比例関係がとれる。 In this way, according to the present invention, the laser light emitted from the oscillator is reflected by the diffuser plate. After the light is diffused, the light enters the photodiode, so there is sufficient The laser light enters the photodiode in a diffused state, and the signal from the photodiode is and the actual laser power. Also, the distance from the laser beam emission position is Compared to using a diffuser plate for transmission diffusion at the same distance to the photodiode position. Therefore, when using reflection diffusion, it is better to separate the photodiode signal from the actual laser beam. A proportional relationship can be established with wa.
【0007】[0007]
次に、本考案について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
【0008】 図1は本考案に係わる固体レーザ装置におけるモニタ構造の一実施例を示す概 略構成図である。本モニタ構造は、発振器(図示せず)から出射されたレーザ光 10を一部反射させるハーフミラー11と、このハーフミラー11で反射された レーザ光12をフォトダイオード13側へ反射させかつ非平坦面状、本実施例に あっては白板に砂目処理を施して板面が凹凸状になるよう形成された拡散板14 と、このフォトダイオード13の拡散板14寄り側に配置されたフィルタ15と から構成されている。拡散板14はフォトダイオード13と所定距離離間して配 置されている。[0008] Figure 1 shows a schematic diagram of an embodiment of a monitor structure in a solid-state laser device according to the present invention. It is a schematic configuration diagram. This monitor structure uses laser light emitted from an oscillator (not shown). A half mirror 11 that partially reflects 10, and the reflected light from this half mirror 11 In this embodiment, the laser beam 12 is reflected toward the photodiode 13 side and has a non-flat surface. The diffusion plate 14 is formed by applying a grain treatment to a white plate so that the plate surface has an uneven shape. and a filter 15 arranged on the side closer to the diffusion plate 14 of this photodiode 13. It consists of The diffusion plate 14 is arranged at a predetermined distance from the photodiode 13. It is placed.
【0009】 次に、作用について説明する。まず、レーザ発振器から出射されたレーザ光1 0は、ハーフミラー11にて数%反射され、ハーフミラー11を透過して直進す るほぼ100%のレーザ光16は実加工に利用される。一方、ハーフミラー11 で反射されたレーザ光12は、白板に砂目処理を施した非平坦面状の拡散板14 にて反射され、拡散均一化される。そして、この反射して拡散されたレーザ光1 7はフィルタ15にて減衰され、フォトダイオード13にて受光される。そして 、この受光されたレーザ光はフォトダイオード13にて信号に変換され、レーザ パワーのモニタ表示として使用される。[0009] Next, the effect will be explained. First, the laser beam 1 emitted from the laser oscillator 0 is reflected by a few percent by the half mirror 11, passes through the half mirror 11, and travels straight. Almost 100% of the laser beam 16 is used for actual processing. On the other hand, half mirror 11 The laser beam 12 reflected by It is reflected and diffused and made uniform. Then, this reflected and diffused laser beam 1 7 is attenuated by a filter 15 and received by a photodiode 13. and , this received laser light is converted into a signal by the photodiode 13, and the laser beam is converted into a signal by the photodiode 13. Used as a power monitor display.
【0010】 図2は本考案に係わる固体レーザ装置におけるモニタ構造の他の実施例を示す 図である。本実施例においては、ハーフミラー11と拡散板14との間にハーフ ミラー11にて反射されたレーザ光12を透過拡散させる拡散板18を備えた構 成としたものである。なお、フォトダイオード13、フィルタ15等の構成は上 述した第1実施例の構成と同様であるのでその説明は省略する。0010 FIG. 2 shows another embodiment of the monitor structure in the solid-state laser device according to the present invention. It is a diagram. In this embodiment, a half mirror is provided between the half mirror 11 and the diffuser plate 14. A structure including a diffuser plate 18 that transmits and diffuses the laser beam 12 reflected by the mirror 11. It was completed. The configuration of the photodiode 13, filter 15, etc. is as above. Since the configuration is similar to that of the first embodiment described above, the explanation thereof will be omitted.
【0011】 この実施例において、レーザ発振器から出射されたレーザ光10はハーフミラ ー11にて数%反射される。そしてこのハーフミラー11にて反射されたレーザ 光12は、まず拡散板18にて透過拡散させられた後、この拡散光を白板に砂目 処理を施した非平坦面状の拡散板14にて反射拡散させる。このような構成によ り、より均一化されたレーザ光17をフォトダイオード13に受光させることが 可能となる。[0011] In this embodiment, the laser beam 10 emitted from the laser oscillator is a half mirror. A few percent is reflected at -11. And the laser reflected by this half mirror 11 The light 12 is first transmitted and diffused by the diffuser plate 18, and then this diffused light is passed through a white plate with grains. The light is reflected and diffused by a treated non-flat diffuser plate 14. With this kind of configuration, This allows the photodiode 13 to receive a more uniform laser beam 17. It becomes possible.
【0012】0012
以上説明したように本考案に係わる固体レーザ装置におけるモニタ構造によれ ば、モニタリングするために発振器から出射されたレーザ光を、例えば白板に砂 目処理を施した非平坦面状の拡散板にて反射および拡散し、フォトダイオードに 入光させるよう構成したので、十分にレーザ光が拡散した状態でフォトダイオー ドに入光することになり、したがってフォトダイオードの信号と実際のレーザパ ワーとの比例関係がとれ、レーザパワーのモニタ表示が良好の実現できるという 効果を奏する。また、レーザ光の出射位置からフォトダイオードの位置までの同 一距離で、拡散板を透過拡散に使用する場合に比較して反射拡散に使用する場合 の方が、フォトダイオードの信号と実際のレーザパワーとの比例関係がとれると いう効果も有する。 As explained above, due to the monitor structure in the solid-state laser device related to the present invention, For example, the laser beam emitted from the oscillator can be placed on a white board with sand for monitoring. It is reflected and diffused by a non-flat diffuser plate that has undergone eye treatment, and is transmitted to the photodiode. Since the configuration is such that the laser light enters the photodiode in a sufficiently diffused state, Therefore, the photodiode signal and the actual laser beam are It is said that the laser power can be displayed in good proportion to the laser power on the monitor. be effective. Also, the distance from the laser beam emission position to the photodiode position is At one distance, when using a diffuser for reflective diffusion compared to when using it for transmission diffusion It is better to have a proportional relationship between the photodiode signal and the actual laser power. It also has the effect of
【図1】本考案に係わる固体レーザ装置におけるモニタ
構造の一実施例を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a monitor structure in a solid-state laser device according to the present invention.
【図2】同モニタ構造の他の実施例を示す概略構成図で
ある。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the same monitor structure.
【図3】従来のモニタ構造の一例を示す概略構成図であ
る。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing an example of a conventional monitor structure.
10、12、16、17 レーザ光 11 ハーフミラー 13 フォトダイオード 14、18 拡散板 10, 12, 16, 17 Laser light 11 Half mirror 13 Photodiode 14, 18 Diffusion plate
Claims (1)
射させるハーフミラーと、このハーフミラーで反射され
たレーザ光をフォトダイオード側へ反射させる拡散板を
備えた固体レーザ装置におけるモニタ構造において、前
記拡散板は非平坦面状に形成されてなることを特徴とす
る固体レーザ装置におけるモニタ構造。1. A monitor structure in a solid-state laser device comprising a half mirror that partially reflects a laser beam emitted from an oscillator, and a diffuser plate that reflects the laser beam reflected by the half mirror toward a photodiode. A monitor structure in a solid-state laser device, wherein the diffuser plate is formed into a non-flat surface.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3843791U JPH04131961U (en) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | Monitor structure in solid-state laser equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP3843791U JPH04131961U (en) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | Monitor structure in solid-state laser equipment |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04131961U true JPH04131961U (en) | 1992-12-04 |
Family
ID=31919943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3843791U Pending JPH04131961U (en) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | Monitor structure in solid-state laser equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04131961U (en) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56101524A (en) * | 1980-01-17 | 1981-08-14 | Nec Corp | Monitoring device for laser energy |
JPH01156629A (en) * | 1987-12-15 | 1989-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | Laser energy detector |
JPH033376A (en) * | 1989-05-31 | 1991-01-09 | Komatsu Ltd | Cooling apparatus for solid-state laser device |
-
1991
- 1991-05-28 JP JP3843791U patent/JPH04131961U/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH01156629A (en) * | 1987-12-15 | 1989-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | Laser energy detector |
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