JPH04126533A - Method and apparatus for producing inorganic sphered particles - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばtCの封止材料として用いられる溶
融球状化した無機質粒子の製造方法及びそれに利用され
る装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing molten spheroidal inorganic particles used, for example, as a sealing material for tC, and an apparatus used therefor.
ICの封止剤には、電気絶縁性、低熱膨張率等の機能が
要求される。そこで、一般には溶融処理したアモルファ
ス状のシリカ粒子などの無機質粒子にエポキシ樹脂など
の熱硬化性樹脂を混ぜて、この混合物を用いて封止を行
なっている。近年、この無機質粒子として球形状の粒子
を用いると、流動性に優れ樹脂封止を行ないやすいとい
う長所があることがわかり、球形状の溶融無機質粒子が
多く用いられるに至っている。この球形状の無機質粒子
の製造方法は、例えば特開昭58−145613号公報
等に開示されている。この従来の方法においては、炉は
球状化室とその下部に接続された冷却室により構成され
、炉の頂部より原料粉末と共に火炎を噴射して原料粉末
の表面もしくは全体を溶融し、その表面張力で原料粉末
を球状化させている。このようにして球状化処理された
原料粉末を冷却室で冷却固化されて、後続の捕集系に導
かれる。上記捕集系には例えばサイクロン、バグフィル
タ−等の捕集機が設置されている。IC encapsulants are required to have functions such as electrical insulation and low coefficient of thermal expansion. Therefore, in general, a thermosetting resin such as an epoxy resin is mixed with melt-treated inorganic particles such as amorphous silica particles, and this mixture is used for sealing. In recent years, it has been found that the use of spherical particles as the inorganic particles has the advantage of superior fluidity and ease of resin sealing, and spherical molten inorganic particles have come to be widely used. A method for producing spherical inorganic particles is disclosed, for example, in Japanese Patent Application Laid-open No. 145613/1983. In this conventional method, the furnace consists of a spheroidizing chamber and a cooling chamber connected to the bottom of the spheroidizing chamber, and a flame is injected from the top of the furnace along with the raw material powder to melt the surface or the entire raw material powder, and the surface tension The raw material powder is spheroidized. The raw material powder spheroidized in this manner is cooled and solidified in a cooling chamber, and then guided to a subsequent collection system. The collection system is equipped with a collection device such as a cyclone or a bag filter.
従来のバーナーの一例を第6図及び第7図に示す、この
バーナーは円柱状ブロックの内部がテーパ状に剤数され
て燃焼部が形成され、該テーパ面の上部には8個の可燃
ガス吐出孔13が、そして真中のやや下にはやはり8個
の助燃ガス吐出孔14が形成されている。原料の無機質
粒子は燃焼部の上部に連接された原料供給管15がら供
給される。An example of a conventional burner is shown in Figs. 6 and 7. In this burner, the inside of a cylindrical block is tapered to form a combustion section, and the upper part of the tapered surface contains 8 pieces of combustible gas. A discharge hole 13 is formed, and eight auxiliary gas discharge holes 14 are formed slightly below the center. Inorganic particles as a raw material are supplied from a raw material supply pipe 15 connected to the upper part of the combustion section.
しかし、以上の様な従来の方法においては、第6図に示
すように、可燃ガスと助燃ガスを平行にあるいは対向さ
せて中心に向けて噴射し、その下流に火炎を形成するタ
イプのバーナーを用いている。このバーナーでは原料粉
末を溶融球状化処理するのに有効な高温の火炎領域はバ
ーナー直下のごく限られた狭い範囲である。その結果、
相当量の原料粉末は高温の火炎部を通過しないため完全
に溶融球状化が行われず、球状化率(球状化した粉末の
重量/回収した製品粉末の重量)が低い。However, in the conventional method described above, as shown in Fig. 6, a type of burner is used that injects combustible gas and auxiliary gas toward the center in parallel or facing each other, and forms a flame downstream. I am using it. In this burner, the high-temperature flame region effective for melting and spheroidizing the raw material powder is a very limited and narrow area directly below the burner. the result,
Since a considerable amount of the raw material powder does not pass through the high-temperature flame section, it is not completely melted and spheroidized, and the spheroidization rate (weight of spheroidized powder/weight of recovered product powder) is low.
また球状化率を上げるためには、使用する可燃ガスの量
を増やす必要があり、製品球状体当りの可燃ガスの使用
量が多くなって燃料原単位が大きくなるといった問題点
もあった。さらに、このような方式のバーナーでは原料
粉末を大量に連続供給すると原料粉末が凝集しやすく、
その結果、凝集した原料粉末が溶融球状化されず、球状
化率が低くなるといった問題点もあった。In addition, in order to increase the spheroidization rate, it is necessary to increase the amount of combustible gas used, and there is also a problem that the amount of combustible gas used per product spherical body increases, resulting in a large fuel consumption rate. Furthermore, in this type of burner, if a large amount of raw material powder is continuously supplied, the raw material powder tends to agglomerate.
As a result, there was a problem that the aggregated raw material powder was not melted and spheroidized, resulting in a low spheroidization rate.
本発明は上記課題を解決して少ない可燃ガス量で効率よ
く、高い球状化率で無機質原料粉末を球状化しうる手段
を提供するものである。The present invention solves the above problems and provides a means for efficiently spheroidizing inorganic raw material powder with a high spheroidization rate using a small amount of combustible gas.
かかる本発明は、炉内に高温火炎および無機質原料粉末
を噴射し、原料粉末を溶融球状化する方法において、可
燃ガス中に予め無機質原料粉末を混入させて高温火炎を
噴射するバーナーへ供給し、可燃ガスと該原料粉末の混
合物をバーナー内に設けられたノズルから放射状に噴射
し、助燃ガスはバーナー内壁から旋回流を生じるように
噴射することを特徴とする無機質球状化粒子の製造方法
と° その方法に用いられる装置に関するもので
ある。According to the present invention, in a method of melting and spheroidizing raw material powder by injecting a high-temperature flame and inorganic raw material powder into a furnace, the inorganic raw material powder is mixed in combustible gas in advance and supplied to a burner that injects high-temperature flame, A method for producing inorganic spheroidized particles, characterized in that a mixture of a combustible gas and the raw material powder is injected radially from a nozzle provided in a burner, and an auxiliary gas is injected from an inner wall of the burner so as to generate a swirling flow. The present invention relates to an apparatus used in the method.
高温火炎は無機質原料粉末を溶融して球状化しうる温度
と熱量を有するものであればよく、例えば水素ガス、メ
タン、エタン、プロパン、ブタン、エチレン、アセチレ
ン、LNG、LPG等の炭化水素ガス、ベンゼン、トル
エン、ガソリン、軽油、灯油等の常温では液状の炭化水
素等の可燃ガスに酸素等の助燃ガスを混合し燃焼させて
形成する。The high-temperature flame may be anything that has a temperature and heat amount that can melt the inorganic raw material powder and make it spherical, such as hydrogen gas, methane, ethane, propane, butane, ethylene, acetylene, hydrocarbon gas such as LNG, LPG, benzene, etc. It is formed by mixing a combustible gas such as a hydrocarbon that is liquid at room temperature, such as toluene, gasoline, diesel oil, or kerosene, with an auxiliary gas such as oxygen and burning the mixture.
無機質原料粉末はシリカ、アルミナ、マグネシア等であ
り、粒径は0.1〜500n程度、好ましくは3〜40
.n程度のものが適当である。The inorganic raw material powder is silica, alumina, magnesia, etc., and the particle size is about 0.1 to 500 nm, preferably 3 to 40 nm.
.. A value of about n is appropriate.
可燃ガスと無機質原料粉末の混合割合は可燃ガス種類、
無機質原料粉末の種類、粒径等によって異なるが通常1
〜100 (kg原料7NII3燃料)程度の範囲から
適宜選択される。好ましい配合割合を定めるために必要
により実験を行なうことができる。The mixing ratio of combustible gas and inorganic raw material powder depends on the type of combustible gas,
It varies depending on the type of inorganic raw material powder, particle size, etc., but usually 1
Appropriately selected from the range of ~100 (kg raw material 7 NII 3 fuel). Experiments can be conducted as necessary to determine a preferred blending ratio.
本発明の無機質球状化粒子の製造方法に使用される装置
は炉に高温火炎を噴射するバーナーが付設されたもので
ある。The apparatus used in the method for producing spheroidized inorganic particles of the present invention is a furnace equipped with a burner that injects high-temperature flame.
バーナーには可燃ガスと無機質原料粉末の混合物を噴射
するノズルと助燃ガス吐出孔を設ける。The burner is provided with a nozzle for injecting a mixture of combustible gas and inorganic raw material powder, and an auxiliary gas discharge hole.
可燃ガスと無機質原料粉末の混合方法は常法によればよ
く、粉末を必要により撹拌しながら定量供給して可燃ガ
スの気流配管に加えればよい。そのほかエジェクター等
を利用することもできる。The combustible gas and the inorganic raw material powder may be mixed by a conventional method, and the powder may be supplied in a fixed amount while stirring if necessary, and added to the combustible gas air flow pipe. In addition, an ejector etc. can also be used.
混合物を噴射するノズルは混合物を放射状に噴射しうる
ように構成する。このため混合物の吐出孔をノズルに複
数、例えば3個以上の吐出孔を周方向に略等間隔に設け
てもよく、あるいは全周にスリットを形成してもよい。The nozzle for spraying the mixture is configured to spray the mixture radially. For this purpose, a plurality of discharge holes for the mixture may be provided in the nozzle, for example, three or more discharge holes may be provided at approximately equal intervals in the circumferential direction, or slits may be formed all around the circumference.
混合物の吐出角度(第1図におけるθ)はバーナー本体
内壁の溶損を防止し、かつ、原料粉末の炉内への均一分
散を良好にするため、バーナー中心軸とノズル中心軸が
一致している場合には、バーナー中心軸に対して20”
〜80@、特北30’〜50゜の範囲に設定するのが望
ましい。各吐出孔の吐出角度は一定でなくてもよい。The discharge angle of the mixture (θ in Figure 1) should be set so that the burner center axis and nozzle center axis are aligned in order to prevent melting of the inner wall of the burner body and to ensure uniform dispersion of raw material powder into the furnace. 20” to the burner center axis if
It is desirable to set the angle in the range of ~80° and 30'~50°. The discharge angle of each discharge hole may not be constant.
助燃ガス吐出孔はバーナー本体内壁から旋回流を生じる
ように形成する。助燃ガス吐出角度(第2図におけるφ
)は旋回流による効果の確保のため20°以上がよく、
一方、旋回流が強くなりすぎると原料粉末の炉内壁への
付着量が増加し、製品の回収率が低下するので60°以
下が適当である。The auxiliary gas discharge hole is formed to generate a swirling flow from the inner wall of the burner main body. Assisting gas discharge angle (φ in Fig. 2
) is preferably 20° or more to ensure the effect of swirling flow.
On the other hand, if the swirling flow becomes too strong, the amount of raw material powder adhering to the inner wall of the furnace will increase and the product recovery rate will decrease.
助燃ガスのバーナー軸方向に対する吐出角度は直角に限
定されない。The discharge angle of the auxiliary gas with respect to the burner axis direction is not limited to a right angle.
混合物吐出孔と助燃ガス吐出孔との軸方向の距離L(第
1図参照)については、混合物吐出孔が助燃ガス吐出孔
よりもバーナー開口側にある場合を(+)、その逆を(
−)とすると、Lが(−)となる場合には燃料ガスノズ
ルの先端が溶損する可能性があり、また、(+)側0.
25D (D :バーナー本体内径、第1図参照)を越
える範囲では燃焼が不安定となる場合があるので、0〜
0.25Dの範囲に設定することが望ましい。Regarding the axial distance L between the mixture discharge hole and the auxiliary gas discharge hole (see Figure 1), (+) indicates that the mixture discharge hole is closer to the burner opening than the auxiliary gas discharge hole;
-), if L is (-), the tip of the fuel gas nozzle may be damaged by melting, and the (+) side may be 0.
Combustion may become unstable in a range exceeding 25D (D: internal diameter of the burner body, see Figure 1), so
It is desirable to set it within a range of 0.25D.
炉におけるバーナーの取付位置は通常は炉の上部である
が、それに限定されるものではなく、炉の構造等に応じ
側壁部又は底部に設けてもよい。The burner in the furnace is usually installed at the top of the furnace, but is not limited thereto, and may be installed at the side wall or bottom depending on the structure of the furnace.
装置の他の設備としては、炉から排出された溶融球状化
粒子の冷却器、捕集器、分級器等を適宜膜ければよい。Other equipment of the apparatus may include a cooler, a collector, a classifier, etc. for the molten spheroidized particles discharged from the furnace.
このような高温の火炎中に直接原料粉末を吹込んで溶融
球状化するプロセスにおいては、いかに高温火炎領域を
広範囲に、かつ、安定して形成するか、また、形成され
た高温火炎中にいかに原料粉末を均一に吹込むかという
ことが重要な技術となる。本発明においては、原料粉末
を高温の火炎中に均一に吹込むために、あらかじめ可燃
ガス中に原料粉末を混入させて、原料粉末が可燃ガス中
に十分に混合された状態にしてバーナーに供給すること
で、前記バーナーによる原料粉末の均−分散吹き込みの
効果をより一層高めている。また、助燃ガス吐出孔に旋
回角度φを持たせているのは、バーナー本体内で助燃ガ
スに旋回流を生じさせるためで、この旋回流によりバー
ナー内側に負圧領域が形成され、この負圧によりガスが
再循環するために燃焼が促進され急速燃焼が実現し、高
温火炎領域を広範囲にしかも安定して形成する。さらに
、この旋回流により炉内に噴射された原料粉末は高温の
燃焼ガス中を均一に分散した状態で通過する。その結果
、原料粉末とガスとの熱授受が瞬時に行われ、溶融球状
化が促進される。In the process of melting and spheroidizing raw material powder by directly blowing it into a high-temperature flame, it is important to know how to form a high-temperature flame region over a wide range and stably. An important technique is how to inject the powder evenly. In the present invention, in order to uniformly blow the raw material powder into a high-temperature flame, the raw material powder is mixed into combustible gas in advance, and the raw material powder is supplied to the burner in a sufficiently mixed state in the combustible gas. This further enhances the effect of uniformly dispersing the raw material powder by the burner. In addition, the reason why the auxiliary gas discharge hole has a swirling angle φ is to generate a swirling flow in the auxiliary gas within the burner body, and this swirling flow forms a negative pressure area inside the burner, and this negative pressure As the gas recirculates, combustion is promoted and rapid combustion is achieved, creating a wide and stable high-temperature flame region. Furthermore, the raw material powder injected into the furnace by this swirling flow passes through the hot combustion gas in a uniformly dispersed state. As a result, heat transfer between the raw material powder and the gas occurs instantaneously, promoting molten spheroidization.
第1図及び第2図に示すバーナーを装着した第3図に示
す装置を用いた。The apparatus shown in FIG. 3 equipped with the burner shown in FIGS. 1 and 2 was used.
バーナー1は、2重管状のバーナー本体の内管にあたる
バーナータイル内壁5の閉止端から管状のノズル4が内
方に同軸に突設されている。ノズルの先端は閉止されて
その内面は円錐状に突出しており、先端近傍の側部には
8個の混合物吐出孔3がノズルの軸方向と45″の角度
で等間隔に穿設されている。バーナータイル内壁5には
、16個の助燃ガス吐出孔2が同方向に等間隔をおいて
それぞれ法線方向と45°の角度で穿設されている。助
燃ガス吐出孔2の位置は混合物吐出孔3より0. ID
後退している。In the burner 1, a tubular nozzle 4 coaxially protrudes inward from a closed end of a burner tile inner wall 5, which is an inner tube of a double-tubular burner main body. The tip of the nozzle is closed and its inner surface protrudes conically, and eight mixture discharge holes 3 are bored at equal intervals at an angle of 45'' with respect to the axial direction of the nozzle on the side near the tip. In the burner tile inner wall 5, 16 auxiliary gas discharge holes 2 are bored in the same direction at equal intervals and at an angle of 45° with respect to the normal direction. 0. ID from discharge hole 3
It's retreating.
このバーナー1は底部が拡径された2段筒状の炉本体9
の頂部に取付けられている。ノズルには可燃ガス供給管
が接続され、その途中には原料粉体を混合する分岐部8
が設けられている。分岐部8には原料粉体のホッパー7
が定置フィーダー(図示されていない、)を介して配管
接続されている。This burner 1 has a two-stage cylindrical furnace body 9 with an enlarged diameter at the bottom.
is attached to the top of the A combustible gas supply pipe is connected to the nozzle, and there is a branch part 8 in the middle of the pipe that mixes the raw material powder.
is provided. The branching part 8 has a hopper 7 for raw material powder.
are connected via a stationary feeder (not shown).
炉本体9は溶融球状化を行う溶融帯と、その下部に接続
された冷却帯により構成され、さらに該冷却帯から冷却
室10を介してサイクロン11が設置されている。12
はプロワ−である。The furnace main body 9 is composed of a melting zone for spheroidizing the melt and a cooling zone connected to the lower part of the melting zone, and a cyclone 11 is installed from the cooling zone via a cooling chamber 10. 12
is a prower.
以上述べた装置で、バーナーから可燃ガスとしてL P
G 15N+w3/hr、助燃ガスとして酸素75N
m+’/hr、原料粉末として平均粒径30nのシリカ
粉末を・150 kg / h rの条件で炉内に噴射
し、溶融球状化試験を行ったところ、球状化率(95%
)で、しかも不純物混入のない高品位の溶融球状化シリ
カ粒子を得た。With the above-described device, L P is released as combustible gas from the burner
G 15N+w3/hr, oxygen 75N as auxiliary gas
When a molten spheroidization test was conducted by injecting silica powder with an average particle size of 30n as a raw material powder into the furnace at a rate of 150 kg/hr, the spheroidization rate (95%
), high-grade fused spheroidal silica particles free from impurities were obtained.
尚、比較のために第6図に示すバーナーを用いて球状化
試験を行った結果を比較例として、本実施例の結果と共
に第1表に示す、また、本実施例および比較例により得
られた球状化粒子の顕微鏡写真を第4図及び第5図に示
す。For comparison, the results of a spheroidization test using the burner shown in FIG. 6 are shown as a comparative example in Table 1 along with the results of this example. Microscopic photographs of the spheroidized particles are shown in FIGS. 4 and 5.
第1表
〔発明の効果〕
本発明によって、高温の溶融可能な火炎領域を広くする
ことが可能になるのと同時に、高温ガス中に原料粉末を
均一分散することによって、原料粉末とガスとの熱授受
が瞬時に行われるため、溶融球状化が促進される。その
結果、従来方法よりも球状化率が上がる。また、同じ球
状化率を得る場合にも従来方法よりも少ない可燃ガス量
で溶融可能となり、燃料原単位が小さくなる等のメリッ
トがある。Table 1 [Effects of the Invention] According to the present invention, it is possible to widen the flame area where high-temperature melting is possible, and at the same time, by uniformly dispersing the raw material powder in the high-temperature gas, the raw material powder and the gas can be Since heat transfer occurs instantaneously, molten spheroidization is promoted. As a result, the spheroidization rate is higher than in the conventional method. Further, even when obtaining the same spheroidization rate, melting can be performed with a smaller amount of combustible gas than in the conventional method, and there are advantages such as a reduction in fuel consumption.
本発明によれば、高純度の無機質球状化粒子を非常に効
率良く安定して得られる利点がある。According to the present invention, there is an advantage that highly pure inorganic spheroidized particles can be obtained very efficiently and stably.
第1図は本発明の実施例で使用されたバーナーの要部横
断面図であり、第2図は両畦出孔を通るように切断した
縦断面図である。第3図は本発明の実施例で使用された
装置の概略図である。第4図は実施例で得られた溶融球
状化粒子のそして第5図は比較例で得られた溶融球状化
粒子の構造を示す図面代用の顕微鏡写真である。第6図
は従来のバーナーの一例の断面図であり、第7図はその
平面図である。
1・・・バーナー
2・・・助燃ガス吐出孔
3・・・混合物吐出孔
4・・・ノズル
5・・・バーナータイル内壁
6・・・バーナータイル外壁
7・・・原料ホッパー
8・・・分岐部
9・・・炉本体
10・・・冷却室
11・・・サイクロン
12・・・ブロワ−FIG. 1 is a cross-sectional view of the main part of a burner used in an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a vertical cross-sectional view taken through both ridge holes. FIG. 3 is a schematic diagram of the apparatus used in the embodiment of the invention. FIG. 4 is a micrograph showing the structure of the molten spheroidized particles obtained in the Examples, and FIG. 5 is a photomicrograph substituted for a drawing showing the structure of the molten spheroidized particles obtained in the Comparative Example. FIG. 6 is a sectional view of an example of a conventional burner, and FIG. 7 is a plan view thereof. 1... Burner 2... Combustion auxiliary gas discharge hole 3... Mixture discharge hole 4... Nozzle 5... Burner tile inner wall 6... Burner tile outer wall 7... Raw material hopper 8... Branch Part 9... Furnace body 10... Cooling chamber 11... Cyclone 12... Blower
Claims (2)
原料粉末を溶融球状化する方法において、可燃ガス中に
予め無機質原料粉末を混入させて高温火炎を噴射するバ
ーナーへ供給し、可燃ガスと該原料粉末の混合物をバー
ナー内に設けられたノズルから放射状に噴射し、助燃ガ
スはバーナー内壁から旋回流を生じるように噴射するこ
とを特徴とする無機質球状化粒子の製造方法(1) Inject high temperature flame and inorganic raw material powder into the furnace,
In a method of melting and spheroidizing raw material powder, inorganic raw material powder is mixed in combustible gas in advance and supplied to a burner that injects a high-temperature flame, and the mixture of combustible gas and raw material powder is radially ejected from a nozzle installed in the burner. and the auxiliary combustion gas is injected from the inner wall of the burner so as to generate a swirling flow.
おいて、該バーナーの中央部に可燃ガスと無機質原料粉
末の混合物を放射状に噴射するノズルを設け、バーナー
にはその内壁から助燃ガスの旋回流を生じるように形成
した助燃ガス吐出孔を設け、前記ノズルの開口端を助燃
ガス吐出孔よりもバーナー開口端側に設けたことを特徴
とする無機質球状化粒子製造装置(2) In a device equipped with a burner that injects a high-temperature flame into the furnace, a nozzle that injects a mixture of combustible gas and inorganic raw material powder radially is provided in the center of the burner, and the burner is provided with a swirling auxiliary gas from its inner wall. An apparatus for producing spheroidized inorganic particles, characterized in that an auxiliary gas discharge hole formed to generate a flow is provided, and the opening end of the nozzle is provided closer to the burner opening end than the auxiliary gas discharge hole.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24730290A JPH04126533A (en) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Method and apparatus for producing inorganic sphered particles |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24730290A JPH04126533A (en) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Method and apparatus for producing inorganic sphered particles |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04126533A true JPH04126533A (en) | 1992-04-27 |
Family
ID=17161400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24730290A Pending JPH04126533A (en) | 1990-09-19 | 1990-09-19 | Method and apparatus for producing inorganic sphered particles |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04126533A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016204718A (en) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | ハード工業有限会社 | Powder manufacturing apparatus |
-
1990
- 1990-09-19 JP JP24730290A patent/JPH04126533A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016204718A (en) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | ハード工業有限会社 | Powder manufacturing apparatus |
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