JPH04126147U - 微粒子検出装置用の多点入力切換機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微粒子検出装置用の多点入力切換機構におい
て、内部構造からの発塵の影響を受けずに検出精度を向
上する。 【構成】 被測定ガスの個々の吸入切換部を電磁弁２０
ａとし、この電磁弁２０ａの弁座２８と当接する接液部
２７を発塵の少ない材質で形成すると共にその周縁を当
該接液部２７が上下移動する空間部の内側壁に接すると
ころまで延長して上方の駆動部分との間を隔離しうるよ
うに大径に形成し、かつ上記各々の電磁弁の排出口２９
をマニホールド２１の接続口３３に連結して内部の連絡
通路３２で結び、この連絡通路３２の一部から配管系で
検出セルに接続する。これにより、内部構造からの発塵
の影響を受けずに塵埃測定の検出精度を向上することが
できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルーム等の内部の複数測定点の塵埃測定を一台の微粒子検 出装置で行うための多点入力切換機構に関し、特に内部構造からの発塵の影響を 受けずに検出精度を向上できる微粒子検出装置用の多点入力切換機構に関する。

【０００２】 複数の測定点の塵埃測定を一台の微粒子検出装置で行うには、図４に示すよう に、各測定点，，…にサンプリングチューブ１ａ，１ｂ，…１ｎを配置して おき、上記各サンプリングチューブ１ａ等を多点入力切換機構２の対応する吸入 口に接続し、その排出口から延びる供給管３を微粒子検出装置４の検出セルに接 続して、上記多点入力切換機構２で複数の測定点からそれぞれ吸入した被測定ガ スを上記検出セル内に切り換えて供給することにより行う。

【０００３】 ここで、上記多点入力切換機構２としては、従来、図５に示すようなものが提 案されていた。その構造は、本体５の一側部に列状に設けられた吸入口６ａ，… ６ｎにそれぞれサンプリングチューブ１ａ，…１ｎを接続し、上記本体５の内部 には接続パイプ７とベローズ８とからなり矢印Ａ，Ｂ方向に移動可能な切換接続 部９を設け、この切換接続部９の排出口１０に供給管３を接続していた。そして 、各測定点からの被測定ガスを切り換えるには、上記切換接続部９を矢印Ａ，Ｂ 方向に移動して所望の測定点に対応する吸入口たとえば６ａのところに停止させ 、その位置で接続パイプ７を矢印Ｃ方向に前進させてその先端部を上記吸入口６ ａのテーパ状の受口に押圧していた。しかしこの場合は、上記本体５内で切換接 続部９を矢印Ａ，Ｂ方向及びＣ，Ｄ方向に移動させる機構部から塵埃が発生する ことがあり、この塵埃が本体５内で浮遊して供給管３内に混入することがあった 。また、上記接続パイプ７を吸入口６ａ，…６ｎの受口に押圧したときに、Ｏリ ング１１の部分からのエアリークがあって吸引量が一定せず不安定となるもので あった。これらのことから、図５に示すようなものでは検出精度を向上すること はできなかった。

【０００４】 これを改善するため、図６に示すような電磁弁１２をそれぞれのサンプリング チューブ１ａ，…１ｎの途中に設け、これをオン、オフすることにより被測定ガ スを切り換えることが提案されている。この電磁弁１２は、個別吸入口１３に各 サンプリングチューブ１ａ等を接続すると共に、個別排出口１４からの配管を供 給管３に接続し、コイル１５への通電をオン、オフしてコイルハウジング１６内 のプランジャ１７を矢印Ｅ，Ｆ方向に摺動させ、上記プランジャ１７の先端の接 液部１８を弁座１９に当接または離反させることにより、上記個別吸入口１３か ら個別排出口１４へ向かう被測定ガスの流れを遮断または開放するものである。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、このような電磁弁１２を使用した場合は、上記プランジャ１７が矢印 Ｅ，Ｆ方向に摺動して、その上端部がコイルハウジング１６の天井部へ衝突した り或いはその側面がコイルハウジング１６の内側面に摺接することにより、上記 コイルハウジング１６内部に塵埃が発生することがある。ここで、上記プランジ ャ１７の先端の接液部１８は、弁座１９の上面に当接するだけの直径とされてい るので、上記コイルハウジング１６内で発生した塵埃は、上記接液部１８の周囲 を矢印Ｇのようにまわり込んで弁座１９側に流れ、個別吸入口１３から個別排出 口１４へ向かう被測定ガスの流れに混入することがある。また、一つの電磁弁１ ２ごとに個別吸入口１３と個別排出口１４とがあり、それぞれ配管チューブが接 続されるので、配管系が複雑となると共に、各測定点からのサンプリングチュー ブ１ａ，…１ｎにおける圧損のバラツキにより吸引量が一定しないことがある。 従って、図６に示すような電磁弁１２を使用しても、塵埃測定の検出精度を向上 することは期待できなかった。

【０００６】 そこで、本考案は、このような問題点に対処し、内部構造からの発塵の影響を 受けずに検出精度を向上できる微粒子検出装置用の多点入力切換機構を提供する ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案による微粒子検出装置用の多点入力切換機 構は、被測定ガスの塵埃測定をする微粒子検出装置の検出セルに接続され、複数 の測定点からそれぞれ吸入した被測定ガスを上記検出セル内に切り換えて供給す る微粒子検出装置用の多点入力切換機構において、上記被測定ガスの個々の吸入 切換部を電磁弁とし、この電磁弁の弁座と当接する接液部を発塵の少ない材質で 形成すると共にその周縁を当該接液部が上下移動する空間部の内側壁に接すると ころまで延長して上方の駆動部分との間を隔離しうるように大径に形成し、かつ 上記各々の電磁弁の排出口をマニホールドの接続口に連結して内部の連絡通路で 結び、この連絡通路の一部から配管系で上記検出セルに接続したものである。

【０００８】

【作用】

このように構成された微粒子検出装置用の多点入力切換機構は、被測定ガスの 個々の吸入切換部としての電磁弁の弁座と当接する接液部を発塵の少ない材質で 形成すると共に、その周縁を当該接液部が上下移動する空間部の内側壁に接する ところまで延長して大径に形成したことにより、上記接液部の周囲を気体や塵埃 がまわり込めないようにして、上方の駆動部分との間を隔離することができる。

【０００９】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。 図１は本考案による微粒子検出装置用の多点入力切換機構２′を示す斜視図で ある。この多点入力切換機構２′は、図４に示すと同様に、複数の測定点， ，…から各サンプリングチューブ１ａ，１ｂ，…１ｎを介して吸入した被測定ガ スを微粒子検出装置４の検出セル内に切り換えて供給するもので、電磁弁２０ａ ，…２０ｎと、マニホールド２１と、配管系２２ａ，２２ｂ，２２ｃとからなる 。

【００１０】 上記電磁弁２０ａ，…２０ｎは、どのサンプリングチューブ１ａ，…１ｎから 被測定ガスを吸入するか切り換えるもので、図２に示すように、テーパネジ状に 形成された個別吸入口２３に各サンプリングチューブ１ａ等を接続し、コイル２ ４への通電をオン、オフしてコイルハウジング２５内のプランジャ２６を上下方 向に摺動させ、上記プランジャ２６の先端に設けられた接液部２７を弁座２８に 当接または離反させるようになっている。

【００１１】 ここで、上記接液部２７は、非粘着性で発塵の少ない材質たとえばテフロンで 形成されると共に、ダイヤフラム状の第一部材２７ａと第二部材２７ｂとを一体 に組み合わせて二重ダイヤフラム状とし、かつ上記第一、第二部材２７ａ，２７ ｂはプランジャ２６の駆動部分であるコイルハウジング２５と弁座２８との間を 隔離しうるように大径に形成されている。すなわち、上記接液部２７の周縁は、 プランジャ２６と共に上下方向に移動する空間部の内側壁に接するところまで延 長されており、該接液部２７の周囲を気体や塵埃がまわり込めないようになって いる。従って、個別吸入口２３から弁座２８の開口部を介して個別排出口２９へ 破線矢印Ｈのように向かう被測定ガスの流れに、上記プランジャ２６の駆動部分 からの塵埃が混入するのを防止できる。なお、上記接液部２７の第二部材２７ｂ はその周縁部３０が厚手に形成されており、また、第一部材２７ａの中央突起部 ３１はプランジャ２６の下端面にねじ込まれて接液部２７全体が着脱可能とされ ている。

【００１２】 上記電磁弁２０ａ，…２０ｎは、マニホールド２１の上面にたとえば１０個実 装される。このマニホールド２１は、上記電磁弁２０ａ等で切り換えて吸入した 被測定ガスを配管２２ａ，２２ｂに導くもので、図１に示すようにステンレス製 で角柱ブロック状に形成されると共に、図３に示すように長手方向の中心部に連 絡通路３２が形成され、この連絡通路３２と連通して上面に向けて個別接続口３ ３ａ，３３ｂ，…３３ｎが穿設され、さらに上記連絡通路３２の一部には一側面 に向けて集中排気ポート３４ａ，３４ｂが形成されている。なお、上記連絡通路 ３２の両側端には排気穴３５が設けられており、この排気穴３５にはメクラ栓３ ６が装着されるようになっている。そして、このように形成されたマニホールド ２１には、その上面に開口した個別接続口３３ａ，３３ｂ，…３３ｎにそれぞれ の電磁弁２０ａ等の個別排出口２９（図２参照）を連通して該電磁弁２０ａ等が 実装されている。

【００１３】 また、上記集中排気ポート３４ａ，３４ｂには、それぞれ配管２２ａ，２２ｂ が連結されると共に、これらの配管２２ａ，２２ｂが合流継手３７で結合されて 一本の配管２２ｃにまとめられ、この配管２２ｃが微粒子検出装置４の検出セル に接続されている。

【００１４】 次に、このように構成された多点入力切換機構２′の動作について説明する。 いま、図４における測定点の塵埃測定をするとして、図１において第一のサン プリングチューブ１ａが接続された第一の電磁弁２０ａを図示外の制御装置によ ってオンとする。すると、図２に示すコイル２４に通電されて、コイルハウジン グ２５内のプランジャ２６が上方に移動し、その先端の接液部２７が弁座２８か ら離反して該弁座２８の開口部を開放する。これにより、上記電磁弁２０ａの個 別吸入口２３から個別排出口２９へ向かう流路が開かれ、サンプリングチューブ １ａからの被測定ガスが破線矢印Ｈのように流れ、マニホールド２１の個別接続 口３３ａ及び連絡通路３２を介して集中排気ポート３４ａに至り、その後配管系 ２２ａ，３７，２２ｃを経て微粒子検出装置４の検出セル内に測定点からの被 測定ガスが供給される。このとき、上記接液部２７は前述のように大径とされて いるので、プランジャ２６の駆動部分からの塵埃が被測定ガスの流れに混入する ことはない。

【００１５】 なお、上記第一の電磁弁２０ａをオンとして測定点の塵埃測定をしていると きは、他の電磁弁２０ｂ，…２０ｎはオフとされている。そして、他の測定点に ついて測定するには、当該測定点に対応する電磁弁２０ａ，…２０ｎをそれぞれ 切り換えてオンとすればよい。また、マニホールド２１内の連絡通路３２を清掃 するには、図３に示すメクラ栓３６を外して超音波洗浄等をすればよい。

【００１６】 なお、図１及び図３においては、マニホールド２１の集中排気ポート３４ａ， ３４ｂは連絡通路３２の両端部にそれぞれ一箇所だけ設けたものとして示したが 、本考案はこれに限らず、上記連絡通路３２の他の箇所に一個または複数個の集 中排気ポート（図１の符号３８参照）を設けてもよい。このようにすることによ り、マニホールド２１を介して集中排気する際の最適吸入排気を達成することが でき、該マニホールド２１内の流体通路における残留ダスト（被測定ガス内に含 まれていた塵埃が滞留すること）を除去することができる。

【００１７】

【考案の効果】

本考案は以上のように構成されたので、被測定ガスの個々の吸入切換部として の電磁弁２０ａ〜２０ｎの弁座２８と当接する接液部２７を発塵の少ない材質で 形成すると共に、その周縁を当該接液部２７が上下移動する空間部の内側壁に接 するところまで延長して大径に形成したことにより、上記接液部２７の周囲を気 体や塵埃がまわり込めないようにして、上方の駆動部分との間を隔離することが できる。従って、上方の駆動部分で塵埃が発生しても、当該電磁弁２０ａ〜２０ ｎの個別吸入口２３から個別排出口２９へ向かう被測定ガスの流れに上記塵埃が 混入するのを防止することができる。また、複数の測定点に対応して設けられた 電磁弁２０ａ，…２０ｎの個別排出口２９は、マニホールド２１の連絡通路３２ に連結されて集中排気ポート３４ａ，３４ｂで集中排気されるので、例えば二本 の配管２２ａ，２２ｂで排気でき、配管系を簡単かつ短くして各測定点からのサ ンプリングチューブ１ａ，…１ｎにおける圧損のバラツキを少なくして吸引量を 略一定とすることができる。これらのことから、本考案によれば、塵埃測定の検 出精度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案による微粒子検出装置用の多点入力切
換機構の実施例を示す斜視図、

【図２】 多点入力切換機構の電磁弁を示す縦断面図、

【図３】 図１のＬ−Ｌ線による断面図、

【図４】 複数の測定点の塵埃測定を一台の微粒子検出
装置で行う状態を示す説明図、

【図５】 従来の多点入力切換機構の構造を示す断面
図、

【図６】 従来の多点入力切換機構の構造の他の例を示
す断面図。

【符号の説明】

２′…多点入力切換機構、 ４…微粒子検出装置、 ２
０ａ〜２０ｎ…電磁弁、２１…マニホールド、 ２２
ａ，２２ｂ，２２ｃ…配管系、 ２３…個別吸入口、
２４…コイル、 ２６…プランジャ、 ２７…接液部、
２８…弁座、 ２９…個別排出口、 ３２…連絡通
路、 ３３ａ〜３３ｎ…個別接続口、３４ａ，３４ｂ…
集中排気ポート、 ３７…合流継手。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定ガスの塵埃測定をする微粒子検出
   装置の検出セルに接続され、複数の測定点からそれぞれ
   吸入した被測定ガスを上記検出セル内に切り換えて供給
   する微粒子検出装置用の多点入力切換機構において、上
   記被測定ガスの個々の吸入切換部を電磁弁とし、この電
   磁弁の弁座と当接する接液部を発塵の少ない材質で形成
   すると共にその周縁を当該接液部が上下移動する空間部
   の内側壁に接するところまで延長して上方の駆動部分と
   の間を隔離しうるように大径に形成し、かつ上記各々の
   電磁弁の排出口をマニホールドの接続口に連結して内部
   の連絡通路で結び、この連絡通路の一部から配管系で上
   記検出セルに接続したことを特徴とする微粒子検出装置
   用の多点入力切換機構。