JPH04117608A - Magnetic head device - Google Patents

Magnetic head device

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JPH04117608A
JPH04117608A JP23592990A JP23592990A JPH04117608A JP H04117608 A JPH04117608 A JP H04117608A JP 23592990 A JP23592990 A JP 23592990A JP 23592990 A JP23592990 A JP 23592990A JP H04117608 A JPH04117608 A JP H04117608A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
partition wall
film
gap
metal
Prior art date
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Pending
Application number
JP23592990A
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Japanese (ja)
Inventor
Kunio Omi
近江 邦夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP23592990A priority Critical patent/JPH04117608A/en
Publication of JPH04117608A publication Critical patent/JPH04117608A/en
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Abstract

PURPOSE:To improve performance at the both sides of recording and reproduction by providing the partition wall of either and insulator or a high resistance body on one gap opposing face, and embedding a magnetic metal film among the partition walls. CONSTITUTION:A grid-shaped partition wall 24 is formed on the gap forming face of a core half body 21, and a magnetic metal film 25 is embedded among the partition wall 24 by the height of the wall. Therefore, only an eddy current loss corresponding to one section surrounded by the partition wall 24 is generated even when magnetic fluxes pass in a direction vertical to the metal magnetic fluxes pass in a direction vertical to the metal magnetic film 25, and the effective permeability of the film 25 can be improved. Thus, the reproduced characteristic of an MIG head can be improved, and a magnetic head device which has high performance can be obtained at the both sides of recording and reproduction.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、ビデオテオーブレコーダ等の磁気記録再生
装置に使用される磁気ヘッド装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a magnetic head device used in a magnetic recording/reproducing device such as a video recorder.

(従来の技術) 最近、磁気ヘッドにおいて、記録媒体の高保磁力、高残
留磁束密度化に対応するものとして、フェライト等の磁
性体コア間に設けるギャップGをセンダストやアモルフ
ァス等の金属磁性体を用いた金属磁性膜層で挟持したM
IGヘッドと称する磁気ヘッドが開発されている。これ
らの金属磁性膜くは、飽和磁束密度が大きいため、この
MIGヘッドは高保磁力記録媒体に書き込むに十分な強
い磁界を出すことができる。
(Prior Art) Recently, in magnetic heads, metal magnetic materials such as sendust or amorphous are used to fill the gap G between magnetic cores such as ferrite in order to cope with the high coercive force and high residual magnetic flux density of recording media. M sandwiched between metal magnetic film layers
A magnetic head called an IG head has been developed. Since these metal magnetic films have a high saturation magnetic flux density, this MIG head can generate a magnetic field strong enough to write on a high coercive force recording medium.

第3図は、従来のMIG磁気ヘッドを示している。コア
半休は、フェライト等の一対の磁性体コア18%1bで
形成されている。この磁性体コアla、lbの間には、
5i02等の非磁性体膜層3a、3bで形成されるギャ
ップGが、金属磁性膜層2a、2bで挾持されて形成さ
れる。即ち第4図に示すように磁性体コアla、lbに
トラック幅Twが所定のピッチ間隔Pで形成される(第
4図(a)、(b)中では一方のみを図示)。このトラ
ック幅Twに対応する面上には例えば4〜8μm程度の
金属磁性膜層2a、2bがスパッタ等で形成され、この
金属磁性膜層2a、2b上には0.2〜0.5μm程度
の非磁性膜層3a。
FIG. 3 shows a conventional MIG magnetic head. The core half-hole is formed of a pair of magnetic cores 18% 1b made of ferrite or the like. Between these magnetic cores la and lb,
A gap G formed by non-magnetic film layers 3a and 3b such as 5i02 is formed by being sandwiched between metal magnetic film layers 2a and 2b. That is, as shown in FIG. 4, track widths Tw are formed in the magnetic cores la and lb at a predetermined pitch interval P (only one is shown in FIGS. 4(a) and 4(b)). On the surface corresponding to this track width Tw, metal magnetic film layers 2a and 2b with a thickness of, for example, about 4 to 8 μm are formed by sputtering or the like, and on these metal magnetic film layers 2a and 2b, a thickness of about 0.2 to 0.5 μm is formed. nonmagnetic film layer 3a.

3bが同様にスパッタ等により形成される。そして、金
属磁性体膜層2a、2b及び非磁性膜層3a、3bが形
成された磁性体コアla、lbは、そのトラック幅Tw
に対応する面が互いに対向されて接着ガラス4を用いて
接合された後、第4図(C)に破線で示すように切断さ
れて第3図に示す磁気ヘッドが形成される。
3b is similarly formed by sputtering or the like. The magnetic cores la and lb on which the metal magnetic film layers 2a and 2b and the nonmagnetic film layers 3a and 3b are formed have a track width Tw.
After the corresponding surfaces are opposed to each other and bonded using adhesive glass 4, they are cut as shown by broken lines in FIG. 4(C) to form the magnetic head shown in FIG. 3.

(発明が解決しようとする課題) 上記の磁気ヘッドによると、金属磁性体は、一般に比抵
抗が小さいために、渦電流損失が大きく、実効透磁率の
高周波特性が悪い。
(Problems to be Solved by the Invention) According to the above-mentioned magnetic head, the metal magnetic material generally has a small resistivity, so the eddy current loss is large, and the high frequency characteristics of the effective magnetic permeability are poor.

この欠点を避けるためには、磁性薄板(あるいは薄膜)
を積層することが有効である。従って、薄膜形成する磁
性体コアの場合、膜層に平行な方向に磁束が流れるもの
ならば、積層化によって実効透磁率を上げることができ
る。
To avoid this drawback, a magnetic thin plate (or thin film)
It is effective to layer them. Therefore, in the case of a magnetic core made of a thin film, if the magnetic flux flows in a direction parallel to the film layers, the effective magnetic permeability can be increased by laminating layers.

しかしMrGヘッドの場合、前述の工程から明らかなよ
うに、薄膜面に対して垂直な方向に磁束・が流れる構造
となっている。このため積層という手段では、高周波特
性を上げることが出来ない。
However, in the case of the MrG head, as is clear from the above-mentioned process, the structure is such that the magnetic flux flows in a direction perpendicular to the thin film surface. For this reason, it is not possible to improve high frequency characteristics by means of lamination.

むしろ透磁率が影響する再生特性に関しては、MI G
ヘッドは従来のヘッドよりも改善されるどころか悪くな
っているというのが現状である。
Rather, regarding the reproduction characteristics affected by magnetic permeability, MIG
The current situation is that the heads are not better than conventional heads, but are worse.

そこでこの発明は、上記したようなMIGヘッドの再生
特性を改善し、記録再生の両面で従来のフェライトヘッ
ドの性能を上回る高性能の磁気ヘッド装置を提供するこ
とを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to improve the reproduction characteristics of the MIG head as described above and to provide a high-performance magnetic head device that exceeds the performance of conventional ferrite heads in both recording and reproduction.

[発明の構成コ (課題を解決するための手段) この発明は、一対のフェライトコア半体の少なくとも一
方のギャップ対向面上に金属磁性膜を形成し、前記金属
磁性膜面同士、あるいは前記金属磁性膜とフェライトコ
アのギャップ対向面を、磁気ギャップを介して接着する
ことにより成る金属挟持形のヘッドにおいて、 少なくとも一方のギャップ対向面上に絶縁体または高抵
抗体の仕切り壁を設け、その間に金属磁性膜を埋め込ん
だ構造とするものである。
[Structure of the Invention (Means for Solving the Problems) This invention provides a method for forming a metal magnetic film on at least one gap-opposed surface of a pair of ferrite core halves, and forming a metal magnetic film between the metal magnetic film surfaces or between the metal magnetic film surfaces. In a metal-held head made by bonding the gap-opposing surfaces of a magnetic film and a ferrite core via a magnetic gap, a partition wall made of an insulator or a high-resistance material is provided on at least one gap-opposing surface, and a partition wall made of an insulator or a high-resistance material is provided between the gaps. It has a structure in which a metal magnetic film is embedded.

また、この発明では、上記仕切り壁をギャップ対向面か
らろで格子状に、かつトラック幅方向に対して斜めに傾
いた配列の仕切り壁とするものである。
Further, in the present invention, the partition walls are arranged in a lattice pattern from the surface facing the gap and inclined obliquely with respect to the track width direction.

(作用) 上記の手段により、膜に垂直な方向に磁束が流れる場合
でも、仕切り壁で囲まれた1区画に対応した渦電流損し
か発生せず、膜の実効透磁率を上げることができ、MI
Gヘッドの再生特性を向上できる。
(Function) With the above means, even when magnetic flux flows in a direction perpendicular to the membrane, only the eddy current loss corresponding to one section surrounded by the partition wall is generated, and the effective magnetic permeability of the membrane can be increased. M.I.
The reproduction characteristics of the G head can be improved.

また、デプスが変動しても急激な特性変化が起こらず、
長時間走行に対して安定した特性を得ることができる。
In addition, even if the depth changes, sudden changes in characteristics do not occur,
Stable characteristics can be obtained over long periods of time.

(実施例) 以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。(Example) Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図はこの発明の一実施例に於ける要部を示している
。21は、フェライトコア半体の一方を示している。こ
のコア半体21のギャップ形成面の上には、格子状の仕
切り壁24が形成されている。Lは壁の高さである。そ
してこの仕切り壁24の間には、金属磁性膜25が壁の
高さ分埋め込まれている。
FIG. 1 shows the main parts of an embodiment of the present invention. 21 indicates one of the ferrite core halves. A lattice-shaped partition wall 24 is formed on the gap forming surface of the core half body 21 . L is the height of the wall. A metal magnetic film 25 is embedded between the partition walls 24 by the height of the walls.

上記した仕切り壁24及び金属磁性膜25の複合構造は
以下のように製造される。
The composite structure of the partition wall 24 and the metal magnetic film 25 described above is manufactured as follows.

まずトラック溝、巻線溝及びガラス溝等が加工されたフ
ェライトのギャップ形成面は、鏡面仕上げされる。そし
て、第2図(a)のように、フェライトコア21のギャ
ップ形成面上に、仕切り壁となる酸化シリコン(Si0
2)膜22がスパッタにより5μm形成される。この5
i02膜22の上面に、約3μmの厚さのレジスト23
が塗布され、ライン/スペース−4/1μmでパターン
ニングされる。このパターンニングは、仕切り壁のパタ
ーンを残し、かつ格子状となるように、また壁の方向が
トラック幅方向に対して45度となるように設定される
(第1図の斜視図参照)。
First, the gap-forming surface of the ferrite, on which track grooves, winding grooves, glass grooves, etc. have been processed, is mirror-finished. Then, as shown in FIG. 2(a), a silicon oxide (Si0
2) A film 22 is formed with a thickness of 5 μm by sputtering. This 5
A resist 23 with a thickness of about 3 μm is placed on the top surface of the i02 film 22.
is coated and patterned with lines/spaces -4/1 μm. This patterning is done so that the pattern of the partition walls remains and is set in a grid pattern, with the direction of the walls at 45 degrees with respect to the track width direction (see the perspective view of FIG. 1).

次に、RIE処理を行い5i02をエツチングしく第2
図(C)  残ったレジストが洗浄により除去される(
第2図(d))。これにより、5in2の仕切り壁24
が形成される。次に、第2図(e)に示すように仕切り
壁24の間が完全に埋まるまでセンダスト膜(金属磁性
膜25)がスパッタされる。次に、第2図(f)に示す
ように、ラップポリシングすることにより、表面を平坦
かつ鏡面に仕上げることにより、磁性膜形成処理が終了
し、第1図に示したようなギャップ部の構成が得られる
Next, perform RIE processing to etch 5i02 into the second layer.
Figure (C) The remaining resist is removed by cleaning (
Figure 2(d)). As a result, the 5in2 partition wall 24
is formed. Next, as shown in FIG. 2(e), a sendust film (metallic magnetic film 25) is sputtered until the space between the partition walls 24 is completely filled. Next, as shown in FIG. 2(f), the magnetic film forming process is completed by finishing the surface to a flat and mirror finish by lap polishing, and the gap part structure as shown in FIG. 1 is completed. is obtained.

上記の説明では、磁気ヘッドの1つのギャップ部を取上
げて説明しているが、実際には、第4図で示したように
多数のコア半休を切出し可能なコアの状態で、ギャップ
形成面に上記の仕切り壁24及び金属磁性膜25が形成
される。
In the above explanation, one gap part of the magnetic head is taken up, but in reality, as shown in Fig. 4, a large number of core halves can be cut out, and the core is cut out on the gap forming surface. The above-mentioned partition wall 24 and metal magnetic film 25 are formed.

上記のように処理されて組立てられたMIGヘッドは、
膜面垂直方向に磁束が流れる場合でも、その断面は、5
i02による仕切り壁で区切られているため4μm2の
面積であり、比抵抗が約100μΩ・cmのセンダスト
であれば、殆ど渦電流損は問題とはならない。このため
、膜面垂直方向の実効透磁率が上がり(回復し)、ヘッ
ド特性として高周波域で2〜3dBの上昇が見られた。
The MIG head processed and assembled as described above is
Even when magnetic flux flows perpendicular to the film surface, its cross section is 5
Since it is separated by a partition wall made of i02, the area is 4 μm2, and if it is Sendust with a specific resistance of about 100 μΩ·cm, eddy current loss will hardly be a problem. As a result, the effective magnetic permeability in the direction perpendicular to the film surface increased (recovered), and the head characteristics increased by 2 to 3 dB in the high frequency range.

また格子状の壁をトラック幅方向に対して45度傾けて
いるため、デプスが減少してもトラック内の5i02の
壁の占有率は常に一定であり、長時間走行させても安定
した特性を得ることができた。
In addition, since the lattice-shaped walls are tilted at 45 degrees to the track width direction, the occupancy of the 5i02 walls within the track remains constant even when the depth decreases, ensuring stable characteristics even when running for long periods of time. I was able to get it.

仮に、トラック幅方向と仕切り壁方向とが同一であると
すると、ヘッドの摩耗により、ギャップ部において、5
j02の存在する量が変わることになる。
Assuming that the track width direction and the partition wall direction are the same, the wear of the head will result in 5.
The amount of j02 present will change.

上記したように、このMIGヘッドは、高い記録能力は
もとより、渦電流損失を回避しており、高い再生能力も
有し、しかもデプス変動に対しても安定した特性を17
7ることかできる。
As mentioned above, this MIG head not only has high recording ability, but also avoids eddy current loss, has high playback ability, and has stable characteristics even with depth fluctuations.
I can do 7 things.

[発明の効果コ 以上説明したようにこの発明によれば、記録再生の両面
で従来のフェライトヘッドの性能を上回る高性能の磁気
ヘッド装置を提供することができる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, it is possible to provide a high-performance magnetic head device that exceeds the performance of conventional ferrite heads in both recording and reproduction.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例の要部を示す説明図、第2
図はこの発明のヘッドの要部の製造工程を説明するため
に示した説明図、第3図は従来のMI Gヘッドの構成
説明図、第4図は、従来のMIGヘッドの製造工程を説
明するために示した説明図である。 21・・・コア半体、24・・・仕切り壁、25・・・
金属磁性膜。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第4図
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the main parts of an embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is an explanatory diagram for explaining the manufacturing process of the main parts of the head of the present invention, Fig. 3 is an explanatory diagram of the configuration of a conventional MIG head, and Fig. 4 is an explanatory diagram for explaining the manufacturing process of a conventional MIG head. FIG. 21... Core half, 24... Partition wall, 25...
Metal magnetic film. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue Figure 4

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)一対のフェライトコア半体の少なくとも一方のギ
ャップ対向面上に金属磁性膜を形成し、前記金属磁性膜
面同士、あるいは前記金属磁性膜とフェライトコアのギ
ャップ対向面を、磁気ギャップ部を介して接着すること
により成る金属挟持形のヘッドにおいて 少なくとも一方のギャップ対向面を複数に仕切るように
、前記対向面上に絶縁体または高抵抗体の仕切り壁を設
け、その仕切り壁の間に金属磁性膜を埋め込んだ構造と
することを特徴とする磁気ヘッド装置。
(1) A metal magnetic film is formed on the gap-opposing surfaces of at least one of a pair of ferrite core halves, and the metal magnetic film surfaces or the gap-opposing surfaces of the metal magnetic film and the ferrite core are formed into a magnetic gap portion. In order to partition at least one gap-opposing surface into a plurality of parts in a metal-held head formed by adhering the metal through the gap, a partition wall made of an insulator or a high-resistance material is provided on the opposing surface. A magnetic head device characterized by having a structure in which a magnetic film is embedded.
(2)上記仕切り壁は、前記対向面上で格子状であり、
壁の方向は、ヘッドギャップ方向に対して斜め方向であ
ることを特徴とする請求項第1項記載の磁気ヘッド装置
(2) the partition wall has a lattice shape on the opposing surface;
2. The magnetic head device according to claim 1, wherein the direction of the wall is oblique to the head gap direction.
JP23592990A 1990-09-07 1990-09-07 Magnetic head device Pending JPH04117608A (en)

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