JPH04116727U - optical encoder - Google Patents

optical encoder

Info

Publication number
JPH04116727U
JPH04116727U JP2911591U JP2911591U JPH04116727U JP H04116727 U JPH04116727 U JP H04116727U JP 2911591 U JP2911591 U JP 2911591U JP 2911591 U JP2911591 U JP 2911591U JP H04116727 U JPH04116727 U JP H04116727U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensor
slit plate
fixed slit
board
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2911591U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
和志 西沢
Original Assignee
シチズン時計株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シチズン時計株式会社 filed Critical シチズン時計株式会社
Priority to JP2911591U priority Critical patent/JPH04116727U/en
Publication of JPH04116727U publication Critical patent/JPH04116727U/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】固定スリット板のスリットとフォトセンサ基板
のフォトセンサチップの位置合わせを正確に行い、且つ
固定スリット板とフォトセンサ基板の組み立てが容易な
光学式エンコーダを提供すること。 【構成】固定スリット板101とフォトセンサ基板20
1にそれぞれ基準パターンあるいは基準穴を設け、これ
らの基準パターンあるいは基準穴等とピン301の整列
あるいははめ合いにより、固定スリット板とフォトセン
サ基板の位置合わせを行うとともに、ピン301の段部
により両者の間隔を定める構成である。 【効果】固定スリット板上のスリットとフォトセンサ基
板上のフォトセンサチップの位置関係を、パターン作成
の精度で決めることができ、両者の位置精度がよい。ピ
ンと穴のはめ合いで部品を配置できるので、組み立てが
容易である。
(57) [Summary] [Purpose] To provide an optical encoder that accurately aligns the slit of a fixed slit plate and the photosensor chip of a photosensor board, and allows easy assembly of the fixed slit plate and the photosensor board. . [Configuration] Fixed slit plate 101 and photosensor board 20
1 are provided with reference patterns or reference holes, and by aligning or fitting the pins 301 with these reference patterns or holes, the fixed slit plate and the photosensor board are aligned, and the stepped portion of the pin 301 aligns the two. This is a configuration that determines the interval between. [Effect] The positional relationship between the slit on the fixed slit plate and the photosensor chip on the photosensor substrate can be determined with the precision of pattern creation, and the positional accuracy of both is good. Assembly is easy because parts can be arranged by fitting pins and holes.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed explanation of the idea]

【0001】0001

【産業上の利用分野】[Industrial application field]

本考案は固定スリット板とフォトセンサ基板を備えた光学式エンコーダの構造 に関する。 The present invention is an optical encoder structure equipped with a fixed slit plate and a photosensor board. Regarding.

【0002】0002

【従来の技術】[Conventional technology]

一般的な光学式エンコーダの光学系を図6に示す。光源601から発した光は 、回転スリット板603のスリットA(605、描画上スリットを黒塗りで示し てあるが、実際は黒塗りが透光部、白地が遮光部)、固定スリット板607のス リットB(609)を通過し、フォトセンサ基板611上のフォトセンサチップ 613に到達する。フォトセンサチップ613は、入力された光量に応じた信号 を位置信号として出力する。 FIG. 6 shows the optical system of a general optical encoder. The light emitted from the light source 601 is , Slit A of the rotating slit plate 603 (605, the slit is shown in black on the drawing) (However, in reality, the black part is the transparent part and the white part is the light blocking part), and the slit of the fixed slit plate 607 is The photosensor chip passes through the lit B (609) and is placed on the photosensor board 611. 613 is reached. The photosensor chip 613 generates a signal according to the amount of light input. is output as a position signal.

【0003】 絶対位置の検出をするために、回転スリット板上の同心円のトラックに位置検 出用の複数のコードパターンを持つエンコーダにおいては、隣接するトラックの 信号が互いに干渉し合うことがあり、最悪の場合には検出不能となることもある 。その原因として、固定スリット板のスリットとフォトセンサ基板上のフォトセ ンサチップの位置関係が正確に出ていないことが挙げられる。例えば、一つのフ ォトセンサチップ上に、固定スリット板の互いに隣接するトラック上の二つのス リットが位置した時には、当然、フォトセンサチップから両者の合成信号が出力 される。そのため、固定スリット板のスリットとフォトセンサ基板上のフォトセ ンサチップの位置関係を、正確に決めて組み立てる必要がある。0003 In order to detect the absolute position, position detection is performed on concentric tracks on the rotating slit plate. For encoders with multiple code patterns for output, the Signals can interfere with each other and, in the worst case, become undetectable. . The cause of this is the slit of the fixed slit plate and the photosensor on the photosensor board. One example of this is that the positional relationship of the sensor chips is not shown accurately. For example, one frame Two strips on adjacent tracks of the fixed slit plate are placed on the photo sensor chip. Naturally, when the lit is located, a composite signal of both is output from the photosensor chip. be done. Therefore, the slit of the fixed slit plate and the photosensor on the photosensor board are It is necessary to accurately determine the positional relationship of the sensor chips and assemble them.

【0004】 また、固定スリット板とフォトセンサ基板は、光源の光軸に対し垂直に配置さ れることが好ましいから、固定スリット板とフォトセンサ基板は互いに平行度が よいことが求められる。0004 Additionally, the fixed slit plate and photosensor board are arranged perpendicular to the optical axis of the light source. Therefore, the fixed slit plate and the photosensor board should be parallel to each other. Good things are required.

【0005】 固定スリット板のスリットとフォトセンサ基板のフォトセンサチップの位置合 わせは、隣接するトラックの信号の干渉に大きく影響するが、従来は図7、図8 に示すような方法を取っていた。図7は要部断面図、図8は平面図である。固定 スリット板703とフォトセンサ基板705は、それぞれ接着剤等で固定スリッ ト板ベース701に取り付けられている。まずフォトセンサ基板705を固定ス リット板ベース701に取り付け、目視等の方法で、固定スリット板703のス リット801と、フォトセンサ基板705のフォトセンサチップ707の位置を 合わせ、固定スリット板703を固定スリット板ベース701に取り付ける。[0005] Alignment of the slit on the fixed slit plate and the photosensor chip on the photosensor board The alignment has a large effect on the interference of signals from adjacent tracks, but conventionally I took the method shown below. FIG. 7 is a sectional view of a main part, and FIG. 8 is a plan view. Fixed The slit plate 703 and the photosensor board 705 are fixed with adhesive or the like. It is attached to the top plate base 701. First, fix the photo sensor board 705 on the Attach it to the slit plate base 701 and check the slits of the fixed slit plate 703 by visual inspection or other methods. The position of the lit 801 and the photosensor chip 707 on the photosensor board 705 is Then, the fixed slit plate 703 is attached to the fixed slit plate base 701.

【0006】 しかし、この方法では固定スリット板703の板厚の影響が無視できず、視差 により誤差が生じる。また、固定スリット板703のスリット801からフォト センサチップ707を覗いて位置決めすることは、一般にスリット801の巾が 数10μmと狭いのでやりにくい等の理由から、予め固定スリット板ベース70 1、固定スリット板703、フォトセンサ基板705にそれぞれ基準面を設け、 該基準面によって位置決めする等の方法がとられていた。[0006] However, with this method, the influence of the thickness of the fixed slit plate 703 cannot be ignored, and the parallax This causes an error. Also, a photo is inserted through the slit 801 of the fixed slit plate 703. Positioning by looking into the sensor chip 707 is generally done when the width of the slit 801 is Due to the narrowness of several tens of micrometers, which is difficult to do, we fixed the slit plate base 70 in advance. 1. A reference plane is provided on each of the fixed slit plate 703 and the photosensor board 705, A method such as positioning using the reference plane has been used.

【0007】[0007]

【考案が解決しようとする課題】[Problem that the idea aims to solve]

しかしながら、従来の方法では、図8に見られるように、基準面は1組しか設 けられていない。これは、図8の左側の基準面に加えて、矢印803方向の位置 決め用の基準面を作るには機械加工が面倒になるためである。そのため、矢印8 03方向の位置決めは正確に行うことができない。また、固定スリット板703 とフォトセンサ基板705の高さ方向の平行度が、固定スリット板ベース701 の機械加工精度に依存するため、固定スリット板ベース701の加工が難しくな る。さらに、固定スリット板ベース701、固定スリット板703、フォトセン サ基板705それぞれに基準面を設けるために、固定スリット板703のスリッ ト801とフォトセンサ基板705のフォトセンサチップ707の位置決め精度 が下がる可能性が大きい。その結果、隣接するトラックの光学的な影響を受けな いように組み立てるのは、困難かつ作業性の悪いものであった。また、スリット 801とフォトセンサチップ707の位置決めが正確にされているかどうかは、 実際にフォトセンサチップ707から出力を取り出すまで分からず、位置決めが 正確でなくて適切な出力信号が取り出せない場合、最初から組み立て直さなけれ ばならなかった。本考案の目的は、上記問題点を解決し、固定スリット板のスリ ットとフォトセンサ基板のフォトセンサチップの正確な位置合わせを、容易に行 うことのできる光学式エンコーダを提供することにある。 However, in the conventional method, only one set of reference planes is provided, as shown in Figure 8. Not kicked. This is the position in the direction of arrow 803 in addition to the reference plane on the left side of FIG. This is because machining would be troublesome to create a reference surface for determination. Therefore, arrow 8 Positioning in the 03 direction cannot be performed accurately. In addition, the fixed slit plate 703 The parallelism in the height direction of the photosensor substrate 705 and the fixed slit plate base 701 Machining of the fixed slit plate base 701 is difficult because it depends on the machining accuracy. Ru. Furthermore, a fixed slit plate base 701, a fixed slit plate 703, a photo sensor In order to provide a reference plane on each of the support substrates 705, the fixed slit plate 703 has a slit. Positioning accuracy of photosensor chip 707 between photo sensor board 705 and photo sensor board 701 is likely to go down. As a result, there is no optical influence from adjacent tracks. It was difficult and difficult to assemble in this way. Also, the slit Check whether the positioning of the photosensor chip 801 and the photosensor chip 707 is accurate. It is difficult to determine the positioning until the output is actually taken out from the photosensor chip 707. If it is not accurate and you cannot get the correct output signal, you will have to reassemble it from scratch. I had to. The purpose of this invention is to solve the above problems and to slit the fixed slit plate. It is easy to accurately align the photosensor chip on the photo sensor board and the photo sensor board. The purpose of the present invention is to provide an optical encoder that can perform

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

上記目的を達成するために、本考案はフォトセンサ基板上に、フォトセンサチ ップを位置基準として複数個の位置決め基準穴を設ける。また、固定スリット板 上に、スリットパターンを位置基準として複数個の位置決め基準パターンあるい は位置決め基準穴を設ける。これらの位置決め基準穴あるいは位置決め基準パタ ーン等と複数本のピンを用いて、固定スリット板とフォトセンサ基板の位置を決 定し組み立てを行なう。 In order to achieve the above object, the present invention provides a photosensor chip on a photosensor substrate. A plurality of positioning reference holes are provided using the top as a position reference. Also, fixed slit plate On the top, multiple positioning reference patterns or Provide a positioning reference hole. These positioning reference holes or positioning reference patterns Determine the position of the fixed slit plate and photosensor board using a ring etc. and multiple pins. and assemble it.

【0009】[0009]

【作用】[Effect]

上記の位置決め基準パターンあるいは位置決め基準穴の位置は、比較的正確に 決められるので、固定スリット板のスリットとフォトセンサ基板のフォトセンサ チップの位置を、正確に合わせることができる。また、フォトセンサ基板と固定 スリット板をピンを用いて配置することで、比較的容易に組み立てを行なうこと ができる。 The position of the above positioning reference pattern or positioning reference hole is relatively accurate. The slits on the fixed slit plate and the photosensor on the photosensor board can be The position of the chip can be adjusted accurately. Also, it is fixed with the photo sensor board. Relatively easy assembly by arranging slit plates using pins I can do it.

【0010】0010

【実施例】【Example】

<実施例1> 以下、本考案による実施例について図面を基に説明する。図1、図2、図3は 本考案によるエンコーダの固定スリット板及びフォトセンサ基板の1例を示す図 である。図1で101は固定スリット板、103はスリット、105はピンを挿 入するための基準穴Aである。固定スリット板101は、ガラス板に遮光パター ンを形成して被覆し、スリット部は被覆を省いて透光性にしたものが一般的であ るが、金属薄板で作って実際にスリットを設けたものもある。図2で201はフ ォトセンサ基板、203はフォトセンサチップ、205はピンを挿入するための 基準穴Bである。また、図3で301は、固定スリット板101とフォトセンサ 基板201とを結合する位置決め兼用のピンである。 <Example 1> Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Figures 1, 2, and 3 are A diagram showing an example of the fixed slit plate and photosensor board of the encoder according to the present invention. It is. In Figure 1, 101 is a fixed slit plate, 103 is a slit, and 105 is a pin insertion plate. This is the reference hole A for inserting. The fixed slit plate 101 has a light shielding pattern on the glass plate. Generally, the slit part is made transparent by forming a coating and omitting the coating at the slit part. However, there are also ones made from thin metal plates with actual slits. In Figure 2, 201 is a file Photo sensor board, 203 is a photo sensor chip, 205 is for inserting a pin This is the reference hole B. In addition, 301 in FIG. 3 indicates the fixed slit plate 101 and the photo sensor. This is a pin that also serves as a positioning pin for coupling with the substrate 201.

【0011】 図1の基準穴A(105)は、予めスリットパターンと同時に形成したピン用 のパターンを基準にして開けておく。パターン基準なので基準穴A(105)と スリット103の位置関係は、比較的に正確に出すことができる。同様に、図2 の基準穴B(205)は、回路パターンと同時に作成したピン用のパターンを基 準に開けておく。これにより、基準穴B(205)とフォトセンサチップ203 の位置関係を、数十μm程度の精度で出すことができる。スリット103とフォ トセンサチップ203の位置関係は0.1mm程度の精度があればよいので、上 記の方法によれば精度的に十分である。図3にて、まず、ピン301をフォトセ ンサ基板201の4カ所の基準穴B(205)に挿入し、接着剤等で固定する。 次に、固定スリット板101の4カ所の基準穴A(105)と、フォトセンサ基 板201上のピン301との位置を合わせて押し込み、固定スリット板101と フォトセンサ基板201を結合する。その後、固定スリット板101とピン30 1を接着剤等で固定する。[0011] The reference hole A (105) in Fig. 1 is for the pin that was previously formed at the same time as the slit pattern. Open it based on the pattern. Since it is a pattern reference, use reference hole A (105). The positional relationship of the slits 103 can be determined relatively accurately. Similarly, Figure 2 The reference hole B (205) is based on the pin pattern created at the same time as the circuit pattern. Leave it open. As a result, the reference hole B (205) and the photosensor chip 203 The positional relationship can be determined with an accuracy of several tens of micrometers. Slit 103 and fo The positional relationship of the sensor chip 203 only needs to have an accuracy of about 0.1 mm, so The method described above is accurate enough. In Figure 3, first, pin 301 is The sensor board 201 is inserted into four reference holes B (205) and fixed with adhesive or the like. Next, insert the four reference holes A (105) of the fixed slit plate 101 and the photosensor base. Align the position with the pin 301 on the plate 201 and push it in, and then attach it to the fixed slit plate 101. The photosensor substrate 201 is bonded. After that, the fixed slit plate 101 and the pin 30 Fix 1 with adhesive or the like.

【0012】 <実施例2> 次に、本考案による第2の実施例を説明する。図4で401は固定スリット板 、403はスリット、405はピンの位置を決定するための基準パターンである 。フォトセンサ基板は前出の図2と同じである。図5は組立断面図で、501は 固定スリット板401とフォトセンサ基板201を結合する位置決め兼用のピン である。0012 <Example 2> Next, a second embodiment of the present invention will be described. In Figure 4, 401 is a fixed slit plate , 403 is a slit, and 405 is a reference pattern for determining the pin position. . The photosensor substrate is the same as that shown in FIG. 2 above. FIG. 5 is an assembled sectional view, and 501 is A positioning pin that connects the fixed slit plate 401 and the photosensor board 201 It is.

【0013】 基準パターン405は、予めスリットパターンと同時に作成しておくので、ス リット403との位置関係を正確に出すことができる。同様に、図2の基準穴B (205)とフォトセンサチップ203の位置関係も、比較的に正確に出すこと ができる。図5にて、まず、ピン501をフォトセンサ基板201の4カ所の基 準穴B(205)に挿入し、接着剤等で固定する。次に、固定スリット板401 の4カ所の基準パターン405と、フォトセンサ基板201上のピン501の上 端を目視等で合わせて接着剤で固定し、固定スリット板401とフォトセンサ基 板201を結合する。[0013] The reference pattern 405 is created in advance at the same time as the slit pattern. The positional relationship with the lit 403 can be determined accurately. Similarly, reference hole B in Fig. 2 The positional relationship between (205) and the photosensor chip 203 should also be expressed relatively accurately. I can do it. In FIG. 5, first, place the pins 501 at four bases on the photosensor board 201. Insert into semi-hole B (205) and fix with adhesive or the like. Next, the fixed slit plate 401 on the four reference patterns 405 and on the pin 501 on the photosensor board 201. Align the edges visually, fix with adhesive, and connect the fixed slit plate 401 and the photosensor base. Boards 201 are joined together.

【0014】 上記二つの実施例のいずれによっても、固定スリット板のスリットとフォトセ ンサ基板のフォトセンサチップの位置決めを、正確かつ容易に行うことができる 。[0014] In either of the above two embodiments, the slits of the fixed slit plate and the photosensor The photosensor chip on the sensor board can be positioned accurately and easily. .

【0015】[0015]

【考案の効果】[Effect of the idea]

スリットとフォトセンサの位置を、パターン作成の精度で決定できるので、両 者の位置決め精度がよい。実施例1では、ピンと穴のはめ合いで位置決めして配 置できるので、組み立てが容易となる。実施例2では、基準パターン405が固 定スリット板401の4隅に配置されているので、目視に伴う視差による誤差を 抑えることができ、基準パターン405とピン501により、スリット403と フォトセンサチップ203の位置を容易に合わせることができる。また、図3で ピン301の段部の寸法を変えることで、固定スリット板101とフォトセンサ 基板201との間隔を自由に選択でき、固定スリット板101とフォトセンサ基 板201の平行度を容易に高めることができる。 The positions of the slit and photosensor can be determined with the accuracy of pattern creation, so both The positioning accuracy of the operator is good. In Example 1, the positioning is done by fitting the pin and the hole. Since it can be placed anywhere, it is easy to assemble. In the second embodiment, the reference pattern 405 is fixed. Since they are placed at the four corners of the fixed slit plate 401, errors due to parallax caused by visual inspection are eliminated. By using the reference pattern 405 and the pin 501, the slit 403 and The position of the photosensor chip 203 can be easily adjusted. Also, in Figure 3 By changing the dimensions of the stepped portion of the pin 301, the fixed slit plate 101 and the photo sensor can be The distance between the fixed slit plate 101 and the photo sensor substrate can be freely selected. The parallelism of the plate 201 can be easily increased.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本考案の一実施例である固定スリット板の平面
図である。
FIG. 1 is a plan view of a fixed slit plate that is an embodiment of the present invention.

【図2】本考案の一実施例であるフォトセンサ基板の平
面図である。
FIG. 2 is a plan view of a photosensor substrate that is an embodiment of the present invention.

【図3】図1の固定スリット板と図2のフォトセンサ基
板の組立断面図である。
FIG. 3 is an assembled sectional view of the fixed slit plate of FIG. 1 and the photosensor substrate of FIG. 2;

【図4】本考案の他の実施例である固定スリット板の平
面図である。
FIG. 4 is a plan view of a fixed slit plate according to another embodiment of the present invention.

【図5】図4の固定スリット板と図2のフォトセンサ基
板の組立断面図である。
5 is an assembled sectional view of the fixed slit plate of FIG. 4 and the photosensor substrate of FIG. 2; FIG.

【図6】光学式エンコーダの一般的な光学系を示す図で
ある。
FIG. 6 is a diagram showing a general optical system of an optical encoder.

【図7】従来の固定スリット板とフォトセンサ基板の組
立状態を示す正面図である。
FIG. 7 is a front view showing an assembled state of a conventional fixed slit plate and a photosensor board.

【図8】従来の固定スリット板とフォトセンサ基板の組
立状態を示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing an assembled state of a conventional fixed slit plate and a photosensor substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 固定スリット板 103 スリット 105 基準穴A 201 フォトセンサ基板 203 フォトセンサチップ 205 基準穴B 301 ピン 401 固定スリット板 403 スリット 405 基準パターン 501 ピン 601 光源 603 回転スリット板 605 スリットA 607 固定スリット板 609 スリットB 611 フォトセンサ基板 613 フォトセンサチップ 701 固定スリット板ベース 703 固定スリット板 705 フォトセンサ基板 707 フォトセンサチップ 709 基準面 801 スリット 101 Fixed slit plate 103 slit 105 Reference hole A 201 Photosensor board 203 Photo sensor chip 205 Reference hole B 301 pin 401 Fixed slit plate 403 slit 405 Standard pattern 501 pin 601 Light source 603 Rotating slit plate 605 Slit A 607 Fixed slit plate 609 Slit B 611 Photo sensor board 613 Photo sensor chip 701 Fixed slit plate base 703 Fixed slit plate 705 Photo sensor board 707 Photo sensor chip 709 Reference plane 801 slit

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 固定スリット板とフォトセンサ基板を備
えた光学式エンコーダにおいて、固定スリット板にスリ
ットとの位置関係が明らかである複数の位置決め基準パ
ターンあるいは位置決め基準穴を設け、フォトセンサ基
板にフォトセンサチップとの位置関係が明らかである複
数の位置決め基準穴を設け、複数の位置決めピンを用い
て前記位置決め基準パターンあるいは位置決め基準穴等
を整列させることにより、該固定スリット板と該フォト
センサ基板を位置合わせすることを特徴とする光学式エ
ンコーダ。
Claim 1: In an optical encoder equipped with a fixed slit plate and a photo sensor substrate, the fixed slit plate is provided with a plurality of positioning reference patterns or positioning reference holes whose positional relationship with the slits is clear, and the photo sensor substrate is provided with a plurality of positioning reference patterns or positioning reference holes. By providing a plurality of positioning reference holes whose positional relationship with the sensor chip is clear and aligning the positioning reference patterns or positioning reference holes using a plurality of positioning pins, the fixed slit plate and the photosensor board can be aligned. An optical encoder characterized by positioning.
【請求項2】 請求項1に記載の光学式エンコーダにお
いて、固定スリット板とフォトセンサ基板の間隔を、位
置決めピンの段部により定めることを特徴とする光学式
エンコーダ。
2. The optical encoder according to claim 1, wherein the distance between the fixed slit plate and the photosensor substrate is determined by a stepped portion of the positioning pin.
JP2911591U 1991-04-02 1991-04-02 optical encoder Pending JPH04116727U (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2911591U JPH04116727U (en) 1991-04-02 1991-04-02 optical encoder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2911591U JPH04116727U (en) 1991-04-02 1991-04-02 optical encoder

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04116727U true JPH04116727U (en) 1992-10-20

Family

ID=31913031

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2911591U Pending JPH04116727U (en) 1991-04-02 1991-04-02 optical encoder

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04116727U (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5548372A (en) PCB tooling apparatus for forming patterns on both sides of a substrate
US5361132A (en) Back to front alignment of elements on a substrate
CN102314073A (en) Photoetching plate and overlaying method thereof
JPH04116727U (en) optical encoder
KR102054875B1 (en) Permeable optical encoder
JP2946499B2 (en) Sensor device for detecting marks printed on print media
JP3180004B2 (en) Exposure film alignment method and alignment apparatus
JPH05102448A (en) Solid-state image sensor
JPH06201950A (en) Core eccentricity measuring method for optical connector, and optical connector measured thereby
JPH09134859A (en) Method and device for alignment in exposure
EP0902330A1 (en) Photomask and alignment method
JPS63311798A (en) Alignment mark
JPS5839361Y2 (en) Mask pattern position measurement jig
JPH0238287Y2 (en)
JPS593466A (en) Assembly of display
JP2623366B2 (en) Liquid crystal substrate alignment method
JPS587900A (en) Method of detecting chip element
JPH06724Y2 (en) Optical posture determination device
JPH06177595A (en) Measurement of mounting accuracy of electronic component recognition mounting machine and measuring jig
EP1159859B1 (en) A method for mounting an apparatus, an apparatus and an apparatus part
JPS5841535Y2 (en) Photomask for exposure
JPS62287640A (en) Substrate holder for edge reference
JP3038956B2 (en) Reticle alignment method
JPS62145248A (en) Automatic exposure device
JPH02268564A (en) Image sensor