JPH04109543A - イオン源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は質量分析計やイオン銃などのイオン源に関し、
例えばガスクロマトグラフ−質量分析計に適用されるイ
オン源に関するものである。

（従来の技術） 第７図に四重極分析部を備えた質量分析計の一例を示す
。

２はイオン化室であり、試料が導かれ、フィラメント４
から電子が放出されてイオン化が行なわれる。イオン化
室２のイオンを収束させて分析部６へ導くためにレンズ
８が設けられている。レンズ８は複数枚の電極板１０を
備え、各電極板１０には所定の電圧が印加される。分析
部６で分析されたイオンは検品器１２で検出される。

レンズ８では複数の電極板１０がそれぞれの間に絶縁物
１４を介在させて一体化され、各電極板１０に電圧を印
加するためにフランジのコネクタ１６を介して外部から
配線が導かれ、各電極板１０にはプラグとコネクタ１８
の接続を介して電圧が印加される。

１枚の電極板１０を第８図に示す。各電極板１０にはプ
ラグ１９が設けられ、ケーブル１７につながるコネクタ
１８が各電極板１０のプラグ１９に嵌め込まれて接続が
なされる。

（発明が解決しようとする課題） 電極板１０には使用により汚れが付着するため、レンズ
８をフランジから取り外して清掃するといったようなメ
ンテナンスを行なう必要がある。メンテナンスの際はコ
ネクタ１８をプラグ１９から外し、清掃などを行なった
後フランジにレンズ８を装着するときにはそれぞれのケ
ーブル１７のコネクタ１８を対応する電極板１０のプラ
グ１９に取りつける。

しかし、メンテナンスの度にコネクタを取り外し、また
取りつけるといった作業は、電極板１０が複数枚あるの
で煩雑であり、またコネクタを取りつける際に電極板１
０とケーブル１７との対応関係を間違える可能性もある
。

本発明はイオン源の組立てやメンテナンスの際にレンズ
の着脱が容易なイオン源を提供することを目的とするも
のである。

（課題を解決するための手段） 本発明のイオン源においては、レンズを構成する複数の
電極板が互いの間に絶縁物を介在させて一体的に組立て
られているとともに、このレンズ組立て体をイオン源フ
ランジの軸方向への移動と軸の周りの回転とにより着脱
する着脱機構が設けられ、レンズ組立て体の各電極板は
回転中心からの距離が変化する外形をもつカム形状に形
成されており、イオン源フランジには電極板のカムの距
離の長い部分で電極板と接触し距離の短かい部分では電
極板から離間するように配置された電極板ごとの接触子
が設けられている。

（作用） レンズがフランジに装着されている状態ではレンズ組立
て体の各電極板は接触子と接触して電圧が印加される。

レンズ組立て体をフランジから取り外す際にレンズ組立
て体を回転させると、電極板のカム形状により接触子と
の接触状態が解除される。また、レンズ組立て体をフラ
ンジに取りつける際に取り外す際とは逆方向に組立て体
を回転させると、電極板のカム形状により電極板が接触
子に接触するようになる。

（実施例） 第１図は一実施例でレンズ組立て体がフランジに取りつ
けられる状態を示す切欠き斜視図、第２図はフランジを
示す斜視図、第３図はレンズ組立て体を示す斜視図であ
る。

２０はレンズ組立て体であり、４枚の電極板２２が互い
の間に絶縁体２６を介してフレーム２４に一体的に取り
つけられている。電極板２２及びフレーム２４の中心に
はイオンが通過する穴２７があけられている。電極板２
２の外形は第４図に示されるようにカム形状をしており
、角度θの範囲では中心からの距ＭＲユ、Ｒ２が変化し
ており、Ｒ工は太きくＲ，に向かって距離が短かくなっ
ている。

このレンズ組立て体２０をイオン源のフランジ２８に着
脱可能に取りつけるために、着脱機構の一部を構成する
ものとしてフレーム２４にはフランジ２８の軸方向にス
ライドさせるときにフランジ２８のフレームガイド３０
により案内される切欠き３２が設けられている。フレー
ムガイド３０と切欠き３２はそれぞれ２個ずつ設けられ
ている。

レンズ組立て体２ｏを回転させ、所定の位置に位置決め
するために、第６図に示されるように、フランジ２８の
フレームガイド３０の奥方向の先端には突出方向にバネ
で付勢されている突出子３４が設けられている。また、
フレーム２４においては組立て体２０の回転時のストッ
パ３６とストッパ３６の手前でフレームガイド３０の突
出子３４が嵌め込まれる凹部３８が設けられている。ス
トッパ３６、凹部３８は切欠き３２と組をなし、このよ
うな組が２組設けられている。

レンズ組立て体２０がフランジ２８に装着された状態で
、フランジ２８の軸中心とレンズ組立て体２０の各電極
板２２のイオン通過用穴２７の中心が一致する。

フランジ２８の奥方向にはドーナツ盤状のフランジ４０
が設けられている。

フランジ２８にはまた、その内側にレンズ組立て体２０
の電極板２２と接触して電気的導通を行ない、レンズ組
立て体２０の回転によりその接触を解除して導通状態を
解除するために、バネで付勢された接触子４２が電極板
２２ごとに設けられている。各接触子４２のリート線は
フレーム２８に設けられたコネクタ４４を経てフレーム
２８の外部に導かれている。

接触子４２は第５図に示されるように絶縁物の支持板４
６に支持され、支持板４６がフランジ２８にねしなどに
より固定されている。

フレーム２４にはまた、レンズ組立て体２０をフランジ
２８の軸方向にスライドさせて嵌め込むときに接触子４
２を通すための切欠き４８が形成されている。

次に１本実施例の動作について説明する。

レンズ組立て体２０をフランジ２８に取りつける動作を
説明する。

フレーム２４の切欠き３２をフレームガイド３０に位置
合わせし、フレームガイド３０に沿ってレンズ組立て体
２０をフランジ２８の軸方向（第１図中の８方向）にス
ライドさせる。フレーム２４がドーナツ盤状フランジ４
０に当接する位置まで押し込まれると、フレーム２４は
フレームガイド３０の先端から外れ、第６図（Ａ）の状
態となる。この状態では電極板２２と接触子４２の関係
は、第４図（Ｂ）に示されるような位置関係となり、電
極板２２のカムにより、接触子４２と電極板２２は離間
して導通状態にはない。

次に、レンズ組立て体２０を第１図で矢印すて示される
方向に回転させると、フレームガイド３０の先端の突出
子３４とフレーム２４は第６図（Ｂ）に示されるように
移動した後、（Ｃ）に示されるようにフレームガイド３
０の突出子３４がフレーム２４の切欠き３８に嵌め込ま
れた状態でレンズ組立て体２０の回転方向が位置決めさ
れる。

この状態では電極板２２は第４図（Ａ）に示される位置
に回転しており、電極板２２と接触子４２は電極板２２
のカムにより接触して導通状態となる。これによりフラ
ンジ２８へのレンズ組立て体２０の装着が完了する。

次に、フランジ２８に装着されているレンズ組立て体２
ｏをメンテナンスの場合などに取り外す動作を説明する
。

装着された状態からレンズ組立て体２０を第１図中で方
向すと反対方向に回転させると、第６図の（Ｃ）→（Ｂ
）→（Ａ）というように回転して切欠き３２がフレーム
ガイド３ｏの位置に位置決めされる。その後、第１図中
の方向ａと反対方向にレンズ組立て体２０をスライドさ
せることにより、レンズ組立て体２０をフランジ２８か
ら外すことができる。

（発明の効果） 本発明では複数の電極板を含む一体化されたレンズ組立
て体をイオン源フランジの軸方向への移動と軸の周りの
回転とにより着脱できるようにし、レンズ組立て体の各
電極板は回転中心からの距離が変化するカム形状の外形
をもっとともに、電極板ごとに接触子を設けて！メンズ
組立て体の回転によって接触子と電極板とを接触させた
り接触を解除したりするようにしたので、レンズ組立て
体をフランジの軸方向にスライドさせ、その後回転させ
ることによりレンズ組立て体をフランジに装着するとと
もに、レンズ組立て体の各電極と接触子とを接触させる
ことができ、またレンズ組立て体をフランジから取り外
す場合は先程と逆方向にレンズ組立て体を回転させた後
、フランジの軸方向に沿って逆方向にスライドさせて引
き出すことにより、レンズ組立て体の取外しと同時に電
極板と接触子との接触を解除することができる。このよ
うに、フランジへのレンズ組立て体の取りつけ及び取外
しが容易になり、メンテナンスを容易に行なうことがで
きるようになる。

また、電極板とリード線との接続ミスが発生することも
ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例を示す切欠き斜視図、第２図は同実施
例のフランジを示す斜視図、第３図は同実施例のレンズ
組立て体を示す斜視図、第４図（Ａ）、（Ｂ）はレンズ
組立て体の電極板と接触子との関係を示す平面図、第５
図は同実施例における接触子を示す斜視図、第６図（Ａ
）、（Ｂ）。 （Ｃ）はレンズ組立て体のフレームとフランジのフレー
ムガイドの位置関係を示す側面図、第７図は質量分析計
の一例の概略を示す図、第８図は従来のレンズにおける
電極板とケーブルとの接続を示す平面図である。 ２０・・・・・・レンズ組立て体、２２・・・・・・電
極板、２４・・・・・・フレーム、２６・・・・・・絶
縁体、２８・・・・・・フランジ、３０・・・・・・フ
レームガイド、３２・・・・−フレームの切欠き、３４
・・・・・・フレームガイド先端の突出子、３６・・・
・・・スｌ〜ソバ、３８・・・・・凹部、４２・・・・
・・接触子、４４・・・・・・コネクタ。 特許呂願人　株式会社島津製作所

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）試料をイオン化するイオン化室と、イオン化室か
   らのイオンを収束させて分析部に導くレンズを備えたイ
   オン源において、レンズを構成する複数の電極板が互い
   の間に絶縁物を介在させて一体的に組立てられていると
   ともに、このレンズ組立て体をイオン源フランジの軸方
   向への移動と軸の周りの回転とにより着脱する着脱機構
   が設けられ、レンズ組立て体の各電極板は回転中心から
   の距離が変化する外形をもつカム形状に形成されており
   、イオン源フランジには電極板のカムの距離の長い部分
   で電極板と接触し距離の短かい部分では電極板から離間
   するように配置された電極板ごとの接触子が設けられて
   いることを特徴とするイオン源。