JPH04107896A - フレキシブルプリント基板の製造方法 - Google Patents
フレキシブルプリント基板の製造方法Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims abstract description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 4
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 68
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 20
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005483 Hooke's law Effects 0.000 description 1
- 101100201894 Mus musculus Rtn4ip1 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
、)の製造方法に関し、特に詳しくは、種々のフィルム
の物性に適合したフレキシブルプリント基板を製造する
方法に関する。
装の要求が高くなり、それに伴いFPCの分野において
も高密度実装の要求が高くなってきている。FPCの製
造工程において、寸法変化が大きい工程はエソチング工
程の前後であり、この工程の前後においてFPCの寸法
変化が小さいことが高密度実装をするために不可欠の条
件として要求されている。
図に示すように、ロールに巻き取られているFPC用ベ
ースフィルム1と銅箔2がそれぞれ引き出されて、ラミ
ネートロール3と受はロール4の間で押圧・加熱されて
ラミネートされている。このため、ベースフィルム1と
銅fI32にはそれがロールによって送られる送り方向
、すなわち機械的送り方向(以下、MD力方向いう、)
にテンションがかけられており、その状態でFPC5が
製造されている。
ては、ベースフィルム1にはテンションによるフィルム
の伸びと、ラミネート時に加えられる熱による熱膨張の
伸びと、ラミネートロール3の圧力による伸びが与えら
れ、接着剤により銅箔2に固定される。次に、このテン
ションによりフィルム1がMD力方向伸ばされた分、フ
ィルム1の機械的送り方向と直交する方向(以下、TD
力方向いう。)にフィルム1が縮むという現象が起こり
、この縮みと、ラミネート時に加えられる熱による熱膨
張の伸びが与えられ、その状態で接着剤により銅箔2に
固定されることになる。
常に大きいため、通常のFPC5の製造工程で加えられ
るテンションでは銅箔2はほとんど変形しない、銅箔2
が変形させられるのは、ラミネート時に加えられる熱に
よる熱膨張だけであり、銅箔2にはMD力方向TD力方
向熱膨張による伸びが与えられ、その状態でベースフィ
ルムlと接着させられる。
ィルム1の伸びとフィルム1の熱膨張による伸びとラミ
ネートロール3の圧力による伸びの和が、v!4箔2の
熱膨張による伸びと等しければ歪が相殺されることにな
る。また、TD力方向関しては、テンションによりMD
力方向延伸されることによるフィルム1の縮みと熱膨張
による伸びの和が銅箔2の熱膨張による伸びと等しけれ
ば歪が相殺されることになる。
製造されており、ベースフィルム1と銅箔2がラミネー
トされたFPC5は所定のパターンを形成するためにエ
ツチングにより銅箔を除去すると、固定されていた歪が
開放されることになる。したがって、MD力方向関して
は、テンションによるフィルム1の伸びとフィルム1の
熱膨張による伸びとラミネートロール3の圧力による伸
びの和と、銅箔2の熱膨張による伸びとの差が寸法変化
となってあられれる。また、TD力方向関しては、テン
ションによりMD力方向延伸されることによるフィルム
1の縮みと熱膨張による伸びの和と、XF52の熱膨張
による伸びとの差が寸法変化となってあられれることに
なる。
を決定する方法は、フィルム1を貼る張 。
種々の製造条件を変えてFPC5を製造し、その上で製
造条件を決定していた。この方法では使用しているフィ
ルムlの特性に適合した製造条件を見出すのに多大の時
間を必要とした。
した製造条件(張力、ニンプ圧、ラミネート温度)を簡
便に決定し、最適の条件で即座にFPCを製造する方法
を得るために鋭意研究をした結果、本発明に至ったので
ある。
旨とするところは、フレキシブルプリント基板の製造時
に生ずる寸法変化率を求める式(MD力方向寸法変化率
) +(フィルムの線膨張係数−金属箔の線膨張係数)×(
ラミネート温度−室温)IXloo(TD力方向寸法変
化率) +(フィルムの線膨張係数−金属箔の線膨張係数)×(
ラミネート温度−室温)IX100(但し、式中、フィ
ルムの弾性率、はBステージの温度でのフィルムの弾性
率であり、フィルムの弾性率2はラミネート温度でのフ
ィルムの弾性率である。)の絶対値がいずれも0.15
以下になるように張力、ニップ圧、ラミネート温度を決
定して製造することにある。
あたり、上述したところは省略する。
されてFPC5が製造されている。フィルム1としては
たとえば、ポリイミドやポリアミドなど、特に耐熱性に
優れた樹脂フィルムが選ばれる。また、金属箔2として
はたとえば、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム
合金など、特に電気的良導体で、且つ薄膜化し得る材料
が選ばれる。
5の製造工程において大きな寸法変化が生ずる工程はエ
ソチング工程であり、そのエツチング工程前後において
、FPC5の寸法変化を非常に小さくするには以下の条
件を満たすことが必要である。すなわち、MD力方向関
しては、テンションによるフィルム1の伸びとフィルム
1の熱膨張による伸びとラミネートロール3の圧力によ
る伸びの和が金属箔2の熱膨張による伸びと等しいこと
であり、また、TD力方向関しては、テンションにより
MD力方向延伸されることによるフィルム1の縮みと熱
膨張による伸びの和が金属箔2の熱膨椎による伸びと等
しいことが必要である。
フィルムの熱膨張による伸び) +(ラミネートロールの圧力による伸び)−(金属箔の
熱膨張による伸び) TD力方向 (テンションによりMD力方向延伸される
ことによるフィルムの縮み) +(熱膨張による伸び) =(金属箔の熱膨張による伸び) かかる関係式をフックの法則、線膨張係数の定義、ポア
ソン比の定義を用いて表現すると、工・2チング工程前
後における寸法変化は (MD力方向寸法変化) ±(フィルムの線膨張係数−金属箔の線膨張係数)×(
ラミネート温度−室温)) (TD力方向寸法変化) ±(フィルムの線膨張係数−金属箔の線膨張係数)×(
ラミネート温度−室温)) で表される。
ィルムlに塗布し乾燥(B−ステージ)させたものにお
ける室温からラミフート温度の範囲での線膨張係数をい
い、金属ff!i 2の線膨張係数は室温からラミネー
ト温度における線膨張係数をいう。また、張力はフィル
ム1を引っ張る力であり、ニップ圧はラミ7−トロール
3が受はロール4を押す圧力をいい、単位は1c111
あたりの押す力(kg/cm)であり、線圧で表される
。比例定数は使用する機械によって定められる定数であ
り、後述する方法により定められる。幅と厚みはそれぞ
れ用いられるフィルムlの幅と厚みをいい、フィルムl
の弾性率、はFPC5の製造工程において接着剤を乾燥
させる温度(B−ステージの温度)における、接着剤が
塗布された状態で測定されたフィルムlの弾性率をいい
、またフィルム1の弾性率、はラミネート温度でのフィ
ルムの弾性率をいう、ポアソン比はフィルム1を一方向
に引っ張った時における (引張方向に伸びた長さ) をいう。
あり小さすぎるので、%のオーダーにするため100倍
した、次の式を採用した。
ラミネート温度−室温))X100(TD力方向寸法変
化率) +(フィルムの線膨張係数−金属箔の線膨張係数)×(
ラミネート温度−室温))X100次に、MD力方向ニ
ップ圧×比例定数における比例定数の求め方を説明する
。
ンスピードなど、ニップ圧以外の条件を一定にし、ニッ
プ圧のみをO〜20kg/cmの範囲で変化させて、F
PC5を作成し、接着された金属(2)を全面エツチン
グした時のエツチング前後の寸法変化率をIPC−TM
650,2.2゜4 Method Bに則って測定
される。−例として、輻254s+m、厚さ25μmの
ポリイミドフィルムを用いて実験を行い、ニップ圧とエ
ツチング前後の寸法変化率の関係を調べた。その結果を
第2図に示す。なお、使用したラミネートロール3はス
テンレス製であり、また受はロール4はシリコンゴムを
被覆したロールであった。
係は比例関係が認められ、 y=−0,016x−0,092 (ここで、Xはニップ圧、yはMD力方向寸法変化率を
表す。) ある任意のニップ圧の時におけるラミネートロール3の
圧力による伸び率は、ニップ圧が00時の寸法変化率と
、ある任意のニップ圧の時の寸法変化率との差で求めら
れる。すなわち、ラミネートロール3の圧力による伸び
率(%)= −0,092−(−0,016x −0,
092)= 0.016x このラミネートロール3の圧力による伸びの分だけフィ
ルムIに寸法変化を生しさせるのに必要な力は、 0.016x □×(フィルムの幅×フィルムの厚み ]00 Xフィルムのラミネート温度における弾性率2)=0.
30x ただし、使用したフィルムlの弾性率(kg/mm2)
は室温で430.120°Cで280.180 ”Cで
245である。
る寸法変化率を求める式は、 (MD力方向寸法変化率) (ニップ圧X0,3) + (幅×厚みXフィルムの弾性率り +(フィルムの線膨張係数−金属箔の線膨張係数)×(
ラミネート温度−室温))xloo(TD力方向寸法変
化率) +(フィルムの線膨張係数−金属箔の線膨張係数)×(
ラミネート温度−室温))×1o。
着させる接着剤の種類を決定すると、その接着剤の乾燥
温度(B−ステージ温度)が決定し、その時のフィルム
Iの弾性率が決定する。−方、フィルム1や金属713
2の線膨張係数及びポアソン比は一定であることから、
フレキシブルプリント基板5の製造条件で容易に変更で
きるのは、張力、ニップ圧及びラミ第一ト温度である。
に貼ることができ、且つ接着剤を均一に塗布することが
できるのが条件であるため、張力は事実、 上、約0
.2kg/a+以上であることが好ましい。また、ラミ
ネート温度は室温以上で、シリコンゴムなどによって被
覆されている受はロール4の耐熱温度以下の範囲で設定
されることになる。更に、ニップ圧は通常のラミネータ
ーでは0〜20kg/cmである。
ずる寸法変化を無視し得る値、すなわちできる限り最小
限にするため、MD力方向びTD力方向おける寸法変化
率を求める式の絶対値がいずれも0.15以下、好まし
くは0.10以下、更に好ましくは0.05以下になる
ように、上記計算式によって張力、ニップ圧及びラミネ
ート温度がそれぞれ設定され、その設定値に基づいて製
造条件が設定されてフレキシブルプリント基板が製造さ
れるのである。
ムと銅箔とを変性フェノール系の接着剤によって接着し
てフレキシブルプリント基板(FPC)を製造した。接
着剤の乾燥条件(B−ステージ温度)は120℃、1分
であり、ラミネーターのラインスピードは2 m/si
nである。
温から120°CではMD力方向1.00、TD力方向
0.53であり、また室温から180°CではMD力方
向1.20、TD力方向0.60であった。また、銅箔
の熱膨張係数(”C−’)は室温から120”CではM
D力方向1.42、TD力方向1.29であり、また室
温から180℃ではMD力方向1.56、TD力方向1
.47であった。
%以下であるMD力方向−0,12%、TD力方向+0
.11%になるように、張力を2kg/clI、ニップ
圧を3kg/cm、ラミネート温度を120℃の条件に
設定し、この条件の下でFPCを製作した。
銅箔をエツチングした後、乾燥させ、得られたフィルム
の寸法をLlとして、MD力方向TD力方向寸法変化率
を調べた。MD力方向TD力方向寸法変化率(%)は t、。
、銅箔をエツチングで取り除いて寸法変化率を調べた。
計算値における絶対値で0゜15%以下であるMD力方
向−0,06%、TD力方向+0.05%になるように
、張力を1kg/cm、ニップ圧を3 kg / cm
、ラミネート温度を120°Cの条件に設定し、この条
件の下でFPCを製造した。
、銅箔をエツチングで取り除いて寸法変化率を調べた。
計算値における絶対値で0゜15%以下であるMD力方
向−0,03%、TD力方向+0.05%になるように
、張力を1kg/c■、ニップ圧を1 kg / cm
、ラミネート温度を120″Cの条件に設定し、この条
件の下でFPCを製造した。
、銅箔をエツチングで取り除いて寸法変化率を調べた。
計算値における絶対値で0゜15%以下であるMD力方
向−0,03%、TD力方向+0.10%になるように
、張力を0.5 kg/cm、ニップ圧を0.5 kg
/c転ラミネート温度を180℃の条件に設定し、この
条件の下でFPCを製造した。
、銅箔をエツチングで取り除いて寸法変化率を調べた。
計算値における絶対値で0゜15%以下であるMD力方
向−0,03%、TD力方向+0.01%になるように
、張力をQ、5 kg/cm、二・7プ圧を0.5 k
g/Cm、ラミネート温度を室温の条件に設定し、この
条件の下でFPCを製造した。
、銅箔をエツチングで取り除いて寸法変化率を調べた。
計算値における絶対値で0゜15%を越えるように、張
力を5kg/cm、ニップ圧を5kg/cm、ラミネー
ト温度を180°Cの条件に設定した。そのときの計算
値における寸法変化率はMD力方向−0,34%、TD
力方向+0.11%であった。この条件の下でFPCを
製造して、寸法変化を調べた。
ムや金属箔の種類はなんら限定されるものではなく、そ
のフィルムあるいは金属箔、特にフィルムの特性に適応
した製造条件を設定することができるものであり、本発
明はその趣旨を逸脱しない範囲内で、当業者の知識に基
づき種々なる改良、修正、変形を加えた態様で実施し得
るものである。
によって生ずる寸法変化率を求める計算式を求めておき
、フィルム及び金属箔の特性、特に変化の大きいフィル
ムの特性に適応した製造条件を机上で設定し、その設定
された製造条件で直ちにフレキシブルプリント基板(F
PC)を製造することができるため、FPCの生産性が
飛躍的に向上することとなった。また、試験的にFPC
を製造して、その寸法変化率を調べる手順を必要としな
いため、時間的ロスだけでなく試験に伴う各種のロスを
必要とせず、製造コストを低減することが可能となる等
、本発明は優れた効果を奏するものである。
の製造方法の概略を示す説明図である。 第2図はニップ圧と寸法変化率との関係を示す図である
。 l;フィルム 2;金属箔 3;ラミネートロール 4;受はロール 5;フレキシブルプリント基板(FPC)特許出願人
鐘淵化学工業株式会社
Claims (1)
- (1)フレキシブルプリント基板の製造時に生ずる寸法
変化率を求める式 (MD方向の寸法変化率) =−{(張力)/(幅×厚み×フイルムの弾性率_1)
+((ニップ圧×比例定数)/(幅×厚み×フィルムの
弾性率_2))+(フィルムの線膨張係数−金属箔の線
膨張係数)×(ラミネート温度−室温)}×100(T
D方向の寸法変化率) =−{−((張力)×(ポアソン比)/(幅×厚み×フ
イルムの弾性率_1))+(フィルムの線膨張係数−金
属箔の線膨張係数)×(ラミネート温度−室温)}×1
00(但し、式中、フィルムの弾性率_1はBステージ
の温度でのフィルムの弾性率であり、フィルムの弾性率
_2はラミネート温度でのフィルムの弾性率である。)
の絶対値がいずれも0.15以下になるように張力、ニ
ップ圧、ラミネート温度を決定して製造することを特徴
とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22577790A JP2913420B2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22577790A JP2913420B2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04107896A true JPH04107896A (ja) | 1992-04-09 |
JP2913420B2 JP2913420B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=16834627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22577790A Expired - Lifetime JP2913420B2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2913420B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7321496B2 (en) | 2004-03-19 | 2008-01-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Flexible substrate, multilayer flexible substrate and process for producing the same |
CN115023053A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-06 | 苏州斯普兰蒂科技股份有限公司 | 一种新型fpc生产工艺 |
-
1990
- 1990-08-27 JP JP22577790A patent/JP2913420B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
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US7321496B2 (en) | 2004-03-19 | 2008-01-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Flexible substrate, multilayer flexible substrate and process for producing the same |
US7773386B2 (en) | 2004-03-19 | 2010-08-10 | Panasonic Corporation | Flexible substrate, multilayer flexible substrate |
CN115023053A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-06 | 苏州斯普兰蒂科技股份有限公司 | 一种新型fpc生产工艺 |
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---|---|
JP2913420B2 (ja) | 1999-06-28 |
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