JPH04107320A - 静圧気体軸受け及びその製造法 - Google Patents
静圧気体軸受け及びその製造法Info
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-
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、熱放散特性の良好な静圧気体軸受は及びその
製造法に関するものである。
製造法に関するものである。
（従来の技術）
従来、軸受は面に多孔質体を配してこの多孔質体を通し
て軸受は面の間隙に加圧気体を供給して、軸受は面の空
気層により軸構造体を保持する静圧気体軸受けが知られ
ている。
て軸受は面の間隙に加圧気体を供給して、軸受は面の空
気層により軸構造体を保持する静圧気体軸受けが知られ
ている。
その−例として、特開昭５２−９２０４８号公報におい
て、第３図に示すように軸受は面に気孔率の小さい第一
の多孔質体層２１を配すとともに、給気面側に気孔率の
大きい第二の多孔質体層２２を配してなる静圧気体軸受
けが開示されている。この構造の静圧気体軸受けでは、
支持すべき軸構造体をより強い空気圧で保持可能である
ため、軸受は性能の向上とその均二化を達成することが
できる。
て、第３図に示すように軸受は面に気孔率の小さい第一
の多孔質体層２１を配すとともに、給気面側に気孔率の
大きい第二の多孔質体層２２を配してなる静圧気体軸受
けが開示されている。この構造の静圧気体軸受けでは、
支持すべき軸構造体をより強い空気圧で保持可能である
ため、軸受は性能の向上とその均二化を達成することが
できる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、第３図に示す構造の静圧気体軸受けでは
、多孔質体層２１に金属を用いると加工による気孔の目
つぶれが生じるため、膨大な工数のかかる再加工をしな
ければならず、また多孔質体層２１に加工による気孔の
目つぶれしないセラミックスを用いると軸受すきま内で
発生した熱が多孔質体層２１を通りにくく熱を持ってし
まうため、所定の軸受は性能を発揮できない問題があっ
た。
、多孔質体層２１に金属を用いると加工による気孔の目
つぶれが生じるため、膨大な工数のかかる再加工をしな
ければならず、また多孔質体層２１に加工による気孔の
目つぶれしないセラミックスを用いると軸受すきま内で
発生した熱が多孔質体層２１を通りにくく熱を持ってし
まうため、所定の軸受は性能を発揮できない問題があっ
た。
本発明の目的は上述した課題を解消して、熱放散特性が
良好で、十分な軸受は性能を常に発揮することができる
静圧気体軸受は及びその製造法を提供しようとするもの
である。
良好で、十分な軸受は性能を常に発揮することができる
静圧気体軸受は及びその製造法を提供しようとするもの
である。
（課題を解決するための手段）
本発明の静圧気体軸受けは、軸受は面に気孔率が小さく
加工による表面口づまりを起こさない第一の多孔質体層
を配すとともに、給気面側に気孔率の大きい第二の多孔
質体層を配してなる静圧気体軸受けにおいて、前記第一
の多孔質体層の微構造を、熱伝導率の大きいセラミック
ス偏平板を軸受は面に平行に複数層重ねて構成するとと
もに、前記第一の多孔質体層を第二の多孔質体層の側面
にまで延在させたことを特徴とするものである。
加工による表面口づまりを起こさない第一の多孔質体層
を配すとともに、給気面側に気孔率の大きい第二の多孔
質体層を配してなる静圧気体軸受けにおいて、前記第一
の多孔質体層の微構造を、熱伝導率の大きいセラミック
ス偏平板を軸受は面に平行に複数層重ねて構成するとと
もに、前記第一の多孔質体層を第二の多孔質体層の側面
にまで延在させたことを特徴とするものである。
また、本発明の静圧気体軸受けの製造法は、軸受は面に
気孔率が小さい第一の多孔質体層を配すとともに、給気
面側に気孔率の大きい第二の多孔質体層を配してなる静
圧気体軸受けの製造法において、前記第二の多孔質体層
の軸受は面及びその側面に、プラズマ溶射により、熱伝
導率の大きいセラミックス偏平板を軸受は面に平行に複
数層重ねて第一の多孔質体層を形成したことを特徴とす
るものである。
気孔率が小さい第一の多孔質体層を配すとともに、給気
面側に気孔率の大きい第二の多孔質体層を配してなる静
圧気体軸受けの製造法において、前記第二の多孔質体層
の軸受は面及びその側面に、プラズマ溶射により、熱伝
導率の大きいセラミックス偏平板を軸受は面に平行に複
数層重ねて第一の多孔質体層を形成したことを特徴とす
るものである。
（作 用）
上述した構成において、第一の多孔質体層の微構造をセ
ラミックス偏平板を軸受は面に平行に複数層重ねて構成
することにより、第一の多孔質体層の熱伝導率を大きく
させているため、従来構造の静圧気体軸受けと比べて熱
放散特性を改善することができ、過熱による軸受は特性
の劣化をなくすことができる。
ラミックス偏平板を軸受は面に平行に複数層重ねて構成
することにより、第一の多孔質体層の熱伝導率を大きく
させているため、従来構造の静圧気体軸受けと比べて熱
放散特性を改善することができ、過熱による軸受は特性
の劣化をなくすことができる。
また、上述した構造の熱伝導特性の良好な第一の多孔質
体層を、第二の多孔質体層の軸受は面のみならず側面に
も設けているため、軸受は面の熱を側面から放散するこ
とができ、より良好な軸受は特性を達成することができ
る。
体層を、第二の多孔質体層の軸受は面のみならず側面に
も設けているため、軸受は面の熱を側面から放散するこ
とができ、より良好な軸受は特性を達成することができ
る。
さらに、上述した構造の第一の多孔質体層を形成するに
は、第二の多孔質体層に対してセラミックスをプラズマ
溶射すると、セラミックス偏平板を軸受は面に平行に複
数層重ねてなる微構造を好適に得ることができることを
見いだした。
は、第二の多孔質体層に対してセラミックスをプラズマ
溶射すると、セラミックス偏平板を軸受は面に平行に複
数層重ねてなる微構造を好適に得ることができることを
見いだした。
なお、上述した第一の多孔質体層は加工により目づまり
を起こしにくい構造となり、このように第一の多孔質体
層に加工による目づまりを起こさないセラミックスを用
いることで、多孔質金属を用いた場合必要になる目づま
りした気孔をあけ直す工程が不要となる。
を起こしにくい構造となり、このように第一の多孔質体
層に加工による目づまりを起こさないセラミックスを用
いることで、多孔質金属を用いた場合必要になる目づま
りした気孔をあけ直す工程が不要となる。
（実施例）
第１図（ａ）、 （ｂ）は本発明の静圧気体軸受けの一
構成を示す部分断面図及び斜視図である。第１図（ａ）
、 （ｂ）に示す実施例では、軸受は面に気孔率が小さ
い第一の多孔質体層１を配すとともに、給気面側に第二
の多孔質体層２を配し、この第二の多孔質体層２を図示
しない軸受はノ＼ウジングにより固定した静圧気体軸受
け３により、支持すべき軸構造体４を支持している。ま
た、第一の多孔質体層１を第二の多孔質体層２の給気面
側に設けるだけでなく連続してその側面にまで設けるこ
とにより、第一の多孔質体層１の軸受は面で発生する熱
を側面から大気中に放散することができ、静圧気体軸受
け３としての熱放散特性を改善している。
構成を示す部分断面図及び斜視図である。第１図（ａ）
、 （ｂ）に示す実施例では、軸受は面に気孔率が小さ
い第一の多孔質体層１を配すとともに、給気面側に第二
の多孔質体層２を配し、この第二の多孔質体層２を図示
しない軸受はノ＼ウジングにより固定した静圧気体軸受
け３により、支持すべき軸構造体４を支持している。ま
た、第一の多孔質体層１を第二の多孔質体層２の給気面
側に設けるだけでなく連続してその側面にまで設けるこ
とにより、第一の多孔質体層１の軸受は面で発生する熱
を側面から大気中に放散することができ、静圧気体軸受
け３としての熱放散特性を改善している。
軸受は面に設けた第一の多孔質体層１の材質として要求
される性質は、熱伝導率が大きいこと、加工しても目つ
ぶれしないことであり、多孔質アルミナ、多孔質炭化ケ
イ素、多孔質窒化ボロン、多孔質マグネシア、多孔質窒
化アルミニウム、多孔質炭化チタン、多孔質窒化チタン
、多孔質炭化ホウ素が使用できる。また、給気面側に設
けた第二の多孔質体層２の材料として要求される性質は
、気孔が均一に分布していること、加工しても目つぶれ
しないことであり、通常の多孔質セラミ・ソクスはいず
れも使用できる。
される性質は、熱伝導率が大きいこと、加工しても目つ
ぶれしないことであり、多孔質アルミナ、多孔質炭化ケ
イ素、多孔質窒化ボロン、多孔質マグネシア、多孔質窒
化アルミニウム、多孔質炭化チタン、多孔質窒化チタン
、多孔質炭化ホウ素が使用できる。また、給気面側に設
けた第二の多孔質体層２の材料として要求される性質は
、気孔が均一に分布していること、加工しても目つぶれ
しないことであり、通常の多孔質セラミ・ソクスはいず
れも使用できる。
第２図は、第１図（ａ）、 （ｂ）で示した本発明の静
圧気体軸受けの要部拡大断面図である。本発明で重要な
のは、第２図に示すように、第一の多孔質体層１の微構
造を、セラミックス偏平板５が軸受は面または側面に対
して平行に複数層重なった状態に構成することであり、
この構造はセラミックスを第二の多孔質体層２の軸受は
面及び側面にプラズマ溶射することにより構成すること
ができる。
圧気体軸受けの要部拡大断面図である。本発明で重要な
のは、第２図に示すように、第一の多孔質体層１の微構
造を、セラミックス偏平板５が軸受は面または側面に対
して平行に複数層重なった状態に構成することであり、
この構造はセラミックスを第二の多孔質体層２の軸受は
面及び側面にプラズマ溶射することにより構成すること
ができる。
第２図に示す実施例では、その−例として、出力、 ６
００ Ａ、 ６５Ｖ、プラズマガス；Ｎ２、溶射距離；
１００ｍｍ 、溶射速度； ４００ｍｍ／ｓｅｃ 、
溶射回数；１３回のプラズマ溶射条件により、直径２０
−３０μｍで厚さ３−５μｍのセラミックス偏平板５を
多数重ねて構成している。また、第２図に示す実施例で
は、まず第二の多孔質体層２の軸受は面側の面上にプラ
ズマ溶射により所定の構造の第一の多孔質体層１を設け
、次に第二の多孔質体層２の側面及び第一の多孔質体層
１の側面に第一の多孔質体層１を形成して構成している
。
００ Ａ、 ６５Ｖ、プラズマガス；Ｎ２、溶射距離；
１００ｍｍ 、溶射速度； ４００ｍｍ／ｓｅｃ 、
溶射回数；１３回のプラズマ溶射条件により、直径２０
−３０μｍで厚さ３−５μｍのセラミックス偏平板５を
多数重ねて構成している。また、第２図に示す実施例で
は、まず第二の多孔質体層２の軸受は面側の面上にプラ
ズマ溶射により所定の構造の第一の多孔質体層１を設け
、次に第二の多孔質体層２の側面及び第一の多孔質体層
１の側面に第一の多孔質体層１を形成して構成している
。
第２図に示すように、本発明では、熱伝導率の大きいセ
ラミックス偏平板５を複数層重ねてしかも側面まで設け
た構造となっているため、熱の軸方向の逃げが容易とな
り、軸受けとしての熱放散特性が良好となっている。そ
の理由は、１つ１つの粒子内の熱抵抗は粒子間の熱抵抗
より小さく、粒子を偏平状にさせたことで粒子１個の長
さを長くしたことによる。
ラミックス偏平板５を複数層重ねてしかも側面まで設け
た構造となっているため、熱の軸方向の逃げが容易とな
り、軸受けとしての熱放散特性が良好となっている。そ
の理由は、１つ１つの粒子内の熱抵抗は粒子間の熱抵抗
より小さく、粒子を偏平状にさせたことで粒子１個の長
さを長くしたことによる。
本発明は上述した実施例にのみ限定されるものではなく
、幾多の変形、変更が可能である。例えば、上述した実
施例では、セラミックス偏平板５を設ける際、まず最初
に第二の多孔質体層２の軸受は面側の面上に第一の多孔
質体層１を設け、その後それらの側面にさらに第一の多
孔質体層１を設けたが、その順序を逆にしても同様に好
適な第一の多孔質体層１を設けることができることはい
うまでもない。
、幾多の変形、変更が可能である。例えば、上述した実
施例では、セラミックス偏平板５を設ける際、まず最初
に第二の多孔質体層２の軸受は面側の面上に第一の多孔
質体層１を設け、その後それらの側面にさらに第一の多
孔質体層１を設けたが、その順序を逆にしても同様に好
適な第一の多孔質体層１を設けることができることはい
うまでもない。
（発明の効果）
以上詳細に説明したところから明らかなように、本発明
によれば、静圧気体軸受けの最外層の軸受は面及び側面
を熱伝導率の大きいセラミックス偏平板を複数層重ねた
構造の第一の多孔質体層により形成しているため、熱放
散特性を改善でき、過熱による軸受は特性の劣化をなく
すことができる。
によれば、静圧気体軸受けの最外層の軸受は面及び側面
を熱伝導率の大きいセラミックス偏平板を複数層重ねた
構造の第一の多孔質体層により形成しているため、熱放
散特性を改善でき、過熱による軸受は特性の劣化をなく
すことができる。
第１図（ａ）、 （ｂ）は本発明の静圧気体軸受けの一
構成を示す部分断面図及び斜視図、 第２図は第１図（ａ）、 （ｂ）に示した静圧気体軸受
けの要部拡大図、 第３図は従来の静圧軸受けの一構成を示す部分断面図で
ある。 １・・・第一の多孔質体層 ２・・・第二の多孔質体層 ３・・・静圧気体軸受け ４・・・軸構造体 ５・・・セラミックス偏平板
構成を示す部分断面図及び斜視図、 第２図は第１図（ａ）、 （ｂ）に示した静圧気体軸受
けの要部拡大図、 第３図は従来の静圧軸受けの一構成を示す部分断面図で
ある。 １・・・第一の多孔質体層 ２・・・第二の多孔質体層 ３・・・静圧気体軸受け ４・・・軸構造体 ５・・・セラミックス偏平板
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、軸受け面に気孔率が小さい第一の多孔質体層を配す
とともに、給気面側に気孔率の大きい第二の多孔質体層
を配してなる静圧気体軸受けにおいて、前記第一の多孔
質体層の微構造を、熱伝導率の大きいセラミックス偏平
板を軸受け面に平行に複数層重ねて構成するとともに、
前記第一の多孔質体層を第二の多孔質体層の側面にまで
延在させたことを特徴とする静圧気体軸受け。 ２、軸受け面に気孔率が小さい第一の多孔質体層を配す
とともに、給気面側に気孔率の大きい第二の多孔質体層
を配してなる静圧気体軸受けの製造法において、前記第
二の多孔質体層の軸受け面及びその側面に、プラズマ溶
射により、熱伝導率の大きいセラミックス偏平板を軸受
け面に平行に複数層重ねて第一の多孔質体層を形成した
ことを特徴とする静圧気体軸受けの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2221084A JP2644617B2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 静圧気体軸受け及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2221084A JP2644617B2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 静圧気体軸受け及びその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04107320A true JPH04107320A (ja) | 1992-04-08 |
| JP2644617B2 JP2644617B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=16761241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2221084A Expired - Lifetime JP2644617B2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 静圧気体軸受け及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2644617B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100496509B1 (ko) * | 2002-11-21 | 2005-06-22 | 중앙방수기업주식회사 | 규산질계 침투성 방수재와 단열 및 결로 방지 도료를이용한 복합방수구조 및 이를 이용한 복합방수공법 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5941485A (ja) * | 1982-05-15 | 1984-03-07 | ヘラエウス―エレクトローデン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | クロ−ルアルカリ電解用陰極およびその製造方法 |
| JPS62124320A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-05 | Canon Inc | 静圧気体軸受 |
| JPS63100167A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-05-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 多孔質皮膜の形成方法 |
| JPH02173416A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-04 | Hitachi Chem Co Ltd | 静圧空気軸受 |
-
1990
- 1990-08-24 JP JP2221084A patent/JP2644617B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5941485A (ja) * | 1982-05-15 | 1984-03-07 | ヘラエウス―エレクトローデン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | クロ−ルアルカリ電解用陰極およびその製造方法 |
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| KR100496509B1 (ko) * | 2002-11-21 | 2005-06-22 | 중앙방수기업주식회사 | 규산질계 침투성 방수재와 단열 및 결로 방지 도료를이용한 복합방수구조 및 이를 이용한 복합방수공법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2644617B2 (ja) | 1997-08-25 |
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