JPH04106495U - Drying equipment for electronic component manufacturing - Google Patents

Drying equipment for electronic component manufacturing

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JPH04106495U
JPH04106495U JP1468691U JP1468691U JPH04106495U JP H04106495 U JPH04106495 U JP H04106495U JP 1468691 U JP1468691 U JP 1468691U JP 1468691 U JP1468691 U JP 1468691U JP H04106495 U JPH04106495 U JP H04106495U
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transfer belt
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material plate
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博巳 高山
竹敏 田中
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 抵抗膜や回路等を形成するためのペーストを
上面に塗着したセラミック素材板を金網状の移送ベルト
に載置し、該移送ベルトでの移送途次において、前記ペ
ーストを乾燥するようにした乾燥装置において、移送ベ
ルトの移動に際し、製造不良の原因となる金属粉の発生
を防止し、且つ、セラミック素材板を下面からも加熱で
きるようにして、セラミック素材板の反りや亀裂を防止
する。 【構成】 金網状の移送ベルト1と、該移送ベルト1に
沿って配設した乾燥炉5とを備えた乾燥装置5におい
て、前記移送ベルト1を、当該移送ベルト1の進行方向
に沿って適宜間隔で配設した回転自在なローラ10にて
支持する。
(57) [Summary] [Purpose] A ceramic material plate coated with a paste for forming a resistive film, a circuit, etc. on its upper surface is placed on a wire-mesh-like transfer belt, and while being transferred by the transfer belt, The drying device for drying the paste is designed to prevent the generation of metal powder that can cause manufacturing defects when the transfer belt moves, and to heat the ceramic material plate from the bottom surface as well. prevent warping and cracking. [Structure] In a drying device 5 equipped with a wire-mesh-like transfer belt 1 and a drying oven 5 disposed along the transfer belt 1, the transfer belt 1 is moved as appropriate along the traveling direction of the transfer belt 1. It is supported by rotatable rollers 10 arranged at intervals.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed explanation of the idea]

【0001】0001

【産業上の利用分野】[Industrial application field]

本考案は、サーマルヘッドやチップ型抵抗器、或いはハイブリッドICのよう に、セラミック素材板の上面に、抵抗膜や回路等を、ペーストを塗着して乾燥し たのち焼成することによって形成するようにした電子部品を製造するにおいて、 前記セラミック素材板の上面に塗着したペーストを乾燥するための装置に関する ものである。 This invention is suitable for thermal heads, chip resistors, or hybrid ICs. Next, paste the resistive film, circuit, etc. on the top surface of the ceramic material plate and dry it. In manufacturing electronic parts that are formed by subsequent firing, Relating to a device for drying the paste applied to the upper surface of the ceramic material plate. It is something.

【0002】0002

【従来の技術】[Conventional technology]

サーマルヘッドやチップ型抵抗器の製造は、一般に、それらサーマルヘッドや チップ型抵抗器におけるセラミック製絶縁基板を縦横に多数連接した状態のセラ ミック素材板を形成して、このセラミック素材板の上面に、当該セラミック素材 板を各絶縁基板ごとにブレイクするための縦及び横筋目線を形成すると共に、各 絶縁基板の箇所ごとに、ペーストをスクリーン印刷にて塗着し、このペーストを 乾燥・焼成することによって抵抗膜や回路等を形成し、次いで、セラミック素材 板を縦及び横筋目線に沿ってブレイクすると言う手順で行われていることは周知 の通りである。 The manufacturing of thermal heads and chip resistors generally involves A chip resistor in which many ceramic insulating substrates are connected vertically and horizontally. A ceramic material plate is formed on the top surface of the ceramic material plate. Form vertical and horizontal lines to break the board for each insulating board, and Apply the paste to each location on the insulating board using screen printing, and then apply this paste. Resistive films, circuits, etc. are formed by drying and firing, and then the ceramic material is It is well known that the procedure is to break the board along the vertical and horizontal lines. It is as follows.

【0003】 そして、セラミック素材板に塗着したペーストを乾燥するに際して、従来は、 図7に示すように、ステンレス製のテーブル20の上面に接触した状態で一定方 向に移動するようにしたエンドレスの金網製移送ベルト21に沿って乾燥炉22 を配設して成るベルト式乾燥装置が使用されており、金網製移送ベルト21を一 定速度で移動しつつ、この移送ベルト21の上面に、上面に予めペーストを塗着 したセラミック素材板Aの複数枚を横に並べた状態で順次載置し、この状態で移 送する途次において、前記乾燥炉22によって、前記各セラミック素材板Aの上 面におけるペースト(図示せず)を乾燥し、ペーストの乾燥が終わると、移送ベ ルト21にてそのまま焼成炉23に移送して、焼成を行うようにしている。0003 Conventionally, when drying the paste applied to the ceramic material plate, As shown in FIG. 7, while in contact with the top surface of the stainless steel table 20, The drying oven 22 is moved along an endless wire mesh transfer belt 21 that moves in the direction of the drying oven 22. A belt-type drying device is used, in which a wire mesh transfer belt 21 is While moving at a constant speed, paste is applied to the upper surface of this transfer belt 21 in advance. Place multiple ceramic material plates A side by side and move them in this state. During the conveyance, the drying oven 22 Dry the paste (not shown) on the surface and once the paste is dry, transfer the The raw material is directly transferred to a firing furnace 23 via a route 21 for firing.

【0004】0004

【考案が解決しようとする課題】[Problem that the idea aims to solve]

ところが、この従来の乾燥装置では、金網製の移送ベルト21が、その下面で テーブル10の上面を擦りながら移動することになるため、この移送ベルト21 の移動に際して、当該移送ベルト21及びテーブル20が削られて微小な金属粉 が発生し、この金属粉が移送ベルト21の網目から上方に跳ね上げられることに 加えて、前記セラミック素材板Aから欠け落ちた欠け片も、前記移送ベルト21 の網目から上方に跳ね上げられ、これらが、前記セラミック素材板Aにおける乾 燥前又は乾燥途次のペーストに付着し、金属粉又は欠け片が付着した状態のまま でペーストの乾燥・焼成が行われることにより、電子部品の製造に際して不良品 が発生すると言う問題があった。 また、前記金網製の移送ベルト21の下面がテーブル20に接触しているため 、乾燥炉22によって加熱された空気はセラミック素材板Aの上面に対して主と して当たり、換言すると、セラミック素材板Aはその上面が主として加熱される ことになり、このため、セラミック素材板Aに反りや亀裂が発生しやすくなって おり、このことも、電子部品の不良品の発生原因になると共に、乾燥に長い時間 がかかり、装置の大型化を招来すると言う問題もあった。 本考案は、不良品の発生原因となる金属粉の発生やセラミック素材板の反り・ 亀裂を確実に防止でき、且つ、乾燥時間を短縮できるようにした乾燥装置を提供 することを目的とするものである。 However, in this conventional drying device, the transfer belt 21 made of wire mesh is This transfer belt 21 moves while rubbing the top surface of the table 10. When the transfer belt 21 and table 20 are moved, the transfer belt 21 and the table 20 are scraped and fine metal powder is is generated, and this metal powder is thrown upward from the mesh of the transfer belt 21. In addition, the pieces that have fallen off from the ceramic material plate A are also transferred to the transfer belt 21. are splashed upward from the mesh of the ceramic material plate A. Adheres to the paste before or during drying, and metal powder or chips remain attached. By drying and baking the paste in There was a problem that occurred. In addition, since the lower surface of the transfer belt 21 made of wire mesh is in contact with the table 20, , the air heated by the drying oven 22 is mainly directed against the upper surface of the ceramic material plate A. In other words, the top surface of the ceramic material plate A is mainly heated. As a result, warping and cracking are likely to occur in the ceramic material plate A. This also causes defective electronic parts and takes a long time to dry. There was also the problem that the process took a long time, leading to an increase in the size of the device. This invention prevents the generation of metal powder, which causes defective products, and the warpage of ceramic material plates. We provide drying equipment that can reliably prevent cracks and shorten drying time. The purpose is to

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

この目的を達成するため本考案は、上面に抵抗膜や回路等を形成するためのペ ーストを塗着して成るセラミック素材板を載置して一定方向に移送するようにし た金網製移送ベルトに沿って前記ペーストを乾燥するための乾燥炉を配設して成 る乾燥装置において、前記金網製移送ベルトを、当該移送ベルトの移動方向に沿 って適宜間隔で配設した回転自在なローラにて支持する構成にした。 In order to achieve this purpose, the present invention has developed a film for forming resistive films, circuits, etc. on the top surface. A ceramic material plate coated with paste is placed on the plate and transported in a fixed direction. A drying oven for drying the paste is installed along a wire mesh transfer belt. In the drying device, the wire mesh transfer belt is moved along the moving direction of the transfer belt. The structure is such that it is supported by rotatable rollers arranged at appropriate intervals.

【0006】[0006]

【作用】[Effect]

このように、金網製の移送ベルトを、回転自在なローラにて支持する構成にす ると、移送ベルトとローラとが擦り合うことはなく、ペーストを乾燥する工程に おいて金属粉が発生すること、及びセラミック素材板から欠け落ちた欠け片が再 びセラミック素材板の上面側に舞い上がることを防止できるから、金属粉の発生 及びセラミック素材板の欠け片に起因した不良品の発生を確実に低減できること になる。 また、前記金網製の移送ベルトをローラにて支持したことにより、移送ベルト の下方に空所が形成され、この空所の存在により、乾燥炉により加熱された空気 が、移送ベルトの網目を通ってセラミック素材板の下方に入り込むから、セラミ ック素材板を上面と下面との両方から略等しく加熱すること、換言すると、セラ ミック素材板を略均等に加熱することができて、セラミック素材板に反りや亀裂 が発生することを確実に低減できると共に、ペーストの乾燥に要する時間も短縮 できることになる。 In this way, the wire mesh transfer belt is supported by rotatable rollers. As a result, the transfer belt and rollers do not rub against each other, and the paste is dried during the process. Metal powder may be generated during the process, and chips that have fallen off from the ceramic material plate may be recycled. This prevents metal powder from flying up to the top of the ceramic material plate. Also, it is possible to reliably reduce the occurrence of defective products caused by chipped pieces of ceramic material plates. become. In addition, by supporting the transfer belt made of wire mesh with rollers, the transfer belt A void is formed below the drying oven, and due to the existence of this void, the air heated by the drying oven The ceramic material gets into the lower part of the ceramic material plate through the mesh of the transfer belt. In other words, heat the ceramic material plate approximately equally from both the top and bottom surfaces. The ceramic material board can be heated almost evenly, preventing warping or cracking of the ceramic material board. It is possible to reliably reduce the occurrence of drying, and also shorten the time required to dry the paste. It will be possible.

【0007】[0007]

【考案の効果】[Effect of the idea]

従って、本考案によれば、セラミック素材板の上面に塗る着したペーストを乾 燥する工程中において、不良品が発生することを大幅に低減できるのであり、し かも、ペーストの乾燥時間を短縮できるので、乾燥の作業能率を向上できると共 に、乾燥装置を小型化できる効果を有する。 Therefore, according to the present invention, the paste applied on the top surface of the ceramic material plate is dried. This can greatly reduce the occurrence of defective products during the drying process. In addition, it can shorten the drying time of the paste, improving the drying efficiency. Another advantage is that the drying device can be made smaller.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

次に、本考案の実施例を図面(図1〜図6)に基づいて説明すると、図におい て符号1は、機枠2に軸支した前後一対の駆動ローラ3に巻き掛けしたエンドレ スの移送ベルトを示し、該移送ベルト1は、例えば、帯状金属板に、その長手方 向と直交した方向に多数の切り線を刻設してから、帯状金属板を長手方向に引っ 張ることによって形成したいわゆるラス板等の金網にて形成されている。 前記移送ベルト1の上方の部位のうち、移送ベルト1の移送方向に沿って手前 寄りの部位に、略125〜150℃程度に加熱するようにした乾燥炉4を配設し て、該乾燥炉4と移送ベルト1とで乾燥装置5を構成する一方、移送ベルト1の 移送方向に沿って乾燥装置5よりも前方に位置した部位に、略810℃程度に加 熱するようにした焼成炉5を設けて、該焼成炉5と移送ベルト1とで焼成装置7 を構成している。 Next, the embodiment of the present invention will be explained based on the drawings (Figs. 1 to 6). Reference numeral 1 indicates an end roller that is wound around a pair of front and rear drive rollers 3 that are pivotally supported on the machine frame 2. The transfer belt 1 is, for example, a strip-shaped metal plate, After carving a large number of cutting lines in the direction perpendicular to the It is made of a wire mesh such as a so-called lath plate formed by stretching it. Among the upper portions of the transfer belt 1, the front side along the transfer direction of the transfer belt 1 A drying oven 4 that is heated to approximately 125 to 150°C is installed in a nearby area. The drying oven 4 and the transfer belt 1 constitute a drying device 5. A temperature of about 810°C is applied to the area located in front of the drying device 5 along the transfer direction. A heating furnace 5 is provided, and the firing furnace 5 and the transfer belt 1 form a firing device 7. It consists of

【0009】 そして、前記機枠2のうち焼成装置7に対応した部位に、前記移送ベルト1の 下面が直接に接触するようにしたテーブル8を設ける一方、前記機枠2のうち乾 燥装置5に対応した部位に、移送ベルト1の下方に空所があくように凹所2aを 形成し、この凹所2aに、移送ベルト1の左右両長手側縁に沿って延びる左右一 対の支持棒9を配設し、該両支持棒9の間に、移送ベルト1の移動方向に沿って 適宜間隔で配設した多数本の細径状のローラ10を、ベアリング11を介して回 転自在に装架し、これら多数本のローラ10にて移送ベルト1を支持する。 前記ベアリング11は、スナップリング12にて支持棒9に係着されており、 また、各ローラ10の外周面に、テフロン製のチューブ13を嵌着している。 また、前記左右両支持棒9は、その両端部9a,9bのうち、移送ベルト1の 移送方向に向かって手前側に位置した基端部9aのみを適宜本数のねじ14にて 機枠2に固着して、移送ベルト1の進行方向に向かって前方に位置した先端部9 bが自由端となるようにしている。[0009] Then, the transfer belt 1 is placed in a portion of the machine frame 2 that corresponds to the baking device 7. A table 8 is provided whose bottom surface is in direct contact with the A recess 2a is formed in a portion corresponding to the drying device 5 so that there is a space below the transfer belt 1. The recess 2a is provided with left and right holes extending along the left and right longitudinal side edges of the transfer belt 1. A pair of support rods 9 are arranged between the support rods 9 along the moving direction of the transfer belt 1. A large number of small diameter rollers 10 arranged at appropriate intervals are rotated via bearings 11. The transfer belt 1 is rotatably mounted, and the transfer belt 1 is supported by a large number of rollers 10. The bearing 11 is attached to the support rod 9 with a snap ring 12, Further, a tube 13 made of Teflon is fitted onto the outer peripheral surface of each roller 10. Further, the left and right support rods 9 have both ends 9a and 9b of the transfer belt 1. Only the proximal end 9a located on the front side in the transfer direction is screwed with an appropriate number of screws 14. A tip portion 9 fixed to the machine frame 2 and located forward in the direction of movement of the transfer belt 1 b is the free end.

【0010】 以上の構成において、一定速度で移動する移送ベルト1の上面に、上面に抵抗 膜等を形成するためのペーストを塗着したセラミック素材板Aを複数枚ずつ順次 載置してゆくと、移送ベルト1による移送の途次において、先ず、乾燥炉5によ る熱にて、各セラミック素材板Aの上面に塗着したペーストが乾燥し、次いで、 焼成炉6にて焼成されることにより、セラミック素材板Aに抵抗膜や回路等が形 成される。0010 In the above configuration, a resistance is applied to the upper surface of the transfer belt 1 moving at a constant speed. A plurality of ceramic material plates A coated with paste to form a film etc. are sequentially As it is placed, during the transfer by the transfer belt 1, it is first placed in the drying oven 5. The paste applied to the top surface of each ceramic material plate A is dried using heat, and then By firing in the firing furnace 6, a resistive film, a circuit, etc. are formed on the ceramic material plate A. will be accomplished.

【0011】 この乾燥工程において、移送ベルト1は、回転自在なローラ10にて支持され ており、移送ベルト1とローラ10とが擦り合うことはないから、移送ベルト1 の移動に際して金属粉が発生することはなく、しかも、セラミック素材板から欠 け落ちた欠け片が再びセラミック素材板の上面側に舞い上がることを防止できる から、前記金属粉の発生や欠け片に起因した不良品の発生率を確実に低減できる のである。 また、ローラ10を設けたことにより、移送ベルト1の下方に空所が形成され 、図3に矢印で示すように、乾燥炉3によって加熱された空気が移送ベルト1の 網目を通ってセラミック素材板Aの下方に入り込み、セラミック素材板Aを上面 と下面との両方から略等しく加熱することができるから、セラミック素材板Aに 反りや亀裂が発生することを低減して、不良品の発生率をより低減できると共に 、ペーストの乾燥に要する時間も短縮することができるのである。[0011] In this drying process, the transfer belt 1 is supported by rotatable rollers 10. Since the transfer belt 1 and the rollers 10 do not rub against each other, the transfer belt 1 No metal powder is generated during the movement of the ceramic material, and no metal powder is Prevents fallen chips from flying up again to the top of the ceramic material plate. Therefore, it is possible to reliably reduce the incidence of defective products caused by the generation of metal powder and chips. It is. Furthermore, by providing the roller 10, a void is formed below the transfer belt 1. , as shown by the arrow in FIG. It enters the lower part of the ceramic material plate A through the mesh, and the ceramic material plate A is placed on the upper surface. Since the ceramic material plate A can be heated almost equally from both the By reducing the occurrence of warping and cracking, it is possible to further reduce the incidence of defective products. The time required for drying the paste can also be shortened.

【0012】 なお、乾燥工程を終わると、金属粉やゴミ等が発生しても、ペーストに付着す ることはないので、焼成装置7の部位においては、移送ベルト1をテーブル8に て直接に接触しても問題はない。0012 In addition, even if metal powder or dust is generated after the drying process, it will not adhere to the paste. Therefore, in the baking device 7, the transfer belt 1 is placed on the table 8. There is no problem with direct contact.

【0013】 上記の実施例のように、ローラ10を装架した左右支持棒9を、移送ベルト1 の移送方向に向かって手前側に位置した基端部9aのみにおいて機枠2に固着し て、移送ベルト1の進行方向に向かって前方に位置した先端部9bを自由端に形 成しておくと、乾燥炉4の熱による支持棒9の膨張の弊害を、移送ベルト1の移 動の円滑性を損なうことなく防止できる。 つまり、支持棒9の基端部9aのみを機枠2に固着すると、支持棒9の熱膨張 が阻害されることはなく、支持棒9は直線状に伸びた状態のままその長手方向に 自由に熱膨張するから、支持棒9が熱膨張しても何ら問題は生じないのであり、 また、仮に、支持棒9の先端部9bのみを機枠2に固着しておくと、移送ベルト 1の移動により、支持棒9がその長手方向と交差した方向に振動する現象が生じ 、その結果、移送ベルト1も進行方向と交差した方向にゆれ動く現象を生じるが 、支持棒9の基端部9aのみを機枠2に固着しておくと、支持棒9がその長手方 向と交差した方向に振動することはないから、移送ベルト1がその進行方向と交 差した方向にゆれ動く現象は生じず、移送ベルト1を円滑に移動させることがで きるのである。[0013] As in the above embodiment, the left and right support rods 9 on which the rollers 10 are mounted are connected to the transfer belt 1. It is fixed to the machine frame 2 only at the base end 9a located on the front side in the direction of transfer. Then, the tip portion 9b located forward in the direction of movement of the transfer belt 1 is shaped into a free end. By doing so, the adverse effects of the expansion of the support rod 9 due to the heat of the drying oven 4 can be avoided. This can be prevented without impairing the smoothness of the movement. In other words, if only the base end 9a of the support rod 9 is fixed to the machine frame 2, the thermal expansion of the support rod 9 is not obstructed, and the support rod 9 remains linearly extended in its longitudinal direction. Since it thermally expands freely, no problem occurs even if the support rod 9 thermally expands. Furthermore, if only the tip end 9b of the support rod 9 is fixed to the machine frame 2, the transfer belt 1 causes a phenomenon in which the support rod 9 vibrates in a direction that intersects with its longitudinal direction. As a result, the transfer belt 1 also oscillates in the direction crossing the traveling direction. , if only the base end 9a of the support rod 9 is fixed to the machine frame 2, the support rod 9 will be Since the transport belt 1 does not vibrate in the direction that crosses the direction of travel, the There is no phenomenon of shaking in the direction in which the transfer belt 1 is inserted, and the transfer belt 1 can be moved smoothly. It is possible.

【0014】 なお、ローラ10は支持棒9に取り付けることなく、左右両機枠2の間に装架 するようにしても良いことは言うまでもない。 本考案における乾燥装置は、ライン型又はチップ型のサーマルヘッドやチップ 型抵抗器、チップ型コンデンサ、或いはハイブリッドICのように、セラミック 素材板の上面にペーストを塗着してから乾燥・焼成することにより、抵抗膜や誘 電体、回路等を形成するようにした電子部品一般の製造に適用できることは言う までもない。[0014] Note that the roller 10 is not attached to the support rod 9, but is mounted between the left and right machine frames 2. Needless to say, you can do as you like. The drying device in this invention is a line type or chip type thermal head or a chip type. ceramic resistors, chip capacitors, or hybrid ICs. By applying the paste to the top surface of the material plate, drying and baking it, the resistive film and dielectric film are formed. It is said that it can be applied to the manufacturing of general electronic parts that form electric bodies, circuits, etc. Not even.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本考案の実施例装置の要部を示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view showing the main parts of an embodiment of the present invention.

【図2】装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the device.

【図3】図2のIII − III視拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along III-III in FIG. 2;

【図4】図2のIV−IV視拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view taken along line IV-IV in FIG. 2;

【図5】図2のV−V視拡大断面図である。FIG. 5 is an enlarged sectional view taken along the line V-V in FIG. 2;

【図6】図2の一部拡大図である。FIG. 6 is a partially enlarged view of FIG. 2;

【図7】従来技術を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a prior art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 移送ベルト 2 機枠 4 乾燥炉 5 乾燥装置 6 焼成炉 7 焼成装置 9 支持棒 10 ローラ 1 Transfer belt 2 Machine frame 4 Drying oven 5 Drying device 6 Firing furnace 7 Baking equipment 9 Support rod 10 roller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/12 B 6736−4E // H01L 23/12 ──────────────────────────────────────────────── ─── Continued from the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Internal reference number FI Technical display location H05K 3/12 B 6736−4E // H01L 23/12

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】上面に抵抗膜や回路等を形成するためのペ
ーストを塗着して成るセラミック素材板を載置して一定
方向に移送するようにした金網製移送ベルトに沿って前
記ペーストを乾燥するための乾燥炉を配設して成る乾燥
装置において、前記金網製移送ベルトを、当該移送ベル
トの移動方向に沿って適宜間隔で配設した回転自在なロ
ーラにて支持したことを特徴とする電子部品製造用の乾
燥装置。
Claim 1: A ceramic material plate on which a paste for forming a resistive film, a circuit, etc. is applied is placed, and the paste is conveyed along a wire mesh transfer belt configured to be transferred in a fixed direction. A drying device equipped with a drying oven for drying, characterized in that the wire mesh transfer belt is supported by rotatable rollers arranged at appropriate intervals along the moving direction of the transfer belt. Drying equipment for manufacturing electronic components.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS59167397U (en) * 1983-04-21 1984-11-09 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 Belt conveyor type continuous furnace
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