JPH0383752A - 半導体ウエハの搬送装置 - Google Patents

半導体ウエハの搬送装置

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JPH0383752A
JPH0383752A JP21933089A JP21933089A JPH0383752A JP H0383752 A JPH0383752 A JP H0383752A JP 21933089 A JP21933089 A JP 21933089A JP 21933089 A JP21933089 A JP 21933089A JP H0383752 A JPH0383752 A JP H0383752A
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JP
Japan
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wafer
chuck
susceptor
bernoulli
bernoulli chuck
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Pending
Application number
JP21933089A
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English (en)
Inventor
Hideo Furushima
古嶋 英男
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Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
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Publication of JPH0383752A publication Critical patent/JPH0383752A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、半導体ウェハ(以下ウェハという)の搬送装
置に係り、特にバレル型気相成長装置のサセプタのザグ
リのように略垂直な載置部に対し、ウェハをその表裏面
に対し非接触で搬出入するための装置に関するものであ
る。
(従来の技術) ウェハの搬送には、把持式、吸着式等の種々の保持手段
が用いられ、特にウェハ表面の汚染や損傷を避けるため
、非接触で保持することのできるベルヌーイチャックが
用いられている。ところで、バレル型気相成長装置のサ
セプタに対するウニ、−の搬出入は、略垂直なサセプタ
の表面に設けられているザグリに対するものであるため
、落下させずに搬出入することが困難であり、最近にな
ってその搬出入装置が開発されるに至った。しかしなが
ら、いずれもウェハの表面または裏面に接触して吸着す
る一般的な真空チャック方式か、またはウェハの外周番
複数の爪で把持する方式のものであった。
(発明が解決しようとする課題) ウェハの表面を吸着する場合は、汚染や損傷を最も生じ
易いために好筐しくなく、また外周を爪で把持する場合
は、爪を受入れるための凹所をサセプタに設けなければ
ならず、この凹所が気相成長に悪影響を及ぼすために好
ましくない。ウェハの裏面を吸着する場合は、表面の汚
染や損g!I′t−生じにくいが、吸着片を裏面に対し
て挿入しなければならないため、この挿入時にパーティ
クルを生じ、これが汚染の原因になる欠点を有すると共
に吸着痕が後工程にも影響を与えることがあり、さらに
ウェハを落下させずに吸着片を裏面に対して抜き差しす
ることは極めて高度な精度の搬送動作を要求されるなど
の欠点があった。
本発明は、ベルヌーイチャックを用いることに1す、サ
セプタ等のウェハ載置部の形状を変化させることなく、
略垂直に載置されるウェハの搬出入をその表裏のいずれ
の面に対しても非接触で行なうことのできるウェハの搬
送装置を提供することを目的としている。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 上記目的を達成するための本発明によるウェハの搬送装
置は、ウェハを略垂直に位置する載置部に対して搬出入
するための搬送装置にかいて、載置部に対して移動可能
に設けられた搬送用の移動部材と、この移動部材に取付
けられ載置部に対向すべく吸着面が略垂直に配置可能に
なされたベルヌーイチャックと、このベルヌーイチャッ
クの下方両側に出入可能に取付けられベルヌーイチャッ
クに吸着されているウェハの下方への移動を規制するピ
ンとからなるものである。
なお、ベルヌーイチャックの上方には出入可能なフック
を設けることが好ましく、さらにベルヌーイチャックを
鉛直面に対して前後に傾動可能にすることが好ましい。
(作用) 移動部材の移動に1ってベルヌーイチャックを略垂直な
載置部に対向させてベルヌーイチャックと載置部との間
でウェハの授受を行なう。このとき、ベルヌーイチャッ
クの下方両側にあるピンはベルヌーイチャックに対する
ウェハの下方への移動を規制し、ベルヌーイチャックに
対するウェハの保持位置の位置決めを行なうため、ベル
ヌーイチャックを載置部に対し上下方向へ若干移動させ
たり、さらには前後に傾動させることによってウェハの
搬出入が円滑かつ確実に行なわれる。
−!た、フックは、ウェハが例えば気相成長層によって
載置部に付着しているLうな場合に前もって剥がすのに
用いられる。
(実施例) 以下本発明の実施例について第1図ないし第10図を参
照して説明する。第1図は、本発明によるウェハの搬送
装置t−適用したバレル型気相成長装(第2図参照)に
それぞれ回転駆動機構13によって回転可能に吊下され
、昇降旋回装置I4に1つて反応炉10の上方へ引上げ
られると共に、両反応炉100間に設置されているサセ
プタ支持装置20上に置かれるLうになっている。
サセプタ支持装置20は、第3図に示すLうに、円錐状
の外周面を有する受板2Iと、この受板21に上方への
付勢力を与えるように取付けられた複数の板ばね22と
、これらの板ばね22にピン23を介して揺動自在に取
付けられた多数の受駒24を有している0板ばね22は
上板25に工って上方へのはね上がり量を規制され、受
駒24はサセプタj1の下端を受け、受板21の外周面
によって支持されるようになっている。受板21は、固
定軸26に回転自在に取付けられると共に、モータ27
に工って回転され図示しない接離機構に工って受板21
の下面に押圧される摩擦駆動輪28によって所望量の回
転を与えられるようになっている。
第1図に示すIうに、サセプタ支持装置20の手前には
、搬送装置30が設置されている。搬送装置30は、第
3図に示すように、ベース31上に回転可能に取付けら
れた旋回台32を有している。旋回台32には、搬送ア
ーム33とセンサアーム34とが第1図に示すように9
00角度をずらせて設置されている。旋回台32は、モ
ータ35にぶって回転を与えられると共に、ベース31
と旋回台32との間に設けられた図示しないロケートピ
ンまたはストッパ等の位置決め装置にぶつて、搬送アー
ム33とセンサアーム34t−交互にサセプタ支持装置
20上のサセプタ11に対向させるようになっている。
ベース31 IImには、センサアーム34がサセプタ
11に対向しているとき、搬送アーム33に対向するよ
うに位置させてカセット台36(第1図参照ンが設置さ
れ、この上にウェハWを収納するカセット37を置く工
うになっている。
搬送アーム33は、第3図に示すLうに、旋回台32に
固定されているガイド40にパイプ状の被ガイド部材4
1を介して回り止めをしつつスライド可能に支持されて
いる0ガイド40お工び被ガイド部材41は、搬送アー
ム33がサセプタ11に対向している状態にあるとき゛
、この搬送アーム33に対向するサセプタIi上の1つ
の平面11a(第2図参照)と平行になるように配置さ
れて上下に伸びている。ガイド40側にはこれと平行に
送りねじ42が取付けられ、この送りねじ42には被ガ
イド部材41に取付けられた送りめねじ43が係合され
ている。送りねじ42は駆動量を制御可能なモータ44
にぶって指令された量の回転を与えられ、送りめねじ4
3.被ガイド部材41を介して搬送アーム33t−所望
の上下方向位置に位置決めするIうになっている。
第4図に示すように、搬送アーム33内にはリニアガイ
ド50によってサセプタト1の前記平面+Iaに垂直な
前後方向(第4図において左右方向)に移動可能な前後
動台51が設けられている。この前後動台51は駆動量
を制御可能なモータ52から減速機53を介して回転さ
れる送りねじ54と、これに係合する送りめねじ55に
よって所望の前後方向位置に位置決めされるようになっ
ているO 前後動台51には、リニアガイド56を介して左右動台
57が取付けられている。リニアガイド56はサセプタ
11の前記平面11aに対し水平方向へ平行に配置され
ている。左右動台57の移動は、第5図に示すL字形レ
バー58ヲ用いて行なわれる。このL字形レバー58は
、中間の支点軸59が前後動台51に取付けられ、先端
のローラ60が左右動台57の#1161に係合し11
元端には軸62を介してめねじ63が左右方向へ揺動自
在に連結されている。めねじ63にはねじ64が係合し
、このねじ64は前後動台51に取付けられている駆動
量を制御可能なモータ65に自在継手も6を介して連結
され、左右動台57′t−所望の左右方向位置に位置決
めするようになっている。
左右動台57の先端には、ヒンジ67にエリチャックプ
レート68が前後方向へ傾動可能に取付けられている。
チャックプレート6gの裏面には、軸bq t−介して
上下に揺動可能にめねじ70が連結されている。このめ
ねじ70には、左右動台57にヒンジ7Iを介して上下
に揺動可能に取付けられた減速機付のモータ72によっ
て所望量回転鉦れるt2L、73が係合し、チャックプ
レート68に傾動を与えると共に所定の傾斜角度位置に
保持するようになっている。チャックプレート68と搬
送アーム33との間はベローズ74によってカバーされ
ている。
チャックプレート68の前面には、第6図に示すように
、ベルヌーイチャック80が3つ取付けられている。こ
れらのベルヌーイチャック8oは、仮想線で示すウェハ
Wを3点で吸引するように配置されている。ベルヌーイ
チャック80は、第4図に示すLうに、噴気口81と吸
気口82を有し、ウェハWを非接触で吸引保持するもの
であるが、これ自身は公知のものと同様であるため、構
造の詳細な説明は省略する。
チャックプレートbsの左右両側の下部寄りには、第6
図に示すLうに、ウェハWの外周を支持するためのピン
83が取付けられている。ピン83は、第7図に拡大し
て示すように、先端のウェハ接触部にスリーブ84が係
合され、元端側かガイド筒85にスライド可能に係合さ
れている。なに186はピン83の突出量を規制するス
トツパである。ガイド筒85はチャックプレート68に
取付けられたブラケット87に固定され、ガイド筒85
の元部の内部空間85Bは流路88によって図示しない
真空ポンプに接続されるようになっている089は栓で
ある。ピン83とガイド筒85の間にはベローズ90が
取付けられ、ベローズ90の弾発力にLってピン83を
仮想線で示すようにベルヌーイチャック80の前面ぶり
所定量突出させるための付勢力を与えると共に、ガイド
筒85に設けた小孔91を介してベローズ90の内部空
間を流路88によって真空引きすることによりピン83
を第7図に実線で示す位置まで引込める工うになってい
る。
チャックプレート68の上部には、第8図に示すLうに
、前記ピン83と同様のピン93がピン83の支持構造
と同様の支持構造で取付けられ、このピン93の先端に
フック110が取付けられている。なか、95はガイド
筒、96はストツパ。
97はブラケット、98は流路、+00はベローズ。
01は小孔である。フック+10は、中空状物で作られ
、弾性を与えるために複数のスリット111が設けられ
、先端110aはウェハWの外周に引掛は得るように形
成されている。
第3図に戻って、センサアーム34は、上下に伸びるリ
ニアガイド120に図示しない駆動装置によって所望量
上下動可能に支持されている。なか、このリニアガイド
120は、センサアーム34がサセプタ11の前記平面
+18に対向しているとき、この平面11aと上下方向
に平行になるように配置されている。また、リニアガイ
ド120は、センサアーム34が前記平面11Hに対向
しているとき、この平面+18と水平方向に平行に伸び
ている別のリニアガイド121ヲ介して旋回台32に取
付けられ、モータ122により送りねじ機構123を介
して所望量の水平移動を与えられるようになっている。
センサアーム34には、上下にセンサヘプト124゜1
25が取付けられている。両センサヘヴド124゜12
5は、第2図に示すように、サセプタ11の各平面+1
8.llb等の上下にそれぞれ設けられている例えば凹
または凸の上シ工び下指標+26.I27に同時に対向
するように設置されている。サセプタ11の前記平面+
18の上指標126の上方には円周方向に比較的広い巾
を有する原点指標128が設けられている。センサヘッ
ド124.125はレーザ等を用いて、各指標+26.
 +27.+2gの上下および左右の辺をそれぞれ横切
るように移動したとき、高さの変化から該辺を検知し、
そのときのセンサアーム34の上下方向釦工び水平方向
の位置から搬送装置30に対する平面++aの前記方向
の位置を検出すると共に、上し1び下指標126 、1
27とセンサヘッド124.125の間の距離すなわち
搬送装置30に対する平面118の垂直方向の位置をも
検出し、これらの値から搬送装置30に対する平面+1
8の位置を求めて搬送装置30の記憶部(図示せず)に
記憶するようになっている。センサヘッド126,12
7の構造は、公知のものであるため、詳細な説明は省略
する。
次いで本装置の作用について説明する。サセプタ11の
各平面11a。Ilb等に設けられているザグリ15内
にウェハwl搬入する場合、まず、第1図に示す昇降旋
回装置14に工ってフタ12と共にサセプタllt反応
炉10から上昇させて旋回し、サセプタ支持装置20の
受板2]の上方にサセプタ11を移動させて、フタ12
の中心すなわちサセプタ11の支持部の中心が受板21
の中心に一致する位置に位置決めし、次いでフタ12と
共にサセプタ11管下降させる。このとき、第2図に示
す受駒24は板ばね22が上板25に押当てられた上昇
位置にあり、下降してくるサセプタ11の下端を弾性的
に受ける。受駒24はサセプタ11の下降に伴って板ば
ね22の反発力に抗して受板21の外周円錐面に沿って
下降し、サセプタ11の下端を受板21に対して芯合わ
せする。
サセプタ11の下降量は、図示しないセンサによるサセ
プタ11の上下方向の位置検出によって定められる。こ
のとき、サセプタ11を下端と上端とで支持するように
昇降旋回装置14がサセプタ11の重量の1/3〜2/
3を受け、残部の重量をサセプタ支持装置20が受ける
ように設定することが好ましい。
こうしてサセプタllftサセプタ支持装置20上にセ
ットしたならば、旋回台32を旋回させてセンサアーム
34t−サセプタ11に対向させ、かつセンサアーム3
4を上昇させて、上方のセンサヘッド124ヲ原点指l
1i12&の高さに合わせる。次いで、7り12に設け
られている回転駆動機構I3に1ってサセプタIIを回
転させる。このとき、摩擦駆動輪28(第3図参照)は
受板21から離されており、サセプタ11は、受板21
.受駒24と共に回転する。サセプタIIが回転して原
点指標を 128がセンサヘッド124の前方べ横切ると、センサ
ヘッド124が出力を生じ、サセプタ11の回転を停止
する。次いで、センサヘッド124が主指標126に対
向する高までセンサアーム34をリニアガイド+20に
沿って下降させた後、センサアーム34を水平に伸びる
りニアガイド+21に沿って移動させ、主指標+26の
左右の辺の位置を検出する。
この左右の辺の位置が、センサアーム34の水平方向の
原点位置す彦わち搬送装置30の水平方向原点位置に対
し、左右対称な位置にない場合、すなわち主指標126
が水平方向にずれた位置にある場合には、摩擦駆動輪2
8を受板21の下面に押付け、モータ27を作動させて
受板21と共にサセプタ11を所定量回転させ、再びセ
ンサヘッド124によって主指標12bの水平方向位置
を検出し、以下、同様にしてサセプタ11の微細割出し
を行ない、所定の割出精度円に納まるようにする。こう
して、サセプタ11の原点割出しが完了したならば、セ
ンサヘッド124.125を上下シよび左右方向へ移動
させ、上かLび下指標126 、127の例えば上通と
右辺の位置を検出すると共に、上か工び■指標126,
127の指標面と垂直な方向の距離をも検出し、これら
の検出値から上カニび下指標126゜127が付されて
いる下面118の搬送装置30に対する上下、左右およ
び間隔(平面IIIと垂直な方向の距離)の3次元の位
置を求めて搬送装置30に記憶する。
こうして、サセプタII上のつ翼ハ搬入対象となる1つ
の平面+18の位置検出が完了したならば、搬送アーム
33の先端に取付けられているベルヌーイチャック80
をカセット台36上に置かれているカセット37に収納
されているウェノ〜Wに接近させて非接触で吸引する。
このとき、ピン83はベローズ90の弾発力によって突
出位置にあり、ウェハW(第6図参照)より下方へ離れ
て位置するように、ウェハWに対してベルヌーイチャッ
ク80を若干下方に位置させる。クエハWを吸引後、搬
送アーム33を、第3図に示すモータ44.送りねじ4
2ならびに送りめねじ43等によって上昇させると、ベ
ルヌーイチャック80と共にピン83が上昇し、第6図
に示すように、ピン83によってウェハW′@:支持し
、この支持力とベルヌーイチャック80の吸引力とによ
ってウェハw1にカセット37から取出す0 その後、前記センサヘッド124.125に工って求め
た平面11aの位置を基準として、該平面+1a上の例
えば最上段のザグリ15に対向する高さまで、搬送アー
ム33を上昇させると共に、モータ35によって旋回台
32t’90’旋同させて、搬送アーム33t−ザグリ
15に対向させる。
このとき、ベルヌーイチャック83t−取付けているチ
ャックプレート6gを、第4図に示すモータ72.ねじ
73.めねじ70によってヒンジ67の回りに回動させ
、ベルヌーイチャック80で吸引しているつfハWを、
第9図に示すように、す七ブタ11のザグリ15に対し
、下端のみが嵌入され上端側は離れる角度となるように
後方へ傾斜さ会場−る。ここに、搬送アーム33の高さ
は、ウェハWの下端がザグリ15の下端より若干上方に
位置するように位置決めされる。
次いで第4図に示すモータ65を作動させ、自在継手6
6、ねじ64.めねじ63ならびにL字形レバー581
−介して左右動台57をリニアガイド56に沿って移動
させ、ベルヌーイチャックSOに吸引されているウェハ
Wとザグリ15の水平方向の心合わせを行なう。この心
合わせは、センサヘッド124,125によって求めた
平面11aの位置を基準として行なわれる0 次に、同じく前記平面118の位置を基準として、七−
タラ2.送りねじ54シエび送りめねじ55によって前
後動台51がリニアガイド50に沿って所定量前進し、
第9図に示すように、ウェノ・Wの下端をザグリ15内
に入れる。このとき、ウエノヘWの下端は、ザグリ15
の下端より若干上方に位置し、ザグリ15内に確実に入
る。また、このとき、ピン83の先端は、ザグリI5の
外のサセプタ表面に接触しないように制御されるが、わ
ずかに接触しても、ベローズ90の弾性によってサセプ
タIIとの干渉を吸収する0 次いで、搬送アーム33を下降させ、ウエノSWの下端
をザグリI5の下端に二って受止めさせる。
この後、第7図に示す流路88を図示しない真空ポンプ
で負圧にして小孔91を介してベローズ90内を真空引
きし、ベローズ90を縮めてピン83を引込める0 次いで、モータ72によってチャックプレート68の上
端lIt前方へ傾斜させ、さらにチャックプレート68
を若干前進させてウェノ%Wの全体をザグリ15内に入
れ、ベルヌーイチャック80による吸引力を解除して、
ウェハ前t−ザグリ15内に移す。
以上で1枚のウェハWの搬入を完了する。以下、サセプ
タ11の平面11aの他のザグリ15に対する搬入は、
それらのザグリ15の位置が異なるほかは同一である。
また、次の平面11bに対する搬入は、回転駆動機構1
3によって受板21と共にサセプタ1it−所定角度回
転させ、この平面11bに設けられている上および下指
標126.1271−センサヘッド124,125で検
出すると共にモータ27$−よび摩擦駆動輪28によっ
て微細割出しを行なっト で、この会合平面11Xの位置を検出し、以下、先の平
面118に対する搬入と同様に行なう0筐た、サセプタ
11の各ザグリ15に載置されて反応炉10内で気相成
長を施こされたウェノSWの搬出は、概ね前述した搬入
と逆の動作によって行なわれる。異なるところは、ベル
ヌーイチャック80をザグリI5に対向させてウェハW
を吸引する際には、ピン83がザグリ)5内のウェハW
Lり若干下方に離れて位置するように搬送アーム33の
高さを位置決めして吸引した後、チャックプレート68
の上端側を後方へ傾斜させ、次いで搬送アーム33を若
干上昇させてピン83に工りウェハWt−支持する点に
ある。
なか、気相成長を施こされたウエノ・Wは、気相成長に
伴なってサセプタ川の表面にも生ずる気相成長層によっ
てサセプタIIに付着し、ベルヌーイチャック80の吸
引力では取出すことができない場合がある。チャックプ
レート68の上部に設けたフック110は、このLうな
ウエノ〜Wをザグリ15から剥がすのに用いられる0以
下、その作用について説明する0第8図に示す流路98
の真空引きを解除してベローズ100の弾発力に工りス
トッパ96が小孔101を有するガイド筒95の壁面に
当接するまでピン93訃りびフック110を突出させる
0次いで、搬送アーム33の上下動と前後動台51の前
進とによってフック110の先端(フック部)IIOa
を、第10図に示すように、ザグリ15円のウェハWの
上端(オリエンチーシランフラット部)に掛け、前後動
台51を若干後退させるか、4またはチャックプレート
68の上端側を若干後方へ傾斜させることによって、ウ
ェハWをザグリ15から少し剥がした後、搬送アーム3
3を若干上昇させてフック++0をウェハWから外し、
フック1Iot−真空引きに工って引込める。
こうしてザグリ15円からのウェハWの取出しを容易に
行ない得る状態とした後に、前述したようにベルヌーイ
チャック80によるウェハWの搬出を行なう。
前述した実施例は、本発明をバレル型気相成長装置のサ
セプタ11に設けられたザグリ(載置部)15に対して
ウェハWt−搬入・搬出する場合に適用した例を示した
が、ウェハWをほぼ垂直に立てた状態で保持する場合に
広く適用できることは言うまでもない。また、ベルヌー
イチャック80t−3次元的に移動させるための搬送用
の移動部材は、前述した旋回台32.搬送アーム331
前後動台51゜左右動台57ならびに傾動可能なチャッ
クプレート68に限らず種々の機構を採用し得る。
〔発明の効果〕
以上述べfe、ように本発明によれば、ウェハの表面か
工び裏面のいずれにも接触することなく、外周部にわず
かに接触するのみで、ウェハを略垂直な載置部に対して
搬出入することができ、載置部がザグリ状の場合にも骸
ザグリの形状を変化させることなく、ウェハの搬出入が
可能となる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にぶる半導体ウェハの搬送装置を付設し
たバレル型気相成長装置の概要平面図、第2図はウェハ
の搬出入のためサセプタ支持装置上に置かれたサセプタ
の正面図、第3図は第1図の11線による展開断面図、
第4図は搬送アームの部分拡大断面図、第5図は第4図
の■−v線による部分拡大断面図、第6図はベルヌーイ
チャック部の正面図、第7図は第6図の■−■線による
部分拡大断面図、第8図は第6図の■−■線による部分
拡大断面図、第9図はザグリ内へのウェハの搬入途中の
状態を示す部分断面図、第10図はザグリ内のウェハを
フックで剥がす状態を示す部分断面図である。 10・・・反応炉、 II・・・サセプタ、12・・・
フタ、13・・・回転駆動機構、14・・・昇降旋回装
置、 20・・・サセプタ支持装置、2I・・・受板、
22.・・・板ばね、 24・・・受駒、26・・・固
定軸、 27.35.44,52.65.72.、+22・・・
モータ、28・・・摩擦駆動輪、 30・・・搬送装置
、32・・・旋回台、 33・・・搬送アーム、34・
・・センサアーム、 36−・・カセット台、37・・
・カセット、 40・・・ガイド、42、.54・・・
送シねじ、 43.55・・・送りめねじ、50.56
.120.121・・・リニアガイド、台 51・・・前後動台、 57・・・左右動外、58・・
・L字形レバー、63.70・・・めねじ、64.73
・・・ねじ、 67・・・ヒンジ、68・・・チャック
プレート、 74.90.Ioo・・・ベローズ、 80・・・ベルヌーイチャック、 3 ・・・ピン 10 フッ ク

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、半導体ウェハを略垂直に位置する載置部に対して搬
    出入するための搬送装置において、前記載置部に対して
    移動可能に設けられた搬送用の移動部材と、同移動部材
    に取付けられ前記載置部に対向すべく吸着面が略垂直に
    配置可能になされたベルヌーイチャックと、同ベルヌー
    イチャックの下方両側に出入可能に取付けられ前記ベル
    ヌーイチャックに吸着されている半導体ウェハの下方へ
    の移動を規制するピンとからなる半導体ウェハの搬送装
    置。 2、ベルヌーイチャックの上方に出入可能に取付けられ
    たフックを有することを特徴とする請求項1記載の半導
    体ウェハの搬送装置。 3、ベルヌーイチャックが、鉛直面に対し前後に傾動可
    能に取付けられていることを特徴とする請求項1または
    2記載の半導体ウェハの搬送装置。
JP21933089A 1989-08-25 1989-08-25 半導体ウエハの搬送装置 Pending JPH0383752A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6379103B1 (en) * 1999-12-22 2002-04-30 Orc Manufacturing Co., Ltd. Substrate transfer apparatus
JP4609959B1 (ja) * 2010-06-17 2011-01-12 一功 岩元 携帯電子機器用ストラップ分岐具

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6379103B1 (en) * 1999-12-22 2002-04-30 Orc Manufacturing Co., Ltd. Substrate transfer apparatus
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JP2012000268A (ja) * 2010-06-17 2012-01-05 Kazunori Iwamoto 携帯電子機器用ストラップ分岐具

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