JPH0383752A - 半導体ウエハの搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ウェハ（以下ウェハという）の搬送装
置に係り、特にバレル型気相成長装置のサセプタのザグ
リのように略垂直な載置部に対し、ウェハをその表裏面
に対し非接触で搬出入するための装置に関するものであ
る。

（従来の技術） ウェハの搬送には、把持式、吸着式等の種々の保持手段
が用いられ、特にウェハ表面の汚染や損傷を避けるため
、非接触で保持することのできるベルヌーイチャックが
用いられている。ところで、バレル型気相成長装置のサ
セプタに対するウニ、−の搬出入は、略垂直なサセプタ
の表面に設けられているザグリに対するものであるため
、落下させずに搬出入することが困難であり、最近にな
ってその搬出入装置が開発されるに至った。しかしなが
ら、いずれもウェハの表面または裏面に接触して吸着す
る一般的な真空チャック方式か、またはウェハの外周番
複数の爪で把持する方式のものであった。

（発明が解決しようとする課題） ウェハの表面を吸着する場合は、汚染や損傷を最も生じ
易いために好筐しくなく、また外周を爪で把持する場合
は、爪を受入れるための凹所をサセプタに設けなければ
ならず、この凹所が気相成長に悪影響を及ぼすために好
ましくない。ウェハの裏面を吸着する場合は、表面の汚
染や損ｇ！Ｉ′ｔ−生じにくいが、吸着片を裏面に対し
て挿入しなければならないため、この挿入時にパーティ
クルを生じ、これが汚染の原因になる欠点を有すると共
に吸着痕が後工程にも影響を与えることがあり、さらに
ウェハを落下させずに吸着片を裏面に対して抜き差しす
ることは極めて高度な精度の搬送動作を要求されるなど
の欠点があった。

本発明は、ベルヌーイチャックを用いることに１す、サ
セプタ等のウェハ載置部の形状を変化させることなく、
略垂直に載置されるウェハの搬出入をその表裏のいずれ
の面に対しても非接触で行なうことのできるウェハの搬
送装置を提供することを目的としている。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するための本発明によるウェハの搬送装
置は、ウェハを略垂直に位置する載置部に対して搬出入
するための搬送装置にかいて、載置部に対して移動可能
に設けられた搬送用の移動部材と、この移動部材に取付
けられ載置部に対向すべく吸着面が略垂直に配置可能に
なされたベルヌーイチャックと、このベルヌーイチャッ
クの下方両側に出入可能に取付けられベルヌーイチャッ
クに吸着されているウェハの下方への移動を規制するピ
ンとからなるものである。

なお、ベルヌーイチャックの上方には出入可能なフック
を設けることが好ましく、さらにベルヌーイチャックを
鉛直面に対して前後に傾動可能にすることが好ましい。

（作用） 移動部材の移動に１ってベルヌーイチャックを略垂直な
載置部に対向させてベルヌーイチャックと載置部との間
でウェハの授受を行なう。このとき、ベルヌーイチャッ
クの下方両側にあるピンはベルヌーイチャックに対する
ウェハの下方への移動を規制し、ベルヌーイチャックに
対するウェハの保持位置の位置決めを行なうため、ベル
ヌーイチャックを載置部に対し上下方向へ若干移動させ
たり、さらには前後に傾動させることによってウェハの
搬出入が円滑かつ確実に行なわれる。

−！た、フックは、ウェハが例えば気相成長層によって
載置部に付着しているＬうな場合に前もって剥がすのに
用いられる。

（実施例） 以下本発明の実施例について第１図ないし第１０図を参
照して説明する。第１図は、本発明によるウェハの搬送
装置ｔ−適用したバレル型気相成長装（第２図参照）に
それぞれ回転駆動機構１３によって回転可能に吊下され
、昇降旋回装置Ｉ４に１つて反応炉１０の上方へ引上げ
られると共に、両反応炉１００間に設置されているサセ
プタ支持装置２０上に置かれるＬうになっている。

サセプタ支持装置２０は、第３図に示すＬうに、円錐状
の外周面を有する受板２Ｉと、この受板２１に上方への
付勢力を与えるように取付けられた複数の板ばね２２と
、これらの板ばね２２にピン２３を介して揺動自在に取
付けられた多数の受駒２４を有している０板ばね２２は
上板２５に工って上方へのはね上がり量を規制され、受
駒２４はサセプタｊ１の下端を受け、受板２１の外周面
によって支持されるようになっている。受板２１は、固
定軸２６に回転自在に取付けられると共に、モータ２７
に工って回転され図示しない接離機構に工って受板２１
の下面に押圧される摩擦駆動輪２８によって所望量の回
転を与えられるようになっている。

第１図に示すＩうに、サセプタ支持装置２０の手前には
、搬送装置３０が設置されている。搬送装置３０は、第
３図に示すように、ベース３１上に回転可能に取付けら
れた旋回台３２を有している。旋回台３２には、搬送ア
ーム３３とセンサアーム３４とが第１図に示すように９
００角度をずらせて設置されている。旋回台３２は、モ
ータ３５にぶって回転を与えられると共に、ベース３１
と旋回台３２との間に設けられた図示しないロケートピ
ンまたはストッパ等の位置決め装置にぶつて、搬送アー
ム３３とセンサアーム３４ｔ−交互にサセプタ支持装置
２０上のサセプタ１１に対向させるようになっている。

ベース３１　ＩＩｍには、センサアーム３４がサセプタ
１１に対向しているとき、搬送アーム３３に対向するよ
うに位置させてカセット台３６（第１図参照ンが設置さ
れ、この上にウェハＷを収納するカセット３７を置く工
うになっている。

搬送アーム３３は、第３図に示すＬうに、旋回台３２に
固定されているガイド４０にパイプ状の被ガイド部材４
１を介して回り止めをしつつスライド可能に支持されて
いる０ガイド４０お工び被ガイド部材４１は、搬送アー
ム３３がサセプタ１１に対向している状態にあるとき゛
、この搬送アーム３３に対向するサセプタＩｉ上の１つ
の平面１１ａ（第２図参照）と平行になるように配置さ
れて上下に伸びている。ガイド４０側にはこれと平行に
送りねじ４２が取付けられ、この送りねじ４２には被ガ
イド部材４１に取付けられた送りめねじ４３が係合され
ている。送りねじ４２は駆動量を制御可能なモータ４４
にぶって指令された量の回転を与えられ、送りめねじ４
３．被ガイド部材４１を介して搬送アーム３３ｔ−所望
の上下方向位置に位置決めするＩうになっている。

第４図に示すように、搬送アーム３３内にはリニアガイ
ド５０によってサセプタト１の前記平面＋Ｉａに垂直な
前後方向（第４図において左右方向）に移動可能な前後
動台５１が設けられている。この前後動台５１は駆動量
を制御可能なモータ５２から減速機５３を介して回転さ
れる送りねじ５４と、これに係合する送りめねじ５５に
よって所望の前後方向位置に位置決めされるようになっ
ているＯ 前後動台５１には、リニアガイド５６を介して左右動台
５７が取付けられている。リニアガイド５６はサセプタ
１１の前記平面１１ａに対し水平方向へ平行に配置され
ている。左右動台５７の移動は、第５図に示すＬ字形レ
バー５８ヲ用いて行なわれる。このＬ字形レバー５８は
、中間の支点軸５９が前後動台５１に取付けられ、先端
のローラ６０が左右動台５７の＃１１６１に係合し１１
元端には軸６２を介してめねじ６３が左右方向へ揺動自
在に連結されている。めねじ６３にはねじ６４が係合し
、このねじ６４は前後動台５１に取付けられている駆動
量を制御可能なモータ６５に自在継手も６を介して連結
され、左右動台５７′ｔ−所望の左右方向位置に位置決
めするようになっている。

左右動台５７の先端には、ヒンジ６７にエリチャックプ
レート６８が前後方向へ傾動可能に取付けられている。

チャックプレート６ｇの裏面には、軸ｂｑ　ｔ−介して
上下に揺動可能にめねじ７０が連結されている。このめ
ねじ７０には、左右動台５７にヒンジ７Ｉを介して上下
に揺動可能に取付けられた減速機付のモータ７２によっ
て所望量回転鉦れるｔ２Ｌ、７３が係合し、チャックプ
レート６８に傾動を与えると共に所定の傾斜角度位置に
保持するようになっている。チャックプレート６８と搬
送アーム３３との間はベローズ７４によってカバーされ
ている。

チャックプレート６８の前面には、第６図に示すように
、ベルヌーイチャック８０が３つ取付けられている。こ
れらのベルヌーイチャック８ｏは、仮想線で示すウェハ
Ｗを３点で吸引するように配置されている。ベルヌーイ
チャック８０は、第４図に示すＬうに、噴気口８１と吸
気口８２を有し、ウェハＷを非接触で吸引保持するもの
であるが、これ自身は公知のものと同様であるため、構
造の詳細な説明は省略する。

チャックプレートｂｓの左右両側の下部寄りには、第６
図に示すＬうに、ウェハＷの外周を支持するためのピン
８３が取付けられている。ピン８３は、第７図に拡大し
て示すように、先端のウェハ接触部にスリーブ８４が係
合され、元端側かガイド筒８５にスライド可能に係合さ
れている。なに１８６はピン８３の突出量を規制するス
トツパである。ガイド筒８５はチャックプレート６８に
取付けられたブラケット８７に固定され、ガイド筒８５
の元部の内部空間８５Ｂは流路８８によって図示しない
真空ポンプに接続されるようになっている０８９は栓で
ある。ピン８３とガイド筒８５の間にはベローズ９０が
取付けられ、ベローズ９０の弾発力にＬってピン８３を
仮想線で示すようにベルヌーイチャック８０の前面ぶり
所定量突出させるための付勢力を与えると共に、ガイド
筒８５に設けた小孔９１を介してベローズ９０の内部空
間を流路８８によって真空引きすることによりピン８３
を第７図に実線で示す位置まで引込める工うになってい
る。

チャックプレート６８の上部には、第８図に示すＬうに
、前記ピン８３と同様のピン９３がピン８３の支持構造
と同様の支持構造で取付けられ、このピン９３の先端に
フック１１０が取付けられている。なか、９５はガイド
筒、９６はストツパ。

９７はブラケット、９８は流路、＋００はベローズ。

０１は小孔である。フック＋１０は、中空状物で作られ
、弾性を与えるために複数のスリット１１１が設けられ
、先端１１０ａはウェハＷの外周に引掛は得るように形
成されている。

第３図に戻って、センサアーム３４は、上下に伸びるリ
ニアガイド１２０に図示しない駆動装置によって所望量
上下動可能に支持されている。なか、このリニアガイド
１２０は、センサアーム３４がサセプタ１１の前記平面
＋１８に対向しているとき、この平面１１ａと上下方向
に平行になるように配置されている。また、リニアガイ
ド１２０は、センサアーム３４が前記平面１１Ｈに対向
しているとき、この平面＋１８と水平方向に平行に伸び
ている別のリニアガイド１２１ヲ介して旋回台３２に取
付けられ、モータ１２２により送りねじ機構１２３を介
して所望量の水平移動を与えられるようになっている。

センサアーム３４には、上下にセンサヘプト１２４゜１
２５が取付けられている。両センサヘヴド１２４゜１２
５は、第２図に示すように、サセプタ１１の各平面＋１
８．ｌｌｂ等の上下にそれぞれ設けられている例えば凹
または凸の上シ工び下指標＋２６．Ｉ２７に同時に対向
するように設置されている。サセプタ１１の前記平面＋
１８の上指標１２６の上方には円周方向に比較的広い巾
を有する原点指標１２８が設けられている。センサヘッ
ド１２４．１２５はレーザ等を用いて、各指標＋２６．
　＋２７．＋２ｇの上下および左右の辺をそれぞれ横切
るように移動したとき、高さの変化から該辺を検知し、
そのときのセンサアーム３４の上下方向釦工び水平方向
の位置から搬送装置３０に対する平面＋＋ａの前記方向
の位置を検出すると共に、上し１び下指標１２６　、１
２７とセンサヘッド１２４．１２５の間の距離すなわち
搬送装置３０に対する平面１１８の垂直方向の位置をも
検出し、これらの値から搬送装置３０に対する平面＋１
８の位置を求めて搬送装置３０の記憶部（図示せず）に
記憶するようになっている。センサヘッド１２６，１２
７の構造は、公知のものであるため、詳細な説明は省略
する。

次いで本装置の作用について説明する。サセプタ１１の
各平面１１ａ。Ｉｌｂ等に設けられているザグリ１５内
にウェハｗｌ搬入する場合、まず、第１図に示す昇降旋
回装置１４に工ってフタ１２と共にサセプタｌｌｔ反応
炉１０から上昇させて旋回し、サセプタ支持装置２０の
受板２］の上方にサセプタ１１を移動させて、フタ１２
の中心すなわちサセプタ１１の支持部の中心が受板２１
の中心に一致する位置に位置決めし、次いでフタ１２と
共にサセプタ１１管下降させる。このとき、第２図に示
す受駒２４は板ばね２２が上板２５に押当てられた上昇
位置にあり、下降してくるサセプタ１１の下端を弾性的
に受ける。受駒２４はサセプタ１１の下降に伴って板ば
ね２２の反発力に抗して受板２１の外周円錐面に沿って
下降し、サセプタ１１の下端を受板２１に対して芯合わ
せする。

サセプタ１１の下降量は、図示しないセンサによるサセ
プタ１１の上下方向の位置検出によって定められる。こ
のとき、サセプタ１１を下端と上端とで支持するように
昇降旋回装置１４がサセプタ１１の重量の１／３〜２／
３を受け、残部の重量をサセプタ支持装置２０が受ける
ように設定することが好ましい。

こうしてサセプタｌｌｆｔサセプタ支持装置２０上にセ
ットしたならば、旋回台３２を旋回させてセンサアーム
３４ｔ−サセプタ１１に対向させ、かつセンサアーム３
４を上昇させて、上方のセンサヘッド１２４ヲ原点指ｌ
１ｉ１２＆の高さに合わせる。次いで、７り１２に設け
られている回転駆動機構Ｉ３に１ってサセプタＩＩを回
転させる。このとき、摩擦駆動輪２８（第３図参照）は
受板２１から離されており、サセプタ１１は、受板２１
．受駒２４と共に回転する。サセプタＩＩが回転して原
点指標を １２８がセンサヘッド１２４の前方べ横切ると、センサ
ヘッド１２４が出力を生じ、サセプタ１１の回転を停止
する。次いで、センサヘッド１２４が主指標１２６に対
向する高までセンサアーム３４をリニアガイド＋２０に
沿って下降させた後、センサアーム３４を水平に伸びる
りニアガイド＋２１に沿って移動させ、主指標＋２６の
左右の辺の位置を検出する。

この左右の辺の位置が、センサアーム３４の水平方向の
原点位置す彦わち搬送装置３０の水平方向原点位置に対
し、左右対称な位置にない場合、すなわち主指標１２６
が水平方向にずれた位置にある場合には、摩擦駆動輪２
８を受板２１の下面に押付け、モータ２７を作動させて
受板２１と共にサセプタ１１を所定量回転させ、再びセ
ンサヘッド１２４によって主指標１２ｂの水平方向位置
を検出し、以下、同様にしてサセプタ１１の微細割出し
を行ない、所定の割出精度円に納まるようにする。こう
して、サセプタ１１の原点割出しが完了したならば、セ
ンサヘッド１２４．１２５を上下シよび左右方向へ移動
させ、上かＬび下指標１２６　、１２７の例えば上通と
右辺の位置を検出すると共に、上か工び■指標１２６，
１２７の指標面と垂直な方向の距離をも検出し、これら
の検出値から上カニび下指標１２６゜１２７が付されて
いる下面１１８の搬送装置３０に対する上下、左右およ
び間隔（平面ＩＩＩと垂直な方向の距離）の３次元の位
置を求めて搬送装置３０に記憶する。

こうして、サセプタＩＩ上のつ翼ハ搬入対象となる１つ
の平面＋１８の位置検出が完了したならば、搬送アーム
３３の先端に取付けられているベルヌーイチャック８０
をカセット台３６上に置かれているカセット３７に収納
されているウェノ〜Ｗに接近させて非接触で吸引する。

このとき、ピン８３はベローズ９０の弾発力によって突
出位置にあり、ウェハＷ（第６図参照）より下方へ離れ
て位置するように、ウェハＷに対してベルヌーイチャッ
ク８０を若干下方に位置させる。クエハＷを吸引後、搬
送アーム３３を、第３図に示すモータ４４．送りねじ４
２ならびに送りめねじ４３等によって上昇させると、ベ
ルヌーイチャック８０と共にピン８３が上昇し、第６図
に示すように、ピン８３によってウェハＷ′＠：支持し
、この支持力とベルヌーイチャック８０の吸引力とによ
ってウェハｗ１にカセット３７から取出す０ その後、前記センサヘッド１２４．１２５に工って求め
た平面１１ａの位置を基準として、該平面＋１ａ上の例
えば最上段のザグリ１５に対向する高さまで、搬送アー
ム３３を上昇させると共に、モータ３５によって旋回台
３２ｔ’９０’旋同させて、搬送アーム３３ｔ−ザグリ
１５に対向させる。

このとき、ベルヌーイチャック８３ｔ−取付けているチ
ャックプレート６ｇを、第４図に示すモータ７２．ねじ
７３．めねじ７０によってヒンジ６７の回りに回動させ
、ベルヌーイチャック８０で吸引しているつｆハＷを、
第９図に示すように、す七ブタ１１のザグリ１５に対し
、下端のみが嵌入され上端側は離れる角度となるように
後方へ傾斜さ会場−る。ここに、搬送アーム３３の高さ
は、ウェハＷの下端がザグリ１５の下端より若干上方に
位置するように位置決めされる。

次いで第４図に示すモータ６５を作動させ、自在継手６
６、ねじ６４．めねじ６３ならびにＬ字形レバー５８１
−介して左右動台５７をリニアガイド５６に沿って移動
させ、ベルヌーイチャックＳＯに吸引されているウェハ
Ｗとザグリ１５の水平方向の心合わせを行なう。この心
合わせは、センサヘッド１２４，１２５によって求めた
平面１１ａの位置を基準として行なわれる０ 次に、同じく前記平面１１８の位置を基準として、七−
タラ２．送りねじ５４シエび送りめねじ５５によって前
後動台５１がリニアガイド５０に沿って所定量前進し、
第９図に示すように、ウェノ・Ｗの下端をザグリ１５内
に入れる。このとき、ウエノヘＷの下端は、ザグリ１５
の下端より若干上方に位置し、ザグリ１５内に確実に入
る。また、このとき、ピン８３の先端は、ザグリＩ５の
外のサセプタ表面に接触しないように制御されるが、わ
ずかに接触しても、ベローズ９０の弾性によってサセプ
タＩＩとの干渉を吸収する０ 次いで、搬送アーム３３を下降させ、ウエノＳＷの下端
をザグリＩ５の下端に二って受止めさせる。

この後、第７図に示す流路８８を図示しない真空ポンプ
で負圧にして小孔９１を介してベローズ９０内を真空引
きし、ベローズ９０を縮めてピン８３を引込める０ 次いで、モータ７２によってチャックプレート６８の上
端ｌＩｔ前方へ傾斜させ、さらにチャックプレート６８
を若干前進させてウェノ％Ｗの全体をザグリ１５内に入
れ、ベルヌーイチャック８０による吸引力を解除して、
ウェハ前ｔ−ザグリ１５内に移す。

以上で１枚のウェハＷの搬入を完了する。以下、サセプ
タ１１の平面１１ａの他のザグリ１５に対する搬入は、
それらのザグリ１５の位置が異なるほかは同一である。

また、次の平面１１ｂに対する搬入は、回転駆動機構１
３によって受板２１と共にサセプタ１ｉｔ−所定角度回
転させ、この平面１１ｂに設けられている上および下指
標１２６．１２７１−センサヘッド１２４，１２５で検
出すると共にモータ２７＄−よび摩擦駆動輪２８によっ
て微細割出しを行なっト で、この会合平面１１Ｘの位置を検出し、以下、先の平
面１１８に対する搬入と同様に行なう０筐た、サセプタ
１１の各ザグリ１５に載置されて反応炉１０内で気相成
長を施こされたウェノＳＷの搬出は、概ね前述した搬入
と逆の動作によって行なわれる。異なるところは、ベル
ヌーイチャック８０をザグリＩ５に対向させてウェハＷ
を吸引する際には、ピン８３がザグリ）５内のウェハＷ
Ｌり若干下方に離れて位置するように搬送アーム３３の
高さを位置決めして吸引した後、チャックプレート６８
の上端側を後方へ傾斜させ、次いで搬送アーム３３を若
干上昇させてピン８３に工りウェハＷｔ−支持する点に
ある。

なか、気相成長を施こされたウエノ・Ｗは、気相成長に
伴なってサセプタ川の表面にも生ずる気相成長層によっ
てサセプタＩＩに付着し、ベルヌーイチャック８０の吸
引力では取出すことができない場合がある。チャックプ
レート６８の上部に設けたフック１１０は、このＬうな
ウエノ〜Ｗをザグリ１５から剥がすのに用いられる０以
下、その作用について説明する０第８図に示す流路９８
の真空引きを解除してベローズ１００の弾発力に工りス
トッパ９６が小孔１０１を有するガイド筒９５の壁面に
当接するまでピン９３訃りびフック１１０を突出させる
０次いで、搬送アーム３３の上下動と前後動台５１の前
進とによってフック１１０の先端（フック部）ＩＩＯａ
を、第１０図に示すように、ザグリ１５円のウェハＷの
上端（オリエンチーシランフラット部）に掛け、前後動
台５１を若干後退させるか、４またはチャックプレート
６８の上端側を若干後方へ傾斜させることによって、ウ
ェハＷをザグリ１５から少し剥がした後、搬送アーム３
３を若干上昇させてフック＋＋０をウェハＷから外し、
フック１Ｉｏｔ−真空引きに工って引込める。

こうしてザグリ１５円からのウェハＷの取出しを容易に
行ない得る状態とした後に、前述したようにベルヌーイ
チャック８０によるウェハＷの搬出を行なう。

前述した実施例は、本発明をバレル型気相成長装置のサ
セプタ１１に設けられたザグリ（載置部）１５に対して
ウェハＷｔ−搬入・搬出する場合に適用した例を示した
が、ウェハＷをほぼ垂直に立てた状態で保持する場合に
広く適用できることは言うまでもない。また、ベルヌー
イチャック８０ｔ−３次元的に移動させるための搬送用
の移動部材は、前述した旋回台３２．搬送アーム３３１
前後動台５１゜左右動台５７ならびに傾動可能なチャッ
クプレート６８に限らず種々の機構を採用し得る。

〔発明の効果〕

以上述べｆｅ、ように本発明によれば、ウェハの表面か
工び裏面のいずれにも接触することなく、外周部にわず
かに接触するのみで、ウェハを略垂直な載置部に対して
搬出入することができ、載置部がザグリ状の場合にも骸
ザグリの形状を変化させることなく、ウェハの搬出入が
可能となる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にぶる半導体ウェハの搬送装置を付設し
たバレル型気相成長装置の概要平面図、第２図はウェハ
の搬出入のためサセプタ支持装置上に置かれたサセプタ
の正面図、第３図は第１図の１１線による展開断面図、
第４図は搬送アームの部分拡大断面図、第５図は第４図
の■−ｖ線による部分拡大断面図、第６図はベルヌーイ
チャック部の正面図、第７図は第６図の■−■線による
部分拡大断面図、第８図は第６図の■−■線による部分
拡大断面図、第９図はザグリ内へのウェハの搬入途中の
状態を示す部分断面図、第１０図はザグリ内のウェハを
フックで剥がす状態を示す部分断面図である。 １０・・・反応炉、　ＩＩ・・・サセプタ、１２・・・
フタ、１３・・・回転駆動機構、１４・・・昇降旋回装
置、　２０・・・サセプタ支持装置、２Ｉ・・・受板、
２２．・・・板ばね、　２４・・・受駒、２６・・・固
定軸、 ２７．３５．４４，５２．６５．７２．、＋２２・・・
モータ、２８・・・摩擦駆動輪、　３０・・・搬送装置
、３２・・・旋回台、　３３・・・搬送アーム、３４・
・・センサアーム、　３６−・・カセット台、３７・・
・カセット、　４０・・・ガイド、４２、．５４・・・
送シねじ、　４３．５５・・・送りめねじ、５０．５６
．１２０．１２１・・・リニアガイド、台 ５１・・・前後動台、　５７・・・左右動外、５８・・
・Ｌ字形レバー、６３．７０・・・めねじ、６４．７３
・・・ねじ、　６７・・・ヒンジ、６８・・・チャック
プレート、 ７４．９０．Ｉｏｏ・・・ベローズ、 ８０・・・ベルヌーイチャック、 ３ ・・・ピン １０ フッ ク

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、半導体ウェハを略垂直に位置する載置部に対して搬
   出入するための搬送装置において、前記載置部に対して
   移動可能に設けられた搬送用の移動部材と、同移動部材
   に取付けられ前記載置部に対向すべく吸着面が略垂直に
   配置可能になされたベルヌーイチャックと、同ベルヌー
   イチャックの下方両側に出入可能に取付けられ前記ベル
   ヌーイチャックに吸着されている半導体ウェハの下方へ
   の移動を規制するピンとからなる半導体ウェハの搬送装
   置。 ２、ベルヌーイチャックの上方に出入可能に取付けられ
   たフックを有することを特徴とする請求項１記載の半導
   体ウェハの搬送装置。 ３、ベルヌーイチャックが、鉛直面に対し前後に傾動可
   能に取付けられていることを特徴とする請求項１または
   ２記載の半導体ウェハの搬送装置。