JPH037904U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH037904U JPH037904U JP6945489U JP6945489U JPH037904U JP H037904 U JPH037904 U JP H037904U JP 6945489 U JP6945489 U JP 6945489U JP 6945489 U JP6945489 U JP 6945489U JP H037904 U JPH037904 U JP H037904U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- baffle plate
- connects
- cold trap
- exhaust pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
第１〜３図はこの考案の一実施例を示し、第１
図は縦断面図、第２図は第１図の−断面矢視
図、第３図はこの実施例コールドトラツプを実施
する成膜装置の全体説明図である。第４図はコー
ルドトラツプの従来説明図である。 Ｔ……コールドトラツプ、Ｒ……冷却装置、１
……真空チヤンバ、２……排気管、５……弁、６
ａ……第１真空ポンプ、６ｂ……第２真空ポンプ
、９……圧縮機、１０……凝縮器、１１……膨張
弁、１２……蒸発器、１３……冷却冷媒タンク、
１４……邪魔板、１５……パイプ、１６……環状
枠、１７ａ，１７ｂ……管、１８……ヒータ、１
９……固定手段。
図は縦断面図、第２図は第１図の−断面矢視
図、第３図はこの実施例コールドトラツプを実施
する成膜装置の全体説明図である。第４図はコー
ルドトラツプの従来説明図である。 Ｔ……コールドトラツプ、Ｒ……冷却装置、１
……真空チヤンバ、２……排気管、５……弁、６
ａ……第１真空ポンプ、６ｂ……第２真空ポンプ
、９……圧縮機、１０……凝縮器、１１……膨張
弁、１２……蒸発器、１３……冷却冷媒タンク、
１４……邪魔板、１５……パイプ、１６……環状
枠、１７ａ，１７ｂ……管、１８……ヒータ、１
９……固定手段。
Claims (1)
- 真空チヤンバと真空ポンプとを接続する排気管
に介設され、かつ圧縮機、凝縮器、膨張弁、蒸発
器を順次接続して閉ループを形成する冷却装置に
より冷却されるコールドトラツプであつて、トラ
ツプ用の邪魔板に冷却冷媒循環用のパイプをろう
接するとともに、該パイプ両端を前記排気管に同
軸連結される環状枠に支持し、さらには前記邪魔
板または前記パイプには吸着ガス放出用のヒータ
を固定手段を介して連続一体的に取り付けたこと
を特徴とする、前記コールドトラツプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6945489U JPH037904U (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6945489U JPH037904U (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH037904U true JPH037904U (ja) | 1991-01-25 |
Family
ID=31604772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6945489U Pending JPH037904U (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH037904U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63178674U (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-18 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5099909A (ja) * | 1974-01-09 | 1975-08-08 | ||
| JPS5384871A (en) * | 1977-01-05 | 1978-07-26 | Hitachi Ltd | Recovering apparatus for gas |
| JPS621702B2 (ja) * | 1983-03-09 | 1987-01-14 | Tanpaku Shigen Kaihatsu Kk |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP6945489U patent/JPH037904U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5099909A (ja) * | 1974-01-09 | 1975-08-08 | ||
| JPS5384871A (en) * | 1977-01-05 | 1978-07-26 | Hitachi Ltd | Recovering apparatus for gas |
| JPS621702B2 (ja) * | 1983-03-09 | 1987-01-14 | Tanpaku Shigen Kaihatsu Kk |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63178674U (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-18 | ||
| JPH0511415Y2 (ja) * | 1987-05-11 | 1993-03-22 |