JPH0376351U - - Google Patents
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- JPH0376351U JPH0376351U JP13831489U JP13831489U JPH0376351U JP H0376351 U JPH0376351 U JP H0376351U JP 13831489 U JP13831489 U JP 13831489U JP 13831489 U JP13831489 U JP 13831489U JP H0376351 U JPH0376351 U JP H0376351U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tip
- liquid metal
- metal ion
- ion source
- heating
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 4
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案によるエミツタの先端形状を示
す。第２図は本考案のエミツタの先端加工前の形
状を示す。第３図は従来のエミツタ先端の形状を
示す。第４図は従来技術で作成された不良エミツ
タの形状を示す。 １……エミツタ（高融点金属）、２……先端球
。
す。第２図は本考案のエミツタの先端加工前の形
状を示す。第３図は従来のエミツタ先端の形状を
示す。第４図は従来技術で作成された不良エミツ
タの形状を示す。 １……エミツタ（高融点金属）、２……先端球
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 集束イオンビーム装置用液体金属イオン源
において、そのエミツタ先端が１〜２μｍのなめ
らかな球形状をしたことを特徴とする液体金属イ
オン源。 (2) 液体金属イオン源のエミツタにおいて、そ
の先端を通電加熱もしくは傍熱、電子衝撃加熱等
の局所加熱手段によつて加熱溶融し、球状の先端
形状を有する様に加工されたことを特徴とする第
１項記載の液体金属イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13831489U JPH0376351U (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13831489U JPH0376351U (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0376351U true JPH0376351U (ja) | 1991-07-31 |
Family
ID=31685423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13831489U Pending JPH0376351U (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0376351U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006289931A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-10-26 | Saito Ringyo:Kk | 耐久処理木材、耐久処理木材の製造方法、木材処理用燻液の採取装置、木材処理用液の採取装置、木材浸漬・煮付け装置及び耐久処理木材の製造装置 |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP13831489U patent/JPH0376351U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006289931A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-10-26 | Saito Ringyo:Kk | 耐久処理木材、耐久処理木材の製造方法、木材処理用燻液の採取装置、木材処理用液の採取装置、木材浸漬・煮付け装置及び耐久処理木材の製造装置 |
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