JPH0374348U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0374348U JPH0374348U JP13508789U JP13508789U JPH0374348U JP H0374348 U JPH0374348 U JP H0374348U JP 13508789 U JP13508789 U JP 13508789U JP 13508789 U JP13508789 U JP 13508789U JP H0374348 U JPH0374348 U JP H0374348U
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- JP
- Japan
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- sample
- moving
- holding plate
- sample stage
- stage
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- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例にかかるサンプルス
テージの概略構成の斜視図、第２図は第１図に示
したサンプルステージの詳細構成を示す正面図、
第３図は第２図に示したサンプルステージの側面
図、第４図は第２図に示したサンプルステージの
−線での要部縦断面図、第５図は第２図に示
したサンプルステージの−線での要部横断面
図、第６図は移動部の詳細構造の説明図、第７
図はφ回転機構の説明図、第８図はローラベアリ
ングの説明図、第９図はあおり機構の説明図、第
１０図はサンプルステージ制御機構の説明図、第
１１図は一般的な透過型サンプルステージの使用
状態の説明図である。 ２０，１２０……サンプルステージ、２１，１
２１……サンプル、１３１……φ基板、１３２…
…Ｘ基板、１３３……Ｙ……基板、１３４……φ
回転部、１３６……Ｘ移動部、１３７……Ｙ移動
部、１５３，１５７，１６２……ステツピングモ
ータ、１７０……弾性体チユーブ。
テージの概略構成の斜視図、第２図は第１図に示
したサンプルステージの詳細構成を示す正面図、
第３図は第２図に示したサンプルステージの側面
図、第４図は第２図に示したサンプルステージの
−線での要部縦断面図、第５図は第２図に示
したサンプルステージの−線での要部横断面
図、第６図は移動部の詳細構造の説明図、第７
図はφ回転機構の説明図、第８図はローラベアリ
ングの説明図、第９図はあおり機構の説明図、第
１０図はサンプルステージ制御機構の説明図、第
１１図は一般的な透過型サンプルステージの使用
状態の説明図である。 ２０，１２０……サンプルステージ、２１，１
２１……サンプル、１３１……φ基板、１３２…
…Ｘ基板、１３３……Ｙ……基板、１３４……φ
回転部、１３６……Ｘ移動部、１３７……Ｙ移動
部、１５３，１５７，１６２……ステツピングモ
ータ、１７０……弾性体チユーブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 サンプルの一面に接し、該サンプルを保持する
サンプル保持板を備えた透過型サンプルステージ
において、 前記サンプル保持板の一側辺に配置され、該保
持板をＸ方向に移動させるＸ移動部と、 前記Ｘ移動部と隣接する一側辺に配置され、前
記サンプル保持板をＹ方向に移動させるＹ移動部
と、 前記サンプルステージをφ方向に回転させるφ
回転部と、を含み、 前記各移動部及び回転部にはモータと、該モー
タの回転軸と連動するボールネジないしウオーム
ギアとが設けられ、前記回転軸とボールネジない
しウオームギアは弾性体チユーブを介して接続さ
れていることを特徴とするサンプルステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13508789U JPH0374348U (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13508789U JPH0374348U (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0374348U true JPH0374348U (ja) | 1991-07-25 |
Family
ID=31682377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13508789U Pending JPH0374348U (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0374348U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330731A (ja) * | 1986-07-24 | 1988-02-09 | Chino Corp | 光学的測定装置 |
| JPS63108236A (ja) * | 1986-10-10 | 1988-05-13 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | 分光楕円偏光計 |
-
1989
- 1989-11-20 JP JP13508789U patent/JPH0374348U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330731A (ja) * | 1986-07-24 | 1988-02-09 | Chino Corp | 光学的測定装置 |
| JPS63108236A (ja) * | 1986-10-10 | 1988-05-13 | エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン | 分光楕円偏光計 |