JPH0368145A - Work setting position correcting device - Google Patents
Work setting position correcting deviceInfo
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Landscapes
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（１！！ 要）
略矩形状に形成されたワークを所望の位置に載置する際
の位置ズレを補正する装置に関し、凹８の辺をもつ矩形
状のワークの位置ズレを正確に補正するとともに、位置
合わせを簡単にすることを目的とし、
矩形の撮像ｉＪ［域内に置かれた矩形状ワークの座標を
求める回路と、該回路により決定された上記ワークの座
標のうち、上記撮像領域の４つの角部に対して最短距離
となる上記ワークの４つの点の座標を求め、該座標をワ
ークの四隅の角部と決定する回路と、該回路によって求
められた上記ワークの４つの角部の座標に基づいて上記
ワークの中心点を求める回路と、上記撮像領域のうちの
一辺を基準線となし、該基準線に近い上記ワークの上記
角部の２点を結ぶ直線が該基準線との間で形成する角度
と、上記ワークの他の２点を結ぶ直線が該基準線との間
で形成する角度を求め、該２つの角度の平均値を算出し
て上記ワークの傾き角度となす回路と、上記ワークの上
記中心点と、上記ワークの上記傾き角度に基づいて位置
ズレを検知し、上記ワークの位置を補正する回路とを含
み構成する。[Detailed Description of the Invention] (1!! Essential) Regarding a device for correcting positional deviation when a substantially rectangular workpiece is placed at a desired position, the present invention relates to a device for correcting positional deviation when a substantially rectangular workpiece is placed at a desired position. With the aim of accurately correcting positional deviations and simplifying position alignment, a rectangular imaging iJ [a circuit for determining the coordinates of a rectangular workpiece placed within the area, and a circuit for determining the coordinates of the workpiece determined by the circuit. A circuit that determines the coordinates of the four points on the workpiece that are the shortest distance from the four corners of the imaging area and determines the coordinates as the four corners of the workpiece; A circuit that determines the center point of the workpiece based on the coordinates of the four corners of the workpiece; and a circuit that determines the center point of the workpiece based on the coordinates of the four corners of the workpiece; Find the angle formed between the connecting straight line and the reference line, and the angle formed between the straight line connecting the other two points of the workpiece and the reference line, and calculate the average value of the two angles. The present invention includes a circuit that determines the inclination angle of the workpiece, a circuit that detects a positional shift based on the center point of the workpiece, and the inclination angle of the workpiece, and corrects the position of the workpiece.
〔産業上の利用分野）
本発明は、ワーク搬送位置補正装置に関し、より詳しく
は、略矩形状に形成されたワークを所望の位置に載置す
る際の位置ズレを補正する装置に関する。[Industrial Field of Application] The present invention relates to a workpiece conveyance position correction device, and more particularly to a device for correcting positional deviation when a substantially rectangular workpiece is placed at a desired position.
矩形状に形成された偏平なワークを目的の位置に搬送す
る場合、例えば半導体ウェハから分離された多数のチッ
プをリードフレームに！３！置する場合には、このチッ
プをチャンクにより吸引して目的の位置に搬送するよう
にしている。When transporting a flat, rectangular workpiece to a target location, for example, use a lead frame to transport a large number of chips separated from a semiconductor wafer! 3! When placing the chip, the chip is sucked into the chunk and transported to the desired position.
ところが、チップを搬送する際にチップに位置ズレが生
じていることもあるため、第５図に示すように、図示し
ない撮像器によってチップ４０を撮像し、その撮像情報
に基づいてその位置ズレを検出し、そのズレを回転成分
Δαと平行移動成分ΔＸ、ΔＹに分けた後、その成分量
だけチップ４０の位置を補正して目的の位置に搬送する
ようにした装置が特開昭５９−３９５０２号公報におい
て提案されている。However, when the chip is being transported, the chip may be misaligned, so as shown in FIG. Japanese Patent Laid-Open No. 59-39502 discloses a device that detects the deviation, divides the deviation into a rotational component Δα and parallel components ΔX and ΔY, corrects the position of the chip 40 by the amount of the components, and transports the chip 40 to the target position. It is proposed in the publication No.
しかし、この装置によれば、第６図（ａ） 、 （ｂ）
に示す半導体装置や、同図（ｃ）に示す試験用ソケット
等のように、ワークの辺が直線とならないワークを搬送
する場合には、平行移動成分ΔＸ、ΔＹを決定する基準
が明確にならず、ワークの位置ズレの補正に誤差が生じ
易いといった問題がある。However, according to this device, FIGS. 6(a) and (b)
When transporting workpieces whose sides are not straight lines, such as the semiconductor device shown in Figure 1 or the test socket shown in Figure 2C, the criteria for determining the parallel movement components ΔX and ΔY must be clearly defined. First, there is a problem in that errors are likely to occur in correcting the positional deviation of the workpiece.
しかも、平行移動成分ΔＸ、ΔＹを補正する場合には、
チップ４０のＸ方向とＹ方向の２つの辺１、、ｌ、を基
準にして平行移動させることになるため、第６図（ｄ）
に示すように、ワークのＸ、 Ｙの辺が直角となって
いない場合や、対向するワークの２辺が平行となってい
ない場合には、ワークが一方に偏ることになり、平行移
動成分ΔＸ、ΔＹや回転成分Δαに基づく位置合わせ誤
差が大きくなるといった不都合がある。Moreover, when correcting the parallel movement components ΔX and ΔY,
Since the chip 40 is to be moved in parallel with the two sides 1, , l in the X direction and the Y direction as the reference, as shown in FIG. 6(d)
As shown in , if the X and Y sides of the workpiece are not at right angles, or if the two sides of the opposing workpiece are not parallel, the workpiece will be biased to one side, and the parallel movement component ΔX , ΔY and rotational component Δα become large.
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって
、凹凸の辺を有する矩形状のワークの位置ズレを正確に
補正するとともに、位置合わせを簡単にすることができ
るワーク設定位置補正装置を提供することを目的とする
。The present invention has been made in view of these problems, and provides a workpiece setting position correction device that can accurately correct the positional deviation of a rectangular workpiece having uneven sides and can simplify positioning. The purpose is to provide
上記した課題は、第１．２図において、矩形の撮像領域
Ａ内に置かれた矩形状ワークＷの座標を求める回路３と
、該回路３により決定された上記ワークＷの座標のうち
、上記撮像領域への４つの角部ＰＩ、ＰＩＰ３．Ｐ４に
対して最短距離となる上記ワークＷの４つの点−９、瞳
２、−１、−４の座標を求め、該座標をワークの四隅の
角部と決定する回路４と、該回路４によって求められた
上記ワークの４つの角部の座標ｔ＋、、 Ｗ！、 Ｗ３
、−１に基づいて上記ワークＷの中心点Ｈｏを求める回
路５と、上記撮像領域Ａのうちの一辺を基準線Ｌｌとな
し、該基準線Ｌ＋に近い上記ワークＷの上記角部の２点
−２、賀、を結ぶ直線が該基準線Ｌｌとの間で形成する
角度θ１と、上記ワークの他の２点−１、−４を結ぶ直
線が該基ｔ＄ＰｖＡＬ 、 との間で形成する角度θ２
との平均値（θ、＋θ２）／２を算出して上記ワークの
傾き角度θ。となす回路６と、上記ワークＷの上記中心
点−０と、上記ワークＷの上記傾き角度θ。に基づいて
位置ズレを検知し、上記ワークＷの位置を補正する回路
８とを備えたことを特徴とするワーク設定位置補正装置
により解決する。The above problem is solved by a circuit 3 for determining the coordinates of a rectangular workpiece W placed within a rectangular imaging area A, and a circuit 3 for determining the coordinates of the workpiece W placed within a rectangular imaging area A, and Four corners PI to the imaging area, PIP3. A circuit 4 that determines the coordinates of four points -9, pupils 2, -1, and -4 of the workpiece W that are the shortest distance from P4, and determines the coordinates as the four corners of the workpiece; The coordinates of the four corners of the workpiece obtained by t+,, W! , W3
, -1, and a circuit 5 for determining the center point Ho of the workpiece W based on the reference line L1, one side of the imaging area A is a reference line Ll, and two points at the corner of the workpiece W that are close to the reference line L+. The angle θ1 formed by the straight line connecting -2, ga and the reference line Ll, and the straight line connecting the other two points -1 and -4 of the workpiece formed between the base t$PvAL, angle θ2
The inclination angle θ of the workpiece is calculated by calculating the average value (θ, +θ2)/2. The circuit 6, the center point -0 of the workpiece W, and the inclination angle θ of the workpiece W. The problem is solved by a workpiece setting position correcting device characterized by comprising a circuit 8 for detecting positional deviation based on the above and correcting the position of the workpiece W.
〔作 用〕
本発明によれば、第１，２図に示すように、矩形状ワー
クＷを配置する撮像領域Ａを矩形となし、この撮像領域
Ａの４つの角部Ｐ＋＋Ｐｚ＋Ｐｓ＋Ｐａに対してｉ短距
離となるワークＷの４つの点賀１、Ｈ２、賀５、ｈ４の
座標を求め、この座標をワークＷの４つの角部と判断し
、この角部の座標からワークの中心点れと傾き角度θ。[Function] According to the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, the imaging area A in which the rectangular workpiece W is arranged is rectangular, and the i short distance is set to the four corners P++Pz+Ps+Pa of the imaging area A. Find the coordinates of the four points G1, H2, G5, and H4 of the workpiece W, which are the distances, judge these coordinates to be the four corners of the workpiece W, and use the coordinates of these corners to calculate the center point and inclination of the workpiece. Angle θ.
とを求め、中心点質。と傾き角度θ。のズレの量に応じ
てワークＷの位置を補正するようにしている。Find the center point quality. and the tilt angle θ. The position of the workpiece W is corrected according to the amount of deviation.
このため、ワークＷの位置ズレの基準を簡単に決定する
ことができる。Therefore, the reference for positional deviation of the workpiece W can be easily determined.
また、ワークＷの位置補正は、中心点の位置合わせと傾
きの修正動作によって行うことになるため、ワークＷの
辺に凹凸があったり、ワークＷの隣接する２辺が直角と
なっていない場合であっても、誤差のないワークの補正
及び設置が可能になる。In addition, since the position of the workpiece W is corrected by aligning the center point and correcting the inclination, if the sides of the workpiece W are uneven or the two adjacent sides of the workpiece W are not at right angles, Even if it is, it becomes possible to correct and install the workpiece without any errors.
しかも、ワークＷの傾き角θ。を求める場合には、対向
するワークＷの２つの辺のそれぞれの傾き角度θ６．θ
２を検出し、これらの角度の平均値（θ、十〇り／２を
採るようにしたので、第６図（ｄ）に示すように、対向
する辺が平行となっていない場合に、ワークを一方に偏
らせることがなく、誤差の少ない位置合わせが可能にな
る。Moreover, the inclination angle θ of the work W. When determining the inclination angle θ6 of each of the two sides of the opposing workpiece W. θ
2 is detected, and the average value of these angles (θ, 100/2) is taken.As shown in Figure 6(d), when the opposing sides are not parallel, the workpiece This makes it possible to perform alignment with fewer errors without biasing the image to one side.
［実施例］
そこで、以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings.
第１図は、本発明の一実施例を示す装置の回路図であっ
て、図中符号１は、チャック２により支持されたワーク
Ｗの一面を撮像する撮像器で、この撮像器ｌは、ワーク
Ｗを撮像してその画像情報をパターン認識回路３に出力
するように構成されている。FIG. 1 is a circuit diagram of an apparatus showing an embodiment of the present invention, in which reference numeral 1 is an imager that images one side of a work W supported by a chuck 2, and this imager 1 is It is configured to image the workpiece W and output the image information to the pattern recognition circuit 3.
パターン認識回路３は、第２図に示すような矩形状の撮
像領域Ａに設置したワークＷの（Ｌ置を座標化する回路
で、この回路３は、ワークＷの存在位置を座標（Ｘ、Ｙ
）により表してそのパターンデータを出力するように構
成されている。The pattern recognition circuit 3 is a circuit that coordinates the position (L) of a workpiece W installed in a rectangular imaging area A as shown in FIG. Y
) and outputs the pattern data.
４は、ワークＷ四隅の角部の座標を抽出するワーク角部
座標抽出回路で、このワーク角部座標抽出回路４は、パ
ターン認識回路３の座標データを入力して、第２図に示
すような撮像領域への４つの角部ＰＩ（ＸＩ、 ｖ＋）
、Ｐｚ（Ｘｉ、 Ｙｚ） 、Ｐｓ（Ｘ＊’、 Ｙ３）
、Ｐｇ（ＸＩ、Ｙ４）に対して最短距離となるワークＷ
の４つの点Ｌ （ＸＩ、ｙ＋） 、Ｌ（ｘｌｙｚ） ％
Ｌ（ｘｓ、 ｙｓ）、１１４（Ｘ、、ｙ４）を求め、
これらの点−１、Ｗｔ、、Ｗｓ、−４をワークＷの４つ
の角部の座標として決定するように構成されている。4 is a workpiece corner coordinate extraction circuit for extracting the coordinates of the four corners of the workpiece W. This workpiece corner coordinate extraction circuit 4 inputs the coordinate data of the pattern recognition circuit 3 and extracts the coordinates of the four corners of the workpiece W, as shown in FIG. Four corner PI (XI, v+) to the imaging area
, Pz(Xi, Yz), Ps(X*', Y3)
, the workpiece W that has the shortest distance to Pg (XI, Y4)
The four points L (XI, y+) , L (xlyz) %
Find L(xs, ys), 114(X,, y4),
It is configured to determine these points -1, Wt, , Ws, -4 as the coordinates of the four corners of the workpiece W.
５は、ワーク角部座標抽出回路４の出力データに基づい
てワークＷの中心点−０を求めるワーク中心点演算回路
で、このワーク中心点演算回路４は、ワークＷの角部の
座標−４、−２、−１、−４のＸ座標の和（ＸＩ 十Ｘ
ｚ 十Ｘ３ ＋ ＸＩ）を４で除算してワークの中心点
−０のＸ座標を算出するとともに、各Ｙ座標の和（Ｌ
＋ Ｖｔ ＋ Ｖｘ ＋ Ｖ４）を４で除算してワーク
の中心点ＨｏのＸ座標を演算し、これらにより求めた座
標（に。、ｙｏ）をワークＷの中心点−０とするように
構成されている。Reference numeral 5 denotes a workpiece center point calculation circuit that calculates the center point -0 of the workpiece W based on the output data of the workpiece corner coordinate extraction circuit 4. This workpiece center point calculation circuit 4 calculates the coordinates of the corner of the workpiece W -4 , -2, -1, -4
Calculate the X coordinate of the center point -0 of the workpiece by dividing z 10
+ Vt + Vx + V4) is divided by 4 to calculate the X coordinate of the center point Ho of the workpiece, and the coordinates (ni., yo) obtained from these are set as the center point of the workpiece W - 0. ing.
６は、ワーク角部座標抽出回路４の出力データに基づい
てワークＷの傾き角度を求めるワーク傾き角度演算回路
で、この回路６は、第２図に示す矩形状撮像領域へのう
ちの上辺を基ｆ＄線り、となし、ワークＷの４つの角部
−８、Ｗ２、−３．１１４のうち、基準線り、に近い２
つの角部の座標賀１、−２を直線で結んで基準線Ｌｌに
対する角度θ１を演算するとともに、他の２つの真座標
−２、−４を直線で結んで基Ｙ＄線Ｌ１に対する角度θ
２を演算し、２つの角度θ１．θ２の平均値（θ１＋θ
２）／２をワークＷの傾き角度θ。とするように構成さ
れている。Reference numeral 6 denotes a workpiece inclination angle calculation circuit that calculates the inclination angle of the workpiece W based on the output data of the workpiece corner coordinate extraction circuit 4. This circuit 6 calculates the upper side of the rectangular imaging area shown in FIG. The base f$ line, and the four corners of the workpiece W -8, W2, -3.114, the 2 closest to the base line.
The angle θ1 with respect to the reference line Ll is calculated by connecting the coordinates 1 and -2 of the two corners with a straight line, and the angle θ1 with respect to the base Y$ line L1 is calculated by connecting the other two true coordinates -2 and -4 with a straight line.
2 and calculate the two angles θ1. Average value of θ2 (θ1+θ
2)/2 is the inclination angle θ of the workpiece W. It is configured so that.
なお、基準線Ｌｌは、第４図に示すように、ワークＷを
搬送しようとする設置領域Ｂに設けた基準線り、と平行
になるように設定されている。Note that, as shown in FIG. 4, the reference line Ll is set to be parallel to the reference line Ll provided in the installation area B where the workpiece W is to be transported.
７は、撮像領域への中心点Ｏの座標を求める撮像領域中
心点演算回路で、この演算回路７はパターン認識回路３
のデータを入力し、第２図に示す撮像領域Ａの４つの角
部の座標Ｐｉ（ＸＩ、 Ｙ＋）、ｈ（Ｘｚ、Ｙｚ） 、
Ｐ３（Ｘ３．Ｙ３） 、Ｐ４（ＸＩ、Ｙ４） ノＸ座標
とＹｌｌｌｌｊ標の平均値を算出して中心点（ｘｏ、ｙ
ｏ）を求めるように構成されている。7 is an imaging area center point calculation circuit for calculating the coordinates of the center point O to the imaging area, and this calculation circuit 7 is connected to the pattern recognition circuit 3.
Input the data of the four corners of the imaging area A shown in Fig. 2, Pi (XI, Y+), h (Xz, Yz),
P3 (X3.Y3), P4 (XI, Y4) Calculate the average value of the
o).
８は、チャック２によって設置領域Ｂに搬送されるワー
クＷの位置ズレを補正する補正回路で、この回路８は、
後述するチャック駆動制ｉｎ回路９に補正信号を出力す
るように構成されている。例えば、ワーク中心点演算回
路６と撮像領域中心点演算回路７から入力した２つの中
心点Ｗ、、 Ｏの座標が第３図に示すように一致してい
ない場合に、これらの点ｈ０．○が一致する量、即ち（
（Ｘｏ−ｘｏＬ（Ｙｏ ｙｏ））だけワークＷの位置
を（市正し、ワークのズレをなくすように構成するとと
もに、ワーク中心点演算回路５から入力した傾き角度θ
。が零とならない場合には、その傾き角度θ。が零とな
るようにチャック２を移動してワークＷの位置を補正す
るように構成されている。Reference numeral 8 denotes a correction circuit for correcting the positional deviation of the workpiece W being transported to the installation area B by the chuck 2.
It is configured to output a correction signal to a chuck drive control in circuit 9, which will be described later. For example, if the coordinates of the two center points W, . The amount that ○ matches, that is, (
The position of the workpiece W is corrected by (Xo-xoL(Yo yo)), and the structure is configured to eliminate the shift of the workpiece, and the inclination angle θ input from the workpiece center point calculation circuit 5 is adjusted.
. is not zero, its inclination angle θ. The position of the workpiece W is corrected by moving the chuck 2 so that the position becomes zero.
上記したチャック駆動制御回路９は、チャンク２を駆動
する駆動器１０を制御するものであって、この制御回路
９によって制御された駆動器ｌＯは、一方のトレイ１１
上のワークＷをチャンク２に吸着させ、この状態でワー
クＷを他方のトレイ１２まで移動させ、目標位ｉＢに置
かれたソケットＳにワークＷを装着するように構成され
ている。また、このチャック駆動制御回路９は、補正回
路８の補正データを人力してその補正量に従って、チャ
ック２の終点位置を修正したり、ワークＷの傾き角度θ
が零となる位置までチャック２を移動させるように構成
されている。The chuck drive control circuit 9 described above controls the driver 10 that drives the chunk 2, and the driver lO controlled by this control circuit 9 controls one tray 11.
The upper workpiece W is attracted to the chunk 2, the workpiece W is moved to the other tray 12 in this state, and the workpiece W is attached to the socket S placed at the target position iB. Further, this chuck drive control circuit 9 manually inputs the correction data of the correction circuit 8 and corrects the end point position of the chuck 2 according to the correction amount, and corrects the inclination angle θ of the workpiece W.
The chuck 2 is configured to be moved to a position where the value becomes zero.
次に、上記した実施例の作用を説明する。Next, the operation of the above embodiment will be explained.
上記した実施例において、チャック２によって一方トレ
イ１１からワークＷを持ち上げて、他方のトレイ１２に
搬送する搬送経路において、撮像器１はワークＷを撮像
することになる。In the embodiment described above, the image pickup device 1 images the workpiece W on the conveyance path in which the workpiece W is lifted from one tray 11 by the chuck 2 and conveyed to the other tray 12.
また、パターン認識回路３は、撮像器ｌの画像情報に基
いてワークＷの存在する座標を決定することになる。Furthermore, the pattern recognition circuit 3 determines the coordinates where the workpiece W exists based on the image information of the imager l.
ついで、ワーク角部座標抽出回路４は、ワークＷの四隅
の角部の点座標−＋、Ｗｚ、Ｌ、Ｌをパターン認識回路
３の座標情報に基づいて決定する。また、ワーク傾き角
度演算回路６は、ワークＷの角部の点座標−＋、Ｌ−Ｌ
Ｊａに基づいてワークの傾き角度θ。を求める一方、ワ
ーク中心点演算回路５は、ワークＷの中心点ｈｏを求め
ることになり、ワークＷの傾き角度θ。及び中心点Ｈｏ
の座標データが補正回路８に出力されることになる。Next, the workpiece corner coordinate extraction circuit 4 determines the point coordinates -+, Wz, L, L of the four corners of the workpiece W based on the coordinate information from the pattern recognition circuit 3. Further, the workpiece inclination angle calculation circuit 6 calculates the point coordinates -+, LL of the corner of the workpiece W.
The inclination angle θ of the workpiece is based on Ja. On the other hand, the workpiece center point calculation circuit 5 calculates the center point ho of the workpiece W, and the inclination angle θ of the workpiece W. and center point Ho
The coordinate data of is output to the correction circuit 8.
さらに、撮像領域中心点演算回路７は、撮像領域Ａの中
心点Ｏの座標データを補正回路８に出力する。Further, the imaging area center point calculation circuit 7 outputs coordinate data of the center point O of the imaging area A to the correction circuit 8.
従って、補正回路８は、ワークＷの傾き角度θ。及び中
心点−０と、撮像領域への中心点Ｏの座標データを人力
し、そのデータに基づいてチャック駆動器制御回路９の
チャノク移動データを補正することになる。即ち、ワー
クＷの傾き角度θ。Therefore, the correction circuit 8 adjusts the inclination angle θ of the workpiece W. The coordinate data of the center point -0 and the center point O to the imaging area are inputted manually, and the chuck movement data of the chuck driver control circuit 9 is corrected based on the data. That is, the inclination angle θ of the workpiece W.
が零となっていない場合には、チャック駆動制御回路９
を介してチャック２を移動、回動させて、ワークＷの（
頃き角度θ。を零となし、また、撮像領域Ａの中心点○
とワークＷの中心点ｈｏとが一致しない場合には、それ
らの中心点０．ｉ’ｉｏが一致する量だけチャック２の
位置を修正することになる。is not zero, the chuck drive control circuit 9
The chuck 2 is moved and rotated via the
Rolling angle θ. is zero, and the center point of the imaging area A is
and the center point ho of the workpiece W do not match, their center point 0. The position of the chuck 2 is corrected by the amount that i'io matches.
さらに、１頃き角度θ。が零となり、かつ、２つの中心
点０．−０が一致する場合には、駆動器制御回路９は補
正されないデータに基づいてチャック２を設置位置Ｂま
で移動させて、ワークＷをソケットＳ等に＠置すること
になる。Furthermore, the angle θ around 1. becomes zero, and the two center points 0. -0, the driver control circuit 9 moves the chuck 2 to the installation position B based on the uncorrected data and places the workpiece W in the socket S or the like.
以上述べたように本発明によれば、矩形状ワークを配置
する撮像領域を矩形となし、この撮像領域の４つの角部
に対して最短距離となるワークの４つの点の座標を求め
、この座標をワークの４つの角部と判断し、この角部の
座標からワークの中心点と傾き角度とを求め、中心点と
傾き角度のズレの蟻に応してワークの位置を補正するよ
うにしている。As described above, according to the present invention, the imaging area in which the rectangular workpiece is placed is rectangular, the coordinates of the four points on the workpiece that are the shortest distances to the four corners of this imaging area are determined, and The coordinates are determined to be the four corners of the workpiece, the center point and inclination angle of the workpiece are determined from the coordinates of these corners, and the position of the workpiece is corrected according to the deviation between the center point and the inclination angle. ing.
このため、ワークのズレの基準を簡単に決定することが
可能になる。Therefore, it becomes possible to easily determine the standard for workpiece deviation.
また、ワークの位置補正は、中心点の位置合わせと傾き
の修正動作によって行うことになるため、ワークの辺に
凹凸があったり、ワークの隣接する２辺が直角となって
いない場合であっても、誤差のないワークの補正及び設
置が可能になる。In addition, since the workpiece position is corrected by aligning the center point and correcting the inclination, it is possible to correct the position of the workpiece even if the sides of the workpiece are uneven or the two adjacent sides of the workpiece are not at right angles. Also, it becomes possible to correct and install the workpiece without any errors.
しかも、ワークの傾き角を求める場合には、対向するワ
ークの２つの辺のそれぞれの傾き角度を検出し、これら
の角度の平均値を採るようにしたので、第６図（ｄ）に
示すように、対向する辺が平行となっていない場合に、
ワークを一方に偏らせることがなく、誤差の少ない位置
合わせが可能になる。Moreover, when determining the inclination angle of the workpiece, the inclination angles of the two opposing sides of the workpiece are detected and the average value of these angles is taken, so that , if the opposite sides are not parallel,
The workpiece is not biased to one side, and positioning can be performed with less error.
第１図は、本発明の一実施例を示す装置の概要構成図、
第２図は、本発明における撮像状態の一例を示す平面図
、
第３図は、本発明の位置ズレの補正例を示す平面図、
第４図は、本発明の撮像領域とワーク設置位置の関係を
示す平面図、
第５図は、従来装置の位置ズレの補正例を示す平面図、
第６図は、ワークの一例を示す平面図である。
（符号の説明）
ｌ・・・撮像器、
２・・・チャック、
３・・・パターン認識回路、
４・・・ワーク角部座標抽出回路、
５・・・ワーク中心点演算回路、
６・・・ワーク傾斜角度演算回路、
７・・・ｔ！％像領域中心点演算回路、８・・・補正回
路、
９・・・駆動器制御回路、
ｌＯ・・・駆動器。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing an example of an imaging state in the present invention. FIG. 4 is a plan view showing the relationship between the imaging area of the present invention and the workpiece installation position. FIG. 5 is a plan view showing an example of positional deviation correction of the conventional device. It is a top view showing an example. (Explanation of symbols) 1... Imager, 2... Chuck, 3... Pattern recognition circuit, 4... Workpiece corner coordinate extraction circuit, 5... Workpiece center point calculation circuit, 6...・Workpiece inclination angle calculation circuit, 7...t! % image area center point calculation circuit, 8...correction circuit, 9...driver control circuit, lO...driver.
Claims (1)
る回路と、 該回路により決定された上記ワークの座標のうち、上記
撮像領域の４つの角部に対して最短距離となる上記ワー
クの４つの点の座標を求め、該座標をワークの四隅の角
部と決定する回路と、該回路によって求められた上記ワ
ークの４つの角部の座標に基づいて上記ワークの中心点
を求める回路と、 上記撮像領域のうちの一辺を基準線となし、該基準線に
近い上記ワークの上記角部の２点を結ぶ直線が該基準線
との間で形成する角度と、上記ワークの他の２点を結ぶ
直線が該基準線との間で形成する角度を求め、該２つの
角度の平均値を算出して上記ワークの傾き角度となす回
路と、 上記ワークの上記中心点と、上記ワークの上記傾き角度
に基づいて位置ズレを検知し、上記ワークの位置を補正
する回路とを備えたことを特徴とするワーク設定位置補
正装置。[Claims] A circuit for determining the coordinates of a rectangular workpiece placed within a rectangular imaging area; and a circuit for determining the coordinates of a rectangular workpiece placed within a rectangular imaging area; A circuit that calculates the coordinates of four points on the workpiece that are distances and determines the coordinates as the four corners of the workpiece, and a circuit that calculates the coordinates of the four corners of the workpiece based on the coordinates of the four corners of the workpiece that are determined by the circuit. a circuit for determining a center point; one side of the imaging area is set as a reference line; and an angle formed between the reference line and a straight line connecting two points of the corner of the workpiece near the reference line; A circuit that calculates the angle formed between the straight line connecting two other points of the workpiece and the reference line, and calculates the average value of the two angles to determine the inclination angle of the workpiece; and the center of the workpiece. What is claimed is: 1. A workpiece setting position correction device comprising: a circuit for detecting a positional shift based on a point and the inclination angle of the workpiece and correcting the position of the workpiece.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20541089A JP2739181B2 (en) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | Work setting position correction device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20541089A JP2739181B2 (en) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | Work setting position correction device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0368145A true JPH0368145A (en) | 1991-03-25 |
| JP2739181B2 JP2739181B2 (en) | 1998-04-08 |
Family
ID=16506384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20541089A Expired - Fee Related JP2739181B2 (en) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | Work setting position correction device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2739181B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005142388A (en) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Nidec Tosok Corp | Concentricity corrector |
-
1989
- 1989-08-07 JP JP20541089A patent/JP2739181B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005142388A (en) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Nidec Tosok Corp | Concentricity corrector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2739181B2 (en) | 1998-04-08 |
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