JPH0367993B2 - - Google Patents
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- JPH0367993B2 JPH0367993B2 JP61039896A JP3989686A JPH0367993B2 JP H0367993 B2 JPH0367993 B2 JP H0367993B2 JP 61039896 A JP61039896 A JP 61039896A JP 3989686 A JP3989686 A JP 3989686A JP H0367993 B2 JPH0367993 B2 JP H0367993B2
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- closing plate
- container
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、砒化ガリウム単結晶等の高解離圧
化合物単結晶をその融体から引き上げて生成する
装置に使用される二重構造容器に関するものであ
る。Detailed Description of the Invention "Industrial Application Field" This invention relates to a double-structured container used in an apparatus for producing a single crystal of a high dissociation pressure compound such as a gallium arsenide single crystal by pulling it from its melt. It is.
「従来の技術」
以下、砒化ガリウムの引き上げを例にとつて説
明する。"Prior Art" The following will explain the pulling of gallium arsenide as an example.
一般に、砒化ガリウム単結晶をその融体から引
き上げて生成する装置においては、内側に単結晶
を引き上げるるつぼ等が配設され砒素ガスが充填
された内側容器とこの内側容器との間に不活性ガ
スが充填された外側容器とからなる二重構造容器
が使用されている。 Generally, in a device that produces gallium arsenide single crystal by pulling it from its melt, a crucible or the like for pulling the single crystal is disposed inside, and an inert gas is placed between the inner container filled with arsenic gas and this inner container. A double-layered container is used, consisting of an outer container filled with
従来この種の二重構造容器としては、例えば、
第４図および第５図に示すようなものが知られて
いる。この二重構造容器１は、外側容器１１とこ
の外側容器１１内に配置された内側容器１２とを
備えており、前記外側容器１１と内側容器１２と
の間に不活性ガスを充填し、前記内側容器１２内
に砒素ガスを充填するようになつている。 Conventionally, this type of double-structure container includes, for example,
The ones shown in FIGS. 4 and 5 are known. This double-structured container 1 includes an outer container 11 and an inner container 12 disposed inside the outer container 11, and an inert gas is filled between the outer container 11 and the inner container 12, and the inner container 12 is filled with an inert gas. The inner container 12 is filled with arsenic gas.
この外側容器１１は、外側容器本体１３を有し
ている。この外側容器本体１３は、筒状本体１４
と、外側容器蓋体１５とを有している。この筒状
本体１４は、略円筒状になされおり、その軸線方
向の下部には下部開口部（開口部）１６が形成さ
れ、その軸線方向上部には上部開口部１７が形成
されている。また、この筒状本体１４の側壁に
は、真空引き用の配管１８が接続されている。そ
して、前記上部開口部１７は、前記外側容器蓋体
１５によつて閉鎖されている。また、前記下部開
口部１６には、ベローズ１９が設けられている。
このベローズ１９は、その上端部の開口縁を前記
下部開口部１６の開口縁部に接続させ、前記外側
容器本体１３の軸線方向に向けて配設されてい
る。このベローズ１９の下端部には、閉鎖板２０
が設けられている。この閉鎖板２０は、閉鎖板昇
降装置（図示せず）によつて、前記外側容器本体
１３の軸線方向に前記下部開口部１６に対して上
下方向に離接しうるようになつている。 This outer container 11 has an outer container body 13. This outer container body 13 has a cylindrical body 14
and an outer container lid 15. The cylindrical main body 14 has a substantially cylindrical shape, and has a lower opening 16 formed at its axially lower portion, and an upper opening 17 formed at its axially upper portion. Furthermore, a vacuum piping 18 is connected to the side wall of the cylindrical main body 14. The upper opening 17 is closed by the outer container lid 15. Further, a bellows 19 is provided in the lower opening 16.
The bellows 19 has an opening edge at its upper end connected to an opening edge of the lower opening 16, and is disposed toward the axial direction of the outer container body 13. A closing plate 20 is provided at the lower end of the bellows 19.
is provided. The closing plate 20 can be moved upwardly toward and away from the lower opening 16 in the axial direction of the outer container body 13 by a closing plate lifting device (not shown).
一方、前記内側容器１２は、内側容器本体２１
を有している。この内側容器本体２１は、上部に
開口部２２が形成された略有底円筒状になされて
おり、その軸線を前記外側容器１１の軸線にほぼ
一致させて配設されている。そして、前記外側容
器１１の軸線方向に移動可能に設けられている。
また、前記開口部２２の端縁には、グラフアイト
製のパツキン（図示せず）が設けられており、後
述する蓋体に押圧してシールできるようになつて
いる。この内側容器本体２１と前記閉鎖板２０と
の間には、コイルバネ（弾性部材）２３が介装さ
れている。このコイルバネ２３は、前記内側容器
本体２１に、そのたわみ量に応じて上方への押圧
力を付与するようになつており、前記内側容器本
体２１をその自重とつり合つた状態で支持してい
る。また、前記内側容器本体２１の開口部２２の
上方で、前記外側容器蓋体１５の下面には、内側
容器蓋体（蓋体）２４が固定されている。この内
側容器蓋体２４は、前記内側容器本体２１が上方
へ移動した際、その開口部２２に設けられたパツ
キンに押圧されて密閉するようになされている。 On the other hand, the inner container 12 has an inner container main body 21
have. The inner container main body 21 has a substantially bottomed cylindrical shape with an opening 22 formed in the upper part, and is arranged so that its axis substantially coincides with the axis of the outer container 11. And, it is provided so as to be movable in the axial direction of the outer container 11.
Further, a graphite gasket (not shown) is provided at the edge of the opening 22 so that it can be pressed and sealed against a lid body, which will be described later. A coil spring (elastic member) 23 is interposed between the inner container main body 21 and the closing plate 20. The coil spring 23 applies an upward pressing force to the inner container body 21 according to the amount of deflection thereof, and supports the inner container body 21 in a state in which its own weight is balanced. . Moreover, an inner container lid (lid) 24 is fixed to the lower surface of the outer container lid 15 above the opening 22 of the inner container main body 21 . The inner container lid 24 is pressed against a gasket provided in the opening 22 of the inner container main body 21 to seal it tightly when the inner container main body 21 moves upward.
このような内側容器本体２１内には、るつぼ２
５が設けられており、このるつぼ２５内には溶融
した砒素化合物２６が貯留されている。そして、
このるつぼ２５は、前記閉鎖板２０と前記内側容
器本体２１との底部を貫通して設けられた支持軸
２７によつて支持されており、この支持軸２７に
よつて回動および上下動できるようになつてい
る。一方、前記るつぼ２５の上方には、前記外側
容器蓋体１５および前記内側容器蓋体２４を貫通
して引き上げ軸２８が設けられている。そして、
この引き上げ軸２８によつて、前記るつぼ２５内
の溶融した砒素化合物２６から単結晶を引き上げ
るようになつている。 Inside the inner container body 21, there is a crucible 2.
5 is provided, and a molten arsenic compound 26 is stored in this crucible 25. and,
This crucible 25 is supported by a support shaft 27 provided through the bottom of the closing plate 20 and the inner container main body 21, and can be rotated and moved up and down by this support shaft 27. It's getting old. On the other hand, above the crucible 25, a pulling shaft 28 is provided passing through the outer container lid 15 and the inner container lid 24. and,
The single crystal is pulled up from the molten arsenic compound 26 in the crucible 25 by the pulling shaft 28.
このような二重構造容器１においては、単結晶
の引き上げ作業を行う前に、準備として以下のよ
うな作業を行う。すなわち、まず内側容器蓋体２
４が固定された外側容器蓋体１５を外して、内側
容器１２内に、砒素化合物２６の入つたるつぼ２
５等を装填する。つぎに、外側容器蓋体１５で外
側容器１１の上部開口部１７を密閉する。この状
態で、前記内側容器蓋体２４と内側容器本体２１
の開口部２２とは離間している。このような状態
で、前記配管１８を通して真空引きを行い、外側
容器１１および内側容器１２内を真空にする。次
に、前記閉鎖板２０を上方へ移動させることによ
つて、内側容器本体２１を上方に移動させ、前記
内側容器１２の開口部２２を前記内側容器蓋体２
４に密着させる。さらに、前記閉鎖板２０を上方
へ移動させることにより、前記コイルバネ２３に
よつて前記内側容器本体２１の開口部２２を前記
内側容器蓋体２４に押圧し密閉する。その後、前
記内側容器１２内に砒素ガスを、前記外側容器１
１と前記内側容器１２との間に不活性ガスを封入
する。このようにして、単結晶の引き上げを行
う。 In such a double-structured container 1, the following operations are performed as a preparation before performing the single crystal pulling operation. That is, first, the inner container lid 2
The crucible 2 containing the arsenic compound 26 is removed from the outer container lid 15 to which the arsenic compound 26 is fixed.
Load the 5th grade. Next, the upper opening 17 of the outer container 11 is sealed with the outer container lid 15. In this state, the inner container lid 24 and the inner container main body 21
It is spaced apart from the opening 22 of. In this state, a vacuum is drawn through the piping 18 to evacuate the inside of the outer container 11 and the inner container 12. Next, by moving the closing plate 20 upward, the inner container main body 21 is moved upward, and the opening 22 of the inner container 12 is closed to the inner container lid 2.
Closely attach to 4. Further, by moving the closing plate 20 upward, the coil spring 23 presses the opening 22 of the inner container body 21 against the inner container lid 24 and seals it. Thereafter, arsenic gas is introduced into the inner container 12 and the outer container 1 is filled with arsenic gas.
An inert gas is sealed between 1 and the inner container 12. In this way, the single crystal is pulled.
「発明が解決しようとする問題点」
ところで、上記のような二重構造容器１にあつ
ては、内側容器本体２１の開口部２２と内側容器
蓋体２４との密着を確認することができないとと
もに開口部２２の内側容器蓋体２４への押圧力を
確認することができないという問題点があつた。
すなわち、この二重構造容器１にあつては、内側
容器１２が外側容器１１によつて覆われており、
内側容器本体２１の開口部２２と内側容器蓋体２
４との密着を直接見ることができない。また、内
側容器本体２１がコイルバネ２３を介して閉鎖板
２０上に支持されているため、内側容器本体２１
の開口部２２と閉鎖板２０との距離は、内側容器
本体２１内に装填されたるつぼ２５および融体等
の重量に左右される。それ故、閉鎖板２０の上下
位置から、開口部２２が内側容器蓋体２４に密着
したことを知ることができない。このように、こ
の二重構造容器１にあつては、外部から開口部２
２と内側容器蓋体２４との密着を確認することが
できないのである。また、開口部２２が内側容器
蓋体２４に密着した時の閉鎖板２０の上下位置が
不定なため、密着後閉鎖板２０を内側容器本体２
１に対してどれだけ接近移動させたのかを知るこ
とができない。このため、接近移動量から、開口
部２２の内側容器蓋体２４への押圧力を算出する
こともできないのである。"Problems to be Solved by the Invention" By the way, in the case of the double-walled container 1 as described above, it is not possible to confirm the close contact between the opening 22 of the inner container body 21 and the inner container lid 24. There was a problem in that the pressing force of the opening 22 on the inner container lid 24 could not be confirmed.
That is, in this double structure container 1, the inner container 12 is covered by the outer container 11,
Opening 22 of inner container body 21 and inner container lid 2
It is not possible to directly see the close contact with 4. Moreover, since the inner container body 21 is supported on the closing plate 20 via the coil spring 23, the inner container body 21
The distance between the opening 22 and the closing plate 20 depends on the weight of the crucible 25, melt, etc. loaded into the inner container body 21. Therefore, it is impossible to know from the top and bottom positions of the closing plate 20 that the opening 22 is in close contact with the inner container lid 24. In this way, in this double structure container 1, the opening 2 can be accessed from the outside.
2 and the inner container lid 24 cannot be confirmed. In addition, since the vertical position of the closing plate 20 when the opening 22 comes into close contact with the inner container lid body 24 is uncertain, the closing plate 20 is moved to the inner container body 2 after the close contact.
It is not possible to know how close the object was moved to 1. For this reason, it is also impossible to calculate the pressing force of the opening 22 against the inner container lid 24 from the amount of approach movement.
「発明の目的」
この発明は、内側容器本体の開口部と蓋体との
密着および押圧力を確認することができる二重構
造容器を提供することを目的とする。[Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a double-structured container in which it is possible to check the close contact and pressing force between the opening of the inner container body and the lid.
「発明の構成」
この発明は、内側容器本体に、閉鎖板を摺動自
在に貫通して外側へ突出する棒状の位置検出部材
を設けた構成としたものでる。[Structure of the Invention] The present invention has a structure in which the inner container body is provided with a rod-shaped position detection member that slidably penetrates the closing plate and projects outward.
「実施例」
以下、この発明の一実施例について第１図およ
び第２図を参照して説明する。なお、これらの図
において、従来例と同一構成の部分には同一符号
を付して、その説明を省略する。"Embodiment" An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. In addition, in these figures, the same reference numerals are given to the parts having the same configuration as those of the conventional example, and the explanation thereof will be omitted.
第１図は、この発明に係る二重構造容器３を示
す図である。この二重構造容器３は、従来の二重
構造容器１に位置検出部材を設けた点をその特徴
としている。すなわち、この二重構造容器３は、
その内側容器本体２１の下端に位置検出部材３１
が設けられている。この位置検出部材３１は、前
記内側容器本体２１と閉鎖板２０との位置関係を
外側容器１１の外側で確認できるようにしたもの
であつて、棒状の部材からなり、前記内側容器本
体２１の下端から前記閉鎖板２０を摺動自在に貫
通して設けられている。 FIG. 1 is a diagram showing a double structure container 3 according to the present invention. This double structure container 3 is characterized in that a position detection member is provided in the conventional double structure container 1. That is, this double structure container 3 is
A position detection member 31 is located at the lower end of the inner container body 21.
is provided. This position detection member 31 is configured to allow the positional relationship between the inner container body 21 and the closing plate 20 to be confirmed on the outside of the outer container 11, and is made of a rod-shaped member and is located at the lower end of the inner container body 21. It is provided to slidably penetrate the closing plate 20 from above.
次に、このような二重構造容器３において、位
置検出部材３１の作用について説明する。まず、
内側容器本体２１内にるつぼ２５等を装填する。
この状態で、第１図に示すように、前記位置検出
部材３１の下端の前記閉鎖板２０からの突出量Ａ
を測定する。次に、真空引きを行つた後、閉鎖板
２０を上昇させて内側容器本体２１を上昇させ
る。そして、内側容器本体２１の開口部２２が内
側容器蓋体２４に密着すると、前記突出量が増加
し始め、開口部２２が内側容器蓋体２４に密着し
たことが確認される。さらに、閉鎖板２０を上昇
させると、第２図に示すように、コイルバネ２３
がたわみ、このたわみ量に対応する押圧力によつ
て開口部２２が内側容器蓋体２４を押圧すること
になる。この際、位置検出部材３１の下端の閉鎖
板２０からの突出量をＢとすると、Ｂ−Ａ＝Ｓが
コイルバネ２３のたわみ量になる。そして、この
たわみ量Ｓから、コイルバネ２３の押圧力すなわ
ち開口部２２の内側容器蓋体２４への押圧力を算
出することができる。 Next, the function of the position detection member 31 in such a double-structured container 3 will be explained. first,
The crucible 25 and the like are loaded into the inner container body 21.
In this state, as shown in FIG.
Measure. Next, after performing evacuation, the closing plate 20 is raised to raise the inner container body 21. When the opening 22 of the inner container main body 21 comes into close contact with the inner container lid 24, the amount of protrusion begins to increase, confirming that the opening 22 has come into close contact with the inner container lid 24. Furthermore, when the closing plate 20 is raised, the coil spring 23
is deflected, and the opening 22 presses the inner container lid 24 with a pressing force corresponding to the amount of deflection. At this time, if the amount of protrusion of the lower end of the position detection member 31 from the closing plate 20 is B, then the amount of deflection of the coil spring 23 is B-A=S. From this amount of deflection S, the pressing force of the coil spring 23, that is, the pressing force of the opening 22 against the inner container lid 24 can be calculated.
このように、この二重構造容器３にあつては、
位置検出部材３１の閉鎖板２０からの突出量によ
つて、内側容器本体２１と閉鎖板２０との距離を
外部から容易に確認することができる。したがつ
て、内側容器本体２１の開口部２２と内側容器蓋
体２４との密着を確認することができるとともに
開口部２２の内側容器蓋体２４への押圧力を算出
することができる。 In this way, in this double structure container 3,
Depending on the amount of protrusion of the position detection member 31 from the closure plate 20, the distance between the inner container body 21 and the closure plate 20 can be easily confirmed from the outside. Therefore, the close contact between the opening 22 of the inner container body 21 and the inner container lid 24 can be confirmed, and the pressing force of the opening 22 on the inner container lid 24 can be calculated.
なお、上記実施例においては、位置検出部材３
１の閉鎖板２０からの突出量を視認し、開口部２
２と内側容器蓋体２４との密着および押圧力を確
認するようにしているが、これに限る必要はな
く、第３図に示すように、位置検出部材３１の下
端部近傍に位置検出センサ３２を閉鎖板２０に固
定して設け、この位置検出センサ３２によつて前
記突出量を検出し、密着および押圧力の確認を行
うようにしてもよい。 Note that in the above embodiment, the position detection member 3
Visually check the amount of protrusion from the closing plate 20 of opening 2.
2 and the inner container lid 24, but it is not necessary to be limited to this. As shown in FIG. may be fixed to the closing plate 20, and the position detection sensor 32 may detect the amount of protrusion to confirm the close contact and the pressing force.
さらに、この位置検出センサ３２に制御装置を
接続し、この制御装置によつて、前記閉鎖板２０
の昇降装置を制御し、この昇降装置によつて閉鎖
板２０の上下位置を制御するようにしてもよい、
このようにすれば、開口部２２と内側容器蓋体２
４との密着の確認および開口部の蓋体への押圧力
の設定を自動的に行うことができる。 Further, a control device is connected to this position detection sensor 32, and the control device controls the closing plate 20.
The vertical position of the closing plate 20 may be controlled by this lifting device.
In this way, the opening 22 and the inner container lid 2
4 and the setting of the pressing force of the opening to the lid body can be automatically performed.
「発明の効果」
以上に説明したように、この発明によれば、内
側容器本体に、閉鎖板を摺動自在に貫通して外側
へ突出する位置検出部材を設けているから、閉鎖
板からの位置検出部材の突出量によつて、内側容
器本体の開口部と蓋体との密着および押圧力を容
易に確認することができるという効果が得られ
る。"Effects of the Invention" As explained above, according to the present invention, since the inner container main body is provided with the position detection member that slidably penetrates the closing plate and protrudes outward, Depending on the amount of protrusion of the position detection member, it is possible to easily confirm the close contact and pressing force between the opening of the inner container body and the lid.
第１図およびし第２図は本発明の一実施例を示
す縦断面図であつて、第１図は内側容器が開いた
状態を示す図、第２図は内側容器が閉じた状態を
示す図、第３図は他の実施例を示す縦断面図、第
４図および第５図は従来の二重構造容器を示す縦
断面図であつて、第４図は内側容器が開いた状態
を示す図、第５図は内側容器が閉じた状態を示す
図である。
３……二重構造容器、１１……外側容器、１２
……内側容器、１３……外側容器本体、１６……
下部開口部（開口部）、２０……閉鎖板、２１…
…内側容器本体、２２……開口部、２３……コイ
ルバネ（弾性部材）、２４……内側容器蓋体（蓋
体）、３１……位置検出部材。
1 and 2 are longitudinal sectional views showing one embodiment of the present invention, in which FIG. 1 shows the inner container in an open state, and FIG. 2 shows the inner container in a closed state. 3 and 3 are longitudinal cross-sectional views showing other embodiments, and FIGS. 4 and 5 are longitudinal cross-sectional views showing conventional double-structure containers, and FIG. 4 shows the inner container in an open state. The figure shown in FIG. 5 is a diagram showing a state in which the inner container is closed. 3... Double structure container, 11... Outer container, 12
...Inner container, 13...Outer container body, 16...
Lower opening (opening), 20... Closing plate, 21...
... Inner container main body, 22 ... Opening, 23 ... Coil spring (elastic member), 24 ... Inner container lid (lid), 31 ... Position detection member.
Claims (1)
容器とを備えてなり、前記外側容器は、開口部を
有する外側容器本体と、この外側容器本体の開口
部に、外側容器本体に対して接近離間する方向へ
移動可能に設けられた閉鎖板とからなり、前記内
側容器は、前記閉鎖板にその移動方向と同方向で
弾性部材を介して移動可能に設けられ、かつ閉鎖
板から離間する側の端部に開口部が形成された内
側容器本体と、前記外側容器本体に前記内側容器
本体の開口部と対向して設けられ、前記閉鎖板が
外側容器本体に対して接近する方向へ移動せしめ
られた際に、前記弾性部材の押圧力によつて前記
内側容器本体に当接せしめられてその開口部を密
閉する蓋体とからなる二重構造容器において、前
記内側容器本体の下端に、前記閉鎖板を摺動自在
に貫通して外側へ突出する棒状の位置検出部材を
設けたことを特徴とする二重構造容器。1 Comprising an outer container and an inner container disposed within the outer container, the outer container includes an outer container main body having an opening, and an opening of the outer container main body that is close to the outer container main body. and a closing plate provided movably in the direction of separation, the inner container being provided movably on the closing plate via an elastic member in the same direction as the movement direction of the closing plate, and having a side separated from the closing plate. an inner container body having an opening formed at an end thereof; and an inner container body provided in the outer container body opposite to the opening of the inner container body, the closure plate being moved in a direction approaching the outer container body. In the double structure container, the lid body is brought into contact with the inner container body by the pressing force of the elastic member to seal the opening of the inner container body when the inner container body is opened. A double-structured container characterized by being provided with a rod-shaped position detection member that slidably penetrates a closure plate and projects outward.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3989686A JPS62197390A (en) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | Double-structure vessel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3989686A JPS62197390A (en) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | Double-structure vessel |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197390A JPS62197390A (en) | 1987-09-01 |
| JPH0367993B2 true JPH0367993B2 (en) | 1991-10-24 |
Family
ID=12565723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3989686A Granted JPS62197390A (en) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | Double-structure vessel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62197390A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101405439B (en) * | 2006-03-23 | 2012-04-04 | 日本碍子株式会社 | Apparatus for producing nitride single crystal |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60226491A (en) * | 1984-04-20 | 1985-11-11 | Mitsubishi Monsanto Chem Co | Single crystal growth unit |
| JPS60255692A (en) * | 1984-05-31 | 1985-12-17 | Res Dev Corp Of Japan | Apparatus for treating compound semiconductor single crystal having high dissociation pressure |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP3989686A patent/JPS62197390A/en active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60226491A (en) * | 1984-04-20 | 1985-11-11 | Mitsubishi Monsanto Chem Co | Single crystal growth unit |
| JPS60255692A (en) * | 1984-05-31 | 1985-12-17 | Res Dev Corp Of Japan | Apparatus for treating compound semiconductor single crystal having high dissociation pressure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62197390A (en) | 1987-09-01 |
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