JPH0363608A - Fiber worked type optical device - Google Patents
Fiber worked type optical deviceInfo
- Publication number
- JPH0363608A JPH0363608A JP1198041A JP19804189A JPH0363608A JP H0363608 A JPH0363608 A JP H0363608A JP 1198041 A JP1198041 A JP 1198041A JP 19804189 A JP19804189 A JP 19804189A JP H0363608 A JPH0363608 A JP H0363608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fiber
- substrate
- optical
- spherical
- flat surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 106
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
概 要
主として光ファイバの端部を加工してなるファイバ加工
型光デバイスに関し、
製造が容易なファイバ加工型光デバイスの提供を目的と
し、
端面が曲面に形成された同一外径の第1及び第2の先球
ファイバと、自身の中心軸に対して斜めに研磨された端
面に機能膜が形成された上記第1及び第2の先球ファイ
バと同一外径の斜め研磨ファイバと、平坦面を有する基
板とを備え、上記斜め研磨ファイバの端面が上記基板の
平坦面対して垂直になるように上記斜め研磨ファイバを
上記基板の平坦面に固定し、上記第1の先球ファイバか
ら出射した光が高効率で上記斜め研磨ファイバに入射す
るように入射角を設定して上記第1の先球ファイバを上
記基板の平坦面に固定し、上記第1の先球ファイバから
出射した光の上記斜め研磨ファイバの端面での反射光軸
上に上記第2の先球ファイバが位置するように該第2の
先球ファイバを上記基板の平坦面に固定して構成する。[Detailed Description of the Invention] Summary This invention relates to a fiber-processed optical device mainly formed by processing the end portion of an optical fiber, and aims to provide a fiber-processed optical device that is easy to manufacture. first and second spherical fibers with outer diameters, and slanted fibers with the same outer diameter as the first and second spherical fibers with functional films formed on the end faces polished obliquely with respect to their central axes. a polished fiber and a substrate having a flat surface, the diagonally polished fiber is fixed to the flat surface of the substrate such that the end face of the diagonally polished fiber is perpendicular to the flat surface of the substrate, and the first The first spherical fiber is fixed to the flat surface of the substrate by setting an incident angle so that the light emitted from the spherical fiber enters the obliquely polished fiber with high efficiency, and the first spherical fiber is fixed to the flat surface of the substrate. The second spherical fiber is fixed to the flat surface of the substrate so that the second spherical fiber is located on the optical axis of the reflection of light emitted from the obliquely polished fiber at the end surface of the obliquely polished fiber.
産業上の利用分野
本発明は主として光ファイバの端部を加工してなるファ
イバ加工型光デバイスに関する。INDUSTRIAL APPLICATION FIELD The present invention relates primarily to a fiber-processed optical device formed by processing the end portion of an optical fiber.
光カブラ、光合分波器等の光デバイスの代表的な形態と
して、レンズ及びハーフミラ−等の光学要素を用いて構
成される微小光学系型のものや導波路型のものがある。Typical forms of optical devices such as optical couplers and optical multiplexers/demultiplexers include micro-optical type devices constructed using optical elements such as lenses and half mirrors, and waveguide type devices.
しかし、特に光伝送路がシングルモードファイバである
場合には、微小光学系型又は導波路型であると、光ビー
ムの変換に際して又は光伝送路との接続に際しての損失
が大きいので、このような場合には光伝送路に直接接続
することができるファイバ型光デバイスが有利である。However, especially when the optical transmission line is a single mode fiber, if it is a micro-optical system type or a waveguide type, there is a large loss when converting the optical beam or when connecting with the optical transmission line. In some cases, a fiber-type optical device that can be directly connected to an optical transmission line is advantageous.
ファイバ型光デバイスは、その製造方法から、並設され
た複数の光ファイバを融着、延伸等して形成されるファ
イバ融着型光デバイスと、ファイバ端面を研磨等して形
成されるファイバ加工型光デバイスとに大別される。前
者は光ファイバの途中部分での融着等を必要とするので
、後者と比べて量産化が困難であるが、後者の製造も必
ずしも容易でない。このため、ファイバ加工型光デバイ
スの製造の容易化が要望されている。Fiber-type optical devices are manufactured by two types: fiber-fused optical devices, which are formed by fusing and stretching multiple optical fibers installed in parallel, and fiber-processed optical devices, which are formed by polishing the end faces of fibers. It is broadly divided into type optical devices. The former requires fusion, etc. in the middle of the optical fiber, and is therefore more difficult to mass-produce than the latter, but the latter is also not necessarily easy to manufacture. For this reason, there is a demand for easier manufacturing of fiber-processed optical devices.
従来の技術
第5図に従来技術としてファイバ加工型光音波器の例を
示す。このファイバ加工型光音波器は、自身の中心軸に
対して斜めに研磨された端面にフィルタ膜104が形成
された第1の光フアイバ102と、端面が模型に研磨さ
れた第2、第3の光フアイバ106.108とを備え、
各ファイバの端面同士を接合して構成されている。そし
て、例えば第2の光フアイバ106に波長多重光を導き
入れることによって、フィルタ膜104を透過して第1
の光フアイバ102を伝□播する光と、フィルタ膜10
4で反射して第3の光フアイバ108を伝播する光とに
分離して、分波機能が達成される。Prior Art FIG. 5 shows an example of a fiber processing type optical sonicator as a prior art. This fiber processing type optical sonicator consists of a first optical fiber 102 having a filter film 104 formed on the end face polished obliquely with respect to its central axis, and second and third optical fibers having end faces polished into a model. and an optical fiber 106.108,
It is constructed by joining the end faces of each fiber. For example, by introducing the wavelength-multiplexed light into the second optical fiber 106, the wavelength-multiplexed light is transmitted through the filter film 104 and the first
The light propagating through the optical fiber 102 and the filter film 10
A demultiplexing function is achieved by separating the light reflected by the optical fiber 4 and the light propagating through the third optical fiber 108.
発明が解決しようとする課題
例えば第5図に示した従来のファイバ加工型光デバイス
であると、フィルタ膜104を透過した第2の光フアイ
バ106からの光が良好に第1の光フアイバ102に導
き入れられ、フィルタ膜104で反射した第2の光フア
イバ106からの光が良好に第3の光フアイバ108に
導き入れられるためには、第2及び第3の光フアイバ1
06゜108の端部の模型加工について及び各ファイバ
の光軸合わせについて、ファイバコア径(例えば5μm
)のオーダよりも小さいオーダの位置精度が要求され、
製造が容易でない。Problems to be Solved by the Invention For example, in the conventional fiber-processed optical device shown in FIG. In order for the light from the second optical fiber 106 introduced and reflected by the filter film 104 to be effectively introduced into the third optical fiber 108, it is necessary to
Regarding the model processing of the 06°108 end and the optical axis alignment of each fiber, the fiber core diameter (for example, 5 μm
) is required, and a positional accuracy of the order of magnitude smaller than that of
Not easy to manufacture.
本発明はこのような技術的課題に鑑みて創作されたもの
で、製造が容易なファイバ加工型光デバイスの提要を目
的としている。The present invention was created in view of such technical problems, and aims to provide a fiber processing type optical device that is easy to manufacture.
課題を解決するための手段
本発明のファイバ加工型光デバイスの構成を第1図に示
した原理図により説明する。Means for Solving the Problems The configuration of the fiber-processed optical device of the present invention will be explained with reference to the principle diagram shown in FIG.
本発明のファイバ加工型光デバイスは、端面が曲面に形
成された同一外径の第1及び第2の先球ファイバ2.4
と、自身の中心軸に対して斜めに研磨された端面に機能
膜6が形成された、第1及び第2の先球ファイバ2.4
と同一外径の斜め研磨ファイバ8と、平坦面を有する基
板10とを備えている。The fiber processing type optical device of the present invention includes first and second spherical tip fibers 2.4 having the same outer diameter and having curved end surfaces.
and first and second spherical tipped fibers 2.4 each having a functional film 6 formed on the end face polished obliquely with respect to its own central axis.
It includes an obliquely polished fiber 8 having the same outer diameter as , and a substrate 10 having a flat surface.
そして、斜め研磨ファイバ8の端面が基板10の平坦面
に対して垂直になるように斜め研磨ファイバ8を基板1
0の平坦面に固定し、第1の先球ファイバ2から出射し
た光が高効率で斜め研磨ファイバ8に入射するように入
射角を設定して第1の先球ファイバ2を上記基板10の
平坦面に固定し、第1の先球ファイバ2から出射した光
の斜め研磨ファイバ8の端面での反射光軸上に第2の先
球ファイバ4が位置するように第2の先球ファイバ4を
基板10の平坦面に固定している。Then, the diagonally polished fiber 8 is attached to the substrate 10 so that the end face of the diagonally polished fiber 8 is perpendicular to the flat surface of the substrate 10.
The first spherical fiber 2 is fixed on a flat surface of the substrate 10 and the incident angle is set so that the light emitted from the first spherical fiber 2 enters the obliquely polished fiber 8 with high efficiency. The second spherical fiber 4 is fixed on a flat surface, and the second spherical fiber 4 is positioned on the optical axis of reflection of the light emitted from the first spherical fiber 2 at the end face of the obliquely polished fiber 8. is fixed to the flat surface of the substrate 10.
作 用
端面が曲面に懲戒された第1及び第2の先球ファイバ2
.4を用いているので、第1及び第2の先球ファイバ2
,4の出射光又は入射光について集光作用が生じ、第1
及び第2の先球ファイバ2゜4の先端を斜め研磨ファイ
バ8の端面から離間させることができる。その結果、第
1及び第2の先球ファイバ2.4の先端部の加工精度に
よらず、機能膜6を透過した第1の先球ファイバ2から
の光を良好に斜め研磨ファイバ8に入射させることがで
き、また、機能膜6で反射した第1の先球ファイバ2か
らの光を良好に第2の先球ファイバ4に入射させること
ができる。即ち、第5図により説明した従来技術である
と、模型端部の形状が直接的に損失に影響を及ぼしてい
たが、本発明の構成によれば、第1又は第2の先球ファ
イバ2.4のテーパ先球部の加工精度の著しくないばら
つきにかかわらず、第1及び第2の先球ファイバ2゜4
の位置調整を行うことによって、損失を増大させること
なく所要機能のファイバ加工型光デバイスの提供が可能
になる。この場合、斜め研磨ファイバ8の端面が基板1
0の平坦面に対して垂直になるように斜め研磨ファイバ
8を基板10の平坦面に固定し、この斜め研磨ファイバ
8と同一外径の第1及び第2の先球ファイバ2.4を同
じく基板10の平坦面に固定するようにしているので、
各ファイバの光軸は常に同一平面上に位置し、従って、
各ファイバの固定に際して、各ファイバを基板10の平
坦面上に密着させた状態で位置調整を行うことができ、
製造が容易である。First and second tipped fibers 2 whose working end surfaces are curved.
.. 4, the first and second tip fibers 2
, 4, a condensing effect occurs for the emitted light or the incident light of the first
The tip of the second spherical fiber 2° 4 can be separated from the end face of the obliquely polished fiber 8. As a result, regardless of the processing precision of the tips of the first and second spherical fibers 2.4, the light from the first spherical fiber 2 that has passed through the functional film 6 can be incident on the obliquely polished fiber 8. Furthermore, the light from the first spherical fiber 2 reflected by the functional film 6 can be made to enter the second spherical fiber 4 in a good manner. That is, in the conventional technique explained with reference to FIG. .4 Despite the slight variation in the processing accuracy of the tapered spherical portion, the first and second spherical tip fibers 2°4
By adjusting the position of the optical fiber, it is possible to provide a fiber-processed optical device with the required functions without increasing loss. In this case, the end face of the obliquely polished fiber 8 is
An obliquely polished fiber 8 is fixed to the flat surface of the substrate 10 so as to be perpendicular to the flat surface of the substrate 10, and first and second tipped fibers 2.4 having the same outer diameter as this obliquely polished fiber 8 are also fixed. Since it is fixed to the flat surface of the substrate 10,
The optical axis of each fiber is always located on the same plane, so
When fixing each fiber, the position can be adjusted with each fiber in close contact with the flat surface of the substrate 10,
Easy to manufacture.
実施例 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。Example Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第1図に示した構成において、第1及び第2の先球ファ
イバ2.4は次のようにして作成することができる。先
ず、光ファイバの途中部分を02Hzバーナ等のバーナ
により加熱して軟化してきたら延伸して切断する。そし
て、切断部をさらに加熱して溶融石英の表面張力により
滑らかな曲率をもった先球部とする。例えば先端部の曲
率半径を約30μmとすることによって、良好な集光を
行うことができる。In the configuration shown in FIG. 1, the first and second tip fibers 2.4 can be created as follows. First, a midway portion of the optical fiber is heated with a burner such as a 02 Hz burner, and when it becomes soft, it is stretched and cut. Then, the cut portion is further heated to form a tip with a smooth curvature due to the surface tension of the fused silica. For example, by setting the radius of curvature of the tip to about 30 μm, good light collection can be achieved.
斜め研磨ファイバ8を作成するに際しての研磨は、複数
の光ファイバを適当な支持体により挟持して行うと良い
。こうすることにより、1回の研磨作業で複数の斜め研
磨ファイバを得ることができ、しかも、平坦な研磨面を
得ることが容易である。Polishing in producing the obliquely polished fiber 8 is preferably performed by holding a plurality of optical fibers between suitable supports. By doing so, it is possible to obtain a plurality of obliquely polished fibers in one polishing operation, and it is also easy to obtain a flat polished surface.
斜め研磨ファイバ8の端面への機能膜6の形成は、フィ
ルタ機能、カプラ機能、偏光分離機構等の諸機能を有す
る誘電体多層膜等の薄層を蒸着する等により行うことが
できる。The functional film 6 can be formed on the end face of the obliquely polished fiber 8 by depositing a thin layer such as a dielectric multilayer film having various functions such as a filter function, a coupler function, and a polarization separation mechanism.
いま、第1図において、第1の先球ファイバ2の光軸を
○A11第2の先球ファイバ4の光軸を○A2、斜め研
磨ファイバ8の光軸をOAs とし、光軸OA +
と光軸○A2 の威す角がθo1光軸○A1 と光軸
OAs とが或す角をθ、光軸0.As と斜め研磨フ
ァイバ8の研磨面とが威す角をαとすると、第1の先球
ファイバ2と斜め研磨ファイバ8間の損失が最小となる
条件は斜め研磨ファイバ8の研磨面での入射角及び屈折
角についてのスネルの法則から、
5in(θo/2) =n 5in(θ。/2−θ)、
−(1)であり。一方、
α=π/2−θ。/2+θ ・・・(2)
が戒り立つから、例えばθ。冨π/2とすると、屈折率
n=1.46である場合、θζ16°となり、また、α
ζ61’となる。Now, in FIG. 1, the optical axis of the first spherical fiber 2 is ○A11, the optical axis of the second spherical fiber 4 is ○A2, the optical axis of the obliquely polished fiber 8 is OAs, and the optical axis OA +
The angle between the optical axis ○A2 and the optical axis OAs is θo1, and the angle between the optical axis ○A1 and the optical axis OAs is θ, and the optical axis 0. Assuming that the angle between As and the polished surface of the obliquely polished fiber 8 is α, the condition that the loss between the first spherical fiber 2 and the obliquely polished fiber 8 is minimized is the incidence at the polished surface of the obliquely polished fiber 8. From Snell's law for angles and angles of refraction, 5in(θo/2) = n 5in(θ./2-θ),
- (1). On the other hand, α=π/2−θ. /2+θ...(2)
For example, θ. If the refractive index n=1.46, then θζ16°, and α
It becomes ζ61'.
このような条件を満足させて各光ファイバを基板に固定
しようとする場合、2つの方法が考えられる。先ず第1
の方法は、概略的に上記条件が満足するように仮位置決
めを行ってから結合光パワーをモニタリングしながら各
ファイバの位置調整を行う方法であり、第2の方法は、
予め上記条件を正確に満足するようなガイドを基板に形
成しておく方法である。第1の方法を第2図により説明
し、第2の方法を第3図により説明する。When attempting to fix each optical fiber to a substrate while satisfying such conditions, two methods can be considered. First of all
The second method is a method in which the position of each fiber is adjusted while monitoring the coupled optical power after temporarily positioning so that the above conditions are roughly satisfied.
This is a method in which a guide that accurately satisfies the above conditions is formed on the substrate in advance. The first method will be explained with reference to FIG. 2, and the second method will be explained with reference to FIG.
第2図において、基板10上で上記(1)、 (2)式
を概略的に満足するようにされた各光フアイバ2゜4.
8はそれぞれ独立して移動可能な図示しない微動台によ
り支持されている。そして、第1の先球ファイバ2には
光カブラ等の光結合器12により光源14からの波長λ
1の光と光源16からの波長λ2 (≠λ1)の光とが
波長多重されて入射している。18.20はそれぞれ斜
め研磨ファイバ8及び第2の先球ファイバ4に接続され
た光パワーメータである。機能膜6がフィルタ膜であり
、波長λ寞の光を透過し、波長λ2の光を反射する機能
を有しているとする。このような調整系を用いた場合、
(1)、(2)式が満足されているときに光パワーメー
タ18.20の測定値が最大となるから、光パワーメー
タ18.20の測定値が最大となるように各光フアイバ
2.4.8の位置調整を行って、接着剤等により固定す
れば良い。In FIG. 2, each optical fiber 2.4.
8 are each supported by an independently movable fine movement table (not shown). The wavelength λ from the light source 14 is connected to the first spherical fiber 2 by an optical coupler 12 such as an optical coupler.
1 and the light of wavelength λ2 (≠λ1) from the light source 16 are wavelength-multiplexed and incident. 18 and 20 are optical power meters connected to the obliquely polished fiber 8 and the second spherical fiber 4, respectively. It is assumed that the functional film 6 is a filter film and has a function of transmitting light with a wavelength of λ2 and reflecting light with a wavelength of λ2. When using such an adjustment system,
Since the measured value of the optical power meter 18.20 becomes maximum when formulas (1) and (2) are satisfied, each optical fiber 2. It is sufficient to perform the position adjustment in step 4.8 and fix it with adhesive or the like.
このような調整を不要にするために予め基板上にガイド
を形成する場合、このガイドには極めて高い位置精度が
要求される。このため、第3図に示すようなガイド製造
方法が好適である。先ず、同1!I (a)に示すよう
に、平坦面10aを有する基板10をSiから形成する
。次に、同図(ロ)に示すように基板10の平坦面10
a上に例えばCVD法によりSiO,層22を光ファイ
バの半径よりも大きい厚みで形成する。そして、ガイド
形成位置に応じたマスクパターンを有する図示しないマ
スクを5iot層22上に形成した後、Si02層22
を選択的にエツチングして、同図(C)に示すように、
第1の先球ファイバ2のガイド22Aと第2の先球ファ
イバ4のガイド22Bと斜め研磨ファイバ8のガイド2
2Gを形成する。この場合、各ガイドの形状は0.1μ
m程度の精度を有しており、しかも、基板10の平坦面
の平坦度も維持されているので、各ファイバをガイド2
2A、B。When a guide is formed on the substrate in advance to eliminate the need for such adjustment, this guide is required to have extremely high positional accuracy. For this reason, a guide manufacturing method as shown in FIG. 3 is suitable. First of all, same one! As shown in I(a), a substrate 10 having a flat surface 10a is formed from Si. Next, as shown in FIG.
A layer 22 of SiO is formed on the optical fiber a by CVD, for example, to a thickness greater than the radius of the optical fiber. After forming a mask (not shown) having a mask pattern corresponding to the guide formation position on the 5iot layer 22, the Si02 layer 22 is
By selectively etching, as shown in the same figure (C),
Guide 22A for the first spherical fiber 2, guide 22B for the second spherical fiber 4, and guide 2 for the obliquely polished fiber 8
Form 2G. In this case, the shape of each guide is 0.1μ
It has an accuracy of about m.m and also maintains the flatness of the flat surface of the substrate 10, so each fiber is
2A,B.
Cに長手方向の調整を行って嵌め込むだけで各ファイバ
の位置の確定をなすことができる。The position of each fiber can be determined by simply adjusting the length of the fiber and fitting the fiber into the fiber.
上記第1又は第2の方法により作成されたファイバ加工
型光デバイスは、第4図に示すように筐体内に収容して
おくことにより耐久性が向上する。The durability of the fiber-processed optical device produced by the first or second method is improved by housing it in a housing as shown in FIG.
即ち、実施例のファイバ加工型光デバイスを密閉可能な
筺体30内に収容固定し、各ファイバが導出される穴に
接着剤26を充填することによって密閉構造としたもの
である。図中24は各光ファイバの被覆、28は各ファ
イバの基板10への固定に供された接着剤を示す。この
ような構造によれば、各ファイバの対向部(光結合部)
についての保護が十分であり、しかも、各ファイバの被
覆24を筐体30に固定しているので、機械的強度が十
分である。That is, the fiber-processed optical device of the embodiment is housed and fixed in a sealable casing 30, and the holes through which each fiber is led out are filled with adhesive 26 to create a sealed structure. In the figure, reference numeral 24 indicates a coating for each optical fiber, and reference numeral 28 indicates an adhesive used to fix each fiber to the substrate 10. According to such a structure, the opposing part (optical coupling part) of each fiber
In addition, since the coating 24 of each fiber is fixed to the housing 30, the mechanical strength is sufficient.
発明の詳細
な説明したように、本発明によれば、製造が容易なファ
イバ加工型光デバイスの提供が可能になるという効果を
奏する。As described in detail, the present invention has the advantage that it is possible to provide a fiber-processed optical device that is easy to manufacture.
第1図は本発明の原理図、
第2図は実施例におけるファイバ加工型光デバイスの製
造手順の説明図、
第3図は実施例におけるファイバ加工型光デバイスの他
の製造手順の説明図、
第4図は実施例においてファイバ加工型光デバイスを筐
体に収容した状態を示す断面図、第5図は従来技術の説
明図である。
2・・・第1の先球ファイバ、
4・・・第2の先球ファイバ、
6・・・機能膜、
8・・・斜め研磨ファイバ、
10・・・基板。FIG. 1 is a diagram of the principle of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of the manufacturing procedure of a fiber-processed optical device in an embodiment, and FIG. 3 is an explanatory diagram of another manufacturing procedure of a fiber-processed optical device in an embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a fiber-processed optical device is housed in a housing in an embodiment, and FIG. 5 is an explanatory diagram of the prior art. 2... First spherical tip fiber, 4... Second spherical tip fiber, 6... Functional film, 8... Obliquely polished fiber, 10... Substrate.
Claims (1)
ファイバ(2,4)と、自身の中心軸に対して斜めに研
磨された端面に機能膜(6)が形成された上記第1及び
第2の先球ファイバ(2,4)と同一外径の斜め研磨フ
ァイバ(8)と、平坦面を有する基板(10)とを備え
、 上記斜め研磨ファイバ(8)の端面が上記基板(10)
の平坦面に対して垂直になるように上記斜め研磨ファイ
バ(8)を上記基板(10)の平坦面に固定し、上記第
1の先球ファイバ(2)から出射した光が高効率で上記
斜め研磨ファイバ(8)に入射するように入射角を設定
して上記第1の先球ファイバ(2)を上記基板(10)
の平坦面に固定し、 上記第1の先球ファイバ(2)から出射した光の上記斜
め研磨ファイバ(8)の端面での反射光軸上に上記第2
の先球ファイバ(4)が位置するように該第2の先球フ
ァイバ(4)を上記基板(10)の平坦面に固定したこ
とを特徴とするファイバ加工型光デバイス。[Claims] First and second spherical fibers (2, 4) having the same outer diameter and having curved end surfaces, and a functional film ( and a substrate (10) having a flat surface; and a substrate (10) having a flat surface; The end face of (8) is the substrate (10)
The obliquely polished fiber (8) is fixed to the flat surface of the substrate (10) so as to be perpendicular to the flat surface of the substrate, so that the light emitted from the first spherical fiber (2) can be highly efficiently The first spherical fiber (2) is attached to the substrate (10) with the angle of incidence set so that it enters the obliquely polished fiber (8).
is fixed to the flat surface of the first spherical fiber (2), and the second fiber is fixed on the optical axis of the reflection of the light emitted from the first spherical fiber (2) at the end face of the obliquely polished fiber (8).
A fiber-processed optical device characterized in that the second spherical fiber (4) is fixed to the flat surface of the substrate (10) such that the second spherical fiber (4) is positioned.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1198041A JPH0363608A (en) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | Fiber worked type optical device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1198041A JPH0363608A (en) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | Fiber worked type optical device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0363608A true JPH0363608A (en) | 1991-03-19 |
Family
ID=16384555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1198041A Pending JPH0363608A (en) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | Fiber worked type optical device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0363608A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009186662A (en) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Substrate holding tool and substrate flash irradiation method |
JP2016188930A (en) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 日本電信電話株式会社 | Fiber side light input/output device, and optical axis adjustment method |
-
1989
- 1989-08-01 JP JP1198041A patent/JPH0363608A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009186662A (en) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Substrate holding tool and substrate flash irradiation method |
JP2016188930A (en) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 日本電信電話株式会社 | Fiber side light input/output device, and optical axis adjustment method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5828800A (en) | Self-aligned mechanical M×N optical switch | |
JP2996602B2 (en) | Optical branching coupler for constant polarization optical fiber | |
JP3124465B2 (en) | Optical coupler | |
JP2003528347A (en) | Optical waveguide lens and fabrication method | |
GB2328035A (en) | Optical fibre/waveguide passive alignment using alignment platform | |
EP0160574A2 (en) | Star coupler for optical fibers | |
JP2003043270A (en) | End structure of optical fiber, and method for manufacturing the same | |
US4846543A (en) | Star coupler for optical fibers | |
JP2004061830A (en) | Optical fiber parts | |
JPH0363608A (en) | Fiber worked type optical device | |
JPH05107428A (en) | End structure of optic fiber and manufacture thereof | |
JPH09159865A (en) | Connection structure of optical waveguide | |
US7748910B2 (en) | Optical system and method of manufacturing the same | |
JP3450068B2 (en) | Optical waveguide coupling structure | |
WO2021033217A1 (en) | Optical connection structure and method for manufacturing same | |
US6775436B1 (en) | Optical fiber U-turn apparatus and method | |
JP2505416B2 (en) | Optical circuit and manufacturing method thereof | |
JPH10186165A (en) | Optical demultiplexing unit or optical branching unit | |
JP2805533B2 (en) | Fiber fusion type optical branch coupler | |
JP2000028843A (en) | Four-fiber ferrule for constant polarization optical fiber | |
JPH11183750A (en) | Manufacture of optical waveguide module for optical device, and optical device | |
JPS6217766Y2 (en) | ||
JPH0815544A (en) | Method for splicing optical waveguide with optical fiber | |
Kao et al. | Fiber Connectors, Splices and Couplers | |
JPS6139364Y2 (en) |