JPH0360955A - 静圧ガイドの真直度補正機構 - Google Patents
静圧ガイドの真直度補正機構Info
- Publication number
- JPH0360955A JPH0360955A JP19787289A JP19787289A JPH0360955A JP H0360955 A JPH0360955 A JP H0360955A JP 19787289 A JP19787289 A JP 19787289A JP 19787289 A JP19787289 A JP 19787289A JP H0360955 A JPH0360955 A JP H0360955A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- straightness
- guide surface
- correction
- static pressure
- main guide
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- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
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- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、静圧ガイドの真直度補正機構に関するもので
ある。
ある。
従来の技術
従来、高精度な形状加工を目的とする工作機械には静圧
ガイドを用いるのが一般的となっている。
ガイドを用いるのが一般的となっている。
形状精度を確保するためにはより高精度なテーブル移動
真直度が必要となる。これはベース案内面の真直精度に
依存することになるため、ベース案内面の１μｍ以下の
真直度は、手作業に・よって磨き出し修正をしているの
が現状である。
真直度が必要となる。これはベース案内面の真直精度に
依存することになるため、ベース案内面の１μｍ以下の
真直度は、手作業に・よって磨き出し修正をしているの
が現状である。
発明が解決しようとする課題
従来の技術で述べたベース案内面の真直度を手作業で磨
き出し修正をする方法は、多大な時間を要し、磨き出し
修正のできる真直度には限界があるため、成る程度のと
ころで妥協せねばならないという問題点を有している。
き出し修正をする方法は、多大な時間を要し、磨き出し
修正のできる真直度には限界があるため、成る程度のと
ころで妥協せねばならないという問題点を有している。
本発明は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑み
なされたものであり、その目的とするところは、ベース
案内面に高精度な真直度を要求することなく、テーブル
移動真直度を確保することのできる静圧ガイドの真直度
補正機構を提供しようとするするものである。
なされたものであり、その目的とするところは、ベース
案内面に高精度な真直度を要求することなく、テーブル
移動真直度を確保することのできる静圧ガイドの真直度
補正機構を提供しようとするするものである。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために、本発明における静圧ガイド
の真直度補正機構は、テーブルに静圧剛性を与えるため
の主案内面と、該主案内面の真直度を補正するための補
正案内面からなるものである。
の真直度補正機構は、テーブルに静圧剛性を与えるため
の主案内面と、該主案内面の真直度を補正するための補
正案内面からなるものである。
作用
主案内面によるテーブル移動真直度の誤差を補正する方
向に作用するように補正案内面の修正を行い、この補正
案内面により主案内面の真直度誤差をキャンセルしつつ
テーブル移動を行う。
向に作用するように補正案内面の修正を行い、この補正
案内面により主案内面の真直度誤差をキャンセルしつつ
テーブル移動を行う。
実施例
実施例について図面を参照して説明する。第１図〜第６
図において、床上に設置されたベース１は、左側ガイド
１ａの両側面が主案内面Ａ、Ｂに形成され、右側ガイド
１ｂの右側面が補正案内面Ｃに形成されている。一方が
ベース１上に移動可能に載置されるテーブル２は、Ａ、
Ｂに対応する主案内面Ａ’ 、Ｂ’ 及びＣに対応する
補正案内面Ｃ゛が形成されている。主案内面Ａ’ 、Ｂ
’及び補正案内面Ｃ゛にはそれぞれ静圧バンド２ａ、２
ｂ ２ｃが設けられており、それぞれの静圧ノくラド
には絞り３，４．５を経て圧油が供給されるようになっ
ている。そして主案内面ＡＡ’ 、ＢＢ’の静圧バンド
２ａ、２ｂには、テーブルに静圧剛性を与えるためのバ
ンド剛性が得られるよう、絞り３．４により調整された
圧油が供給されており、補正案内面ＣＣ°の静圧パッド
２Ｃには２ａ、２ｂよりも低いバンド剛性になるよう絞
り５により調整された圧油が供給されている。
図において、床上に設置されたベース１は、左側ガイド
１ａの両側面が主案内面Ａ、Ｂに形成され、右側ガイド
１ｂの右側面が補正案内面Ｃに形成されている。一方が
ベース１上に移動可能に載置されるテーブル２は、Ａ、
Ｂに対応する主案内面Ａ’ 、Ｂ’ 及びＣに対応する
補正案内面Ｃ゛が形成されている。主案内面Ａ’ 、Ｂ
’及び補正案内面Ｃ゛にはそれぞれ静圧バンド２ａ、２
ｂ ２ｃが設けられており、それぞれの静圧ノくラド
には絞り３，４．５を経て圧油が供給されるようになっ
ている。そして主案内面ＡＡ’ 、ＢＢ’の静圧バンド
２ａ、２ｂには、テーブルに静圧剛性を与えるためのバ
ンド剛性が得られるよう、絞り３．４により調整された
圧油が供給されており、補正案内面ＣＣ°の静圧パッド
２Ｃには２ａ、２ｂよりも低いバンド剛性になるよう絞
り５により調整された圧油が供給されている。
次に本実施例の作用とともに更に詳しく原理を説明する
。第３図の静圧バンドの剛性特性を表すグラフ図に示す
ように、主案内面ＡＡ″、ＢＢ’の静圧バンド２ａ、２
ｂのパッド剛性は、最大剛性発生点であるパッド隙間Ｉ
Ｈ付近でＫｋｇ／μｍで、補助案内面ＣＣ゛の静圧バン
ド２Ｃのパッド剛性は４瞳／μｍに調整されており、こ
の値はパッド隙間量に対応して変化する。例えば仮に主
案内面ＡＡ”、ＢＢ’ の静圧パッド２ａ、２ｂだけに
圧油を供給して主案内面のみでテーブル２を移動させた
とき第４図の移動真直度曲線となり、誤差の振幅がΔＸ
だったとする。しかし実際においては補正案内面の静圧
パッド２Ｃにも圧油が供給されて作用しているため、テ
ーブル２はベンド１の左側ガイド１ａを基準に同じパッ
ド剛性Ｋｋｇ／μｍによって互いに張り合うよう外側左
右に向けて作用する力ｆ、、ｆ、以外に、右側ガイド１
ｂの右端面を基準に゛バンド剛性Ｉｔ ｋｇ ／μｍに
よって右側に作用する力ｆ、が働くためｆ、＝ｆ、＋ｆ
ユの力関係が生る。従ってパッド隙間量を変化させてｆ
、を変化させれば、力関係のバランスが崩れて振幅ΔＸ
をキャンセルさせることができる。バンド剛性Ｋ及びえ
は先に述べたように、パッド隙間量に比例して変化する
値であり、ばね定数とほぼ同一と考えることができ、第
３図に示すように、金主案内面によるテーブル移動真直
度曲線の誤差の振幅ΔＸをキャンセルするに必要な力Δ
Ｗ＝Ｋ・ΔＸであり、このΔＷを得るための補正案内面
ＣＣ°のパッド隙間の変位量ΔＸはΔｗ７にとなる。従
ってΔＸを補正するためには補正案内面パッド２Ｃのパ
ッド隙間はΔＸだけ変位量が必要である。そして４〈〈
Ｋに設定されているので、ΔＸ＞＞ΔＸとなり、主案内
面ＡＡ’ 、ＢＢ’上の誤差が補正案内面ＣＣ′上で拡
大されることになる。従って後述する修正方法で第５図
に示すような修正曲線が得られるように補正案内面の修
正を施せば、第６図に示すようにほぼ満足な両案内面に
よるテーブル移動真直度が得られる。
。第３図の静圧バンドの剛性特性を表すグラフ図に示す
ように、主案内面ＡＡ″、ＢＢ’の静圧バンド２ａ、２
ｂのパッド剛性は、最大剛性発生点であるパッド隙間Ｉ
Ｈ付近でＫｋｇ／μｍで、補助案内面ＣＣ゛の静圧バン
ド２Ｃのパッド剛性は４瞳／μｍに調整されており、こ
の値はパッド隙間量に対応して変化する。例えば仮に主
案内面ＡＡ”、ＢＢ’ の静圧パッド２ａ、２ｂだけに
圧油を供給して主案内面のみでテーブル２を移動させた
とき第４図の移動真直度曲線となり、誤差の振幅がΔＸ
だったとする。しかし実際においては補正案内面の静圧
パッド２Ｃにも圧油が供給されて作用しているため、テ
ーブル２はベンド１の左側ガイド１ａを基準に同じパッ
ド剛性Ｋｋｇ／μｍによって互いに張り合うよう外側左
右に向けて作用する力ｆ、、ｆ、以外に、右側ガイド１
ｂの右端面を基準に゛バンド剛性Ｉｔ ｋｇ ／μｍに
よって右側に作用する力ｆ、が働くためｆ、＝ｆ、＋ｆ
ユの力関係が生る。従ってパッド隙間量を変化させてｆ
、を変化させれば、力関係のバランスが崩れて振幅ΔＸ
をキャンセルさせることができる。バンド剛性Ｋ及びえ
は先に述べたように、パッド隙間量に比例して変化する
値であり、ばね定数とほぼ同一と考えることができ、第
３図に示すように、金主案内面によるテーブル移動真直
度曲線の誤差の振幅ΔＸをキャンセルするに必要な力Δ
Ｗ＝Ｋ・ΔＸであり、このΔＷを得るための補正案内面
ＣＣ°のパッド隙間の変位量ΔＸはΔｗ７にとなる。従
ってΔＸを補正するためには補正案内面パッド２Ｃのパ
ッド隙間はΔＸだけ変位量が必要である。そして４〈〈
Ｋに設定されているので、ΔＸ＞＞ΔＸとなり、主案内
面ＡＡ’ 、ＢＢ’上の誤差が補正案内面ＣＣ′上で拡
大されることになる。従って後述する修正方法で第５図
に示すような修正曲線が得られるように補正案内面の修
正を施せば、第６図に示すようにほぼ満足な両案内面に
よるテーブル移動真直度が得られる。
次にベースの補正案内面Ｃの修正方法について説明する
。第７図〜第１１図において、第７図に示すように直定
規６又は非接触真直度測定器、オートコリメータ等を使
用して、テーブル２の移動真直度を測定する。測定の結
果第８図に示すように、振幅ΔＸの誤差が測定された場
合、第９図に示すように（Ｋ／４） ・ΔＸを計算し
てベースの補正案内面Ｃに必要な修正量を求めることが
できる。しかし補正案内面Ｃ自体の真直度に誤差がある
ので、第１０図に示すようにテーブル２にダイヤルゲー
ジを取付けて、補正案内面Ｃの測定値を読み取り、第１
１図に示すように読み取った値にＫ・ΔＸを加えて修正
目標を算出し、きさげ、ラップ又はやすり等で修正を行
う。
。第７図〜第１１図において、第７図に示すように直定
規６又は非接触真直度測定器、オートコリメータ等を使
用して、テーブル２の移動真直度を測定する。測定の結
果第８図に示すように、振幅ΔＸの誤差が測定された場
合、第９図に示すように（Ｋ／４） ・ΔＸを計算し
てベースの補正案内面Ｃに必要な修正量を求めることが
できる。しかし補正案内面Ｃ自体の真直度に誤差がある
ので、第１０図に示すようにテーブル２にダイヤルゲー
ジを取付けて、補正案内面Ｃの測定値を読み取り、第１
１図に示すように読み取った値にＫ・ΔＸを加えて修正
目標を算出し、きさげ、ラップ又はやすり等で修正を行
う。
発明の効果
本発明は、上述のとおり構成されているので、次に記載
する効果を奏する。
する効果を奏する。
補正案内面を設けて、主案内面の真直度を補正するよう
になしたので、ベースの主案内面の真直度に依存するこ
となく、テーブル移動真直度の向上が可能となり、高精
度な案内真直度を有するガイドユニットの製作が容易と
なる。
になしたので、ベースの主案内面の真直度に依存するこ
となく、テーブル移動真直度の向上が可能となり、高精
度な案内真直度を有するガイドユニットの製作が容易と
なる。
第１図は本実施例のベースとテーブルの斜視図、第２図
は第１図の断面図、第３図は静圧パッドの剛性特性を示
すグラフ図、第４図は主案内面のみによるテーブル移動
真直度曲線を示すグラフ図、第５図は補正案内面の修正
曲線を示すグラフ図、第６図は両案内面によるテーブル
移動真直度を示すグラフ図、第７図以下はベースの補正
案内面の修正方法説明用で、第７図は、直定規によりテ
ーブル移動真直度測定中を表す説明図、第８図は第７図
の真直度測定結果を示すグラフ図、第９図は補正案内面
に必要な修正量を示すグラフ図、第１０図はベースの補
正案内面の計測中を表す説明図、第１１図はベースの補
正案内面に必要な修正目標を示すグラフ図である。 １・・ベース ２・・テーブル ＡＡ’ 、ＢＢ″ ・・主案内面 ｃｃ’ ・・補正案内面 第 図 第 図 第 図 旧０図 第１１図 へ−ス 第 図 第 図
は第１図の断面図、第３図は静圧パッドの剛性特性を示
すグラフ図、第４図は主案内面のみによるテーブル移動
真直度曲線を示すグラフ図、第５図は補正案内面の修正
曲線を示すグラフ図、第６図は両案内面によるテーブル
移動真直度を示すグラフ図、第７図以下はベースの補正
案内面の修正方法説明用で、第７図は、直定規によりテ
ーブル移動真直度測定中を表す説明図、第８図は第７図
の真直度測定結果を示すグラフ図、第９図は補正案内面
に必要な修正量を示すグラフ図、第１０図はベースの補
正案内面の計測中を表す説明図、第１１図はベースの補
正案内面に必要な修正目標を示すグラフ図である。 １・・ベース ２・・テーブル ＡＡ’ 、ＢＢ″ ・・主案内面 ｃｃ’ ・・補正案内面 第 図 第 図 第 図 旧０図 第１１図 へ−ス 第 図 第 図
Claims (1)
- （１）テーブル（２）に静圧剛性を与えるための主案内
面（ＡＡ′、ＢＢ′）と、該主案内面の真直度を補正す
るための補正案内面（ＣＣ′）からなることを特徴とす
る静圧ガイドの真直度補正機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1197872A JP2868126B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 静圧ガイドの真直度補正機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1197872A JP2868126B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 静圧ガイドの真直度補正機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360955A true JPH0360955A (ja) | 1991-03-15 |
| JP2868126B2 JP2868126B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=16381728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1197872A Expired - Lifetime JP2868126B2 (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 静圧ガイドの真直度補正機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2868126B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018194123A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | 株式会社ジェイテクト | 静圧スライド案内装置及び静圧スライド案内装置を備えた工作機械 |
| CN109129005A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-01-04 | 北京北机床股份有限公司 | 一种静压导轨精细补偿滑枕及镗轴绕度精度补偿方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5486043A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-09 | Okuma Mach Works Ltd | Moving object static pressure guide mechanism |
| JPS6235113A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-16 | Omron Tateisi Electronics Co | 静圧軸受装置 |
-
1989
- 1989-07-28 JP JP1197872A patent/JP2868126B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5486043A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-09 | Okuma Mach Works Ltd | Moving object static pressure guide mechanism |
| JPS6235113A (ja) * | 1985-08-08 | 1987-02-16 | Omron Tateisi Electronics Co | 静圧軸受装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018194123A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | 株式会社ジェイテクト | 静圧スライド案内装置及び静圧スライド案内装置を備えた工作機械 |
| CN109129005A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-01-04 | 北京北机床股份有限公司 | 一种静压导轨精细补偿滑枕及镗轴绕度精度补偿方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2868126B2 (ja) | 1999-03-10 |
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