JPH0356663A - 酸化防止方法 - Google Patents
酸化防止方法Info
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- JPH0356663A JPH0356663A JP19101889A JP19101889A JPH0356663A JP H0356663 A JPH0356663 A JP H0356663A JP 19101889 A JP19101889 A JP 19101889A JP 19101889 A JP19101889 A JP 19101889A JP H0356663 A JPH0356663 A JP H0356663A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、金属表面が酸化を受けることにより精度上問
題となる高温用の供試体に関するものである。
題となる高温用の供試体に関するものである。
［従来の技術］
第２図は従来の高温で長時間加熱するｌ，′７の概略図
である。１は不活性ガス例えばアルゴンガスのボンベ，
２は電気炉，３ａ，３ｂはその発熱体．４は炉芯で，そ
の中に加熱して保持しておく供試体５を入れる。６はボ
ンベ側への熱伝達を防止する冷却ジャケットである。加
熱する前には炉芯４内部に侵入している大気をロータリ
ーポンブ７で排出した後、ボンベ０１からアルゴンを炉
芯４へ流入させる。この操作により炉芯０４内の大気を
アルゴンに置換する。その後発熱体３ａ，３ｂに通電し
所定の温度に所定の時間保持しておく。
である。１は不活性ガス例えばアルゴンガスのボンベ，
２は電気炉，３ａ，３ｂはその発熱体．４は炉芯で，そ
の中に加熱して保持しておく供試体５を入れる。６はボ
ンベ側への熱伝達を防止する冷却ジャケットである。加
熱する前には炉芯４内部に侵入している大気をロータリ
ーポンブ７で排出した後、ボンベ０１からアルゴンを炉
芯４へ流入させる。この操作により炉芯０４内の大気を
アルゴンに置換する。その後発熱体３ａ，３ｂに通電し
所定の温度に所定の時間保持しておく。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、このようにしても炉芯中の大気とアルゴ
ンを完全に置換させることが困難であり、また市販のア
ルゴン中には微量ではあるが、酸素が混入している。そ
のため、従来の方法により供試体を長時間高温に保持し
ておくと、供試体の表面が酸化される。
ンを完全に置換させることが困難であり、また市販のア
ルゴン中には微量ではあるが、酸素が混入している。そ
のため、従来の方法により供試体を長時間高温に保持し
ておくと、供試体の表面が酸化される。
［課題を解決するための手段］
本発明はこのような酸化を阻止するために、供試体の表
面の一部あるいは全体に高温で酸化し易い金属、例えば
チタン，又は高温でも酸化し難い金属例えば金や目金を
蒸着させるものである。
面の一部あるいは全体に高温で酸化し易い金属、例えば
チタン，又は高温でも酸化し難い金属例えば金や目金を
蒸着させるものである。
［作用］
供試体を高温で長時間保持しておく環境中に混入してい
る微量の酸素を供試体の表面に蒸着した酸化し易い金属
との間で反応させ酸化物を生成させることにより混入し
ている微エの酸素を消費させる。一方、酸化し難い金属
の場合は供試体と酸素の接触を防止する作用を果たす。
る微量の酸素を供試体の表面に蒸着した酸化し易い金属
との間で反応させ酸化物を生成させることにより混入し
ている微エの酸素を消費させる。一方、酸化し難い金属
の場合は供試体と酸素の接触を防止する作用を果たす。
［丈施例］
以下本発明の一実施例について説明する。
第１図は供試体に他の金属を蒸着するためのイオンスパ
ッタリング装置の断面図である。第１図において７は試
料室２０内のガスを吸引させるロータリーポンプ、３０
は陽極、４ｏは陰極、５は表面に他の金属を蒸着させる
ための供試体である。
ッタリング装置の断面図である。第１図において７は試
料室２０内のガスを吸引させるロータリーポンプ、３０
は陽極、４ｏは陰極、５は表面に他の金属を蒸着させる
ための供試体である。
蒸着したい金屈例えば金を陰極４０の表面に取付け、陰
極４０と陽極３０の間に高電圧を印加すると試料室２０
内の残留ガス分子が■イオンと電子に分離して■イオン
は陰極４０に引きつけられ、陰極４０に取り付けられて
いる金をたたき出す。
極４０と陽極３０の間に高電圧を印加すると試料室２０
内の残留ガス分子が■イオンと電子に分離して■イオン
は陰極４０に引きつけられ、陰極４０に取り付けられて
いる金をたたき出す。
そのため、金を取付けた陰極の近くに供試体５を設置し
ておけば、その表面に金が蒸着される。蒸着膜の厚さは
供試体５と陰極４０との距離にもよるが、本実施例の場
合１．５Ｘ１０−’ドルの真空度，１２００ＶＸ５ｒｎ
Ａの条件で４分間蒸着し約１００入の金の蒸着膜が得ら
れた。この供試体５を第２図に示す電気炉０２を用いて
５５０℃に加熱し、１，５００時間保持した。その結果
、供試体５表面の酸化による変色は全く見られなかった
。
ておけば、その表面に金が蒸着される。蒸着膜の厚さは
供試体５と陰極４０との距離にもよるが、本実施例の場
合１．５Ｘ１０−’ドルの真空度，１２００ＶＸ５ｒｎ
Ａの条件で４分間蒸着し約１００入の金の蒸着膜が得ら
れた。この供試体５を第２図に示す電気炉０２を用いて
５５０℃に加熱し、１，５００時間保持した。その結果
、供試体５表面の酸化による変色は全く見られなかった
。
なお、第２図に示す供試体０５の周囲及びアルゴンガス
の流れの１＃−試体０５よりも上流側に高温で酸化され
易い金属のはくを入れておくとさらに酸素の消費を確実
にできる。
の流れの１＃−試体０５よりも上流側に高温で酸化され
易い金属のはくを入れておくとさらに酸素の消費を確実
にできる。
また金の代りにチタンを陰極に取付けて蒸着させること
もできる。チタン蒸着膜は供試体の加熱時に残留酸素に
よって酸化されるため、これにより残留酸素が澗費され
、供試体を酸化することがなくなる。
もできる。チタン蒸着膜は供試体の加熱時に残留酸素に
よって酸化されるため、これにより残留酸素が澗費され
、供試体を酸化することがなくなる。
［発明の効果］
以上詳細に説明したように、本発明は構成されているの
で、環境中に含まれる酸素は、試料表面に蒸着された他
の金属例えば、酸化し易い場合は消費され、或いは酸化
し難い被覆によって接触を防げることによって、試料表
面の酸化を防止することができる。
で、環境中に含まれる酸素は、試料表面に蒸着された他
の金属例えば、酸化し易い場合は消費され、或いは酸化
し難い被覆によって接触を防げることによって、試料表
面の酸化を防止することができる。
第１図は、本発明の方法のために使用されるイオンスパ
ッタリング装置の一実施例の断面図である。第２図は高
温長時間加熱装置の断面図である。 ０１・・・ガスボンベ、０２・・・電気炉、０３・・・
発熱体、０４・・・炉芯、０５・・・供試体、０６・・
・冷却ジャケット、５・・・供試体、７・・・ロータリ
ーポンプ、２０・・・試料室、３０・・・陽極、４０・
・・陰極。
ッタリング装置の一実施例の断面図である。第２図は高
温長時間加熱装置の断面図である。 ０１・・・ガスボンベ、０２・・・電気炉、０３・・・
発熱体、０４・・・炉芯、０５・・・供試体、０６・・
・冷却ジャケット、５・・・供試体、７・・・ロータリ
ーポンプ、２０・・・試料室、３０・・・陽極、４０・
・・陰極。
Claims (1)
- 酸素濃度の低い雰囲気中でかつ高温下で保持される金属
の酸化防止方法において、上記金属表面の一部あるいは
全面に他の金属を蒸着被覆したことを特徴とする酸化防
止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19101889A JPH0356663A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 酸化防止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19101889A JPH0356663A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 酸化防止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0356663A true JPH0356663A (ja) | 1991-03-12 |
Family
ID=16267518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19101889A Pending JPH0356663A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 酸化防止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0356663A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8276755B2 (en) | 2000-09-25 | 2012-10-02 | Sunstar Engineering Inc. | Flexible container and method of manufacturing the container, and highly viscous material charged container |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP19101889A patent/JPH0356663A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8276755B2 (en) | 2000-09-25 | 2012-10-02 | Sunstar Engineering Inc. | Flexible container and method of manufacturing the container, and highly viscous material charged container |
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