JPH035103A - タブレットの製造装置 - Google Patents

タブレットの製造装置

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、タブレットの製造技術、特に、半導体装置の
樹脂封止パッケージを成形するのに使用されるタブレッ
トの製造技術に関し、例えば、マルナプランジャ形のト
ランスファ成形装置に使用されるタブレットの製造に利
用して有効な技術に関するつ 〔従来の技術〕 半導体装置の製造工程において、半導体ペレット、イン
ナリードおよびボンディングワイヤtllE気密封止す
るだめの樹脂封止パッケージを成形する成形装置として
、トランスファ成形装置がある。
このようなトランスファ成形装置に使用されるレジンタ
ブレットは、レジンタブレン1〜の原料であるエポキシ
レジン粉末がシリンダ室に投入され、投入されたレジン
粉末がシリンダ室内においてピストンにより突き固めら
れることにより、成形されている。
他方、高精度の樹脂封止パッケージを成形するトランス
ファ成形装置として、プランジャを複数本備えているマ
ルチプランジャ形のトランスファ成形装置がある。この
マルチプランジャ形トランスファ成形装置においては、
成形材料としてのレジンを供給するためのタブレットに
は小径短尺のものが使用されている。
なお、タブレットの成形技術を述べである例としては、
特開昭61−27012]号公報、がある。また、マル
チプランジャ形トランスファ成形装置を述べである例と
しては、実開昭61−56016号公報、がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、前記のようなタブレットの製造方法においては
、レジン粉末が室温下で突き固められているため、シリ
ンダ室およびピストンの摩耗が大きく、また、レジン粉
末中に含まれる空気が突き固められたタブレット内に閉
し込められ、樹脂封止パッケージのボイド発生の原因に
なるという問題点があることが、本発明者によって明ら
かにされた。特に、マルチプランジャ形トランスファ成
形装置に使用されるタブレットは小径短尺のものが多数
個使用されるため、このような問題点が顕著になり、か
つまた、タブレッ1〜の価格が増加する。
本発明の目的は、品質の良好なタブレットを大量に、か
つ、安価にて製造することができるタブレットの製造技
術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
〔課題を解決するだめの手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。
すなわち、タブレットの製造方法において、レジンの粉
末が加熱されて軟化され、続いて、この軟化されたレジ
ンが温度調整されながら押し出しダイスまで送給される
とともに、その送給途中の空間において真空吸引され、
次いて、ダイスに送給されたレジンがダイスから押し出
されるとともに、柱形状に切断されることにより、レジ
ンタブレットが連続的に成形されるようにしたものであ
る。
〔作用〕
前記した手段によれば、タブレットはレジン粉末を軟化
された状態でダイスにより押出し成形されるため、成形
装置の各部が摩耗されることがない。かつまた、軟化さ
れたレジンは送給の途中で、真空吸引されることにより
、空気が強制的に排除されるため、タブレットへの空気
の取り込みが抑制される。
その結果、空気の取り込みのない良質のタブレットが製
造されるとともに、大量生産に適し、しかも、装置の耐
久性も向上されるため、タブレットの製造コストを低減
することができる。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例であるタブレット製造装置を
示す開断面図、第2図はそれによって製造されたタブレ
ットを示す斜視図、第3図は第1図の■−■線に沿う断
面図、第4図は第1図の■■線に沿う断面図である。
本実旌例において、本発明に係るタブレット製造装置1
ばシリンダ2を備えており、シリンダ2の内部には第1
段シリンダ室3と第2段シリンダ室4とが互いに連通ず
るように形成されている。
シリンダ2の第1図に正対して右端部上部(以下、」−
下、左右は第1図を基準にする。)には、ホッパ5が垂
直下向きに配されて、第1段シリンダ室3内に連通ずる
よ・うに形成されており、ホッパ5はレジン粉末を第1
段シリンダ室3内の右端部に効果的に投入し得るように
構成されている。ここで、レジン粉末は半導体装置の樹
脂封止パッゲジ(図示せず)を形成し得るように適宜調
整されており、エポキシ樹脂を主成分とされ、熱硬化剤
、硬化促進剤、着色剤、フィラー等を適量添加されてい
る。
シリンダ2の外部には加熱手段としてのヒータ6が第1
段シリンダ室3の右端部付近をカバーするように敷設さ
れており、ヒータ6ばホッパ5から第1段シリンダ室3
内乙こ投入されたレジン粉末を加熱して適度に軟化させ
得るように温度制御される。第1段シリンダ室3内には
第1スクリユー7がシリンダ室3の中心線上に沿うよう
乙こ配されて回転自在ムこ支承されており、第1スクリ
ユー7ば第1段シリンダ室3の右端部外に設備された第
1駆動装置8により回転、駆動されるようになっている
他方、シリンダ2の左端部には押出しダイス9が第2段
シリンダ室4内に連通ずるように設備されており、この
ダイス9ば第2段シリンダ室4によって圧送される軟化
レジンを所定外径の丸棒形状に成形し得るように構成さ
れている。第2段シリンダ室4内には第2スクリユー】
0が、このシリンダ室4の中心線上に沿うように配され
て回転自在に支承されており、第2スクリユー10は第
2段シリンダ室4の右端外部に設備された第2駆動装置
11により回転駆動されるよ・うになっている。
第1段シリンダ室3と第2段シリンダ室4とはその中心
線が」二下方向ムこすれるように配されて、それぞれ水
平になるように形成されており、上段の第1段シリンダ
室3と下段の第2段シリンダ室4との段差接続部には吸
引室12が形成されている。シリンダ2の吸引室12の
頂部には吸引口13が吸引室12内外を連通させるよう
に開設されてbす、この吸引に113には2+H空吸引
装置Pが接続されている。
シリンダ2の外部には冷却装置等から構成されている温
度調整装置」4が、第1段シリンダ室3の左半分から第
2シリンダ室4の左端部までをカバーするように敷設さ
れており、この温度調整装置14ば第1シリンダ室3、
吸引室12および第2シリンダ室4の内部について、軟
化されたレジンが熱硬化反応を進行させずに軟化状態を
維持すべく温度を制御するように構成されている。
ダイス9の左膝には切断装置15が設備されており、切
断装置15はダイス9により押出し成形される丸棒形状
の成形品を短尺の円柱体に切断するよう乙こ構成されて
いる。すなわち、この切断装置15は円盤形状に形成さ
れたポンチ本体1Gを備えており、この本体】6はその
中心軸17がダイス9の押出し方向と平行になるように
水平に配されて回転自在に支承されているとともに、回
転軸17が駆動装置18により間欠回転駆動されるよう
に構成されている。ポンチ本体16にはポンチ孔19が
複数個、同心円」−において周方向に等間隔に配されて
回転軸17と平行方向に貫通するようにそれぞれ開設さ
れており、ポンチ本体16はこのポンチ孔19群がダイ
ス9に順次対向するように配設されている。ポンチ本体
16の右脳にはシリンダ装置20がダイス9とは異なる
位置でポンチ孔19に順次対向するように配設されてお
り、このシリンダ装置20ばピストンロッド21をポン
チ孔]9に挿入させるよ・うに構成されている。
次に、前記構成に係るタブレット製造方法を使用した場
合ムこつき、本発明の一実施例であるタブレット製造方
法を説明する。
まず、レジン粉末22がホッパ5により第1段シリンダ
室3内に投入される。第1段シリンダ室3に投入された
レジン粉末22はヒータ6により加熱されて適度に軟化
されるとともに、第1スクリユー7Lこより下流側へ搬
送される。
軟化され搬送されたレジン23は吸引室12を落下して
第2段シリンダ室4の上流側に送給される。このとき、
吸引室12ば真空吸引装置14により吸引口13を通じ
て真空吸引されているため、軟化されたレジン23は空
気を充分に排除されることになる。
第2段シリンダ室4に送給された軟化レジン23は第2
スクリユー10によりダイス9へ圧送され、ダイス9か
ら押し出される。この間、第1段シリンダ室3および第
2段シリンダ室4内が温度調整装置14により一定の温
度に調整されているため、軟化レジン23は熱硬化反応
を進行されず、しかも、適度な軟化状態を維持している
軟化レジン23は第2スクリユー10の圧送に伴って、
ダイス9から押し出され、ダイス9により丸棒形状に成
形される。ダイス9により丸棒形状に成形されたレジン
成形品24は、ダイス9に対向しているポンチ孔19に
徐々に挿入されて行く。
レジン成形品24の先端がポンチ孔19の所定深さまで
達すると、ポンチ本体】6が駆動装置18により1ピッ
チ間欠回転される。この回転により、レジン成形品24
はダイス9とポンチ孔】9との接合面間で切断される。
そして、切断されたレジン成形品は円柱形状のタブレッ
ト25に形成されて、ポンチ孔19に収容された状態に
なっている。
このポンチ孔L9に収容されたレジンタブレッ1−25
はポンチ本体16の間欠回転に伴って、シリンダ装置2
0に対向する位置までピッチ送りされ、シリンダ装置2
0のピストンロッド21の伸長作動によりポンチ孔19
から外部へ押されて排出される。排出されたタブレット
25は適当なハンドリング装置(図示せず)により、マ
ルチプランジャ形1〜ランスファ成形装置のポット、ま
たは、所定の格納場所へ適宜移送されて行く。このタブ
レット25は軟化されたレジン24を押し出し成形され
て製造されているため、空気を含まず艮好な品質を維持
している。
以降、前記作動が操り換えされることにより、空気を含
まない良質のタブレット25が連続的ムこ製造されて行
く。
前記実施例によれば次の効果が得られる。
(1)  レジン粉末を加熱軟化し後、軟化状態を維持
しつつレジンをダイスから押し出してタブレットを成形
することにより、タブレット製造装置の各部における摩
耗を防止することができるとともに、タブレットの内部
に空気が取り込まれるのを抑制することができるため、
ランニングコストおよびタブレトの製造コストを低減す
ることができるとともに、タブレ・ントの品質を高める
ことができる。
(2) シリンダ室を多数段形成し、その途中に真空吸
引室を介設することにより、レジン内の空気を強制的に
排除することができるため、タブレット内に空気が取り
込まれるのをより−N抑制することができ、タブレット
の品質をより一層高めることができる。
(3)軟化レジンをダイスにより棒状に押出し成形する
とともに、ポンチ本体に多数個のポンチ孔が開設された
切断装置により短尺に切断することにより、タブレット
を連続的に製造して行くことができるため、タブレット
の製造コス(・を大幅に低減することができる。
(4)前記(1)、(2)、(3)により、マルチプラ
ンジャ形トランスファ成形装置に使用される小径短尺の
タブレットであっても、タブレット製造装置の寿命を短
めずに、大量かつ安価に製造することができ、また、空
気取り込み量の少ない良質のタブレットであるため、半
導体装置における樹脂封止パッケージのボイドの発生を
抑制することができ、その品質および信頼性を高めるこ
とができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的ムこ説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
例えば、シリンダ室は2段に形成するに限らず、3段以
上に形成してもよい。
ダイスから押し出される棒状のレジンを短尺柱状のタブ
レットに切断するための切断装置としでは、間欠回転さ
れるポンチ本体と、この本体に開設された複数個のポン
チ孔とを備えている切断装置を使用するに限らず、棒状
レジンを剪断するように構成されている切断装置を使用
してもよい。
以上の説明では主として木発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるマルチプランジャ形
トランスファ成形装置に使用されるタブレソI・の製造
技術に適用した場合について説明したが、それに限定さ
れるものではなく、通常のトランスファ成形装置に使用
されるタブレットや、半導体装置の樹脂封止パンケージ
以外の成形製品に使用されるタブレットの製造技術全般
に適用することができる。
〔発明の効果〕
本願において開示される発明の・うち代表的なものによ
って得られる効果を簡単ムこ説明すれば、次の通りであ
る。
レジン粉末を加熱軟化した後、軟化状態を維持しつつレ
ジンをダイスから押し出してタブレットを成形すること
により、タブレンI・製造装置の各部ムこお番ノる摩耗
を防止することができるとともに、タブレットの内部に
空気が取り込まれるのを抑制することができるため、ラ
ンニングコストおよび5 タブレI−の製造コストを低減することができるととも
に、タブレットの品質を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例であるタブレット製造装置を
示す縦断面図、 第2図はそれbこよって製造されたタブレットを示す斜
視図、 第3図は第1図のIII−I線に沿う断面図、第4図は
第1図このIV−IV線すこ沿う断面図である。 1・・・タブレット製造装置、2・・・シリンダ、3・
・・第1段シリンダ室、4・・・第2段シリンダ室、5
・・・ホッパ、6・・・ヒータ(加熱手段)、7・・・
第1スクリユー 8・・・第1駆動装置、9・・・ダイ
ス、10・・・第2スクリユー、11・・・第2駆動装
置、12・・・吸引室、13・・・吸引口、14・・・
温度調整装置、15・・・切断装置、1G・・・ポンチ
本体、17・・・回転軸、18・・・駆動装置、19・
・・ポンチ孔、20・・・シリンダ装置、21・・・ピ
ストンロッド、22・・・粉末レジン、23・・・軟化
レジン、24・・・レジン成形品、26 5・・・タブレット。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、レジンの粉末が加熱されて軟化され、続いて、この
    軟化されたレジンが温度調整されながら押し出しダイス
    まで送給されるとともに、その送給途中の空間において
    真空吸引され、次いで、ダイスに送給されたレジンがダ
    イスから押し出されるとともに、柱形状に切断されるこ
    とにより、レジンタブレットが連続的に成形されること
    を特徴とするタブレットの製造方法。 2、一端にレジン粉末投入用ホッパが、他端に押し出し
    ダイスがそれぞれ開設されており、複数段に構成されて
    いるシリンダ室と、このシリンダ室の各段にそれぞれ挿
    入されているスクリューと、前記ホッパに投入されたレ
    ジン粉末を加熱軟化させる加熱手段と、シリンダ室内の
    軟化されたレジンを温度調整する温度調整手段と、シリ
    ンダ室の各段の接続部空間を真空吸引する真空吸引手段
    と、前記ダイスに隣接して設けられ、ダイスにより押出
    成形される成形品を柱形状に切断する切断装置とを備え
    ていることを特徴とするタブレット製造装置。 3、前記切断装置が円盤形状に形成されたポンチ本体を
    備えており、このポンチ本体はその中心線が前記ダイス
    の押出方向と平行になるように、かつ、その一端面の外
    周辺部が前記ダイスに対向するように配されて回転自在
    に軸支されているとともに、間欠回転駆動されるように
    構成されており、また、ポンチ本体の前記ダイスに対向
    する同心円上にはポンチ孔が複数個、周方向に間隔をお
    いてそれぞれ開設されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第2項記載のタブレット製造装置。
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