JPH0350747A - Manufacture of semiconductor device - Google Patents

Manufacture of semiconductor device

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JPH0350747A
JPH0350747A JP18652189A JP18652189A JPH0350747A JP H0350747 A JPH0350747 A JP H0350747A JP 18652189 A JP18652189 A JP 18652189A JP 18652189 A JP18652189 A JP 18652189A JP H0350747 A JPH0350747 A JP H0350747A
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lead terminal
tape member
tip
carrier tape
synthetic resin
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Yoshio Kurita
嘉夫 栗田
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To constitute manufacturing process in a continuous assembly line process, evade the increase of manufacturing equipment, and improve productivity by a method wherein, after a semiconductor chip is bonded to the tip of a lead terminal out of each lead terminal pair, said chip is connected with other lead terminal, a molding die is fitted with the tip of each lead terminal pair, and each pot is filled with synthetic resin, which is then hardened. CONSTITUTION:A metal wire 11 wherein a cup part 12a is formed at the tip is cut to form a metal wire segment 11a; by bending said segment, an U-shaped lead terminal pair segment 11b having a cathode lead terminal 12 and an anode lead terminal 13 is formed. A plurality of the terminal pair segments 11b are arranged in parallel on the upper surface of a carrier tape member H, at specified intervals in the longitudinal direction, and a pressing tape J is stuck thereon. Said tape member H is transferred in the longitudinal direction; chips 14 are bonded in order inside the cup parts 12a at the tips of the terminals 12; the chips 14 and the tips of the terminals 13 are connected in order by using metal thin wires 15; after the tape member H is twisted 180 deg., a molding die M is fixed in order to the tip of each terminal pair segment 11b; pots M2 are filled with liquid type synthetic resin, which is hardened; after each of the molding dies M is taken out from the tape member H, connection parts 11b; are cut.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野〕 本発明は、例えば発光ダイオードのように、一つの半導
体チップに対して少なくとも二本のリード端子を接続し
、前記半導体チップの部分に合、成樹脂製の封止部を成
形して成る半導体部品の製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to connecting at least two lead terminals to one semiconductor chip, such as a light emitting diode, The present invention relates to a method of manufacturing a semiconductor component by molding a sealing portion made of plastic.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、前記発光ダイオードの製造は、例えば、実開昭5
8−85357号公報や特開昭59−229884号公
報に記載され、且つ、第11図に示すように、素材の金
属板から、適宜長さしで、一つの発光ダイオードAにお
けるカソードリード端子2とアノードリード端子3とを
適宜ピッチで多数本形成するように打ち抜いたリードフ
レーム1を使用し、このリードフレーム1における各カ
ソードリード端子2の先端に、第12図に示すように、
半導体チップ4を各々接合したのち、該各半導体チップ
4と各アノードリード端子3の先端の間を金属細線5に
て接続し、次いで、第13図に示すように、リードフレ
ーム1における各カソードリード端子2とアノードリー
ド端子3との先端部を、合成樹脂製封止部の成形用型B
におけるポットb内に挿入し、各ポットb内に合成樹脂
を液体の状態で注入したのち前記合成樹脂を硬化するこ
とによって、第14図に示すように、合成樹脂製の封止
部6を成形することによって、−枚のリードフレームl
に対して複数個の発光ダイオードaを製造し、この各発
光ダイオードaを前記リードフレーム1から切り放すよ
うにしている。
Conventionally, the manufacturing of the light emitting diode has been carried out, for example, in
As described in 8-85357 and JP-A-59-229884, and as shown in FIG. A lead frame 1 is used which is punched out so as to form a large number of anode lead terminals 3 at appropriate pitches, and at the tip of each cathode lead terminal 2 in this lead frame 1, as shown in FIG.
After each semiconductor chip 4 is bonded, the tips of each semiconductor chip 4 and each anode lead terminal 3 are connected with a thin metal wire 5, and then each cathode lead on the lead frame 1 is connected as shown in FIG. The tips of the terminal 2 and the anode lead terminal 3 are molded into a synthetic resin sealing mold B.
14, by injecting synthetic resin in a liquid state into each pot b and curing the synthetic resin, molding the sealing part 6 made of synthetic resin as shown in FIG. 14. By doing this, - lead frame l
A plurality of light emitting diodes a are manufactured for each light emitting diode a, and each light emitting diode a is cut away from the lead frame 1.

更に、従来は、前記のようにして製造して、リードフレ
ーム1から切り放した発光ダイオードaは、第15図に
示すように、長尺帯状のキャリヤテープ部材Cに対して
その長手方向に一定の間隔で保持しくこれを、テーピン
グと云う)、この状態で市場に出荷するようにしている
Furthermore, conventionally, as shown in FIG. 15, the light emitting diode a manufactured as described above and cut out from the lead frame 1 has a fixed length in the longitudinal direction with respect to the carrier tape member C in the form of a long strip. This process is called taping) and the products are shipped to the market in this state.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかし、この従来の製造方法は、素材の金属板から適宜
長さしに打ち抜いたリードフレーム1を使用するため、
材料のロスが多くて、材料費が大幅に嵩むのである。
However, this conventional manufacturing method uses a lead frame 1 punched to an appropriate length from a metal plate as a raw material.
There is a lot of material loss, and the cost of materials increases significantly.

しかも、前記従来の製造方法は、長尺の帯状でなく、適
宜長さしの短冊状のリードフレーム1を使用するもので
あるから、各カソードリード端子2に対して半導体チッ
プ4を接合する工程と、該各半導体チップ4とアノード
リード端子3との間を金属細線5で接続する工程とは、
前記短冊状のリードフレーム1をその長手方向に移送す
る途次において行うことができる反面、合成樹脂製の成
形部6を成形するに際しては、前記短冊状のリードフレ
ーム1を、前記移送経路から取外して一枚ずつ成形用型
Bに装着して、合成樹脂製封止部6の成形をするように
しなければならず、更に、前記各短冊状リードフレーム
1から切り放した各発光ダイオードaは、再び整列しな
がらキャリヤテープ部材Cに対してテーピングするよう
にしなければならず、半導体チップを接合する工程及び
金属細線にて接続する工程と、合成樹脂の成形部を成形
する工程と、キャリヤテープ部材にテーピングする工程
とを、連続的な流れ作業工程にすることができないから
、生産性が低いと共に、製造設備が膨大になり、前記材
料費が嵩むこととが相俟って、製造コストが大福にアッ
プするのであった。
Moreover, since the conventional manufacturing method uses a rectangular lead frame 1 of an appropriate length rather than a long strip, the step of bonding the semiconductor chip 4 to each cathode lead terminal 2 is necessary. and the step of connecting each semiconductor chip 4 and anode lead terminal 3 with a thin metal wire 5,
While this can be carried out while the strip-shaped lead frame 1 is being transferred in its longitudinal direction, when molding the synthetic resin molding section 6, the strip-shaped lead frame 1 must be removed from the transfer path. Each light emitting diode a cut out from each strip lead frame 1 must be placed one by one in a mold B to mold the synthetic resin sealing part 6. Furthermore, each light emitting diode a cut from each strip lead frame 1 is It is necessary to tape the carrier tape member C while aligning it, and there are a process of joining the semiconductor chips, a process of connecting them with thin metal wires, a process of molding the synthetic resin molding part, and a process of attaching the semiconductor chips to the carrier tape member C. Since the taping process cannot be made into a continuous assembly line process, productivity is low, the manufacturing equipment becomes enormous, and the above-mentioned material costs increase, resulting in high manufacturing costs. I was going to upload it.

本発明は、この従来の製造方法が有する問題を解消した
製造方法を提供することを目的とするものである。
An object of the present invention is to provide a manufacturing method that solves the problems of the conventional manufacturing method.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この目的を達成するため本発明は、金属線製の少なくと
も二本のリード端子を有するリード端子対を、可撓性材
料にて長尺帯状に形成したキャリヤテープ部材に対して
、当該キャリヤテープ部材の長手方向に沿って一定の間
隔で保持し、このキャリヤテープ部材をその長手方向に
移送する途次において、各リード端子対のうち一つのリ
ード端子の先端に対して半導体チップを接合する工程と
、該半導体チップと他のリード端子とを接続する工の先
端部に被嵌するように取付けて、この成形用型内に合成
樹脂を充填したのち合成樹脂を硬化する工程を行うよう
にした。
In order to achieve this object, the present invention provides a carrier tape member in which a lead terminal pair having at least two lead terminals made of metal wire is formed into a long strip shape from a flexible material. a step of bonding a semiconductor chip to the tip of one lead terminal of each pair of lead terminals while the carrier tape member is being held at a constant interval along the longitudinal direction and is being transferred in the longitudinal direction; The mold is attached so as to fit over the tip of a tool for connecting the semiconductor chip and other lead terminals, and after filling the mold with synthetic resin, a step of curing the synthetic resin is performed.

〔発明の作用・効果〕[Action/effect of the invention]

このように、金属線製の少なくとも二本のリード端子を
有するリード端子対を、キャリヤテープ部材に対して適
宜間隔で保持したことにより、このリード端子対を備え
たキャリヤテープ部材を、その長手方向に移送する途次
において、各リード端子対のうち一つのリード端子に対
して半導体チップを接合する工程と、該半導体チップと
他のリード端子とを接続する工程と、合成樹脂製の封止
部を成形する工程を施すことができ、これらの工程を、
一連に連続した流れ作業によって行うことができるので
ある。
In this way, by holding the lead terminal pair having at least two lead terminals made of metal wire at an appropriate interval with respect to the carrier tape member, the carrier tape member provided with the lead terminal pair can be held in the longitudinal direction. During the process of transferring the semiconductor chip to one lead terminal of each pair of lead terminals, a process of connecting the semiconductor chip to the other lead terminal, and a synthetic resin sealing part. The process of molding can be performed, and these processes are
This can be done through a series of continuous assembly lines.

しかも、半導体部品を、前記キャリヤテープ部材に対し
て適宜間隔で保持した状態で製造できるので、そのまま
、つまり、製品半導体部品を、前記の製造に際して使用
したキャリヤテープ部材に保持した状態のままで市場に
出荷することができる。
Moreover, since the semiconductor components can be manufactured while being held at appropriate intervals with respect to the carrier tape member, the product semiconductor components can be marketed as they are, that is, while being held in the carrier tape member used during manufacturing. can be shipped to.

また、各リード端子対におけるリード端子を金属線製に
するものであるから、材料のロスは、前記従来のように
、素材の金属板から短冊状のり−ドフレームを打ち抜く
ものに比べて遥かに少なくなるのである。
In addition, since the lead terminals in each lead terminal pair are made of metal wire, material loss is far greater than in the conventional method in which strip-shaped glue frames are punched from a metal plate. It becomes less.

従って本発明によると、製造工程を連続した流れ作業工
程にすることができて、その製造設備の膨大化を回避で
きると共に、生産性を向上できるのであり、しかも、材
料費を軽減できるから、半導体部品の製造に要するコス
トを大幅に低減できる効果を有する。
Therefore, according to the present invention, the manufacturing process can be made into a continuous assembly process, and it is possible to avoid the expansion of the manufacturing equipment, improve productivity, and reduce material costs. This has the effect of significantly reducing the cost required to manufacture parts.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を、半導体部品として二端子式の
発光ダイオードを製造する場合について説明する。
EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in the case where a two-terminal type light emitting diode is manufactured as a semiconductor component.

第1図において符号11は、図示しないリールから複数
の矯正ローラDにて直線状に矯正されながら引出した素
材の金属線を示し、該金属線11の先端を、左右一対の
クランプEにて挟んだ状態で、その先端に対してヘッダ
Fを打ち付けることにより、金属線11の先端にカップ
部12aを形成すると同時に、前記金属線11を、前記
カップ部12aから適宜長さSの部位においてカッタG
にて切断して、第2図に示すように、適宜長さ寸法Sの
金属線片11aを製作し、この金属線片11aを、図示
しないフォーミングマシンにて、第3図に示すように、
U字状に折り曲げることにより、カソードリード端子1
2と、アノードリード端子13とを有するU型のリード
端子対片11bに形成する。
In FIG. 1, reference numeral 11 indicates a metal wire that is drawn out from a reel (not shown) while being straightened into a straight line by a plurality of straightening rollers D, and the tip of the metal wire 11 is held between a pair of left and right clamps E. In this state, a header F is hit against the tip of the metal wire 11 to form a cup portion 12a at the tip of the metal wire 11. At the same time, the metal wire 11 is cut with a cutter G at an appropriate length S from the cup portion 12a.
As shown in FIG. 2, a metal wire piece 11a having an appropriate length S is produced by cutting the metal wire piece 11a with a forming machine (not shown), as shown in FIG.
By bending it into a U-shape, the cathode lead terminal 1
2 and an anode lead terminal 13 are formed into a U-shaped lead terminal pair piece 11b.

次いで、このU型す−ド端子対片11bの複数個を、第
4図に示すように、軟質合成樹脂等のように可撓性で且
つ非導電性の材料にて長尺帯状に製作したキャリヤテー
プ部材Hの上面に、その長手方向に一定の間隔で平行に
並べて載置したのち、その上面に、裏面に予め感圧接着
剤等の接着剤を塗布した押えテープJ(この押えテープ
Jも、前記キャリヤテープ部材Hと同様に軟質合成樹脂
等のように可撓性で且つ非導電性の材料にて製作されて
いる)を貼着することにより、前記各U型す−ド端子対
片11bの複数個を、キャリヤテープ部材Hに対してそ
の長手方向に一定の間隔で移動不能に保持する。
Next, as shown in FIG. 4, a plurality of these U-shaped square terminal pairs 11b were made into long strips from a flexible and non-conductive material such as soft synthetic resin. After placing the carrier tape member H side by side in parallel at regular intervals in the longitudinal direction, a presser tape J (this presser tape Similarly to the carrier tape member H, each U-shaped terminal pair is attached by pasting a flexible and non-conductive material such as soft synthetic resin. A plurality of pieces 11b are immovably held at regular intervals in the longitudinal direction of the carrier tape member H.

そして、前記のようにしてU型す−ド端子対片11bを
一定の間隔で移動不能に保持したキャリヤテープ部材H
を、第4図に矢印にで示すように、その長手方向に移送
する。
Then, the carrier tape member H holds the U-shaped terminal pair 11b at a constant interval in the manner described above.
is transferred in its longitudinal direction as indicated by the arrow in FIG.

この移送の途中における最初の第1番目のステージにお
いて、各U型す−ド端子対片11bにおけるカソードリ
ード端子12の先端におけるカップ部り2a内に、第5
図に示すように、半導体チップ14を順次接合し、次の
第2番目のステージにおいて、前記半導体チップ14と
アノードリード端子13の先端との間を、第6図に示す
ように、金属細線15によって順次接続する。
At the first stage during this transfer, a fifth
As shown in the figure, the semiconductor chips 14 are sequentially bonded, and in the next second stage, a thin metal wire 15 is connected between the semiconductor chip 14 and the tip of the anode lead terminal 13 as shown in FIG. Connect sequentially by

次いで、前記第2ステージより移送方向に沿って前方位
置における第3番目のステージにおいて、前記キャリヤ
テープ部材Hを、これに保持した各U型す−ド端子対片
11bの先端が下向きになるように180度捻ったのち
、当該キャリヤテープ部材Hに、第7図に示すように、
発光ダイオードAにおける合成樹脂製封止部16を成形
するための成形用型Mを、各U型す−ド端子対片11b
の先端に対して被嵌するようにして着脱自在に順次取付
ける。
Next, in a third stage located ahead of the second stage along the transfer direction, the carrier tape member H is moved so that the tips of the U-shaped terminal pairs 11b held therein are directed downward. After twisting the carrier tape member H by 180 degrees, as shown in FIG.
A mold M for molding the synthetic resin sealing part 16 in the light emitting diode A is used for each U-shaped terminal pair piece 11b.
Attach it in a removable manner so that it fits onto the tip of the

すなわち、この成形用型Mは、第8図に示すように、ポ
リプロピレン等の適宜の材料によって、ボッ)M2を有
する本体部M1と、該本体部M1の左右両側から上向き
に突出した左右一対のクリップ部M3.M4とを有する
ように構成され、この成形用型Mを、その左右一対クリ
ップ部M3゜M4をキャリヤテープ部材Hに対して着脱
自在に係止するように構成されている。
That is, as shown in FIG. 8, this molding die M is made of a suitable material such as polypropylene and includes a main body M1 having a boss M2, and a pair of left and right parts that protrude upward from both left and right sides of the main body M1. Clip part M3. M4, and the mold M is configured to detachably lock the pair of left and right clip portions M3 and M4 to the carrier tape member H.

そして、前記テープ部材Hを長手方向に移送しながら、
前記各成形用型MにおけるポットM2内に、液状の合成
樹脂を充愼して硬化したのち、各成形用型Mをキャリヤ
テープ部材Hから取り外すことにより、第9図に示すよ
うに、各U型す−ド端子対片11bの先端に合成樹脂製
の封止部16を順次成形する。
Then, while transporting the tape member H in the longitudinal direction,
After filling the pot M2 of each molding mold M with liquid synthetic resin and curing it, each molding mold M is removed from the carrier tape member H, and as shown in FIG. A synthetic resin sealing portion 16 is sequentially molded at the tip of the molded terminal pair piece 11b.

なお、この場合において、前記各成形用型Mを、図示の
ように、多数個のU型す−ド端子対片11bについて一
体化することなく、各U型リード端子対片11bごとに
独立したものに構成するとか、或いは、2〜5個のよう
に複数個のU型す−ド端子対片11bについて一体化し
たものに構成しておけば、キャリヤテープ部材Hの長手
方向への移送に際して、当該キャリヤテープ部材Hにお
ける円滑な曲がりを許容でき、前記合成樹脂の硬化に際
して、キャリヤテープ部材Hをつづら折り状に蛇行移送
することができるがら、前記合成樹脂の硬化のために、
キャリヤテープ部材Hの移送経路の長さが長大化するこ
とを回避できるのである。
In this case, as shown in the figure, each mold M is not integrated for a large number of U-shaped lead terminal pair pieces 11b, but is formed independently for each U-shaped lead terminal pair piece 11b. If a plurality of U-shaped terminal pairs 11b such as 2 to 5 U-shaped terminal pairs 11b are integrated, it will be easier to transport the carrier tape member H in the longitudinal direction. , while being able to allow smooth bending in the carrier tape member H and allowing the carrier tape member H to meander in a meandering manner during curing of the synthetic resin;
This makes it possible to avoid an increase in the length of the transport path for the carrier tape member H.

次いで、キャリヤテープ部材Hの移送方向に沿って第4
番目のステージにおいて、第10図に示すように、各U
型す−ド端子対片11bにおけるカソードリード端子1
2とアノードリード端子13との接続部11b′を切断
したのち、カソードリード端子12及びアノードリード
端子13に対して通電することによって、性能の検査を
行って、完成品の発光ダイオードAにする。
Next, a fourth
In the th stage, each U
Cathode lead terminal 1 in molded terminal pair piece 11b
After cutting the connecting portion 11b' between the light emitting diode A and the anode lead terminal 13, the cathode lead terminal 12 and the anode lead terminal 13 are energized to perform a performance test, thereby producing the light emitting diode A as a completed product.

そして、前記キャリヤテープ部材Hに保持された製造さ
れた各発光ダイオードAのうち、前記の検査によって不
良品であると判別されたものは、良品の発光ダイオード
と取り替えたのち、キャリヤテープ部材Hに保持された
ままの状態で市場に出荷するのである。
Of the manufactured light emitting diodes A held on the carrier tape member H, those determined to be defective by the above inspection are replaced with good light emitting diodes and then placed on the carrier tape member H. It is shipped to the market in its preserved state.

なお、前記実施例は、二本のリード端子を有する発光ダ
イオードを製造する場合について説明したが、本発明は
、この二端子式発光ダイオードの製造に限らず、前記−
つのU型す−ド端子対片11bに、更に一本のリード端
子を添えることによって、ダイオード等の三端子式の半
導体部品の製造に適用でき、また、一つの半導体部品に
対して、二つのU型す−ド端子対片11bを使用するこ
とによって四端子式の半導体部品の製造に通用できる等
、他の半導体部品の製造にも適用できることは云うまで
もない。
In addition, although the above-mentioned embodiment explained the case of manufacturing a light-emitting diode having two lead terminals, the present invention is not limited to the manufacture of this two-terminal type light-emitting diode.
By attaching one lead terminal to each pair of U-shaped terminals 11b, it can be applied to the manufacture of three-terminal type semiconductor components such as diodes, and two It goes without saying that the use of the U-shaped square terminal pair 11b can be applied to the production of other semiconductor parts, such as the production of four-terminal type semiconductor parts.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図〜第10図は本発明の実施例を示し、第1図は金
属線を切断している状態の図、第2図は切断した金属線
の図、第3図は金属線をフォーミングした図、第4図は
U型片をキャリヤテープ部材に保持した状態の図、第5
図は半導体チップを接合した図、第6図は金属細線を接
続した図、第7図は成形用型を取付けたときの図、第8
図は成形用型の斜視図、第9図は合成樹脂製封止部を成
形したときの図、第10はU型片の接続部を切断してい
る状態の図、第11図、第12図、第13図、第14図
及び第15図は従来の場合を示す図である。 A・・・・発光ダオード、11・・・・素材の金属線、
11a・・・・金属線片、llb・・・・U型す−ド端
子対片、Ilb’・・・・U型す−ド端子対片の接続部
、12.13・・・・リード端子、14・・・・半導体
チップ、15・・・・金属細線、16・・・・合成樹脂
製封止部、D・・・・矯正ローラ、E・・・・クランプ
、F・・・・ヘッダ、G・・・・カッタ、H・・・・キ
ャリヤテープ部材、J・・・・押えテープ、M・・・・
成形用型。
Figures 1 to 10 show examples of the present invention; Figure 1 is a diagram of a metal wire being cut, Figure 2 is a diagram of a cut metal wire, and Figure 3 is a diagram of a metal wire being formed. Figure 4 is a diagram showing the U-shaped piece held on the carrier tape member, Figure 5 is
Figure 6 is a diagram of semiconductor chips bonded together, Figure 6 is a diagram of thin metal wires connected, Figure 7 is a diagram with a mold attached, Figure 8
The figure is a perspective view of the molding die, Figure 9 is a diagram when the synthetic resin sealing part is molded, Figure 10 is a diagram when the connection part of the U-shaped piece is cut, Figures 11 and 12 13, 14, and 15 are diagrams showing the conventional case. A...Light emitting diode, 11...Material metal wire,
11a...metal wire piece, llb...U-shaped square terminal pair piece, Ilb'...connection part of U-shaped square terminal pair piece, 12.13...lead terminal , 14... Semiconductor chip, 15... Fine metal wire, 16... Synthetic resin sealing part, D... Correction roller, E... Clamp, F... Header. , G... cutter, H... carrier tape member, J... presser tape, M...
Mold for molding.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)、金属線製の少なくとも二本のリード端子を有す
るリード端子対を、可撓性材料にて長尺帯状に形成した
キャリヤテープ部材に対して、当該キャリヤテープ部材
の長手方向に沿って一定の間隔で保持し、このキャリヤ
テープ部材をその長手方向に移送する途次において、各
リード端子対のうち一つのリード端子の先端に対して半
導体チップを接合する工程と、該半導体チップと他のリ
ード端子とを接続する工程とを行い、次いで、前記キャ
リヤテープ部材に合成樹脂製封止部の成形用型を、各リ
ード端子対の先端部に被嵌するように取付けて、この成
形用型内に合成樹脂を充填したのち合成樹脂を硬化する
工程を行うようにしたことを特徴とする半導体部品の製
造方法。
(1) A lead terminal pair having at least two lead terminals made of metal wire is attached to a carrier tape member formed into a long strip of flexible material along the longitudinal direction of the carrier tape member. A step of bonding a semiconductor chip to the tip of one lead terminal of each pair of lead terminals while holding the carrier tape member at a constant interval and transferring the carrier tape member in its longitudinal direction; Then, a mold for molding the synthetic resin sealing portion is attached to the carrier tape member so as to fit over the tip of each pair of lead terminals, and 1. A method for manufacturing a semiconductor component, comprising a step of filling a mold with synthetic resin and then curing the synthetic resin.
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JPH0547984B2 (en) 1993-07-20

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