JPH03502349A - クリーンルーム天井格子システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 クリーンルーム天井格子システム 発明の分野 本発明は、一般にクリーンルーム用のフィルタ天井システムに関する。ことに本 発明は、一層よい密封及び空気流の特性を保ちながら格子上に付加的なすきまを 必要としないで格子下側のフィルタパネルの取付は取）はすしのできる新規な構 造を持つ天井格子フィルタシステムに関する。

発明の背景 高い効率のフィルタを持つ天井格子システムを備えたクリーンルーム環境は多く の業界で使われている。

たとえばこのようなシステムは、空気中の汚染物等を制御するのに高い公差を持 つ部品を製造するときに使われている。展型的なシステムは一般に、上方が空洞 である降下天井を使う。この空洞がら空気は天井格子内のフィルタパネルを通過 しクリーンルームに入る。

戻シ空気空洞はこのルームの房又は側壁に設けることができる。

フィルタパネルを保持するのに多くの種類の格子構造が使われている。このよう なフィルタパネルは交換自在である。こ扛等のフィルタパネルを格子システムの 支持フレーム構造に対してこれ等のフィルタパ不ルを密封するには軟質ネｆｆジ ンマットから比較的新らたな非硬化ゲル密封体の範囲まで植種の方法が使われて いる。

多くのこれ等の従来のシステムでは不利な点がある。

たとえば多くの天井格子システムは、フィルタパネル全格子フレーム内に上昇さ せ次いで格子内又は格子上に下降させるのに格子上方に妨げられない空間を必要 とする。これ等のフィルタは取扱い及び取付けがむずかしい。さらにこれ等のフ ィルタパネルの取扱い誤り又は損傷の前それは、天井格子の上方の空洞領域内に 位置することの多い頭上配管又はその他の障害物により者しく増大している。さ らにフィルタパネルた格子フレームの上方に上昇させる必要のあるシステムは一 般に、これ等を取付ける各人がクリーンルームの床の上方に乗せたはしご又は１ 着段上に位置する必要がある。

このような操作上の要求によシけがのおそれと共にこれ等のシステムの適正な保 守の費用及び時間が増す。

フィルタパネルの天井格子からの取りはずしには、保持棒又はその他の保持機構 による分解を必要とすることが多い。このこと自体で植種の問題を生ずる。分解 工具又は分解した部品は下方のへ週や設備の上に落下しやすい。同様にこれ等の 機構は、空洞の振動や震動によってゆるみ分解し落下するようになる。又多くの 部品を持つフィルタシステムはなおも大きい取付は費用が必要であると共に部品 交換の困難を伴う。

現用のクリーンルーム天井格子フィルタシステムのその他の欠点には、格子フレ ーム内のゲル密封体が取扱い及び取付けに極めて汚れを生じやすいことと、格子 上にあるフィルタのガスケットが十分な密封作用を生じないことと、各フィルタ が各格子穴よシ大きいことと、取けけ取やはずしが困難になることと、天井格子 が建物のはりシステムにまたがることができないので天井格子を保持するのに余 分な支持システムが必要になるＣとがある。容易に変更される天井格子は通常密 封作用が十分でないが十分な密封作用を生ずる前もって作った格子は現場におけ る変更が容易でない。小さな作業空間及び低い天井高さに対する適応性は実用に 適しないことが多い、多くのシステムは１種類の密封手段しか備えていない。

必要とされることは、向上した一層簡潔かつ有効な天井格子フィルタシステムで あシ、容易に取付けられ容易５ｃ適合できる支持格子システムを提供することで あシ、フィルタパネルをまっすぐにクリーンルームから格子内に押上げることに より下方からフィルタパネルを取けける手段を提供してフィルタパネルに対する 余分なすきまを格子上方に必要としなくてフィルタパネルに伴う損傷を実際上な くシ、単一の工具を利用してフィルタパネルを容易に取りはずして交換する手段 を提供し、デルを格子内に入れるやっかいな仕廖をなくす天井格子システムを提 供し、ナイフェツジ及びデルによる密封の関係を協働させることによシニ重の密 封ができるようにした天井格子システムを提供し、ろ過した空気流の新規な制御 を行うことによりうず流の寸法を格子部材以下にし又は減らし実質的に＃流のパ ターンを促進するようにすることである。又製造費が比較的安価で組立てが容易 な天井格子フィルタシステムが好適である。

これ等の又その他の目標を達成するのに本発明の目的及びその他の利点は、本発 明の若干の実施例によシ述べる添付図面についての以下の説明から明らかである 。

発明の要約 本発明はクリーンルーム天井格子フィルタシステムの取付は及び作用を容易にす るシステムを提供するものである。とくに本発明システムは、クリーンルーム環 境への供給空気の比較的安全かつ有効な供給に役立つように作用できる。とくに 本発明システムは実質的に層流のクリーンルーム環境を生ずるように選択的に作 動できる。本システムは、植種の特長の組合せによシ高度に清浄な区域に良好に 適合し、非層流の空気を全般的に減少すると共にうす発生面を減小するものであ る。すなわち非層流の減少によシ、本発明によって構成したクリーンルーム内の 清浄度を高めこのルーム内の空気の流れパターンを一層予知できるようにする。

不発明システムは、少なくとも１つのフィルタパネルを格子部材の下方から挿入 する格子部材手段と、各格子部材に設けらｎ上下方向に挿入したフィルタパネル 金支愕するフィルタパネル取は手段と、このフィルタパネル取付手段を作動しフ ィルタパネルの選択的取りはずしができるようにする作動手段とを備えている。

フィルタパネル取付手段は、フィルタパネルを天井格子部材のパターン内に容易 に挿入し十分に挿入したフィルタパネルに対し信頼できる支持ができるように構 成し配置するのがよい。前記の詳細な説明から、本発明のフィルタパネル取付手 段がこれ等の又その他の目的にとくに十分に適しているのは明らかである。

本発明システムは又、複数の格子部材をクリーンルーム内に取付ける植種の手段 と、可変の格子パターンを形成するように複数の格子部材を容易に連結し又連結 をはずす手段と、互いに連結した複数の格子部材の境界面を密封する手段と、ク リーンルーム内の空気の一層平滑な一層予知できる流れパターンを生ずる植種の 整流手段とを備えている。

本発明によるフィルタパネルは、高度に有効なろ過材料と、供給空気を送入する 第１の端部と、ろ過空気をクリーンルームに放出する第２の端部と、上下のフィ ルタ穴を仕切る上下の周辺方向７ランゾと、包囲側壁とを備えている。

本発明システムに使用する格子部材のフィルタパネル取付手段は、格子部材の細 長い垂下下部区間を備えるのがよい。この下部区間には戻シ止め又はばねクリッ プの取付手段ｔ−＠付は又はこの区間と一体にし、第１の圧縮位置と第２の通常 伸長した位置との間に選択的に位置させることができる。第１位置ではフィルタ パネルは、クリーンルーム内で格子部材の下方かう天井格子部材内に挿入するこ とができる。第２の位置では、フィルタパネル周辺方向フランジは、このフィル タパネルを格子部材内に十分に挿入したときに作動的に乗せることができる。

好適な実施例でははねクリップ取付手段は、上下の端部を務つ選択的に圧縮でき るフィルタ係合区間を備える。フィルタ係合区間下端部は、一般に格子部材のフ ィルタ取付は下部区間に取けけ、又フィルタ係合区間上端部はフィルタ取付は下 部区間から遠ざかる向きに曲げる。従ってクリーンルーム内の天井格子の下方か らのフィルタパネルの挿入中に、ばれクリップフィルタ係合区間上端部は、フィ ルタパネル上部周辺方向フランジとの接触によシ第１の圧縮位置に動かされる。

じかしフィルタパネル上部周辺方向７ランゾをばねクリップフィルタ係合区間の 上端部の上方に位置させるときは、この２ランジは第２の伸長立型に後方に移動 してフィルタパネルを天井格子部材内に保持する。

ばねクリップを格子部材フィルタ取付は下部区間に取付ける比較的藺単な手段は 、第１及び第２の側部に切欠きを形成したフィルタ取けけ下部区間と、フィルタ 取けけ下部区間内の対向して配置した切欠きに組合うように構成し配置した一般 に水平の向きにした１つ又は複数の突起を狩つ固定区間を備えたばねクリップと 、ばねクリップ固定区間を格子部材フィルタ取けけ下部区間に適応させて取付け る手段とを・備えている。

この取付手段の利点は、フィルタの重量をばねクリップ上端部と共に格子部材フ ィルタ取付は下部区間の切欠＠部分によシ支えることである。本発明の実施に必 要ではないが、ばねクリップの上端部は、プラスチック材のようにフィルタパネ ル上部周辺方向７ランゾを形成する材料とは異なる材料から形成した外面によシ 構成することが望ましい。

本発明による好適なりリーンルーム環境提供システムは、横断面が大体Ｕ字形で 間に密封トラフを仕切るフィルタパネル上部周辺方向７ランジを備えている。

密封トラフは、格子部材構造上部区間から垂下する格子部材密封部分と協働して フィルタを密封する密封手段を１える。密封トラフ内に位置させた密封手段は、 植種の化合物から成る好適な非硬化デル密封体、非多孔質ガスケット又はこれ等 両者の組合せを備える。フィルタパネル下部周辺方向７ランジは、フィルタキャ ンプをこの７ランゾに支え、クリーンルーム内に実質的な層流を生じ、フィルタ パネル側壁を円周方向に囲む下部室を密封する手段を備える。

現用の天井格子フィルタシステムは、クリーンルーム環境にわたって流れのうす の生成を適当に防がないか又は制御しないことが分った。とくに天井格子部材の 下方と壁ｉＣ沿い天子格子部材の照明器具の下方と、他の場所とにうす領域を生 ずる非整流天井格子部材によって、望ましくない空気流パターンが誘起する。こ のようなうずは、粒子が格子システムにわたって移動する導管を形成する。この ようなうすと望ましくない流れパターンとが生じないようにするのに、各フィル タパネルからクリーンルーム内に出る空気の流れ特性を、天井格子システムの構 造内に協働させる。これ等の問題を解決する好適な方法は、天井格子部材の下方 に又前記した他のうず発生場所に位置させｔフィルタキャップを設けることであ る。これ等のフィルタキャップは、空気流の出るフィルタパネルの部分をフィル タキャップ側壁に実質的に吹付けることによシ分離した伴流及びうすを実質的に 防ぐ手段を備える。フィルタキャップは一般に、逆Ａ字形の横断面を持ち、下端 部及び上端部を持つ側壁と、フィルタキャップをフィルタパネル下部周辺フラン ジに取付ける取付手段と、フィルタキャップ内に密封材料を支える一般に水平に 延びる横部材とｋｆｉえている。上下方向に対する各側壁の最適の角度は一般に 約４°ないし約１２°であるが、０°ないし約１２°も許容できる。これ等の限 度を実質的に越える側壁頌斜角は、適当な拡散及び取付けの特性を生じなくて従 って格子部材区域の下方にうすが生成するのを適当には防がない。好適なフィル タキャップでは頂部部分は側壁下端部の交差部によ多形成する。

この頂部部分は前記した最適角度と協働して、フィルタパネルから実質的に層流 のパターンに空気流を成形するのに著しい改良ができる。

他の好適なフィルタキャップ構造は、照明器具又は他の格下システム構造の下方 で使うのにとくによく適合する。一般にＶ又はＵ字のｄｔｉ断面形状を持つ段付 き区分を備えた側壁を設けたフィルタキャップが得られる。これ等の段けき区分 は、隣接するフィルタパネルから出る空気流の輪線にほぼ直交する向きを持つ輻 形成面と、隣接するフィルタパネルから出る空気流の軸線に大体平行に向いた高 さ形成面とを備える。約１約１．５ないし約１対７の幅対高さ比によシ、段付き 側壁を最小にし、発生するうすを制御すると共に一層短いが有効なフィルタキャ ップを助長する。段付き側壁フィルタキャップは、側壁の上下の端部の間の予知 できる場所に境界のうすを保ちながら段なしのフィルタキャップにおけるよシも 側壁の一層大きい後退角（ｐｕｌｌ−ｉｎ）を挾む。さらにこの場合格子システ ムの交差格子がうず導管内の粒子の伝播をクリーンルームの小さな区域に制限す る点でフィルタキャップの下端部におけるよりも側部の境界うずを形成し制御す ることが望ましい。所望の場所に境界うずで段を形成することによシこの目的が 達成できる。

本発明によるフィルタキャップには複数の利点がある。こｎ等のフィルタキャッ プは、、隣接フィルタパネルから放出する空気のうすの形成全制御し、フィルタ キャップの下端部におけるうすの形成実質的になくし、りＩＪ−ンルーム天井格 子構造に沿い境界うずを向けなおす障壁形そらせ手段を提供し、＠接フィルタパ ネル側壁又はフィルタパネル側壁とフリーンルーム壁トの間の領域をそ封する手 段を提供する。

好適なフィルタパネル下部周辺方向フランジは、これにフィルタキャップを取付 ける手段と共に密封作用を行う手段とを備えている。従って好適なフィルタパネ ル下部周辺方向フランジは、フィルタキャップ上端部に適合するように構成し配 置した上部受は面を持つ傾斜下線部材と、フィルタキャラｆ横部材になるべくは 位置させた密封柱内に挿入するように構成し配置した下部密封面とを備えている 。他の実施例では、好適な実施例の前記した機能全果す２個又はそれＪユ上の各 別の部材を提供する。

本発明によるクリーンルーム環境提供システムノ他の利点として、格子部材に対 しフィルタを挿入し取シはずし交換することが比較的容易でめる。この利点は、 ばねクリップ４・ζ向き合うフィルタパネル側壁に位置させた。、上下方向に向 けた煩斜突起に協働する前記ばねクリップ構造とフィルタパネル取シはずし工具 とによシ冥質的に得られる。フィルタパネル取りはずし工具は、ハンドル部分と 、このハンドル部分に取付けた水平に向いたフィルタパネル支持部分と、このフ ィルタパネル支持部分に取けけたばねクリップ解放部分とによシ構成するのがよ い。好適なフィルタパネル取シはずし工具では、ばれクリップ解放部分は、フィ ルタパネル側壁とばねクリップ又は戻り止め手段との間に挿入するように構成し 配置した上下方向に向いた複数の板を持つ。これ等の上下方向板は傾斜突起及び ばねクリップに衝合し、フィルタパネル取シはずし工具のばねクリップ解放部分 全上下方向に動かすに伴いばねクリップ上端部をフィルタパネル下部周辺方向フ ランジとの支持作用を伴う保合状態から動かす。好適なフィルタパネル取りはず し工具は、フィルタパネル支持部分を、周辺方向に覗付けたばねクリップをフィ ルタパネル上部周辺方向７ランゾとの支持作用を伴う保合状態から動かすのとほ ぼ同時に、フィルタパネル下部周辺方向フランジに接触させる。従ってフィルタ は、重力によｐ取りはずし工具のフィルタパネル支持部分上に容易かつ安全に下 向きに解放される。フィルタパネル取りはずし工具は可変長さのフィルタパネル 支持部分を備えて異なる寸法のフィルタパネルに対し作動できるようにしである 。

本発明システムに使用する好適な格子部材は上下方向に向いた２つの側壁部材を 持つ構造上部区間を備え、各側壁部材は他方の側壁部材に向かいほぼ厘交する山 形の上端部を持つ。これ等の２つの山形上端部は、格子部材及びクリーンルーム 天井の間に天井取付手段を位置させることのできるＴスロットのような空間を形 成する。各側壁は又、前記した格子部材密封部分を持つ下端部を備えている。好 適な格子部材構造上部区間は又、各１ｌｌＩｌ壁関に位置させた上下の水平の横 部材を備え大体長方形の横断面を待つ格子部材上部室を形、成する。好適な格子 部グの構造上部区間の構造は、若干の格子部材の容易な連結及び連結はずしがで き可変の格子パターンを形成する。このことは、複数の隣接格子部材上部室内に 滑動自在に位置させるように構成し配置する連結部材により行うのがよい。この 連結部材は、隣接格子部材に対し構造の支持作用と共に整合作用を行う、さらに 本発明によれば隣接格子部材の接合部で格子部材密封部分に適合して取付けるよ うに舌状体を構成し配置しである。この舌状体は、格子部材密封部分に容易に取 けけられ隣接格子部材密封部分に対する密封手段になる。この舌状体によシ又、 取シはずし又は誤って切断した格子部材密封部分の簡単な修理ができる。

格子部材連結部を通るろ過してない供給空気の漏れ又は人込みを防ぐように、複 数の格子部材の境界面を密封するようにしである。好適な手段では、格子部材の 第１の端面に他の格子部材に対し衝合関係になるようにした複数の突起を位置さ せ充てん材をこれ等の突起を過ぎて漏れ出させ連結部を密封するようにし、格子 部材の９ｉｌｌ壁に所定量の充てん材を格子部材上部室内に別の格子部材との境 界面の近くで注入できる穴を位置させ、格子部材上部室内に充てん材板又は林状 体を位置させ止め手段を形成して格子部材上部室の充てん材の裏込めを防ぐよう にする。この密封手段によシ、所望の天井格子パターンの迅速な取付けと共に充 てん材が連結部から漏れ出すときに格子部材の衝合継手のまわりの指示手段の形 成とができる。さらにこのクリーンルーム天井格子構造のたわみが容易に生ずる ように、格子部材密封部分の長手に沿って軸線方向に向いたみぞを位置させる。

この軸線方向みぞによシ格子部材接合区間の正確有効な切断ができる。

本発明によるクリーンルーム環境提供システムのなお別の利点は、格子部材の上 下の室内に負圧空洞を設ける手段である。この負圧空洞はさらに格子部材上下室 内からろ過してない空気を除去する手段となる。

添付図面は本発明の実施例を示すと共にその植種の目的及び特長を示す。若干の 例で相対的材料厚さ及び相対的部品寸法は本発明が分シやすくなるように誇張し て示しである。

図面の簡単な説明 第１図はクリーンルーム内の空気の実質的な層流を示す本発明のクリーンルーム 天井格子フィルタシステムの横断面図である。

第２Ａ図はばねクリップを取付けた好適な格子部材を、２つＯフィルタパネルは 格子部材に収けけ好適なフィルタキャップはフィルタパネル下部周辺方向２ラン ジに取りはずし自在に取付けて示す横断面図である。

第２Ｂ図は第２Ａ図とほぼ同様な好適なフィルタパネル下部周辺方同フランゾ及 びフィルタキャップの取けけ及び密封手段をフィルタキャップを取シはずし自在 に取付ける山形取付面を持つ大体上下方向内に向けた密封部材と共に示す横断面 図である。

第２Ｃ図はフィルタパネル下部周辺方向７ランゾとこれにフィルタキャップを取 シはずし自在に取付ける手段との変型の横断面図である。

第２Ｄ図はフィルタパネル下部周辺方向７ランジとこれにフィルタキャップを１ １はずし自在に取付ける手段との変型の横断面図である。

第２Ｅ図はフィルタパネル下部周辺方向７ラノゾとこれにフィルタキャップを取 シはずし自在に取付ける手段との変型の横断面図である。

第３図は格子部材の下部及び上部の室内に負圧空洞を形成する手段を持つ好適な 天井格子部材を示す第２Ａ図と同様な横断面図である。

第４図は変型によるフィルタキャップ密封取付手段を持つ好適な天井格子システ ムの横断面図である。

第５図は照明器具を受入れる複数のフィルタ＠１．け下部区間を備えた変型によ る天井格子部材を、各側に取けけたフィルタパネルと照明器具の下側に取付けた 段ｆｔ＠側壁フィルタキャップ及び密封キャップと共に示す横断面図である。

第６図は側壁又はその他の障壁に近い動作をするように構成した好適な格子部材 の横断面図である。

第７図は格子部材連結部を充てん材密封するキャッピング手段を付り複数の格子 部材の半ば仕上げた連結部を示しさらに格子部材の正確な切断を容易にするため に格子部材の長手に沿い形成した軸線方向に向けたみそと穴を形成した格子部材 密封部分から取シはずして示す舌状体とを示す斜視図でちる。

第８Ａ図は格子部材の４万連結部の下方に使うようにした好適なフィルタキャッ プの斜視図である。

第８Ｂ図は２つ又はそれ以上の天井格子部材の直角交差部の下方で使うようにし たフィルタキャップを示す斜視図である。

第８Ｃ囚は２つの天井格子部材のすみ部交差部の下方で使うようにしたフィルタ キャンプを示す斜視図である。

第９図は好適な天井格子部材、２つの取付けたフィルタパネル及びフィルタパネ ル取シはずし工具を示しこのフィルタパネル取シはずし工具はフィルタパネルを 取りはずすことのできるフィルタパネル傾斜突起及びばねクリップ／戻り止め手 段に衝合した状態で示す横断面図である。

第１０Ａ図は調整自在なフィルタパネル取りはずし工具の斜視図である。

第１０Ｂ図は所定寸法のフィルタパネルを取りはずすように構成した変型による フィルタパネル取シはずし工具の斜視図である。

第１１図は変形による上下の２ランゾでフィルタパネルを支えて示しこの変型に よる上部７ランジが格子部材及び空洞部材と密封状態で協働できるＷ字形横断面 を持ち内部に使用する密封材の量を最小にするようにした中間空間を狩つ内部取 付けの切頭形傾斜なしフィルタキャップが得られるように構成して示す横断面図 である。

発明の詳細な説明 本発明の実施例を以下に詳細に述べる。しかしここに述べる実施例は植種の形で 実施できる本発明を単に例示しただけでおるのはもちろんである。従ってここに 述べる特定の構造及び機能の詳細は限定するものではなくて蟲業者には明らかな ように本発明を植種の任意適当に詳述するシステム又は構造に応用する代表的な 基準となるものである。

本発明のクリーンルーム環境提供システムは下向きの空気流を好適なものとして 示すが、本発明が又クリーンルーム内に空気流が水平に向けられるクリーンルー ム側壁にも使用できるのはもちろんである。

第１図において本発明によるクリーンルーム環境提供システム（以下天井成子シ ステムと呼ぶ）１０は典型的使用環境で横断面で示しである。とくに本発明によ る天井格子システム１０は、複数のパネル支持格子部材１２と、各格子部材１２ に取けけた複数のフィルタパネル１４と、各格子部材１２の下方に位置させたフ ィルタキャップ１８と、クリーンルーム２０とを備えている。天井格子システム １０が植種の環境及びパターンに利用できるのはもちろんである。

第１図において天井格子システム１０は、ろ過された空気がクリーンルーム２０ に流入する選定したフィルタパネル１４の下方に位置するフィルタキャップ１８ の位置及び形状に基づいたクリーンルーム２０内の実質的に層流の空気パターン を指示する矢印を示してちる。この明細書で詳述するように天井格子システム２ ０は、クリーンルーム２０内の空気の実質的に層流状のうすなしの流れを生ずる 植種の手段を備えている。

第２Ａ図は天井格子システム１０の好適な格子部材１２を示す横断面図である。

格子部材１２は、各フィルタパネル１４をクリーンルーム２０から格子部材１２ 同に容易に挿入できるように構成しである。格子部材１２は、格子部材１２の上 方でフィルタパネル１４を操作するのに余分な空間を必要としないで、フィルタ パネル１４を格子部材１２内に支持作用を伴って係合する状態に上下方向に押込 む手段を備えている。

この利点により天井格子システム１０は、他の天井格子システムに対し適当な天 井すきまを持たない空間内に取けけることができる。

第２Ａ図は、構造上部区間２２及びフィルタ取付は下部区間２４を泣つ好適な格 子部材１２を示す。フィルタ取付は下部区間２４はさらに、第２Ａ図に示したよ うにばねクリップ２８の形に形成した戻シ止め取付手段２γの形を好適とする取 付手段２６を備えている。

１つ又は複数のフィルタパネル１４を格子部材１２に取付けるときは、フィルタ キャップ１Ｂは各フィルタパネル１４の下部部分に敗けける。フィルタキャップ １Ｂは、フィルタパネル１４からクリーンルーム２０内に放出するろ過された空 気の適正な拡散を促進して、空気の非乱流の大体層流の流れを生ずることができ る。

フィルタキャップ１８は又、クリーンルーム２０中に存在する他の空気流をそら せこれ等の空気流を大体層流のパターンに促進する障壁としても作用する。

格子部材１２の好適な実施例に対する構造上部区間２２は、それぞれ上端部３２ 及び下端部３４を持つ２つの上下方向に向いた互いに対向する側壁部材３０．３ ０全備えている。第２Ａ図に示すように各側壁部材３０の上端部３２は、対向す る側壁３０に向かいほぼ直交するように折曲げである。互いに対向する２つの折 曲げ上端部３２．３２はその間に空間３６た形成する。空間３６によシ、空間３ ６内に格子部材天井取付手段３８を位置させることができる。構造上部区間２２ は又１．上部水平横部材４０及び下部水平横部材４１を備えている。各頂部材４ ０．４１は各側壁部材３０の間に延びている。横部材４０．４１及び側壁部材３ ０は協働して、大体長方形の横断面を持つ格子部材上部室４４を形成する。各側 壁下端部３４は格子部材天井部分４６′ｔ−備えている。天井部分４６は、構造 上部区間２２の下部水平横部材４１の下方に下向きに延び、フィルタパネル１４ を格子部材１２内め手段２Ｔに取付は終ったときにフィルタパネル１４と協働し てナイフェツジ形密封手段を形成する。

格子部材フィルタ取付は下部区間２４は好適な実施例では、フィルタパネル１４ 、格子部材下部水平横部材４１及びフィルタキャップ１８によシ仕切った下部室 ４５内に位置させた細長い上下方向に向いた部材から構成しである。戻シ止め取 付手段２７は、フィルタ取けけ下部区間２４に取けけられ、フィルタパネル１４ をクリーンルーム２０から格子部材１２内に挿入できる第１の圧縮位置と、戻シ 止め取付手段２γがフィルタパネル１４を正常な作動位置に支える第２の伸長位 置との間で可動である。戻シ止め取付手段２７の構造によシ、はぼ全部の格子部 材構造上部区間２２を含む平面の下方からフィルタパネル１４を格子部材１２内 に取付けることができる。

好適な実施例では戻シ止め取は手段２γは、固定区間５０及びフィルタ係合区間 ５２から成るばねクリップ２８である。はねクリップ固定区間５０は、横断面が 大体Ｕ字形であシ、格子部材１２のフィルタ取付は下部区間２４にばねクリソｆ ２Ｂを固定する手段を持つ。ばねクリップ固定区間５０をフィルタ取付は下部区 間２４に固定する手段は、格子部材フィルタ取付は下部区間２４０対向して配置 した切欠き内に組合ってはまるように位置させた少なくとも１つの大体水平に向 いた突起５４を備えている。切欠き５６内に突起５４がはまると、ばねクリップ フィルタ係合区間５２に欧げけたフィルタパネル１４の重量を支持する。好適な ばねクリップ２８は、フィルタ取付は下部区間２４の下縁部５９に適合するよう に取付けた下縁部分５８を備えている。このように構成するとこの好適なばねク リップ２８は、別の取付手段を必要としないでフィルタ取付は下部区間２４に固 着できる。

ばねクリップフィルタ係合区間５２は上端部６２及び下端部６４′ｆ：ｌ！Ｉえ ている。この好適なばねクリップフィルタ係合区間５２は選択的に圧縮自在であ シ、下端部６４は固定区間５０に取付け、上４部６２は上下方向に同いた格子部 材フィルタ取付は下部区間２４から遠ざかる向きに曲げである。作動時にはフィ ルタパネル１４を上下方向に格子部材１２内に挿入し終ると上端部６２はフィル タパネル１４に衝合する。又はねクリップフィルタ係合区間上端部６２は、フィ ルタパネル上部周辺方向フランゾロ６とは異なる材料から形成した外面を備えて いる。上端部６２は硬化グラスチック材面を備えるのがよい。さらにばねクリッ プフィルタ係合区間上端部６２の圧縮と格子部材１２からのフィルタパネル１４ ０取シはずしとができる手段を詳しく述べる。

フィルタパネル１４は、格子部材１２内へのフィルタパネル１４の取付は中に戻 シ止め取付手段２７又はばねクリップフィルタ保合区間５２に係合する手段を持 つ上部周辺方向７ランジ６６を備えている。フィルタパネル上部周辺方向フラン ゾロ６によシフィルタパネル１４をばねクリップフィルタ衝合区間上端部６２に 作動的に乗せることができる。このことは、フィルタパネル１４から横方向に延 びばねクリップ２８に保合できるようにしたフィルタパネル上部周辺方向７ラン ゾ６６によシｌめて容易に行うことができる。さらにフィルタパネル上部周辺方 向７ランジ６６は又、格子部材１２内にフィルタパネル１４を密封する上部密封 手段を形成する。フランゾロ６は横断面が大体Ｕ字形であり、第１の壁６８及び 第２の壁６９によりその闇に密封トラフ７２金形成する。筐封トラフ７２は、格 子部材天井部分４６と協働してフィルタパネル１４を密封する手段を形成する。

密封トラフγ２をオＵ用する好適な手段はその中に所定の厚さの密封材７４を位 。

置させる。密封材７４はデル形密封材がよいが、ガスケラト又はガスケツトゲ９ ルの組合せを使ってもよい。

ゲル形そ封材は格子部材天井部分４６會容易に受け、上部周辺方向７ランゾ第１ 壁６３及び第２壁６９の間ＶＣ前記した密封部を形成する。

フィルタパネル１４は第２Ａ図に示すように下部周辺方向２ランジ８０を備える のがよい。下部周辺方向フランジ８０は、下部周辺方向フランジ８０から下方に 突出するほぼ上下方向に向いた下縁部材８２を備えている。フィルタキャンプ１ ８と協働して下縁部材８２はフィルタパネル下部密封手段を備えている。さらに 山形面８４は、下部周辺方向フランジ８０から下方に突出しフィルタキャップ１ ８に合致して組合うように構成し配置しておる。第２Ａ図に示すように好適な下 部周辺方向フランジ８０は、１つの部材から成る下縁部材８４及び山形面８４を 備えている。

第２Ｂ図ないし第２Ｅ図は１種のフィルタパネル下部密封手段と、フィルタキャ ップ１８及び下部周辺方向フランジ８０を含む覗は手段とを示す。第２Ｂ図は好 適な実施例を第２Ａ図よち詳しく示す。なお第２Ｂないし第２Ｅ図は、フィルタ キャップ１８、取は手段８６及び下部周辺方向フランジ８０の山形面８４の間の 組合い関係を示す。前記の各実施例ではフィルタキャンプ取付手段８６の外百９ ０は、フィルタパネル１４の下部周辺方向７ランゾ８０の上下方向面に対し初め はほぼ面一であり又はほぼ１２°の角度内にある。

この関係によシ、境界うずの生成を実質的に減らし又はなくシ、フィルタパネル １４からフィルタキャップ１８に沿いクリーンルーム２０に入る空気の流れが妨 げられない。

天井格子システム１０は、フィルタキャラ７’１Ｂの少なくとも一方の側壁９２ に沿うフィルタパネル１４からのクリーンルーム空気流の空気力学的付着状態を 実質的に保つようにしである。この付着は、他の天井格子システムで格子部材区 分の下方に通常生ずる空気流のうすを実質的になくし又は減らす。うず春作用の このような減少は、一般にＶ字形の横断面形状を持つ又は逆Ａ字形の横断面形状 を持つフ・イルタキャノデ１８によって得られる。第２Ａ図に示すように上端部 ９４及び下端部９６を持つ側壁９２を設けである。フィルタキャップ側壁上端部 ９４は、フィルタキャップ取付手段８６を待つ山形部分を備えている。フィルタ キャップ１８の側壁９２は上下方向から遠ざかる向きに傾斜し、クリーンルーム シて入るろ過された空気の制御した拡散が生じフィルタキャップ１８に沿いその 下方に空気の実質的に層流のうすなしの流れが生ずる。

最適には上下方向ρ１ら遠ざη慕る方向における側壁９２ｏ１ｇ斜角度は約４° ないし約１２°である。一般にこれ等の角度よシ犬ぎい又は小さい傾斜では望ま しくない境界うずを生じ保持する承認できない空気流パターンを生ｆる。テーパ 寸きフィルタキャップ１８が好適であるが江意深く頭部を切断したフィルタキャ ップは、この切頭形フィルタキャップ１８に近い領域からうすが移動するときに 生成うずを捕捉し又は妨げる手段を設けてあれば本発明によシ著しい利点が得ら れる。

フィルタキャップ１Ｂに沿いフィルタパネル１４からのクリーンルーム空気流の 空気力学的付着を実質的に休つ別の手段は、側壁９２に第５図に示した少なくと も１つの段付き区間９７を狩つ、横断面がＶ字形のフィルタキャップ１８を備え ている。一般に大きい方の傾斜角は複数の段付き区間９７を必要とする。段付き 区間９７によりフィルタキャップ１８は、段なしフィルタキャップにおけるより も大きい傾斜角を持つ側壁９２を備えることができる。この特長は、照明器具又 はその他の障害物を天井格子システム１０内に取付けたときのように各フィルタ パネル１４間の広いすきまによって生ずる問題を除くのにとくに有利でちる。

通常各フィルタパネル１４間のこのような比較広いすきまは、フィルタキャンプ の下方にうすを形成できる側壁傾＠金持つフィルタキャップを必要とする。或は このよう々フィルタキャップはクリーンルーム内に承認できないほどはるかに下 方に延びなければならない。

従って本発明による空気流付着手段は第５図に示すようにそれぞれ嘔仕切ｐ面９ ８及び高さ仕切り面９９を持つ段付き区間９７を備えている。幅仕切シ面９８は 一般に段付き区間９７の近くでフィルタパネル１４からの局部的空気流の軸線に 大体直交する向きにしである。又高さ仕切シ面９９は段付き区間９７０近くでフ ィルタパネル１４からの局部的空気流の軸線に大体平行な向きにしである。幅仕 切シ面９８の寸法対高さ仕切シ面９９の寸法ｏｈｍ比は、フィルタ午ヤツゾ１８ の側壁９２への空気流の付着を保ち側壁９２に沿りて生ずるうずの寸法を保つ保 持手段を構成する。側壁９２に段けき区間９γを使用することは、側壁上端部９ ４及び下端部９６の間に生ずるうすを保つ手段となる。すなわち空気放出フィル タパネル１４によシ又りリーンルーム内の横流れによシ生ずる第５図に示したり ずＶはフィルタキャラｆ１９により実質的に捕捉される。フィルタキャップ１８ は長さを変えられ、又段付き区間９γの数を変えることによシフリーンルーム２ ０内の望ましくない空気流を所望の流れパターンに成形する手段を形成する。段 付き区間９Ｔの好適な縦横比は約１対１．５ないし約１対７である。

第２Ｂ図に示したフィルタキャラ７’１８は、又フィルタパネル下部密刺手段と して機能するときは、密封材を支える少なくとも１つの大体水平に延びる上部横 部材１００を備えている。フィルタパネル上部周辺方向密封材トラフ７２に使用 するために前記したのと同様な密封材が好適である。上部水平横部材１００に位 置させたこのような密封材は、下縁部材８２を密封材γ４内に延長してフィルタ パネル下部密封体を形成することかできる。従って天井格子システム１０は、フ ィルタパネル１４の上部又は下部の近くに位置させた二重密封体又は単一密封体 を備えている。

第３図は、フィルタパネル１４、格子部材１２及びフィルタキャップ１８の間の 密封を行う手段を示す。

第３図では格子部材１２の下部水平横部材４１は、格子部材上部室４４及び格子 部材下部室４５の間に穴１０２を形成しである。穴１０２によシ上部室４４及び 下部室４５の間に空気が流れることができる。さらに格子部材１２の側壁部材３ ０に穴１０６を形成するのがよい。穴１０６は、選択的に作動し上部室４４及び 下部室４５に負圧空洞を生成する手段となる。この構造の格子部材１２は天井格 子システム１０の性能をさらに高め、不適正にろ過された空気がクリーンルーム ２０に入らないようにする。さらに互いに連結した格子部材を密封することによ シろ過されない又制御されないうすを含む空気の付加的な源がクリーンルーム２ ０に入らないようにする手段はこの明細書で詳しく後述する。

第４図は、フィルタパネル１４の全体を取付けた好適な格子部材１２を示す。し かしフィルタパネル１４は、内側取付けの切頭フィルタキャップ１８ａを支える 手段を持つ変型による下部周辺方向７ランジ７ランジ８０を備えている。この実 施例では下部周辺方向７ランジ８０は上下方向下縁部材８２と共に山形面８４を 備えている。この構造では山形面８４及び切頭フィルタキャップ１８ａは、フィ ルタキャップ１８ａの側部に境界うずを生成する。

天井格子システム１０は、第５図に示すように照明器具と共に使う変型による格 子部材構造と第６図に示すような側壁又はその他の障壁とを備えている。第５図 は、２つのフィルタ支持下部区間２４を持つ変型による格子部材１１０を示す。

第５図に示すように格子部材１１０は格子部材１２と同様に構成しである。しか し格子部材１１０は、各フィルタ取付は下部区間２４の間で下部水平横部材４１ の下方に位置させた付加的な室１１２を備えている。室１１２は照明器具１１６ を取付ける手段を備えた横部材１１４を設けである。このような取付手段は、ポ ル）１１７又はその他の類似の手段のような普通の取は手段でもよい。横部材１ １４は又、照明器具１１６のケーブルの取付けを容易にする。保持唇状部１２０ は、横部材１１４に取付けられ照明器具１１６の一部のまわシに合わせて取付け られ側壁１２３及びその中の密封材７４を持つ密封キャップ１２２に対し支持作 用を伴って接触するようにしである。第５図に示すようにフィルタパネル下部周 辺方向７ランジ８０は、上下方向に向いた下縁密封部材８２及び山形面８４を備 えている。山形面８４は、この実施例では、密封キャップ取付手段１２４及び照 明器具フィルタギャップ取付手段１２６を受けるようにした逆Ｔ字棒形部材を備 えている。密封キャンプ１２２の第２の側壁１２８は、照明器具１１６及びフィ ルタパネル１４の境界面を二重に密封する手段としても作用する保持唇状部１２ ０によシ保持する。

照明器具フィルタキャップ１８は、他のフィルタキャラ７°１８よシ大きく内部 に天井キャップ１２２を備えるようにし、又不透明、透明又はその他の適当な材 料から構成されクリーンルーム２０の照明ができるようにしである。変型による 格子部材１１０は格子部材１２の利点を保持すると共に、天井格子システム１０ で照明器具及びその他の滝書物又は分離物を受入れる。

第６図は側壁又はその他の障壁の近くで作動するように変更した好適な格子部材 の横断面図である。第６図では格子部材１３０は、クリーンルーム壁１３４又は 天井部材１３６或はこれ等の両方に取付けるように構成した側壁部材１３２を備 えている。保持唇状部１２０ａは格子部材１３０及びクリーンルーム壁１３４の 間に取けけである。保持層状部１２０ａは、テーパけぎフィルタキャップ取付手 段１４４が組合って係合するようにした山形面１４２によシ、クリーンルーム壁 １３４又はその他の′Ｒ壁を組合って取けけ又はこれに衝合する少なくとも１つ の側壁１４１を持っテーパ付きフィルタキャップ１４６０取けけを容易にする。

多くのクリーンルーム２０は、このようなりリーンルームの壁領域に沿い実質的 に層流のうすなし流れを促進するように、最小の傾斜角及び比較的大きい長さを 待りテーパ付きフィルタキャップ１４０を使用できる壁１３４を備えている。格 子部材１３０及びテーパけきフィルタキャップ１４０は、フィルタパネル１４と 協働してフィルタパネル１４を密封しクリーンルーム２０内に実質的に層流のう すなし流れを生ずる。約４゜ないシ１２°の傾斜角は又テーパ付きフィルタキャ ップ１４０に対しても好適である。

第７図は本発明による複数の格子部材の部分的に完成した連結部を示す。格子部 材１２は本発明の天井格子システム１０を含む天井格子システム内の複数の格子 部材の境界面を密封する別の手段を示す。この密封手段は、格子部材１２を他の 格子部材１２に係合するようにした場合に格子部材１２の第１の端部１６２に位 置し又この端部から突出する複数の小さな突起１６０を備えている。突起１６０ は第１の端部１６２に不規則な組合い百を生ずることによシ、充てん材又は類似 の材料によシ各格子部材１２の境界面を有効に密封する。端部１６２の付近で格 子部材１２への充てん材又は類似材料の注入を容易にするように、なるべくは格 子部材１２Ｃ）側壁部材３０を貫いて延びる穴１６４を形成しである。穴１６４ は、格子部材１２の近い方の端部１６２に又格子部材上部室４４にあけである。

格子部材１２の第１端部１６２を保持する唇状部保持手段１６７を持つ充てん材 杯状体を含む光てん材停止手段１６６は端部１６２に近い格子部材１２の上部室 ４４内に位置書せ充てん１．による上部室４４１２）裏込めを防ぐ。光てん材停 止手段１６６は、格子部材側壁部材３０及び格子部材水平横部材４０．４１と協 働して充てん材空洞１６８を形成する。穴１６４により所定量の充てん材を充て ん材空洞１６８に注入し突起１６０のまわり又は保持唇状部１６γ内或はこれ等 の両方に漏れさせ互いに連結した格子部材１２の境界面を密封する。この密封手 段はさらに格子部材１２の領域内のろ過されない空気流を防ぐことによシフリー ンルーム２０の清浄度を高める。前記した密封手段の別の利点はこの密封作用を 比較的容易に生ずることである。

天井格子システム１０には、互いに連結した格子部材１２の格子部材密封部分４ ６に適合して取付けられるように舌状体１７４を設けである。舌状体１７４は格 子部材密封部分４６の連結部における別の密封手段となる。舌状体１７４は又、 従来の天井格子システム構造によシ格子部材密封部分４６に形成された切断部又 は組立て中の不時の誤り切断を１１理し又は密封するのに利用できる。舌状体１ １４は第７図に示すように、格子部材密封部分４６を適合して組合う関係に上下 方向に押圧するように形成しである。従って舌状体１７４はさらに本発明の天井 格子システム１００普遍性に役立つ。付加的な普遍性は、複数の軸線方向に向い た格子部材上部室４４内に滑動自在に位置させた細長い連結用の部材又はビーム を利用することにより本発明による徨数の格子部材１２を連結し又連結をはずす ことができることである。このような連結部材は格子部材１２（Ｚ）支持作用及 び相対的整合作用を行う。本発明による天井格子システム１０の組立て及び分解 ／再配列は＠ｊ４方向みぞ１γ６によシ容易に行える。刻み線でもよい戦線方向 みぞ１７６は格子部材側壁部材４６の取漫はずし又は切断或はこれ等の両方に役 立つ。

第８Ａ図は格子部材１２の四方連結部の下方に位置させるようにした好適なフィ ルタキャップ１１８の斜視図である。同様に第８Ｂ図は２つ又はそれ以上の天井 格子部材１２の直交交差部の下方で使うようにした好適なフィルタキャップ１８ ０を示す斜視図である。

第８０図ｉｄ　２つの天井格子部材１２のすみ部交差部の下方で使うようにした 、フィルタキャップ１８０と同様ナフィルタキャップ１８２を示す。

第９図にはフィルタ取りはずし工具１８８の一部を、フィルタパネル１４と格子 部材１２のフィルタ取付は下部区間２４との間の格子部材下部室４５内に上下方 向に延びた状態で示す。フィルタパネル取シはずし工具１８８は、戻シ止め取付 手段２７又はばねクリップフィルタ衝合区間５２ｔ−、フィルタパネル１４を格 子部材１２円に支える伸長位置からフィルタパネル１４を戻９止め取は手段２７ 又はばねクリップフィルタ衝合区間５２により支えてない圧縮位置に圧縮する手 段を備えている。第９図に示すようにフィルタパネル取シはずし工具１８８は、 フィルタパネル１４の側壁１９２に位置させた上下方向に向いた傾斜突起１９０ に作動的に衝合する。傾斜突起１９０は、格子部材フィルタ取付は下部区間２４ に向き合うように位置し、フィルタパネル取シはずし工具１８８を戻シ止め取付 手段２７に向って作動的に付勢することにより、戻シ止め取付手段２７を圧縮し フィルタパネル１４をその自重によシ下方に動かし格子部材１２との衝合金離し フィルタパネル取りはずし工具１８Ｂに衝合させる。

第１０Ａ図及び第１０Ｂ図はフィルタパネル取シはずし工具１８８を示す。各工 具１８８は、ノ・ンドル部分１９４と、ノ・ンドル部分１９４に取付けた少なく とも１つの水平に向いたフィルタパネル支持部分１９６と、フィルタパネル支持 部分１９６に欧付けた少なくとも１つのばねクリップ位置決め部分１９８とを持 つ。

第９図、第１０Ａ図及び第１０Ｂ図に示すようにばねクリップ位置決め部分１９ ８は、傾斜突起１９０及びばねクリップ２８又は戻シ止め取付手段２Ｔに係合す るように構成し配置した上下方向に向いた複数の板を備えるのがよい。第１０Ａ 図は、ばねクリップ位置決め部分１９８を形成する互いに対向する上下方向に向 いた２つの板の長さを調整する手段を持つことによう可変の寸法のフィルタパネ ル１４の取シはずしに適したフィルタパネル取シはずし工具１８８を示す。

第１１図には、大体Ｗ字形の横断面を持ち空洞部材２０２と共に密封部分４６を 保持する手段を備えた上部周辺方向フランゾロ６ａｔ持つ格子パネル１４を示し である。フィルタパネル上部周辺方向７ランゾ６６ａによシ、空洞部材２０２を 内部に密封状態に取付けることによって前もってろ過し九供給空気の制御ができ る。又第１１囚には各別の密封トラフ７２．７２ａ、を形成する中間に位置させ たスペーサ部材２０６を持り切頭フィルタキャップ１８ａを示しである。スペー サ部材２０６及び各別のトラフ７２．７２ａは本発明による天井格子システム１ ０内で使うのに密封材７４をはるかに経涜的にすることができる。

本発明は従って、前記した構造で述べ本発明の範囲を次の請求項で示した部品の 構造、組合せ及び配置の特長にある。本発明の若干の実施例を例示し述べたが本 発明がこれ等に限定さｎないのはもちろんである。

ＦＩＧ、８Ａ ＦＩＧ、　９ ＦＩＧ、　ＩＯＡ 手続補正書 平成　２年　８月３０日

Claims (26)

【特許請求の範囲】
1. １．フイルタパネル受入れ穴を形成する複数のフイルタパネル支持格子部材を持 ち、フイルタパネルを経て空気を送る気密／粒子密に密封したクリーンルーム環 境を提供する、クリーンルーム環境提供システムにおいて、前記各格子部材を、 ａ）この格子部材をクリーンルーム内に取付ける手段を備えた構造上部区間と、 ｂ）前記穴に隣接しこの穴内に前記クリーンルームから前記フイルタパネルを挿 入することのできる第１の圧縮位置と、前記穴内に延びる第２の位置との間で可 動であり、この第２の位置で前記フイルタパネルを作動的に支える戻リ止め手段 を持つ細長い上下方向に向いたフイルタ取付け下部区間と により構成した、クリーンルーム環境提供システム。
2. ２．前記戻り止め手段を、 ａ）大体においてＵ字形の横断面を持ち、前記格子部材フイルタ取付け下部区間 へのばねクリツプ固定用の手段を備えた固定区間と、 ｂ）上下の端部を持ち、前記下端部を前記固定区間に取付け、前記上端部を前記 格子部材フイルタ取付け下部区間から遠ざかる向きに曲げた選択的に圧縮可能な フイルタ係合区間と により構成したばねクリツプとした請求項１記載のクリーンルーム環境提供シス テム。
3. ３．前記ばねクリツプフイルタ係合区間上端部をプラスチツクから構成した請求 項２記載のクリーンルーム環境提供システム。
4. ４．前記ばねクリツプ固定区間を、 ａ）前記格子部材フイルタ取付け下部区間の互いに対向して配置した切欠きに組 合つてはまるように構成し配置した少なくとも１つの大体水平に向いた突起によ り構成し、前記のはまりあいにより前記ばねクリツプフイルタ係合区間に取付け たフイルタの重量を支える手段とした請求項２記載のクリーンルーム環境提供シ ステム。
5. ５．前記構造上部区間を、 ａ）それぞれと端部及び下端部を持ち、前記上端部は対向側壁部材に向かい大体 直交する向きに曲げこれ等の山形の各上端部によりその間に天井取付手段を位置 させることができ、前記各側壁部材下端部により格子部材密封部分を構成した上 下方向に向いた２つの側壁部材と、 ｂ）これ等の側壁部材の間に位置しこれ等の各側壁部材と共に大体長方形の横断 面を持つ格子部材上部室を形成した上部水平横部材及び下部水平横部材とにより 構成した請求項１記載のクリーンルーム環境提供システム。
6. ６．ａ）前記格子部材密封部分が前記構造上部区間側壁部材から前記下部水平横 部材の下方に下向きに延び、前記密封部分により前記格子部材戻り止め手段によ つて支えたフイルタパネルと協働してナイフエツジ形密封手段を形成した請求項 ５記載のクリーンルーム環境提供システム。
7. ７．ａ）複数の軸線方向に向いた格子部材上部室内に滑動可能に位置するように 構成し配置され前記各格子部材の支持及び相対的整合を行うようにした連結部材 と、 ｂ）前記の連結した格子部材の前記格子部材密封部分への適合した取付けができ るように構成し配置され前記格子部材密封部分の接合部の密封手段を形成する舌 状体とを備えた請求項６記載のクリーンルーム環境提供システム。
8. ８．前記各格子部材にさらに、 ａ）前記格子部材構造上部区間を貫いて延びこの格子部材構造上部区間内に前記 格子部材の第１端部に近接して別の格子部材との境界面用の充てん材の注入がで きるようにした穴と、 ｂ）前記の格子部材の第１端部に位置し前記境界面のまわりに充てん材が漏れる ことができるようにする複数の突起と、 ｃ）前記格子部材構造上部区間内に位置しこの構造上部区間内に所定容積の充て ん材を入れることのできる充てん材停止手段とを設け、 ｄ）前記の所定容積の充てん材を前記穴を経て前記構造上部区間内に注入したと きに、或る量の充てん材を前記各突起を過ぎて前記格子部材構造上部区間から外 に付勢するようにし、 ｅ）前記充てん材の漏れにより前記各格子部材間の前記境界面を密封するように した 請求項１記載のクリーンルーム環境提供システム。
9. ９．ａ）前記格子部材に、前記格子部材上部室内に負圧空洞を生成する手段を備 えた選択的に作動できる側壁穴を設け、 ｂ）前記格子部材下部水平横部材に、前記の上部室及び下部室の間に延びる穴を 形成し、この穴により前記の上下の室の間に空気が流れることができるようにし 、 ｃ）前記格子部材負圧空洞に前記格子部材の上下の室内からろ過されない空気を 除く手段を設けた請求項５記載のクリーンルーム環境提供システム。
10. １０．前記格子部材密封部分にさらに、ａ）前記格子部材の長手に沿つて延び所 望のクリーンルーム格子システムパターンに従つて前記格子部材密封部分の正確 な切断を容易にする軸線方向に向いたみぞを設けた請求項５記載のクリーンルー ム環境提供システム。
11. １１．前記フイルタパネルを前記戻り止め手段に支えるように構成し配置した横 方向に突出する上部周辺方向フランジを持つフィルタパネルを備えた請求項１記 載のクリーンルーム環境提供システム。
12. １２．上部周辺方向フランジが大体においてＵ字形の横断面を持ち密封材トラフ を壁間に仕切る第１及び第２の壁を持つようにし、前記密封材トラフに前記格子 部材密封部分と協働して前記フイルタを密封する手段を設けた請求項１１記載の クリーンルーム環境提供システム。
13. １３．前記上部周辺方向フランジが大体においてＷ字形の横断面を持ち少な（と も１つの密封トラフを間に仕切る第１、第２及び第５の壁を備え、前記の第１及 び第３の壁の間に位置する前記第２壁に前記フイルタパネルの上方に位置する空 洞部材を支える手段を設け、前記密封材トラフに前記の格子部材及び空洞部材と 協働して前記フイルタパネルを密封する手段を設けた請求項１１記載のクリーン ルーム環境提供システム。
14. １４．前記各フイルタパネルに側壁及び下部周辺方向フランジを設け、前記側壁 が前記の上部周辺方向フランジ及び下部周辺方向フランジの間に延び、前記フイ ルタパネル側壁により互いに隣接するフイルタパネル間と各フイルタパネル及び 隣接クリーンルーム側壁間とに周辺方向容積を仕切るようにした請求項１１記載 のクリーンルーム環境提供システム。
15. １５．下部周辺方向フランジに、 ａ）前記下部周辺方向フランジから下向きに突出し下部密封手段を持つ実質的に 上下方向に向いた下縁部材と、 ｂ）前記下部周辺方向フランジから下向きに突出しフイルタキヤツプに適合して 組合うように構成し配置した山形面とを設けた請求項１４記載のクリーンルーム 環境提供システム。
16. １６．前記フイルタキヤツプを、前記フイルタパネル下部周辺方向フランジに取 りはずし自在に取付け一般に逆Ａ字形の横断面を持つようにし、前記フイルタキ ヤツプに、 ａ）上端部及び下端部を持つ側壁を備え、ｂ）前記フイルタキヤツプ側壁上端部 を前記フイルタパネルから前記各フイルタキヤツプ側壁への空気流の平滑な転移 ができるように構成し配置し、ｃ）前記各フイルタキヤツプ側壁がフイルタパネ ル空気流軸線から遠ざかる向きに約４°ないし約１２°の傾斜角を持つようにし た請求項１５記載のクリーンルーム環境提供システム。
17. １７．前記フイルタキヤツプを前記フイルタパネル下部周辺方向フランジに取り はずし自在に取付け一般にＶ字の横断面形状を持つようにし、前記フイルタキヤ ツプに、 ａ）上端部及び下端部を持ち少なくとも１つの段付き区間を間に持つ側壁を備え 、 ｂ）前記フイルタキヤツプ側壁上端部を前記フイルタパネルから前記フイルタキ ヤツプ側壁への空気流の平滑な転移ができるように構成し配置し、ｃ）前記各側 壁段付き区間に、 ｉ）前記フイルタパネルからの空気流の軸線に大体直交する向きにした幅仕切り 面と、 ｉｉ）前記フイルタパネルからの空気流の軸線に大体平行に向いた高さ仕切り面 とを設け、ｄ）前記各段付き区間がそれぞれ約１対１．５ないし約１対７の縦横 比を持ち前記のフイルタキヤツプ上端部及びフイルタキヤツプ下端部の間の傾城 に対し空気流うずの場所を制御し前記フイルタキヤツプ下端部の下方のクリーン ルーム空気の実質的に層流の流れが得られるようにする手段を備えるようにした 請求項１５記載のクリーンルーム環境提供システム。
18. １８．前記戻り止め手段と協働し取付けたフイルタパネルを前記格子部材から取 りはずしやすくするようにし上下方向に向いた傾斜突起を持つ側壁を設けたフイ ルタパネルを備えた請求項１記載のクリーンルーム環境提供システム。
19. １９．フイルタパネル受入れ穴を仕切る複数のフイルタパネル支持格子部材を持 ちフイルタパネルを経て空気を送る気密／粒子密に密封したクリーンルーム環境 を提供する、クリーンルーム環境提供システムにおいて、前記各格子部材に、 ａ）上部周辺方向フランジ、下部周辺方向フランジ及びこれ等の両フランジ間に 延びる側壁を持ちこのフイルタ側壁により互いに隣接するフイルタパネル本体間 と各フイルタパネル本体及び隣接クリーンルーム側壁の間とに周辺方向容積を形 成するようにしたフイルタパネルと、 ｂ）ｉ）イ）それぞれ上端部及び下端部を持ち前記上端部を対向側壁部材に向か い大体において直交する向きに曲げ前記各折曲げ上端部により各側壁間に天井取 付手段を位置させることのできる空間を仕切り又前記各側壁部材下端部にそれぞ れ格子部材構造上部区間本体から下向きに延びる格子部材密封部分を設け、格子 部材本体によりナイフエツジ形密封手段を形成するようにした上下方向に向いた 互いに対向する２つの側壁部材と、 ロ）これ等の各側壁部材間に位置しこれ等の各側壁部材と共に大体長方形の横断 面を持つ格子部材上部室を形成する上部水平横部材及び下部水平横部材と、ハ） 複数の格子部材本体を容易に連結し種種の格子パターンを形成するようにした連 結手段と、ニ）互いに連結した複数の格子部材本体の境界面を密封する密封手段 と、 を備えた構造上部区間と、 ｉｉ）前記穴に隣接しこの穴にクリーンルームから前記フイルタパネルを挿入で きるようにした第１の圧縮位置と前記穴内に延びばねクリツプ本体により前記フ イルタパネルを支えるように作動できる第２の位置との間に位置決めできるよう に取付けたばねクリツプを持つ細長い上下方向に向いたフイルタ取付け下部区間 とを持つフイルタパネル支持格子部材と、ａ）前記クリーンルーム内に空気の実 質的な層流が生ずるようにした手段と、 を設けた、クリーンルーム環境提供システム。
20. ２０．ａ）前記格子部材フイルタ取付け下部区間に向き合うように前記各フイル タパネル側壁に位置させた上下方向に向いた傾斜突起と、 ｂ）ｉ）ハンドル部分と、 ｉｉ）このハンドル部分に取付けた水平に向いたフイルタパネル支持部分と、 ｉｉｉ）前記の傾斜突起及びばねクリツプに衝合するように構成し配置した複数 の上下方向に向いた複数の板を持ち前記フイルタパネル支持部分に取付けられ前 記ばねクリツプフイルタ衝合区間上端部を前記フイルタパネル上部周辺方向フラ ンジに支持作用を伴つて係合する状態から前記フイルタパネルが解放されその自 重により前記フイルタパネル支持部分上に下向きに移動する前記第１圧縮位置に 作動的に位置させるばねクリツプ位置決め部分とを持つフイルタパネル取りはず し工具とを備えた請求項１９記載のクリーンルーム環境提供システム。
21. ２１．天井により仕切られたクリーンルームと床とこれ等の間に延びる各側壁と から成る気密／粒子密に密封したクリーンルーム環境を提供する、クリーンルー ム環境提供システムにおいて、前記クリーンルームに前記クリーンルーム天井の 下方に或るパターンに配置した複数の天井取付け格子部材を持つ天井格子フイル タシステムを設け、前記天井格子パターンにフイルタパネルを受入れるのに適当 な複数の穴を形成し、前記各フイルタパネルを前記各穴を仕切る前記格子部材の 部分に取付け、前記各フイルタパネルに供給空気を受けるように構成し配置した 上端部と前記クリーンルーム内にろ過された空気を放出するように構成し配置し た下端部と各フイルタパネル側壁とを設け、前記各フイルタパネル側壁により互 いに隣接するフイルタパネル間と各フイルタパネル及び隣接クリーンルーム側壁 間とに周辺方向容積を仕切り、前記天井格子フイルタシステムにそれぞれ上端部 及び下端部を持ち前記各フイルタキヤツプ上端部を前記各フイルタパネル下端部 に取りはずし自在に取付けることができ、前記クリーンルーム内に下向きに延び る前記フイルタキヤツプに前記周辺方向容積を密封し前記フイルタキヤツプ下端 部の下方にクリーンルーム空気の実質的に層流の流れを生ずる手段を設けた、ク リーンルーム環境提供システム。
22. ２２．前記各フイルタキヤツプに、 ａ）前記フイルタパネルから前記フイルタキヤツプ側壁への空気流の妨げられな い転移ができるように構成し配置したフイルタキヤツプ上端部と、ｂ）大体Ｖ字 形の横断面を持ちフイルタパネル空気流軸線から遠ざかる向きに約４°ないし約 １２°の傾斜角を持つフイルタキヤツプ側壁と を設けた請求項２１記載のクリーンルーム環境提供システム。
23. ２３．前記フイルタキヤツプに、前記フイルタパネル下端部と協働し密封部を形 成するようにした密封手段を内部に受入れるように構成し配置した少なくとも１ つの大体水平に向けた横部材を設けた請求項２２記載のクリーンルーム環境提供 システム。
24. ２４．前記各フイルタキヤツプに、 ａ）前記フイルタパネルから前記フイルタキヤツプ側壁への空気流の妨げられな い転移ができるように構成し配置したフイルタキヤツプ上端部と、ｂ）ｉ）前記 フイルタパネルからの空気流の軸線に大体直交する向きに向けた幅仕切り面とｉ ｉ）前記フイルタパネルからの空気流の軸線に大体平行に向けた高さ仕切り面と を持つ前各側壁内の少なくとも１つの段付き区間とを設け、 ｃ）前記各段付き区間が前記のフイルタキヤツプ上端部及びフイルタキヤツプ下 端部のクリーンルーム空気のうずを制御する制御手段を持ち約１対１．５ないし 約１対７の縦横比を持つようにした請求項２１記載のクリーンルーム環境提供シ ステム。
25. ２５．それぞれ内部室を仕切る上下方向に向いた又水平方向に向いた壁部分を持 つ複数の境界面形成格子部材を気密／粒子密に密封する、密封システムにおいて 、前記各格子部材に、 ａ）前記格子部材の壁部分を貫いて延び別の格子部材に対し境界面を持つように した前記格子部材の第１の端部に近接して前記格子部材内部室内に充てん材を注 入できるようにした穴と、 ｂ）前記格子部材の前記第１端部に位置し前記境界面を過ぎて充てん材を漏れさ せることのできる複数の突起と、 ｃ）前記格子部材内部室内に位置し所定容積の充てん材を前記内部室内に注入で きるようにした充てん材停止手段とを設けて、 ｄ）前記所定容積の充てん材を前記穴を経て前記内部室に注入したときに、或る 量の充てん材を前記各突起を過ぎて前記内部室から外に付勢するようにし、ｅ） 前記充てん材の漏れにより前記の複数の格子部材の間の境界面を密封するように した 格子部材境界面を密封する、密封システム。
26. ２６．前記充てん材停止手段に充てん材杯状体を設け、この充てん材杯状体を前 記格子部材内部室内に挿入するように構成し配置し、前記充てん材杯状体に、ａ ）前記格子部材の第１端部に適合して組合う唇状保持手段と、 ｂ）充てん材を経て注入できる穴を仕切る側部部分と を設けた請求項２５記載の密封システム。