JPH03501532A - 低歪み線形可変変位変成器 - Google Patents

低歪み線形可変変位変成器

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JPH03501532A
JPH03501532A JP2505240A JP50524090A JPH03501532A JP H03501532 A JPH03501532 A JP H03501532A JP 2505240 A JP2505240 A JP 2505240A JP 50524090 A JP50524090 A JP 50524090A JP H03501532 A JPH03501532 A JP H03501532A
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pole
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ハルシング、ランド・エイチ、ザ・セカンド
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サンドストランド・コーポレイション
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
低歪み線形可変変位変成器 11九1 本発明は一般に、2つの構造の相対変位を検知する装置及び方法に属し、特に、 磁極片の運動に上り生ぜしめられる変成器内の2つの二次コイル間の磁束分布の 結果として上記変位を表す信号を発生する変成器に関する。 li免fi 線形可変変位変成器(LVDT)は、装筺内の差動運動を監視するためにしばし ば用いられている。従来の典型的なLVDTは、その中心脚部に配置された一次 コイルと、それぞれが両端で他の2つの脚部の1つを取り巻いて配置された2つ の二次コイルとを有する8字形のコアを具備する。コアと近似的に同じ長さであ る磁極片が、中央脚部と2つの端脚部間との間で磁束を伝導する。非常に小さい ギャップが、磁極片を、コアの3つの脚部の各々の外向きの端から分離している 。磁極片がコアの一端から他端に運動するに伴い、該磁極片は端脚部の内の1つ を経る磁束を他の端脚部を経る磁束よりも大きく結合し、2つの二次コイルに差 電気信号(電圧または電流)を発生する。2つの二次コイルに接続されている回 路が、差電圧成るいは電流を復調し、装置の2つの部分の変位、即ち、コアに対 する磁極片の変位を表す信号を発生する。 債用のLVDTと関連する問題の1つに、コアに対する磁極片の回転に対する感 度という問題がある。@極片が回転するに伴い、端脚部の1つと磁極片との間の ギャップが減少し、他方の端脚部と磁極片との間のギャップが増加する。磁極片 とコアの相対1Δ
【級の正確な検出は、磁極片と各端脚部との間の分離間隔もし くはギャップがE」1旦!Lv−ことを前提条件としている。磁極片と各端脚部 との間のりラフタンスは、このギャップ間隔を、磁極片が重なる端脚部の横断面 積で除したものに比例する。従うて、コアに対する磁極片の相対変位は、重なり 断面積エエを変化すべきであってギャップ間隔を変化すべきではない、しかしな がら、磁極片が取り付けられている装置の運動は、本来的に、磁極片をして僅か ながら回転せしめ得る。磁極片が回転すると、二次コイルから得られる差信号が 歪み、その結果、最早や差信号は、コアに対する磁極片の縦軸方向変位を正確に 表示しなくなる。 1m 本発明によれば、変位を表す信号を発生するための装置が提供される。電磁コア は一次脚部と2つの二次脚部とを具備する。−次磁極は、2つの二次脚部の隣接 対向面に形成されている2つの二次磁極からギャップにより分離されて、−次脚 部に形成される。コアの一次脚部を取り巻いて一次コイルが配置され、他方、二 次コイルは二次脚部の各々を取り巻いて配置される。−次コイルは、電源に接続 されて、−次磁極を二次磁極から分離する2つのギャップを横切り磁界を発生す るように適応されている。 2つの磁極片が設けられ、各磁極片は概ね1つのギャップ内に配置される。磁極 片が変位すると、各磁極片が一次磁極と二次磁極の内の1つとの間のギャップ内 に存在する度合いもしくは程度が変わることにより各ギャップを横切る磁束に対 するリラクタンスが変化する。 磁極片の変位に起因するりラフタンスの変化で、コア内を流れる磁束により各二 次コイルに誘起される電気信号が実質的に線形に変化する。 装置の1つ′の好適な形態においては、磁極片は、コアの縦軸方向の中心を通る 平面と概ね整合した方向でギャップに出入りする0本発明の別の態様によれば、 磁極片は、上記平面をほぼ横切る方向でギャップに出入りする。 装置は、更に、二次コイルに誘起される電気信号を監視するために該二次コイル に接続された検出器手段を備えることができる。この検出器手段は、ギャップ内 の磁極片の位置の変化に伴い変位の関数として変化する出力信号を発生する。検 出器手段は、2つのギャップ内の磁極片の差動変位に起因し、二次コイルにより 発生される電気信号の差に応答する。更に、検出器手段は、電源から一次コイル に印加される電流の大きさを制御するための自動利得制御部を具備することがで きる。−次コイルによって発生される全磁束を一定に維持するために、自動利得 制御部は、二次コイルに誘起される電気信号の和に応答し、−次コイルに印加さ れる電流を調整する。 磁極片は、概ね、コアとは異なる厚さを有するのが好ましい四辺形のブロックで ある。厚さにおけるこの差に由り、ギャップ内の磁束に対するリラクタンスは、 磁極片の厚さが測定される方向と整合した方向における磁極片の変位による影響 を殆ど受けない。ギャップ内の磁束に対する磁極片のリラクタンスは、不整合が 磁極片をして一次または二次磁極と接触せしめない(If擦誤差を生ぜしめない )限り且つ該不整合が、これら磁極に対する磁極片の重なり程度もしくは度合い を減少しない限りにおいて、−次磁極及び二次磁極に対するいずれの磁極片の不 整合により実質的に左右されることはない。 本発明の他の様相は、装置の上述した構成要素の機能に関する段階を含む差動変 位を検知するための方法に向けられている。 堕工旦1単な説1− 第1図は、従来のLVT)Tの倒立面図、第2A図は、本発明によるLVDTの 第1の実施例の倒立面図であって、差動変位を監視するために該LVr)Tが取 り付けられる平行四辺形枠を概略的に示し、第2B図は、上記第1の実施例の端 面図、第2C図は、第2A図及び第2B図の実施例の線形変位をほぼ横切る方向 における磁極片の正確な変位を検知するように改変された21実施例の端面図、 ff3図は、本発明の第2の実施例の倒立面図、第4図は、茅3の実施例の倒立 面図、 第5図は、第4の実施例の倒立面図、 第6図は、第5の実施例の倒立面図、 第7図は、−次及び二次磁極間における磁極片の心出しに対する本発明装置の劣 屯感性を図解するために一次磁極と二次磁極との間のギャップ内に位置する磁極 片を概略的に示す図、 第8図は、ギヤツブ匹における磁極片の回転不整合に対する本発明装置の鈍感性 を図解するために一次磁極及び二次磁極間のギャップ内に位置する磁極片を概略 的に示す図、そして 第9図は、二次コイルに誘起される電気信号を監視し一次コイルに印加される電 流の自動利得制御を行うのに用いられる制御回路の簡略ブロック・ダイヤグラム である。 適な、施俤の説明 第1図には、構造の変位を監視するのに用いられる従来の装置を一般的に代表す るLVDTIOが示しである。 本明細書での開示並びに請求の範囲の記載で用いられている術語「構造jは、互 いに相対的に運動する2つの別。 個の部材を含む任意の構造形惑成るいは互いに相対的に運動する2つの離間した 点を有する単一の部材を包摂するものであり、上記部材または部材上の点の変位 が、LVDTを以て監視しようとするパラメータである。第1図に示しである従 来の装置は、8字形のコア12を備えている。8字形と称したのは、その形態が 文字rEJに類似しているからである。E字形コア12の中心部からは一次脚l B14が延びており、該−次脚部】4には、−次コイル16が巻装されている。 交流t[(図示せず)が−次コイル16に接続されており、該−次コイルを流れ る電流は、該−次コイルをして、磁極面18に、周期的に変化する極性を有する 磁界を発生する。 E字形コア12はまた第2の脚部20及び22を備えており、これら脚部にはそ れぞれ二次コイル24及び26が配置されている。B字形コア12と近似的に同 じ厚さを有し、長さが若干短い磁極片28が二次脚部20及び220面からそれ ぞれギャップgl及びg2だけ離間して、磁極面18に近接して配置されている 。磁極片28は、比較的高い透磁率を宵する強磁性材料から形成されているので 、−次脚部14からの磁束の大部分は、−次及び二次脚部を分離している空気を 通らずに磁極片28を通って二次脚部に達する。二次脚部22を通る磁束に対し 二次脚部20を通るこの磁束の比率もしくは割合は、磁極片が二次脚部のそれぞ れの端部に重なる度合いの関数である。磁極片28が、(第1図に示した配位で )上向きに変位すると、該磁極片28が二次脚部22に重なる度合いは減少する 。従りて、−次コイル16からの磁束のうち二次脚部22内に流入する磁束より も大きい部分が二次脚部20に流入し、その結果、二次コイル26におけるより も二次コイル24により大きな電気信号(電圧または電流)が誘起される。従っ て、二次コイル24及び26に誘起される電気信号間の差が、E字形コア12に 対する磁極片28の相対変位を表す。 L V D T 10がE字形コア12に対する磁極片28の回転を検知するよ う企図されていない場合、理想的には、二次コイル24及び26に誘起される電 気信号間の差は、矢印30で示した方向に沿う磁極片28の線形変位だけに依存 すべきである。しかしながら、磁極片28が回転し、その結果ギャップgl及び g2が変化すると、二次コイル24及び26の各々に誘起される電気信号に対応 の変動が生ずる。特に、磁極片28の回転が原因でギャップglが増加しギャッ プg2が減少すると、二次脚部22内の磁束の増加に起因しより大きな電気信号 が二次コイル26に誘起され、それと対応的に、二次脚部20内の磁束の減少に 起因し二次コイル24には小さい電気信号が誘起されることになる。従つて、二 次コイル24及び26内に誘起される電気信号の差は歪まされ、矢印30の方向 ・におけるE字形コア12に対する磁極片28の相対線形変位だけを忠実に表す ことは最早※出来ない、これと対照的に、本発明は一般にこのような回転に対し 鈍感である。 本発明によるLVDT5Gの第1の実施例が第2A図及び第2B図に示しである 。このLVDT50も、中心部に、−次コイル54が巻装されている一次脚部5 6並びに両端部に配置されている二次脚部58及び60ををするE字形コア52 を具備する。二次脚部58及び60にはそれぞれ二次コイル62及び64が巻装 されている。二次脚部58及び−次脚部56の2つの対面する表面間にはギャッ プ66が画定されている。同様にして、−次脚部56の反対側の表面と二次脚部 60の対面する表面との間にはギャップ68が画定される。 磁極片70はギャップ66内に配置され、そして磁極片72は、ギャップ68内 に配置され、これら磁極片の各々の少なくとも一部分は、E字形コア52の二次 脚部及び−次脚部の隣接する対向表面と重なり合う。本実施例並びに追って述べ る各実施例において、磁極片は、一般にコアとして用いられる同一種の高透磁率 μの強磁性積層材料の部分からなるのが有利であるほぼ四辺形のブロックである 。 周期的に変化する電流を一次コイル54に印加することによりE字形コア52に は磁束が発生される。磁極片70及び72は、該磁束を二次脚部58及び6oに 結合する。各二次脚部を循環する磁束の部分は、磁極片70及びフ2の各々がギ ャップ66及び68内に位置する度合いもしくは程度に依存する。第2図に示し た配位では、磁極片70がギャップ60内に更に深く移動すると、該磁極片70 と一次脚部56及び二次脚部580対向表面との賞なりの程度は増加する。 空気の透磁率と比較して、磁極片70の透磁率は高いために、ギャップ内の磁束 に対するリラクタンスが減少し、その結果、比例的に大きい磁束が二次脚部58 に流れる。 更に移動すると、ギャップ内の磁束に対するリラクタンスが増加し、二次脚部6 0内の磁束の比率が減少し、二次コイル64に誘起される電気信号が小さくなる 。磁極片フ2がギャップ68から更に出る方向に並進するのと同時に磁極片70 がギャップ66内に更に入る方向に並進すると、二次コイル62及び64に誘起 される電気信号間に差が発生し、この差は、磁極片70及び72の変位差に比例 する。同様に、磁極片70及び72が反対方向に移動すると、二次コイル62及 び64内に誘起される電気信号間の差は、対応的な仕方で変化する。第2A図に 示しである矢印74は、LVDT50の1つの好適な形態において、磁極片70 及び72がギャップ66及び68内でそれぞれ前後に移動する方向を表す。 1、VDT50を、構造の変位を監視するのにどのようにして用いることができ るかを図解するために、装置は、第2A図に図示しであるように平行四辺形のフ レームもしくは枠76に接続されている。平行四辺形枠76の両側で、2つの垂 直のl!S材80が、撓み性ピボット86により各端部で水平部材82並びに中 央の固定部材84に連結されている。 駆動装置f(図示せず)が、平行四辺形枠76の一側に接続されて、水平部材を して、矢印74で示す方向で前後に振動せしめる。磁極片70及び72は、ボル ト90によつて平行四辺形枠の水平部材に連結されそおり、それに上り、磁極片 は、平行四辺形枠が前後に振動するに伴い該平行四辺形枠と共に運動する。E字 形コア52は、ボルト88により固定部材84に連結されておって、水平部材8 2並びに磁極片70及び72の前後運動に関係なく静止状態に留どまる。 、磁極片の変位により二次コイル62及び64に誘起される電気信号間の差は、 平行四辺形枠76をして前後に振動せしめる駆動装置を制御するための帰還信号 として用いることができる。第1図に示した!、VDTIOに類似の従来のしV DTは、この目的で、本発明と同一の被譲渡人に譲渡されている米国特許第4. 782,700号明細書に開示されているようにコリオりのレート(Corio lis rate)及び加速度センサに用いられているものである。 12B図において明らかなように、磁極片の横断面は、(第2A図において矢印 74の方向を横切る方向に測定して)コアの横断面よりも相当に薄い。その結果 、磁極片70または72は、それぞれギャップ66及び68内でいずれかの側に 、即ち磁極片の厚さを測定した方向に僅かに変位し得るが、ギャップを横切る磁 束に対するリラクタンスに影響を与えることはない、別法として、1・:字形コ ア5セを磁極片よりも相当に薄くすることにより同じ結果を達成することができ る。以下に述べる本発明の他の実施例にも一般に当て嵌まることであるが、ギャ ップ内の磁極の不整合は、該不整合が、−次脚部及び二次脚部の隣接する対向表 面と磁極片の横断開型なり度合を変化する程に大きい場合にしか上にギャップの 磁束に対するリラクタンスに影響を与えることはない。 第2C図は、E字形コア52゛の一次脚部56°を貫通する軸線を中心に回動す る部材(図示せず)の、例えば前後運動に起因するギャップ66°及び68′内 の磁極片70′及び72°の正確な変位を表す信号を発生する変形L V D  T 50°を示す。該L V D T 50’は、−次脚部56°並びに二次脚 部58゛及び60°の対向表面が、矢印92により概略的に示すように磁極片7 0′及び72°がそれを中心に変位する軸に心出しされている円弧として形成さ れており、しかも磁極片が互いに整列していない点を除いて、LVDTSOと同 じである。ギャップ66°及び68°内の磁極片70°及び72°の運動は、E 字形コア52′の中心を通る平面94を実質的に横切る方向である。(本開示説 明並びに添付の請求の範囲の記載の目的で、磁極片の変位によって描かれる円弧 は、コアの中心を通る平面に交差する箇所における円弧に対する接線が該平面を 横切る場合に、該平面を横切る方向にある。)また、第2B図及び第2C図から 明らかなように、L V D T 50は平面94を横切る方向における磁極片 の線形前後運動の検知を容易にするために、E字形コア52を磁極片70及び7 2と同じ厚さするように変形することも可能であろう。 次に第3図を参照すこに、この図には、本発明の第2の実施例が、総括的にL  V D T 100として示しである。 該L V D T 100i1.2つの二次脚部10B 及ヒ10g+、:接続 すれた一次脚部104を宵するH字形のコア102を備えている。 −次コイル110が一次脚部104を取り巻いて形成されており、そして二次コ イル112及び114がそれぞれ二次脚部106及び108を取り巻いて配置さ れている。−次脚部104は、二次脚部106及び108の対向表面に対しギャ ップ116及び118を形成している。ギャップ116内には磁極片120が配 置され、そしてギャップ118内には磁極片122が配置されている。H字形コ ア102は、ボルト124により基板(図示せず)に連結されており、他方、磁 極片120及び122は、矢印128によって示される方向で)1字形コア10 2に対し変位される構造にボルト126によって連結されている。 先に述べた実施例とは異なり、LVDTlooは、同じ方向における磁極片12 0及び122の変位を検出するのに有用である0例えば、磁極片120が上方向 に移動すると、該磁極片がギャップ116内に位置する比率は小さくなり、その 結果ギャップ116を横切る磁束に対するリラクタンスは増加し、他方同時に、 磁極片】22が上向きに移動してギャップ11g内に更に侵入することにより、 該ギャップ118内の磁束に対するリラクタンスは減少する。従うて、二次脚部 106を通る全磁束の割合並びに二次コイル112に誘起される対応の電気信号 と比較して、−次コイル110により発生される全磁束の大きな部分が二次脚部 10gを通り、二次コイル114には相応に大きい電気信号が誘起される。この ようにして、2つの二次コイルに誘起される電気信号間の差は、ギャップ116 及び118内の磁極片120及び122の変位を表す。 第4図には、本発明によるLVDTの第3の実施例が参照数字150で示しであ る。このしV D T 150は、S字形状のコア152を備えている。該コア 152は、互いに反対方向に面するように連結された2つのC字形状のコア15 4a及び154bから適宜構成することができる。C字形状のコア154a及び 154bは、それぞれの積層シートを交互に部分的に重ね合わせるがまたはエポ キシのような適当な接着剤を用いて隣接する縁を接着固定することにより結合す ることができる。このように2つのC字形状のコアを使用することにより、−次 コイル15GをC字形のコアの連結された側部に挿入するのが容易になる。と言 うのは、−次コイル156を予め巻装しておいて、C字形のコアを結合する際に 所定位置に滑り入れることができるからである。その結果得られるS字形状のコ アX52の両端は、それぞれ二次コイル162及び164が配置されている二次 脚部15g及び16Gを具備することになる。二次脚部158の内面と一次脚部 155の対向面との間にはギャップ166が画定される、同様にして、二次輝部 160の内面とC字形コア154bの対向面との間にはギャップ168が画定さ れる。磁極片170はギャップ166内に配置され、磁極片172はギャップ1 68内に配置される。ギャップ166及び16g内における2つの磁極片の差動 変位で二次脚部158及び160の各脚部と一次脚部155との間における磁束 に対するリラクタンスが変化する。 S字形コア152は、構造(図示せず)の一部分にボルト174により連結され 、そして磁極片は、矢印178で示す方向において前後に移動するように上記構 造物の他の部分にボルト176によって連結される。磁極片170がギャップ1 66内に更に深く移動するに伴い、磁極片172はギャップ168から更に大き く退出する。その結果、磁極片170及び172を通る一次コイルによって発生 される磁束部分は、二次脚部158及び160並びに−火脚部1550対向する 面と磁極片との重なり程度の関数として変化する。磁極片の変位によりで惹起さ れるギャップ166及び168内のリラクタンスの変化で、二次脚部158及び 160を通る磁束が変化し、それに上り、二次コイル162及び164に誘起さ れる電気信号が変化する。従って、これら2つの電気信号間の差が磁極片170 及び172の差動変位を表示する。 第5図に示しである第4の実施例においては、L V D T 200はほぼ矩 形のコア202の下側;19分に沿って延在する・−火脚部204を具備する。 二次脚7M<206及び208は、−火脚部204の根状部分もしくはスタブ部 分216から離間して、コア202の各側から互いに内向きに延在している。 −次コイルは一次脚部204上に配置されて、等しいターン数を有するが互いに 逆に直列巻きされた2つの部分210a及び210bに分割されている。−次コ イルのこれら2つのの部分はそれぞれ、コアの各側部に隣接してスタブ216の 1つに嵌挿されている。−火脚部204は、−次コイル210を所定位置に挿入 した後に、スタブ216の下表面に接着剤で取り付けることができ、その場合に は、−次コイルを所定位置に直に巻装する必要はない、別法として、スタブ21 6の領域でコアの積層シートを交互に部分的に重ね合わせることにより一次脚部 204をコア202の残りの部分に連結することもできる。二次コイル212及 び214は、それぞれ、二次脚部206及び208に配置されている。二次脚部 206及びスタブ216の1つの対向面間に形成されるギャップ218内1こは 磁極片222が配置され、他方、コア202の反対側で二次脚部208と他方の スタブ216の対向する面間に形成されるギャップ220内には、磁極片224 が配置される。−次コイル210は、周期的に変化する電流で付勢され、それに よりコア202を循環する磁束が発生する。 スタブ21Gは、二次脚部206 及び208の対向面の極性とは反対の共通の磁気極性を有する。 ギャップ218及び220内の磁極片222及び224を流れる磁束は、二次脚 部206及び208内に伝導されて、二次コイル212及び214に対応の電気 信号を誘起する。磁極片222及び224が、矢印220で示す方向において側 部から側部に変位するに伴い、ギャップ21g及び220を通る磁束に対するリ ラクタンスは、磁極片222及び224が二次脚部及びスタブ216の対向面に 重なる度合の関数として変化する。 1つの磁極片がギャップの1つに更に深く 入ると、他方の磁極片は他方のギャップから更に大きく退出し、その結果、−次 コイル210a及び210bによって発生される全磁束は、磁極片222及び2 24の変位に比例して二次脚部2f)6と208との間で分割される。コア20 2を、構造(図示せず)の一部分に取り付けるのにボルト226が用いられてお り、他方、磁極片222及び224を構造の他の部分に固定するのにボルト22 8が用いられている。従って、二次コイル212及び214に誘起される電気信 号間の差は、ギャップ内の磁極片の相対変位に応答して変化する。 最後に、本発明による第5の実施例を第6図に示すL V D T 205と関 連して説明する。コノL V D T 205は、L V D T 200に類 似する矩形形状を有するコア252を具備する。 コア252は、第1の分枝2 56と第2の分枝258とに分割された一次脚部254を備えており、該分枝2 56及び258の端部は、コア252の他側から内向きに延びる二次脚部260 及び262にに対向して配置されている。−次コイル264は、−火脚部254 の基部に@装されておって、ギャップ270及び272を横切り磁束を発生ずる 。これらギャップはそれぞれ、−火脚部の第1の分枝256を二次脚部260か ら、そして第2の分枝258を二次脚部262から分離している。二次コイル2 66及び268は、二次脚部260及び262内を循環する一次コイル264に 上つて発生された全磁束の部分に応答して電気信号を発生する。磁極片274及 び276は、ギャップ270及び2フ2内に配置されておって、これらギャップ を横切る磁束に対するリラクタンスは、これらギャップ内の磁極片の変位の関数 として変化する。磁極片274及び276の内の1つの磁極片が1つのギャップ 内に更に深く侵入すると、他方の磁極片は更に退出し、それ誘起される電気信号 が変化する。二次コイル266及び268に誘起される電気信号間の差は、従っ て、磁極片274及び27Gの差動変位を表す。磁極片は、矢印28(lで概略 的に示す方向においてギャップ270及び272内で往復動する。しかしながら 、磁極片は、点線で示した磁極片278の位置によって示すように同じ方向酸る いは逆の方向において同時に運動するように配設することができる。図示の位置 から明らかなように、点描磁極片278は、!Qi片27Gが左に移動するに伴 い右に移動する。 コア252は、構造(図示せず)の所定位置にボルト284によって固定され、 磁極片274及び276にはボルト286により構造の他の部分が接続される。 言うまでもないが、磁極片274及び276が互いに反対の方向に移動する場合 には、これら磁極片は1つの共通の部材に結合することはできない。 任意選択的事項であるが、破線288で示すように、コア252の(左側部を含 む)部分290は切除しても良いしまたはコアをこの部分を有しないように形成 しても良い。と言うのは、コア252の右半分が、−火脚部254の一端と二次 脚部260及び262の各脚部との間に必要な磁気接続もしくは結合を与えるか らである。 このようにコア252の部分290を除去もしくは削除することに より、−側からアクセスすることができ、−次コイル262を所定位置に巻装す ることが容易になる。 第7図を参照するに、この図には、(上に開示した好適な実施例の内の任意の実 施例における一次及び二次脚部を代表する)−火脚部300の一部分及び二次脚 部302の一部分が代表的な磁極片304と共に示しである。−次及び二次脚部 間のギャップ306を横切る磁束に対する全リラクタンスは、次式によって定義 される。 Rtotal−XI/μm+t、t/μAツ(gt + gt)/μ^ (1) 上式中、g、は磁極片304と二次脚部302との間の間隔であり、hは一次脚 部300と磁極片304との間の間隔であり、μは、磁極片の相対透磁率であり 、モしてAは磁極片304と二次脚部302及び−火脚部300の隣接対向部分 との間における重なり面積である。ギャップ306の全幅はdに等しく、磁極片 304の全幅はWに等r、 < 、従って、d−vmgt+g、であり、一定で ある。従って、磁極片304は、二次脚部302と一次300との間のギャップ 306内で垂直方向で上下に並進して、ギャップ306内の磁束に対するリラク タンスを変えることなくgt及びhの相対大きさを変化することができる。垂直 位置、即ち磁極片304のギャップ内における垂直方向の心出しに対する唯一の 制約条件は、その垂直位置が重なり面積Aを変えないこと、並びに磁極片が二次 脚部302成るいは一次脚部300に接触しないことである。と言うのは、この ような摩擦接触で、LVDTに上り監視される変位が干渉を受ける可能性がある からである。 同様に、第8図を参照するに、この図には、代表的な磁極片304が配置される ギャップ306を画定する代表的な一次及び二次脚部300及び302の部分が 再度示しである。 この図は、ギャップ306を横切る磁束に対するリラクタンスが、−次及び二次 ギャップの中心を通る平面を横切る軸線30gを中心とする小さい角度θの磁極 片304の回転によっては実質的に変化しないことを示している。この場合にも 、軸線308を中心とする磁極片304の回転が、二次脚部302及び−火脚部 300の対向面に対する磁極片304の重なり面積を有意味なほどに変化しない という制約が課せられる。ギャップ内における磁極片の小さい回転角θに対して 、11間隔g、における減少は、上に定義したれる。従って、重なり面積が変わ らない限り、そして磁極片304が一次脚部成るいは二次脚部のいずれとも接触 しない限り、ギャップ306内の磁極片の小さい回転不整合の、ギャップを横切 る磁束に対するリラクタンスに対する作用は実質的に零である。このように回転 不整合に対する鈍感性は本発明の総ての実施例について当て嵌まる。 上に開示したLVDTの総ての実施例と共に使用することができる制御回路が第 9図に参照数字350で示しである。案際上、制御回路350は、−次コイルと 2つの二次コイル間の結合に差動的変化を生ぜしめる変位に応答し、差電気信号 を与えるように接続された一次コイルと2つの二次コイルとを具備するLVDT であれば実質的にどのLVDTとも共に使用することは可能である。従って、L VDTは、−次コイル354を2つの二次コイル356及び358に磁気結合す るように設けられているコア352を具備する。−次コイル354は周期的に変 化する電流で付勢されて、二次コイル356及び358に対応の電圧を誘起せし める。別法として、制御回路350は、二次コイルに誘起される電流に応答する ように実現することもできる。制御回路350は自動利得制御部400を備えて おって、変位を表す出力信号を発生するように動作する。上述のように、2つの 二次コイルにおける相対的誘起電圧は磁束を各二次コイルに結合するリラクタン スに対応する。 電源360がリード線362により電圧制御乗算器364に接続され、該電圧制 御乗算器の出力はリード線366により一次コイル354に接続される。電源の 他側並びに−次コイル354及び二次コイル356及び358の一側は接地リー ド線368に上り地気に接続される。二次コイル356の他側には、リード線3 70が接続されておって、差動増幅器3フ2の非反転入力及び加算増幅器378 01つの入力端に電流を供給する。同様に、二次コイル358の他側は差動増幅 器3720反転入力端及び加算増幅器378の他方の端子にリード線374によ って接続されている。差動増幅器372の出力はリード線376に現れ、−次コ イル354により発生される磁束の結合の結果として二次コイル356及び35 8に誘起される電圧間の差に対応する差信号を表す。このようにして、リード線 376は、LVDTが取り付けられている装置の変位を生ぜしめる駆動部を制御 したり成るいは他の目的で帰還信号として利用することができる出力信号を搬送 する。 リード線382は、加算増幅器378からの出力信号を同期復調器384に搬送 する。この同期復調器384は、リード線362により電源360に接続されて おり、加算増幅器378からの出力信号の復調を可能にする信号を供給される。 復調された信号は、リード線386を介して差動増幅器388の反転入力端に伝 送される。基準レベル信号源390は、安定な基準信号を発生し、この基準信号 は、リード線392により差動増幅器388の非反転入力端に印加される。 リ −ドl1394は復調された信号と基準レベル信号との間の差に対応する差動増 幅器388からの出力信号を自由積分器396に供給する。該積分器396は、 時間の関数として上記差信号を積分して、リード線398上に、乗算器364を 制御するための駆動信号を発生し、それにより、−次コイルに印加される電流は 、全磁束を実質的に一定に維持するように調整される。このようにして、この自 動利得制御で、例えば、磁極片の共通モード変位の結果として起・こり得るよう な磁束に対する全リラクタンスの変化が補償される。例えば、2つの磁極片が同 時にそれぞれのギャップ内に深く侵入する場合には、全リラクタンスは減少し、 自動利得例、御、部400をして、−次コイル、334に印加される電流を減少 する。 以上、好適な実施例及びその変形例に関して本発明を開示したが、当業者には、 以下に記述する請求の範囲内で更に他の変更が可能であろうことは理解されるで あろう、従って、本発明のに囲は、如何なる意味においても本開示内容により制 限されるものではなく、以下に記述する請求の範囲を参照し総合的に決定される ものである。 4罐宅2z互 nに’;y、2B。 θ崎22C9 4に62り ににθ2e・ 補正書の翻訳文提出書く特許法第184条の7第1項)平成 2年11月27日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 排他的所有権または特許権を請求する本発明の構成は下記のように定義される。 1.変位を表す信号を発生するための装置において、(2)電磁コア(52/1 02/152/202/252)含み、該コアは一次脚部(56/104/15 4/204/254)と2つの二次脚部(58,60/106,108/158 ,160/206,/208/258,260)を具備すると共に、それぞれ前 記2つの二次脚部の隣接射向面に形成された2つの二次磁極(58,60/10 6,108/158,160/206,208/258,260)からギャップ (66,68/116,118/166,168/218,220/270,2 72)により分離されて一次脚部上に形成された一次磁極を有し、 (b)コアの一次脚部を取り巻いて配置された一次コイル(54/110/15 6/210/264)を具備し、該一次コイルは、電流源に接続されるように適 応され、該電流は、一次磁極を二次磁極の各々から離間するギャップを横切って 、磁界を発生し、 (c)それぞれが、コアの2つの二次脚部の1つを取り卷いて配置された2つの 二次コイル(62,64/112,114/162,164/212,214/ 266,268)を含み、そして(d)それぞれが、概ね前記ギャップの内の1 つのギャップ内に配置された2つの磁極片(70,72/120,122/17 0,172/222,224/274,276)を含み、前記磁極片の変位で、 一次磁極と二次磁極の内の1つとの間のギャップと共に位置する各磁極片の範囲 を変えることにより各ギャップを横切る磁束に対するリラクタンスを変化させ、 前記磁極の変位に起因するリラクタンスの変化で、前記コア内を流れ且つ前記ギ ャップを横切って流れる磁束により前記二次コイルの各々に誘起される電気信号 を実質的に線形に変化せしめる装置。 2.磁極片が、コアの縦方向の中心を通る平面(94)とほぼ整列する方向でギ ャップに出入りするように連動する請求の範囲第1項に記載の装置。 3.磁極片が、コアの縦方向の中心を通る平面(94)をほぼ横断する方向で前 記ギャップに出入りするように運動する請求の範囲第1項に記載の装置。 4.二次コイルに誘起される電気信号を監視し、ギャップ内の磁極片の位置の変 化に伴い、変位の関数として変化する出力信号を発生するために二次コイルに接 続された検出器手段(350)を更に含む請求の範囲第1項に記載の装置。 5.検出器手段が、二次コイルに誘起される電気信号の差に応答し、該差は、2 つのギャップに対する磁極片の差動変位から得られる請求の範囲第4項に記載の 装置。 6.検出器手段が、一次コイルによって発生される全磁束を実質的に一定に維持 するために、二次コイルに誘起される電気信号の和に応答し前記電流源から一次 コイルに印加される電流の大きさを制御するための自動利得制御部(400)を 具備する請求の範囲第4項に記載の装置。 7.磁極片が概ね四辺形のブロックから構成されて、コアとは実質的に異なる厚 さを有し、それにより、ギャップ内の磁束に対するリラクタンスが、磁極片の厚 さを測定する方向と整合する方向における磁極片の変位により受ける影響を減少 した請求の範囲第1項に記載の装置。 8.ギャップ内の磁束に対する磁極片のリラクタンスが、一次磁極及び二次磁極 に対する磁極片の不整合が、該磁極片をして一次または二次磁極を接触し摩擦誤 差を生ぜしめない限り且つ前記磁極に対する磁極片の重なり程度を変えない限り において、前記一次磁極及び二次磁極に対するいずれの磁極片の不整合によって も実質的に影響を受けない請求の範囲第1項に記載の装置。 9.構造の1つの部分の他の部分に対する並進を検知するための装置において、 共通のコア(52/102/152/202/252)上で2つの二次コイル( 62,64/112,114/162,164/212,214/266,26 8)に磁気結合された一次コイル(54/110/156/210/264)を 含む変成器(50/100/150/200/250)を含み、前記コアは2つ の離間したギャップ(66,68/116,118/166,168/218, 220/270,272)を画定し、前記一次コイルによって発生される磁束は 各ギャップを横切り一対の磁極片(70,72/120,122/170,17 2/222,224/274,276)により伝導され、一方の磁極片は構造の 1つの部分に接続され、他方の磁極片は構造の他の部分に接続され、前記構造の 1つの部分の他の部分に対する並進で、前記磁極片の内の一方の磁極片が前記ギ ャップの内の1つのギャップ内に更に侵入し且つ他方の磁極片が他方のギャップ から更に退出し、それにより各ギャップを介して伝導される磁束を変化し、以て 各二次コイルに誘起される相対電気信号を変化させ、該二次コイルに誘起される 電気信号の差で、前起構造の1つの部分の他の部分に対する並進を表示する装置 。 10.コアが3つの脚部(56,58,60/104,106,108/154 ,158,160/204,206,208/254,258,260)を含み 、2つのギャップが前記3つの脚部の対向面間に配置され、前記構造の第1及び 第2の部分が、概ね、コアの3つの脚部と平行整列関係で反対の方向に前後に並 進する請求の範囲第9項に記載の装置。 11.構造の第1及び第2の部分が、コアの中心を選る平面(94)をほぼ横断 する反対の方向に前後に並進する請求の範囲第9項に記載の装置。 12.電流を一次コイルに供給するように接続された交流雪源(360)を更に 備えている請求の範囲第9項に記載の装置。 13.二次コイルに誘起される電気信号間の差を監視して、構造の1つの部分の 他の部分に対する並進を表す出力信号を発生するための検出器手段(350)を 更に備えている請求の範囲第12項に記載の装置。 14.検出器手段が更に、二次コイルに誘起される電気信号の和を決定し、該電 気信号の和の関数として自動利得信号を発生するように動作し、前記検出器手段 は、2つのギャップ内の磁極片の共通モードの変位によって惹起される変動を補 償して一次コイルにより発生される全磁束を実質的に一定に維持するように、自 動利得制御信号に応答し一次コイルに供給される電流の大きさを制御するための 手段(400)を備えている請求の範囲第13項に記載の装置。 15.二次コイルの各々に誘起される電気信号が、磁極片がコアに接触し1ない 限りにおいて、ギャップ内における各磁極片とコアとの間の間隔に対し実質的に 鈍感である請求の範囲第9項に記載の装置。 16.二次コイルの各々に誘起される電流が、コアに対するギャップ内の磁極片 の回転が磁極片をしてコアと接触せしめ摩擦誤差を発生しない限り且つ磁極片が ギャッブ内に延在する範囲を変えない限りにおいて、該コアに対するギャップ内 の磁極片の回転に対し実質的に鈍感である請求の範囲第9項に記載の装置。 17.磁極片が、概ね四辺形のブロックから構成されてコアとは相当に異なった 厚さを有し、磁極片の厚さを測定する方向と整列した方向におけるギャップ内の 磁極片の変位の効果を最小限に抑圧した請求の範囲第9項に記載の装置。 18.構造の差動変位を検知するための線形可変変位変成器(LVDT)におい て、 (a)第1のギャップ(66/116/166/218/270)と第2のギャ ップ(68/118/168/220/272)を画定する電磁コア(52/1 02/152/202/252)と、(b)第1及び第2のギャップを横切って 磁束を発生するための一次コイル手段(54/110/156/210/264 )と、(c)第1のギャップを横切って流れる磁束の割合に応答し電気信号を発 生するための第1の二次コイル手段(62/112/162/212/266) と、(d)第2のギャップを横切って流れる磁束の割合に応答し電気信号を発生 するための第2の二次コイル手段(64/114/164/214/268)と 、(e)構造の差動変位の関数として第1及び第2のギャップを横切る磁束に対 するリラクタンスを個別に変化するために第1のギャップ及び第2のギャップ内 に延在する磁極片手段(70,72/120,122/170,172/222 ,224/274,276)とを含み、前記第1及び第2の二次コイル手段に発 生される電気信号の差で、前記構造の差動変位を表示する線形可変変位変成器。 19.磁極片手段が、第1の磁極片と第2の磁極片とを含み、各磁極片は、構造 の異なった部分に連結されて、該構造の前記部分の差動変位で、前記第1及び第 2の磁極片の内の1つがギャップ内に更に侵入し、他方、前記第1及び第2の磁 極片の内の他方の磁極片がギャップから更に退出せしめられ、それにより、前記 一方の磁極片を通る磁束を増加し、前記他方の磁極片を通る磁束を減少する請求 の範囲第18項に記載のLVDT。 20.前記第1及び第2の磁極片が、コアの中心を通る平面と概ね整列した方向 に運動する請求の範囲第19項に記載のLVDT。 21.第1及び第2の磁極片が、コアの中心を通る平面(94)を概ね横切る方 向に運動する請求の範囲第19項に記載のLVDT。 22.更に、第1及び第2の二次コイル手段に接続されて、第1及び第2のギャ ップ内の磁極片手段を通る磁束の差の結果として該コイル手段に誘起される電気 信号の差を検知するための差動電流検知手段(372)を含む請求の範囲第18 項に記載のLVDT。 23.一次コイル手段に交流を供給するための供給手段(360)を更に含む請 求の範囲第18項に記載のLVDT。 24.第1及び第2の二次コイル手段及び供給手段に接続されて、第1及び第2 の二次コイルにより発生される電気信号の和の関数として、一次コイル手段に供 給される交番電流の大きさを変調して前記一次コイル手段に上り発生される全磁 束が実質的に一定で、前記第1及び第2のギャップ内の磁極片手段の共通モード の変位に起因する全磁束の変化を補償するための自動利得制御手段(400)を 更に含む請求の範囲第23項に記載のLVDT。 25.磁極片がコアと接触しない限り且つ第1及び第2の磁極片とコアの重なり 程度が変化しない限りにおいて、構造の前記差動変位を横切る方向における前記 第1または第2の磁極片のいずれかの変位で前記第1または第2の磁極片のリラ クタンスが頭著に変化しないようにした請求の範囲第18項に記載のLVDT。 26.差動変位を検知するための方法において、(a)第1のギャップ(66/ 116/166/218/270)及び第2のギャップ(68/118/168 /220/272)を画定する電磁コア(52/102/152/202/25 2)を設け、(b)第1及び第2のギャップを横切って磁束を発生し、(c)第 1のギャップを横切って流れる磁束の割合に応答して第1の電気信号を発生し、 (d)第2のギャップを横切って流れる磁束の割合に応答して第2の電気信号を 葦毛生し、 (e)それぞれ第1及び第2のギャップの1つに配置された一対の磁気的に分離 している磁極片(70,72/120,122/170,172/222,22 4/274,276)を投げ、そして(f)磁極片の差動変位の関数として第1 及び第2のギャップを横切り磁極片を通る磁束に対するリラクタンスを個別に変 化して、第1及び第2のギャップ内のそれぞれの磁極片を通る磁束に応答し発生 される第1及び第2の電気信号間の差で差動変位を表す段階を含む差動変位検知 方法。 27.一対の磁極片が双方共に、コアの中心を通る平面と概ね整列した方向に運 動する請求の範囲第26項に記載の方法。 28.一対の磁極片が双方共に、コアの中心を通る平面(94)を概ね横切る方 向に運動する請求の範囲第26項に記載の方法。 29.全磁束が実質的に一定になるように第1及び第2の電気信号の和の関数と して磁束を発生するように供給される交番電流の大きさを変調し、それにより、 第1及び第2のギャップ内の磁極片の共通モードの変位に起因する変動を補償す る段階を更に含む請求の範囲第26項に記載の方法。 30.磁極片がコアと接触して摩擦誤差を生ぜしめない限り且つ第1及び第2の ギャップの内の1つのギャップ内のコアの重なり程度が変化しない限りにおいて 、構造の前記差動変位を横切る方向にける磁極片の変位、または第1及び第2の ギャップの内の1つのギャップ内の磁極片の回転が磁極片のリラクタンスを頭著 に変化しないようにした請求の範囲第26項に記載の方法。
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