JPH0349959A - インクジェットの製造方法 - Google Patents
インクジェットの製造方法Info
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- JPH0349959A JPH0349959A JP18538389A JP18538389A JPH0349959A JP H0349959 A JPH0349959 A JP H0349959A JP 18538389 A JP18538389 A JP 18538389A JP 18538389 A JP18538389 A JP 18538389A JP H0349959 A JPH0349959 A JP H0349959A
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- Japan
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- hole
- nozzle
- diameter
- nozzle hole
- drill
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- Pending
Links
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、複写機やコンピューター・ファックス等の外
部出力装置に利用される、インクジェットの製造方法に
関する。
部出力装置に利用される、インクジェットの製造方法に
関する。
［従来の技術］
従来の技術としては、第２図（ａ）に示すように、基板
１１上へフォトレジスト１２によりノズル孔１７の形状
になる部分を形成し、その上に、電鋳加工によって電着
被膜をノズル孔１７の径が、所望の穴径寸法Ａに達する
まで形成し、インクジェットノズル１３とする。その後
、インクジェットノズル１３を基板１１及び、フォトレ
ジスト１２から剥離して第２図（ｂ）に示すようなイン
ジェットノズル１３を得る方法が知られていた。
１１上へフォトレジスト１２によりノズル孔１７の形状
になる部分を形成し、その上に、電鋳加工によって電着
被膜をノズル孔１７の径が、所望の穴径寸法Ａに達する
まで形成し、インクジェットノズル１３とする。その後
、インクジェットノズル１３を基板１１及び、フォトレ
ジスト１２から剥離して第２図（ｂ）に示すようなイン
ジェットノズル１３を得る方法が知られていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、かかる従来のインクジェットは、インクジェッ
トノズル１３の電着被膜の成長量を正確に規制すること
が難しく、電鋳のときに、わずかな電流密度分布の差に
大きく影響され、ノズル孔１７の穴径寸法Ａを通常、電
着被膜の厚みに対して±１０％前後ばらつかせてしまう
、この時、電着被膜の成長は、高さ方向と横方向の両方
向にそれぞれ関連を持ちながら成長するので、インクジ
ェットノズル１３の電着被膜の厚みのばらつきが、ノズ
ル孔１７の穴径寸法Ａのばらつきとなるため、例えば、
インクジェットノズル１３の厚みを１００μｍ、ノズル
孔１７の穴径寸法Ａを５０μｍとすると穴径寸法Ａの寸
法精度は、５０±１０μｍになってしまう、ノズル孔１
７の穴径寸法Ａのばらつきは、吐出するインク粒１４の
粒径をばらつかせ体積に大きな差となって現れ、ドツト
サイズのばらつき、飛翔速度、距離、方向のばらつき等
の問題を発生させていた。
トノズル１３の電着被膜の成長量を正確に規制すること
が難しく、電鋳のときに、わずかな電流密度分布の差に
大きく影響され、ノズル孔１７の穴径寸法Ａを通常、電
着被膜の厚みに対して±１０％前後ばらつかせてしまう
、この時、電着被膜の成長は、高さ方向と横方向の両方
向にそれぞれ関連を持ちながら成長するので、インクジ
ェットノズル１３の電着被膜の厚みのばらつきが、ノズ
ル孔１７の穴径寸法Ａのばらつきとなるため、例えば、
インクジェットノズル１３の厚みを１００μｍ、ノズル
孔１７の穴径寸法Ａを５０μｍとすると穴径寸法Ａの寸
法精度は、５０±１０μｍになってしまう、ノズル孔１
７の穴径寸法Ａのばらつきは、吐出するインク粒１４の
粒径をばらつかせ体積に大きな差となって現れ、ドツト
サイズのばらつき、飛翔速度、距離、方向のばらつき等
の問題を発生させていた。
そこで、本発明は、従来のこのような問題点を解決する
ために、ノズル孔１７の径を±２％の範囲内の精度に形
成し、吐出したインク粒の径が安定することにより高品
質の印字が得られるノズルヘッドを提供することを目的
としている。
ために、ノズル孔１７の径を±２％の範囲内の精度に形
成し、吐出したインク粒の径が安定することにより高品
質の印字が得られるノズルヘッドを提供することを目的
としている。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明のインクジェットの製
造方法は、電鋳により形成され、インクジェットプリン
ター等に使用されるインクジェットのインクを吐出させ
る部分であるインクジェットノズルにおいてノズル孔を
形成するときに、電鋳により基準となるノズル孔の下穴
を明け、ドリルにより前記ノズル孔の下穴の部分へノズ
ル′孔を形成したことを特徴とする。
造方法は、電鋳により形成され、インクジェットプリン
ター等に使用されるインクジェットのインクを吐出させ
る部分であるインクジェットノズルにおいてノズル孔を
形成するときに、電鋳により基準となるノズル孔の下穴
を明け、ドリルにより前記ノズル孔の下穴の部分へノズ
ル′孔を形成したことを特徴とする。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図は、本発明のインクジェットノズルの製造工程を示
す横断面図であり、第１図（ａ）において、ステンレス
板やＢｓ板、ニッケル板等の金属基板あるいは、表面に
ニッケルもしくは、銅被膜をスパッタや蒸着あるいは無
電解メツキ等で形成された、ガラスやプラスチック等の
材質から成る基板１上に、フォトリソ方によりフォトレ
ジスト２を厚み１〜２μｍバターニング形成し、ニッケ
ル被膜を電鋳によりノズル孔の下穴６の下穴寸法Ｂが５
０μｍ以下となり、かつ、電着被膜の厚みが約１００μ
ｍ前後となるまで形成すると、インクジェットノズル３
が得られる。この時、ノズル孔の下穴６の下穴寸法Ｂは
精度をだす必要がなく、以後に説明するノズル孔７の所
望の穴径寸法Ａより小さければ良い。
１図は、本発明のインクジェットノズルの製造工程を示
す横断面図であり、第１図（ａ）において、ステンレス
板やＢｓ板、ニッケル板等の金属基板あるいは、表面に
ニッケルもしくは、銅被膜をスパッタや蒸着あるいは無
電解メツキ等で形成された、ガラスやプラスチック等の
材質から成る基板１上に、フォトリソ方によりフォトレ
ジスト２を厚み１〜２μｍバターニング形成し、ニッケ
ル被膜を電鋳によりノズル孔の下穴６の下穴寸法Ｂが５
０μｍ以下となり、かつ、電着被膜の厚みが約１００μ
ｍ前後となるまで形成すると、インクジェットノズル３
が得られる。この時、ノズル孔の下穴６の下穴寸法Ｂは
精度をだす必要がなく、以後に説明するノズル孔７の所
望の穴径寸法Ａより小さければ良い。
その後、インクジェットノズル３を基板１とフォトレジ
スト２より剥離して、第１図（ｂ）に示すような形状と
する１次に、第１図（Ｃ）のようにドリルの直径Ｃが５
０μｍの精密微小径なドリル５で、ノズル孔の下穴６へ
穴明けをすると、第１図（ｄ）のような、穴径寸法Ａが
５０μｍのノズル孔７を形成されたインクジェットノズ
ル３が得られる。
スト２より剥離して、第１図（ｂ）に示すような形状と
する１次に、第１図（Ｃ）のようにドリルの直径Ｃが５
０μｍの精密微小径なドリル５で、ノズル孔の下穴６へ
穴明けをすると、第１図（ｄ）のような、穴径寸法Ａが
５０μｍのノズル孔７を形成されたインクジェットノズ
ル３が得られる。
この時、ドリル５のドリルの直径Ｃは、５０±１μｍ以
下の精度に仕上げることが可能なので、ポーリングマシ
ーンのチャック振れ精度を加味しても、ノズル孔７の穴
径寸法Ａの精度を５０±２μｍ以内に形成することが可
能である。又、電鋳加工をしないで、直接、インクジェ
ットノズルへノズル孔の穴明けを行なうと、１００μｍ
前後あるいは、それ以下の精密微小径なドリルでは、１
００穴程度の穴明けで刃が切れなくなり折れてしまい、
２４ドツトのインクジェットノズルでは、４〜５枚加工
するごとにドリルの交換が必要となる。２００〜３００
大のノズル孔を有したインクジェットノズルに至っては
、１枚のインクジェットノズルを作成する間に２〜３回
のドリル交換が必要となり、ドリル交換の度にノズル孔
ピッチの精度がなくなって行く、又、精密微小径なドリ
ルは非常に高価でもある０本発明のインクジェットノズ
ルはノズル孔が事前に電鋳て下穴として明けられており
、ドリルは仕上げのリーマ−程度にしか使用されないた
め、ドリルへの負荷がほとんどなく、直接ノズル孔を明
ける時の数百倍のドリル寿命を得ることが可能であり、
ノズル孔が微小になればなるほど効果が大きくなる。
下の精度に仕上げることが可能なので、ポーリングマシ
ーンのチャック振れ精度を加味しても、ノズル孔７の穴
径寸法Ａの精度を５０±２μｍ以内に形成することが可
能である。又、電鋳加工をしないで、直接、インクジェ
ットノズルへノズル孔の穴明けを行なうと、１００μｍ
前後あるいは、それ以下の精密微小径なドリルでは、１
００穴程度の穴明けで刃が切れなくなり折れてしまい、
２４ドツトのインクジェットノズルでは、４〜５枚加工
するごとにドリルの交換が必要となる。２００〜３００
大のノズル孔を有したインクジェットノズルに至っては
、１枚のインクジェットノズルを作成する間に２〜３回
のドリル交換が必要となり、ドリル交換の度にノズル孔
ピッチの精度がなくなって行く、又、精密微小径なドリ
ルは非常に高価でもある０本発明のインクジェットノズ
ルはノズル孔が事前に電鋳て下穴として明けられており
、ドリルは仕上げのリーマ−程度にしか使用されないた
め、ドリルへの負荷がほとんどなく、直接ノズル孔を明
ける時の数百倍のドリル寿命を得ることが可能であり、
ノズル孔が微小になればなるほど効果が大きくなる。
第１図（ｅ）において、３は、インクジェットノズル、
７は、ドリルにより穴径寸法Ａを規制されたノズル孔で
あり、４は、ノズル孔７より吐出されたインク粒である
。
７は、ドリルにより穴径寸法Ａを規制されたノズル孔で
あり、４は、ノズル孔７より吐出されたインク粒である
。
以上の実施例において得られたインクジェットノズル３
は、ノズル孔７の穴径寸法Ａがドリル５により精度よく
形成されているので、安定した粒径のインク粒４が得ら
れる。
は、ノズル孔７の穴径寸法Ａがドリル５により精度よく
形成されているので、安定した粒径のインク粒４が得ら
れる。
［発明の効果コ
本発明のインクジェットノズルの製造方法は、以上説明
したように、ノズル孔の穴径寸法が均一に精度よく形成
でき、安定したインク粒径が得られることにより、ドツ
トサイズのばらつき、飛翔速度、距離、方向のばらつき
等の問題を解決し、印字品質が大幅に向上するという効
果がある。
したように、ノズル孔の穴径寸法が均一に精度よく形成
でき、安定したインク粒径が得られることにより、ドツ
トサイズのばらつき、飛翔速度、距離、方向のばらつき
等の問題を解決し、印字品質が大幅に向上するという効
果がある。
第１図は、本発明のインクジェットノズルの製造方法を
示す横断面図。 第２図は、従来のインクジェットノズルの製造方法を示
す横断面図。 ・基板 ・フォトレジスト ・インクジェットノズル ・インク粒 ドリル ・ノズル孔の下穴 ・ノズル孔 ・穴径寸法 下穴寸法 ドリルの直径 以上
示す横断面図。 第２図は、従来のインクジェットノズルの製造方法を示
す横断面図。 ・基板 ・フォトレジスト ・インクジェットノズル ・インク粒 ドリル ・ノズル孔の下穴 ・ノズル孔 ・穴径寸法 下穴寸法 ドリルの直径 以上
Claims (1)
- 電鋳により形成され、インクジェットプリンター等に
使用されるインクジェットのインクを吐出させる部分で
あるインクジェットノズルにおいてノズル孔を形成する
ときに、電鋳により基準となるノズル孔の下穴を明け、
ドリルにより前記ノズル孔の下穴の部分へノズル孔を形
成したことを特徴とするインクジェットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18538389A JPH0349959A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | インクジェットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18538389A JPH0349959A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | インクジェットの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349959A true JPH0349959A (ja) | 1991-03-04 |
Family
ID=16169848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18538389A Pending JPH0349959A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | インクジェットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0349959A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9345275B2 (en) | 2011-02-18 | 2016-05-24 | Nike, Inc. | Lower body garment with elasticity-reducing panel |
-
1989
- 1989-07-18 JP JP18538389A patent/JPH0349959A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9345275B2 (en) | 2011-02-18 | 2016-05-24 | Nike, Inc. | Lower body garment with elasticity-reducing panel |
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