JPH0347687A - Laser beam machine - Google Patents

Laser beam machine

Info

Publication number
JPH0347687A
JPH0347687A JP1183416A JP18341689A JPH0347687A JP H0347687 A JPH0347687 A JP H0347687A JP 1183416 A JP1183416 A JP 1183416A JP 18341689 A JP18341689 A JP 18341689A JP H0347687 A JPH0347687 A JP H0347687A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
laser beam
ultrasonic sensor
laser
ultrasonic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1183416A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Suzuki
宏治 鈴木
Naohisa Matsushita
直久 松下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP1183416A priority Critical patent/JPH0347687A/en
Publication of JPH0347687A publication Critical patent/JPH0347687A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve laser beam machining quality by providing an ultrasonic sensor on a fixed base to fix a workpiece and machining the periphery of the workpiece by a rotating laser beam head. CONSTITUTION:The laser beam machine is constituted of the fixed base 11 to fix the workpiece 15 freely attachably and detachably, the ultrasonic sensor 12 to detect ultrasonic waves generated by the workpiece 15 which is fitted and fixed freely detachably on the fixed base 11 and the laser beam head 14 which rotates around the workpiece 15 and irradiates the peripheral surface 15a of the workpiece 15 with a laser beam 13. By this method, the ultrasonic sensor 12 detects only the ultrasonic waves generated by the workpiece 15 and machining quality is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 レーザ光線を被加工物に照射中に被加工物が発生する超
音波を検出する超音波センサを有するレーザ加工機に関
し、 被加工物以外から発生する超音波を減少させて超音波セ
ンサの検出感度を高めたレーザ加工機の提供を目的とし
、 被加工物を着脱自在に固定する固定台と、固定台に取り
付けられて固定台に着脱自在に固定された被加工物が発
生する超音波を検出する超音波センサと、被加工物の周
囲を回転して被加工物の外周面にレーザ光線を照射する
レーザヘッドとを含んで構成する。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding a laser processing machine having an ultrasonic sensor that detects ultrasonic waves generated by a workpiece while irradiating the workpiece with a laser beam, The aim is to provide a laser processing machine that reduces sound waves and increases the detection sensitivity of the ultrasonic sensor. The laser head rotates around the workpiece and irradiates the outer peripheral surface of the workpiece with a laser beam.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は、レーザ光線を被加工物に照射中に被加工物が
発生する超音波を検出する超音波センサを有するレーザ
加工機、特に被加工物以外から発生する超音波を減少さ
せて超音波センサの検出感度を高めたレーザ加工機に関
する。
The present invention relates to a laser processing machine having an ultrasonic sensor that detects ultrasonic waves generated by a workpiece while irradiating the workpiece with a laser beam, and in particular, to reduce ultrasonic waves generated from sources other than the workpiece. This invention relates to a laser processing machine with increased sensor detection sensitivity.

被加工物にレーザ光線を照射して加工する際に、被加工
物からは加工の条件に応じた固有の超音波が発生する。
When processing a workpiece by irradiating it with a laser beam, the workpiece generates a unique ultrasonic wave depending on the processing conditions.

従って、この超音波を超音波センサで連続的に検出して
超音波の状態を診断することにより、加工中の被加工物
の加工品質を連続的に監視することが可能となっている
Therefore, by continuously detecting the ultrasonic waves with an ultrasonic sensor and diagnosing the state of the ultrasonic waves, it is possible to continuously monitor the processing quality of the workpiece being processed.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

以下、被加工物にレーザ光線を照射して加工する際に被
加工物が発生する超音波を検出する超音波センサを備え
た従来のレーザ加工機について図面を参照しながら説明
する。
Hereinafter, a conventional laser processing machine equipped with an ultrasonic sensor that detects ultrasonic waves generated by a workpiece when processing the workpiece by irradiating the workpiece with a laser beam will be described with reference to the drawings.

第2図は、従来のレーザ加工機の要部概略側断面図であ
る。
FIG. 2 is a schematic side sectional view of the main parts of a conventional laser processing machine.

第2図に示すように従来のレーザ加工機は、回転機構部
21、超音波センサ22、レーザヘッド24を含んで構
成されていた。
As shown in FIG. 2, the conventional laser processing machine includes a rotating mechanism section 21, an ultrasonic sensor 22, and a laser head 24.

次に、上記レーザ加工機の使用方法を、円筒状をした被
加工物25の外周面25aにレーザ光線23を照射して
表面焼き入れするケースを採り上げて説明する。
Next, a method of using the above laser processing machine will be explained by taking up a case where the outer peripheral surface 25a of the cylindrical workpiece 25 is irradiated with the laser beam 23 to harden the surface.

先ず、ワーク回転機構部21のチ、ヤソク21aにより
被加工物25を固定した後に、回転機構部21を作動し
て被加工物25をA方向に回転する。
First, the workpiece 25 is fixed by the lever 21a of the workpiece rotation mechanism 21, and then the rotation mechanism 21 is operated to rotate the workpiece 25 in the A direction.

次いで、レーザ加工機の図示してない発振器を作動させ
ると、発振器は近似平行光線であるレーザ光線23を放
射する。
Next, when an oscillator (not shown) of the laser processing machine is activated, the oscillator emits a laser beam 23 that is an approximately parallel beam.

そして、レーザヘッド24に導かれたレーザ光線23は
、収束レンズ24aで収束されて被加工物25の外周面
25aに照射される。
The laser beam 23 guided to the laser head 24 is converged by a converging lens 24a and irradiated onto the outer circumferential surface 25a of the workpiece 25.

尚、レーザヘッド24は、図示してない移動装置により
B−B’力方向移動自在に制御されるために、レーザ光
線24は被加工物25の外周面25aの全体を均一に照
射することも1、また特定の部分を照射することもでき
るように構成されている。
Note that since the laser head 24 is controlled to be movable in the B-B' force direction by a moving device (not shown), the laser beam 24 may uniformly irradiate the entire outer circumferential surface 25a of the workpiece 25. 1. It is also configured so that specific areas can be irradiated.

レーザ光線23が照射された被加工物25は、この被加
工物25とレーザ光′!lA23の照射条件に応じた固
有の超音波を発生する。
The workpiece 25 irradiated with the laser beam 23 is in contact with the workpiece 25 and the laser beam'! Generates a unique ultrasonic wave according to the irradiation conditions of lA23.

この超音波は、回転機構部21のチャンク21aからヘ
ッド21bに伝播し、固定しているヘッド21bに取り
付けられた超音波センサ22より連続的に検出される。
This ultrasonic wave propagates from the chunk 21a of the rotating mechanism section 21 to the head 21b, and is continuously detected by the ultrasonic sensor 22 attached to the fixed head 21b.

前記超音波を検出した超音波センサ22は、図示してな
い超音波信号診断装置に該超音波信号を出力する。
The ultrasonic sensor 22 that has detected the ultrasonic wave outputs the ultrasonic signal to an ultrasonic signal diagnosis device (not shown).

前記超音波信号を入力した超音波信号診断装置は、超音
波信号の状態を連続的に解析し、進行中の被加工物25
の加工の品質状態を診断し、この診断結果を所定の表示
装置に出力する。
The ultrasonic signal diagnosis device inputting the ultrasonic signal continuously analyzes the state of the ultrasonic signal and detects the progress of the workpiece 25.
The processing quality state of the machine is diagnosed and the diagnosis result is output to a predetermined display device.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

前述したように従来のレーザ加工機は、回転機構部21
のチャック21a とこのチャック21aに固定した被
加工物25を回転させ、レーザヘッドは固定していた。
As mentioned above, in the conventional laser processing machine, the rotation mechanism section 21
The chuck 21a and the workpiece 25 fixed to the chuck 21a were rotated, and the laser head was fixed.

このため、回転機構部21に取り付けられた超音波セン
サ22は、レーザ光線23が照射されている被加工物2
5が発生する超音波のみならず、ワーク回転機構部21
の回転している各部が発生するノイズをも同時に検出す
るという問題があった。
Therefore, the ultrasonic sensor 22 attached to the rotation mechanism section 21 detects the workpiece 2 that is irradiated with the laser beam 23.
Not only the ultrasonic waves generated by 5 but also the workpiece rotation mechanism 21
There was a problem in that the noise generated by each rotating part of the machine was also detected at the same time.

本発明は斯かる問題に鑑みてなされたものであって、そ
の目的は被加工物以外から発生する超音波を減少させて
超音波センサの検出感度を高めたレーザ加工機の提供を
することにある。
The present invention has been made in view of such problems, and its purpose is to provide a laser processing machine that reduces ultrasonic waves generated from sources other than the workpiece and increases the detection sensitivity of an ultrasonic sensor. be.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

前記課題は第1図に示すように、被加工物15を着脱自
在に固定する固定台11と、固定台11に取り付けられ
て固定台11に着脱自在に固定された前記被加工物15
が発生する超音波を検出する超音波センサ12と、被加
工物15の周囲を回転して被加工物15の外周面15a
にレーザ光線13を照射するレーザヘッド14とを含ん
で構成したことを特徴とするレーザ加工機により解決さ
れる。
As shown in FIG. 1, the problem is as follows: a fixing table 11 for removably fixing a workpiece 15; and a fixing table 11 for removably fixing a workpiece 15;
An ultrasonic sensor 12 that detects ultrasonic waves generated by
The problem is solved by a laser processing machine characterized in that it is configured to include a laser head 14 that irradiates a laser beam 13 to the laser beam 13.

〔作 用〕[For production]

被加工物15を固定している固定台11は静止状態とな
っているために、固定台11そのものからは超音波が発
生することはない。
Since the fixing table 11 that fixes the workpiece 15 is in a stationary state, ultrasonic waves are not generated from the fixing table 11 itself.

従って、固定台11に固定された被加工物15にレーザ
光vA13を照射した際は、固定台15には被加工物1
5が発生した超音波のみが存在する。
Therefore, when the workpiece 15 fixed on the fixed table 11 is irradiated with the laser beam vA13, the workpiece 15 is fixed on the fixed table 15.
Only the ultrasound waves generated by 5 are present.

この結果、固定台11に取り付けられた超音波センサ1
2は、被加工物15が発生した超音波のみを検出ために
超音波センサ12の検出感度が向上する。
As a result, the ultrasonic sensor 1 attached to the fixed base 11
2, since only the ultrasonic waves generated by the workpiece 15 are detected, the detection sensitivity of the ultrasonic sensor 12 is improved.

〔実 施 例〕〔Example〕

以下、本発明を実施例の図面を参照して詳しく説明する
Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to drawings of embodiments.

第1図は、本発明の一実施例のレーザ加工機の要部概略
側断面図である。
FIG. 1 is a schematic side sectional view of a main part of a laser processing machine according to an embodiment of the present invention.

第1図に示すように上記レーザ加工機は、被加工物15
を固定する静止した固定台11、同定台11に取り付け
られた超音波センサ12、レーザ光線13を収束レンズ
14aに導くレーザヘッド14、レーザヘッド14を被
加工物15の周囲を回転させる回転駆動部16を含んで
構成されている。
As shown in FIG. 1, the laser processing machine has a workpiece 15.
A stationary fixed table 11 that fixes the object, an ultrasonic sensor 12 attached to the identification table 11, a laser head 14 that guides the laser beam 13 to a convergent lens 14a, and a rotation drive unit that rotates the laser head 14 around the workpiece 15. 16.

次に、上記レーザ加工機の使用方法を、円筒状をした被
加工物15の外周面15aにレーザ光線13を照射して
表面焼き入れするケースを採り上げて説明する。
Next, a method of using the above laser processing machine will be explained by taking up a case where the outer peripheral surface 15a of the cylindrical workpiece 15 is irradiated with the laser beam 13 to harden the surface.

先ず、固定台11上に被加工物15を載置し、被加工物
15の外周面15aを板状ばねllaで押圧して固定す
る。
First, the workpiece 15 is placed on the fixing table 11, and the outer circumferential surface 15a of the workpiece 15 is pressed and fixed by the plate spring lla.

次いで、回転駆動部16のモータ16aを動作オンし、
モータ16aと連結した回転駆動部16の歯車機構部1
6bを介して、レーザヘッド14を被加工物15の周囲
を入方向に回転させる。
Next, the motor 16a of the rotation drive unit 16 is turned on,
Gear mechanism section 1 of rotation drive section 16 connected to motor 16a
6b, the laser head 14 is rotated around the workpiece 15 in the inward direction.

この後、レーザ加工機の図示してない発振器を作動させ
、レーザ光線13の放射を開始させる。
Thereafter, an oscillator (not shown) of the laser processing machine is activated to start emitting the laser beam 13.

このレーザ光線13は、レーザヘッド14内に導かれて
、第1ミラー14b、 第2ミラー14c及び第3ミラ
ー14dにより、この順に反射されて収束レンズ14a
に入射する。
This laser beam 13 is guided into the laser head 14, reflected by a first mirror 14b, a second mirror 14c and a third mirror 14d in this order, and is reflected by a converging lens 14a.
incident on .

そして、収束レンズ14aは、このレーザ光yA13を
収束して被加工物15の外周面15aに照射し、被加工
物15の外周面15aの表面焼き入れをする。
Then, the converging lens 14a converges this laser beam yA13 and irradiates it onto the outer peripheral surface 15a of the workpiece 15, thereby hardening the surface of the outer peripheral surface 15a of the workpiece 15.

また、レーザヘッド14は、図示してない上下移動装置
によりB−B’力方向移動自在に制御されるため、レー
ザ光線13は被加工物15の外周面15aの全体を均一
に照射することも、特定の部分を照射することもできる
ように構成されている。
Further, since the laser head 14 is controlled to be movable in the B-B' force direction by a vertical movement device (not shown), the laser beam 13 can uniformly irradiate the entire outer peripheral surface 15a of the workpiece 15. , it is configured so that it can also irradiate specific areas.

レーザ光線13が照射された被加工物15は、前述した
ように、被加工物15とレーザ光線13の照射条件に応
じた固有の超音波を発生する。
The workpiece 15 irradiated with the laser beam 13 generates a unique ultrasonic wave according to the irradiation conditions of the workpiece 15 and the laser beam 13, as described above.

この超音波は、被加工物15から該被加工物15を固定
している固定台11に伝播し、固定台11に取り付けら
れた超音波センサ12により連続的に検出される。
This ultrasonic wave propagates from the workpiece 15 to the fixing table 11 fixing the workpiece 15, and is continuously detected by the ultrasonic sensor 12 attached to the fixing table 11.

この固定台11は外部からの振動(超音波振動)を吸収
する防振ゴム台17上に据付られて静止しているために
、外部からの振動が固定台11に入り込むことはない。
Since the fixed base 11 is stationary and installed on a vibration-proof rubber base 17 that absorbs external vibrations (ultrasonic vibrations), external vibrations do not enter the fixed base 11.

従って、超音波センサ12が検出した超音波は、レーザ
光vA13が照射されている被加工物15が発生する超
音波のみとなり、超音波センサ12の検出感度が向上す
ることとなる。
Therefore, the ultrasonic waves detected by the ultrasonic sensor 12 are only those generated by the workpiece 15 irradiated with the laser beam vA13, and the detection sensitivity of the ultrasonic sensor 12 is improved.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上の説明で明らかなように本発明によれば、被加工物
と該被加工物を固定した固定台とを静止させた状態で、
被加工物の外周面にレーザ光線を照射して加工すること
が可能である。
As is clear from the above description, according to the present invention, when the workpiece and the fixing table to which the workpiece is fixed are stationary,
It is possible to process a workpiece by irradiating the outer circumferential surface of the workpiece with a laser beam.

従って、固定台に取り付けられて超音波センサは、被加
工物が発生した超音波のみを検出する超音波センサを備
えたレーザ加工機の提供が可能となる。
Therefore, it is possible to provide a laser processing machine equipped with an ultrasonic sensor that is attached to the fixed base and detects only the ultrasonic waves generated by the workpiece.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の一実施例のレーザ加工機の要部概略
側断面図、 第2図は、従来のレーザ加工機の要部概略側断面図であ
る。 図において、 11は固定台、 12.22は超音波センサ、 13.23はレーザ光線、 14.24はレーザヘッド、 15.25は被加工物、 16は回転駆動部、 17は防振ゴム台をそれぞれ示す。
FIG. 1 is a schematic side sectional view of a main part of a laser processing machine according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic side sectional view of a main part of a conventional laser processing machine. In the figure, 11 is a fixed table, 12.22 is an ultrasonic sensor, 13.23 is a laser beam, 14.24 is a laser head, 15.25 is a workpiece, 16 is a rotation drive unit, and 17 is a vibration-proof rubber table. are shown respectively.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被加工物(15)を着脱自在に固定する固定台(11)
と、 前記固定台(11)に取り付けられて該固定台(11)
に着脱自在に固定された前記被加工物(15)が発生す
る超音波を検出する超音波センサ(12)と、前記被加
工物(15)の周囲を回転して該被加工物(15)の外
周面(15a)にレーザ光線(13)を照射するレーザ
ヘッド(14)とを含んで構成したことを特徴とするレ
ーザ加工機。
[Claims] A fixing stand (11) that removably fixes a workpiece (15).
and, attached to the fixed base (11), the fixed base (11)
an ultrasonic sensor (12) that detects ultrasonic waves generated by the workpiece (15) that is removably fixed to the workpiece (15); 1. A laser processing machine comprising: a laser head (14) for irradiating a laser beam (13) onto an outer circumferential surface (15a) of the laser beam (14).
JP1183416A 1989-07-15 1989-07-15 Laser beam machine Pending JPH0347687A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1183416A JPH0347687A (en) 1989-07-15 1989-07-15 Laser beam machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1183416A JPH0347687A (en) 1989-07-15 1989-07-15 Laser beam machine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0347687A true JPH0347687A (en) 1991-02-28

Family

ID=16135398

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1183416A Pending JPH0347687A (en) 1989-07-15 1989-07-15 Laser beam machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0347687A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5864113A (en) * 1996-05-22 1999-01-26 Cossi; Giorgio Cutting unit for pipes produced in continuous lengths
KR20020068423A (en) * 2001-02-21 2002-08-27 두 빈 임 Conveying apparatus in device to manufacture fodder using food wastes
JP2007152434A (en) * 2005-11-30 2007-06-21 General Electric Co <Ge> Laser shock peening system with time-of-flight monitoring
US7816622B2 (en) * 2007-09-28 2010-10-19 General Electric Company System and method for controlling laser shock peening

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5864113A (en) * 1996-05-22 1999-01-26 Cossi; Giorgio Cutting unit for pipes produced in continuous lengths
KR20020068423A (en) * 2001-02-21 2002-08-27 두 빈 임 Conveying apparatus in device to manufacture fodder using food wastes
JP2007152434A (en) * 2005-11-30 2007-06-21 General Electric Co <Ge> Laser shock peening system with time-of-flight monitoring
US7816622B2 (en) * 2007-09-28 2010-10-19 General Electric Company System and method for controlling laser shock peening

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008227393A (en) Double-side polishing apparatus for wafer
JP6760638B2 (en) Flat surface polishing device
JPH0347687A (en) Laser beam machine
US3832888A (en) Acoustical imaging equipment capable of inspecting an object without submerging the object in a liquid
TWI782188B (en) Laser machining device
JPH07128314A (en) Ultrasonic flaw detecting method for socket welding coupling
JPH09327781A (en) Laser beam irradiation head positioning device
JP4644907B2 (en) Diaphragm inspection device
JPH11145259A (en) Wafer positioner
KR20210154216A (en) Ultrasonic Inspection Device and Inspection Method
JPH0639575A (en) Laser beam machine
JPS6054153B2 (en) Laser processing machine
JPH0798303A (en) Ultrasonic automatic crack detector
JP2737713B2 (en) Laser welding equipment
JPH07164294A (en) Lens centering machine and lens centering method
SU768603A1 (en) Apparatus for cutting hard and brittle materials
JPH0377056A (en) Ultrasonic inspection device
JP3828016B2 (en) Ultrasonic flaw detection method and apparatus for inner surface of bearing outer race
SU1099273A1 (en) Device for ultrasonic checking of disks
JPH0140952B2 (en)
JPH09141816A (en) Direct plate making apparatus
JPH0321276B2 (en)
JPS629266A (en) Ultrasonic test equipment
JPS6239898B2 (en)
JPH042352B2 (en)