JPH0343681A

JPH0343681A - シール組立体

Info

Publication number: JPH0343681A
Application number: JP2025888A
Authority: JP
Inventors: Anton H Buchberger; アントン　エイチ　ブックバーガー; Olivier L Tremoulet Jr; オリヴィア　エル　トレモーレット　ジュニア; Sigurd C Mordre; シガード　シー　モードル
Original assignee: Flow International Corp
Current assignee: Flow International Corp
Priority date: 1989-04-04
Filing date: 1990-02-05
Publication date: 1991-02-25
Anticipated expiration: 2014-03-03
Also published as: EP0391488A3; EP0391488A2; JP2862615B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、シールの高圧側が大きな圧力変動を受ける高
圧シールに関し、より詳しくは、高圧流体ポンプに使用
できるシールに関する。

高圧ポンプは種々の用途に用いられており、その１つは
、非常に高圧の流体（例えば、１０．（１６）０〜１（
１６）．０ＯＯｐｓｉ　（約７（１６）〜７．（１６）
０ｋｇ／ａｍ”）又はこれ以上の高圧水）を高速水ジェ
ットの形態で吐出させ、切断、研磨等に使用することで
ある。かようなポンプの普通の構成では、高圧シリンダ
内で作動する往復運動ピストンを用いて、流体（一般に
は水）をマニホルドに導き、該マニホルドから更にノズ
ルに案内（配管（ｐｌｕｍｂｅｄ））　シ、高圧ジェッ
トとして吐出させるようになっている。加圧ストローク
時には、プランジャすなわちピストンは、チャンバ内に
２５．（１６）０　ｐｓｉ　（約１．７６０ｋｇ／ｃｎ
＋”）以上の圧力を発生させることができる一方、吸入
ストローク時にはシリンダチャンバ内の圧力はほぼゼロ
又は非常に低い圧力に低下する。

かような高圧流体ポンプ組立体を設計しかつ作動させる
ことに関し、重要な問題箇所が多数存在する。これらの
問題のうちの１つは、特に、シールが大きな圧力変動に
曝される領域に充分なシールを形成することである。か
ような条件下での有効なシール組立体を提供するため、
一般に数個のシールコンポーネンツを組み合わせて使用
している。かようなシール組立体の一部に、弾性リング
部材（一般にＯリングと呼ばれている〉を使用すること
は極めて一般的な手法である。かようなＯリングは、よ
く、他の部材の溝内に配置され、これにより、高い、流
体圧力に曝し、高圧で変形された０リングを他の部材と
協働させて全体的なシールを形成するようになっている
。しかしながら、いわゆる「固定シール（ｓｔａｔｉｃ
　５ｅａｌ）Ｊと呼ばれているシールが設けられる領域
においてさえも、これらのＯリングは早期に劣化（ｅａ
ｒｌｙ　ｄｅｔｅｒｉ。

ｒａｔｉｏｎ）　Ｌ／易く、従って、シール組立体又は
そのコンポーネンツの修理又は交換のために装置を頻繁
に停止しなければならなかった。

本発明に関連する従来技術をサーチしたところ、次のよ
うな多数の特許文献が見出された。

米国特許第２，９１４．３６８号は、ピストン−シリン
ダ形流体モータ用のシールに関するものである。

このＬｔＷでは、ピストンの両端に２つの０リングが取
り付けられており、加圧下の流体をピストンのいずれか
一方の側に導入することにより、ピストンを両方向に移
動させるようになっている。ピストンの軸線方向両端部
に設けられた周方向の溝内には２つの０リング４６．４
７が配置されていて、シリンダの内表面とのスライドシ
ールを形成している。また、シリンダのそれぞれのチャ
ンバ（ピストンの両側のチャンバ）からは、２つの通路
４８．４９が、関連するＯリング４６．４７用の溝の半
径方向内方の底壁に通じている。この特許発明が解決し
ようとした問題点は、作動中にＯリングがローリングす
る傾向、従って、モータとしての作動サイクル中にボン
ピング作動が生じて、Ｏリング同士の間の領域における
圧力の発生を緩和することである・。この特許明細書の
第３図には２つの通路４８．４９が示されており、これ
らの通路４８．４９は、シリンダのそれぞれのチャンバ
（ピストンの両側のチャンバ）から、０リング４６．４
７用の溝の半径方向内方の底壁に通じている。ピストン
が右側に移動するとき、加圧流体が通路４８に流入し、
バッファ・ノブリング４１に対してＯリング４６を押し
付けてシールを形成するように作動する（上記米国特許
明細書の第３図を参照）。しかしながら、ピストンが低
圧側にあるときには、Ｏリングのローリングの問題が生
じ、両Ｏリング４６．４７の間に流体圧力が発生する。

低圧側においては、通路４９が圧力逃がし通路として作
用し、流体が逃げることができるようにして、この圧力
の発生を緩和するようになっている。

従って、この特許発明が解決しようとする問題点は、０
リングが往復運動ピストンの一部となっているシリンダ
の表面のように、Ｏリングが運動用シール（ｄｙｎａｍ
ｉｃ　５ｅａｌ）の移動表面と係合している箇所におい
て、Ｏリングのローリング作用により発生する圧力を緩
和することにあるといえる。

米国特許第３，６８５，８４０号は、往復運動ピストン
が設けられた高圧ポンプ用のシール構造に関するもので
ある。この装置には２ｍのシール部材４６４８．３６−
３８が設けられている。この特許発明は、潤滑流体を通
路２４から精密な溝６２．６８に導入する手段に関する
ものである。加圧ストローク時には、凹部５２．５８．
４２内に充分な圧力があり、このため、リップ４４を表
面１８に押し付けてシール係合させ、かつリップ５４と
リップ６０とを互いに押し付けてシールを形成すること
ができる。しかしながら、吸入ストローク時には、通路
２４内の潤滑流体の圧力が不充分になり、両リップ５４
．６０が離れ、かつリップ４４が表面１８から離れるた
め、潤滑流体が２組のシール３６−３８．４６−４８の
領域内に流入できるようになる。

米国特許第３，１３２，５６８号には高圧ピストン用の
シールが開示されており、このシールには、加圧流体に
曝されるワイパリング５２が設けられている。このワイ
パリング５２の目的は、シールエレメントの領域内に異
物が流入してシールエレメントを摩耗させないようにす
ることにある。また、それぞれＶ字形の横断面形状をも
つ３つのシールリング６１．６２．６３が設けられてい
る。更に、半径方向の通路６７に通じる通路６５−５５
が設けられており、これらの各通路はアダプタ４３内に
形成されている。これらの通路は、バッキングリング６
１−６３に流体圧力を導き、これらのシール能力を向上
させるようになっている。また、これらの通路により、
ワイパ作用を向上させるためのワイパリング５２の両側
にも流体圧力が導かれる。更に、異物が侵入してバッキ
ングリング６１−６３と接触しないようにするため、通
路６６の入口にはスクリーン４８が設けられている。

米国特許第４，４７８，４２３号には、セメントスラリ
、破壊スラリ、酸等を加圧下で油井に圧送するのに用い
られる往復運動プランジャに使用される高圧シールが開
示されている。この米国特許明細書の第１図に示された
従来技術には、黄銅製のヘッダリングアダプタ６４が設
けられており、該アダプタ６４の後ろには、７０〜８（
１０）ジュロメータ硬度をもつゴムで形成された弾性ヘ
ッダリング２６が、更に該ヘッダリング２６の後ろには
Ｖ字形の横断面形状をもつバッキングリング４２．４４
が設けられている。また、黄銅製の雌形アダプタリング
５０が設けられており、このアダプタリング５０と最後
の■字形バッキングリングとの間には、耐はみ出し性（
ａｎｔｉ−ｅｘｔｒｕｓｉｏｎ）の■字形アダプタリン
グ５２が配置されている。この特許発明の本旨である改
良点が該米国特許明細書の第２図に示されており、この
高圧シールは、丁字形の横断面形状を有しておりかつシ
ールリングの周囲に形成された開口部を備えているワイ
パシール１（１６）を有している。この構成により、ワ
イパシール１（１６）が孔２１６内に変形できるため、
ピストンとワイパシール１（１６）との間に成る量の流
体を通すことが可能になり、このことは、ポンピングさ
れる成る量の液体が、コンポーネンツ２６．４２．４４
．５２．６０で構成された主シールを通って逃散する場
合に起きるようになっている。

米国特許第２．７２３，２６８号には、三角形状のシー
ル（すなわち、横断面が三角形のシール）の頂部がピス
トン壁に当接するように構成された流体ピストン用のシ
ール構造が開示されている。このシールには、シールリ
ングの半径方向内表面に連結された通路が設けられてお
り、この通路はピストンの高圧側に向いている。これに
より、シールリングの半径方向内方の壁を加圧して、シ
リンダに対して外方に押し付け、良好なシールが得られ
るようにしている。この米国特許明細書の第２図には、
このシールとは逆の構成のシールが示されている。

米国特許第１，６１８．６１１号には、往復運動ピスト
ン用のシール構造が開示されており、該シール構造のう
ちの１つの形態のシールには、通路を介して高圧に曝さ
れる半径方向内方に向いた面が設けられている。これに
より、シールリングを外方に膨張させてシリンダ壁とよ
り緊密に係合させ、より有効なシールが得られるように
なっている。また、この構造では、シールリングの外側
に圧力を加えて該シールリングをシリンダ部材に対して
内方に圧縮し、シリンダ部材をシールに対して移動させ
ることもできるようになっている。

本発明によれば、次のような構成すなわち、高圧領域内
の高圧及び低圧に交互に曝される高圧側と、互いに対向
する２つの溝形成側面と、１つの溝形成後面とを備えた
構造組立体が設けられた高圧シール組立体が提供される
。前記３つの表面（すなわち、２つの溝形成側面及び１
つの溝形成後面）は、集合的にシール溝を形成するよう
になっている。また、構造組立体は、前記溝形成後面の
領域から延びている、シールを設けるべき互いに隣接す
る表面を備えている。

本発明のシール組立体は、前記シール溝内に嵌着できる
形状を有する弾性シール部材を有しており、該弾性シー
ル部材は、前記高圧領域に面している高圧表面部分と、
前記高圧構造組立体の前記溝形成側面とシール係合でき
る２つの側面部分と、前記高圧構造組立体の前記溝形成
後面に押し付けられるように配置される後面部分とを備
えている。

前記弾性シール部材及び前記高圧構造組立体は、前記高
圧領域内が高圧状態にあるとき、前記弾性シール部材が
押圧されて高圧シール位置を占める（高圧シール形状に
なる）ことができるように配置されており、前記弾性シ
ール部材が高圧シール位置を占めるとき、前記弾性シー
ル部材の前記側面部分は、側部シール領域における前記
構造組立体の側面の側部シール表面部分を押圧しかつ前
記弾性シール部材の前記後面部分は、後部シール領域に
おける溝形成後面に隣接するようになっている。

本発明（少なくともその一部）は、次のような事実すな
わち、シール部材の性能及び寿命は、後部シール領域か
ら間隔を隔てた位置における側部シール領域から、構造
組立体を通って低圧領域に通じている逃がし通路手段を
設けることにより著しく改善できるという事実の発見に
基づいている。

高圧領域が高圧になっている間は、後部シール領域に幾
分かの加圧流体が蓄積されると仮定することは合理的な
正当性があるといえる。また、高圧領域が低圧になって
いる間は、この背圧によりシールがその適正座着位置か
ら変位し易いこと、及び、もしもこのことが繰り返しサ
イクル中に起きれば、この変位によりシール部材がｔ員
傷を受けるか、その適正な機能を果たさなくなることも
考えられる。また、逃がし通路手段を設けることにより
、後部シール領域内の加圧流体をシール部材の後ろから
通すことができる通路が形成され、これにより、シール
部材をシール溝内の適正座着位置に保持できると考えら
れる。しかしながら、理解すべきは、上記仮定が正しい
か否かに係わらず、本発明のシール組立体の構成により
、シール組立体のシール部材の作動及び寿命を著しく改
善できるということである。

本発明の他の特徴は、本発明の実施例についての以下の
詳細な説明により明らかになるであろう。

第１図には、本発明のシール組立体１２を組み込んだ高
圧ポンプの一部が示されている。この高圧ポンプｌＯは
、シリンダ１４と、該シリンダ１４内で往復運動するピ
ストンすなわちプランジャ１６とで構成されたシリンダ
ーピストン組立体を有している。シリンダ１４の前端部
には適当な弁組立体く図面の明瞭化のため図示せず）が
設けられており、この弁組立体を通って、ピストン１６
の圧縮ストローク時には、高圧流体（例えば水）が、シ
リンダ１４により形成されるチャンバ１８から排出され
、また、ピストン１６の吸入ストローク時にはチャンバ
１８内に流入するようになっている。ピストン１６を包
囲する領域におけるチャンバ１８の容積を容易に減少さ
せるため、チャンバ１８内にはフィラーチューブ１９が
配置されている。

シリンダ１４とピストン１６との組立体が適当なハウジ
ング構造体２０に取り付けられており、ピストン１６の
後端部が適当な駆動エレメント２２に連結されている。

−船釣な構成では、駆動エレメント２２をクランクシャ
フトに連結し、該クランクシャフトの回転によりピスト
ン１６を往復運動させるようになっている。ピストン１
６は、該ピストン１６を適正に位置決めしかつ整合させ
るためのガイドブロック２４に配置されたベアリング２
３を通り、更にシール組立体１２を通って、駆動エレメ
ント２２からシリンダチャンバ１８内に延入している。

また、ガイドブロック２４には半径方向の通路２８が設
けられており、冷却流体の供給、及びシール組立体１２
からの全ての流体の漏洩に対応できるようになっている
。

第２図に示すように、第１図〜第４図に示す本発明の第
１実施例によるシール組立体１２は、次のような主要コ
ンポーネンツ、すなわち、ａ、前方を向いている環状の
位置決めフランジ３２を備えたバックアップリング３０
と、ｂ、シールスリーブ３６と０リング３８とからなる
第１シール３４と、０．０リング４２とフェースシール部材（面シール部材
）４４とからなる第２シール４０とにより構成されてい
る。

これと同じシール組立体１２が、本願と同一の譲受人に
譲渡された「高圧運動用シール（ｌｌｉｇｈＰｒｅｓｓ
ｕｒｅ　Ｄｙｎａｍｉｃ　５ｅａｌ）Ｊという名称の親
出願（Ｓ、Ｎ、　０７／３３３，３４２）の１つの要旨
になっていることを述べておく。このシール組立体１２
の他の特徴は、他の特許出願によりカバーされるであろ
う。

本発明は、このシール組立体Ｉ２におけるＯリング３８
．４２の構成に関し、特に、如何にしてこれらのＯリン
グ３８．４２に圧力逃がし通路手段（ｐｒｅｓｓｕｒｅ
　ｒｅｌｉｅｆ　ｐａｓｓａｇｅｗａｙ　ｍｅａｎｓ）
を設けるかという技術に関するものである。

本発明は、これらのＯリング３８．４２への変動する高
圧及び低圧の作用に関連する成る問題を認識することに
あり、適正なシールを形成するにはこれらのＯリングに
対し通路逃がし手段（ｐａｓｓａｇｅｗａｙ　ｒｅｌｉ
ｅｆ　ｍｅａｎｓ）を如何に機能させるかという点だけ
でなく、これらの０リングの早期劣化の防止を図るとき
にこれらの０リングに関連する作動上の問題を軽減し、
同時に、これらの０リングがそのシール機能を果たすこ
とができるようにすることにある。

本発明を正しく理解できるようにするため、Ｏリング３
８．４２及びこれらに関連する通路逃がし手段について
詳細に説明する前に、シール組立体１２の全体的機能及
び作動について説明する。

以下に述べる詳細な説明において、２つのシール部材３
８．４２を「０リング」と呼ぶものとする。しかしなが
ら、本発明の広い概念では、これらのシール（シール部
材）３８．４２を「０リング」で構成する必要はなく、
本発明の教示に関して同様な機能的特徴をもつ他の構造
のシールで構成してもよい。例えば、これらのシール３
８．４２は、周方向軸線（ｃｉｒｃｕｍｆｅｒｅｎｔｉ
ａｌ　ａｘｉｓ）に対して垂直な平面内で周方向に対称
な横断面形状（例えば、円形、楕円形、三角形、クロー
バ葉形、正方形、その他の形状）にすることができる。

また、これらのシール部材３８．４２は、荷重が作用し
たときには変形するが、荷重を除去したときには元の形
状に戻ることができる弾性材料で作るべきである。これ
らのシール部材３８．４２に適した材料として、例えば
、ゴム、ネオプレン、ウレタン、その他がある。

バックアップリング３０は中央開口部４６を備えている
。この中央開口部４６は、ピストン１６の外表面５（１
０）周囲での厳格な公差の嵌合いを有している前方の環
状表面部分４８と、後方に向かって半径方向外方に拡大
している後方の環状表面部分５２とで構成されており、
この後方の環状表面部分５２は、該表面部分５２とピス
トンの外表面５０との間で拡大しているギャップ５４を
形成している。シールスリーブ３６は、ピストン１６の
外表面５（１０）周囲に嵌合されている内方の環状接触
表面５６を備えている。ピストン１６が往復運動すると
き、その前方に向かう加圧ストローク時には、チャンバ
１８内に非常に大きな圧力（例えば１０，（１６）０　
ｐｓｉ　（約７（１６）　ｋｇ／ｃｍ”）以上の圧力）
が発生し、一方、後方に向かう吸入ストローク時には、
この圧力は大幅に低下する。このとき、シールスリーブ
３６に対し交互に作用する高圧及び低圧により、シール
スリーブ３６がバックアップリング３０に押し付けられ
る。これにより、シールスリーブ３６の幾分かは、バッ
クアンプリング３（１０）前方の環状表面部分４８とピ
ストン１６の外表面５０との間の非常に小さな空間を通
って徐々にはみ出していく。（シールスリーブ３６のこ
の特別な構成及び機能は、「高圧シール組立体（Ｈｉｇ
ｈ　Ｐｒｅｓｓｕｒｅ　５ｅａｌ　Ａｓｓｅｍｂｌｙ）
ｊという名称の上記関連出願においてより詳しく説明さ
れているが、初めに、本願の発明概念を認識するための
充分な背景情報が得られるようにするため、ここでも簡
単に説明する。〉本発明は、主として、Ｏリング３８．
４２に作用するかような圧力変動に関連する問題に関す
るものである。Ｏリング３８は、位置決めフランジ３２
の前方部分に形成された半径方向内方に向いた環状溝６
０内に配置されている。このＯリング３８は、シールス
リーブ３６及び位置決めフランジ３２と協働して、該位
置決めフランジ３２とシールスリーブ３６との境界部の
シールを形成すべく機能する。

他方のＯリング（第２０リング〉　４２は位置決めフラ
ンジ３２の外表面（外周面）６４の周囲に配置されてお
り、位置決めフランジ３２は、この第２０リング４２を
位置決めしかつ保持しておくための半径方向外方に配置
された前方の環状肩部６２を備えている。第２０リング
４２は前述のフェースシール部材４４と協働して、位置
決めフランジ３２の外周面６４とシリンダ１４の隣接内
周面６６との間のシールを形成している。従って、これ
らの第２０リング４２及びフェースシール部材４４によ
り、流体が、チャンバ１８から、バックアップリング３
（１０）前向き表面部分６８とシリンダ１４の後ろ向き
表面部分７０との間を通って流れることが防止される。

より詳しくは、この第２０リング４２は低圧でのシール
作用をなすものであり、従って、フェースシール４４が
そのシーリング形状をなすように促進する。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ａ、高圧領域内の高圧及び低圧に交互に曝される
高圧側と、互いに対向する２つの溝形成側面及び１つの
溝形成後面であって集合的にシール溝を形成する溝形成
側面及び溝形成後面と、該溝形成後面の領域から延びて
いる、シールを設けるべき互いに隣接する表面とを備え
ている高圧構造組立体と、ｂ、前記シール溝内に嵌着できる形状を有する弾性シー
ル部材であって、前記高圧領域に面している高圧表面部
分と、前記高圧構造組立体の前記溝形成側面とシール係
合できる２つの側面部分と、前記高圧構造組立体の前記
溝形成後面に押し付けられるように配置される後面部分
とを備えている弾性シール部材とを有しており、ｃ、前記弾性シール部材及び前記高圧構造組立体は、前
記高圧領域内が高圧状態にあるとき、前記弾性シール部
材が押圧されて高圧シール形状になるように配置されて
おり、前記弾性シール部材が高圧シール形状になったと
き、前記弾性シール部材の前記各側面部分は、関連する
側部シール領域における前記表面の関連するシール側面
部分を押圧しかつ前記弾性シール部材の前記後面部分は
、後部シール領域における溝形成後面に隣接し、ｄ、更に、逃がし通路手段を有しており、該逃がし通路
手段が、前記側部シール領域の少なくとも１つから低圧
状態にある領域に通じており、前記高圧領域内が高圧に
なった後、前記後部シール領域内の圧力を逃がすように
構成したことを特徴とするシール組立体。
（２）前記逃がし通路手段が、前記高圧構造組立体内に
形成されていることを特徴とする請求項１に記載のシー
ル組立体。
（３）低圧状態にありかつ前記逃がし通路手段が通じて
いる前記領域が、低圧期間中の前記高圧領域であること
を特徴とする請求項２に記載のシール組立体。
（４）低圧状態にありかつ前記逃がし通路手段が通じて
いる前記領域が、低圧期間中の前記高圧領域であること
を特徴とする請求項１に記載のシール組立体。
（５）前記弾性シール部材が前記シール溝内で３６０゜
の周方向に亘って延在しており、前記逃がし通路手段が
前記弾性シール部材の長手方向部分に沿って該弾性シー
ル部材と直接連通しており、弾性シール部材の前記長手
方向部分が弾性シール部材の周方向に沿って０．１〜５
゜の範囲に延在していることを特徴とする請求項２に記
載のシール組立体。
（６）前記弾性シール部材の前記長手方向部分が弾性シ
ール部材の周方向の１〜２゜の範囲内にあることを特徴
とする請求項２に記載のシール組立体。
（７）前記弾性シール部材が前記シール溝内で３６０゜
の周方向に亘って延在しており、前記逃がし通路手段が
前記弾性シール部材の長手方向部分に沿って該弾性シー
ル部材と直接連通しており、弾性シール部材の前記長手
方向部分が弾性シール部材の周方向に沿って０．１〜５
゜の範囲に延在していることを特徴とする請求項１に記
載のシール組立体。
（８）前記弾性シール部材の前記長手方向部分が弾性シ
ール部材の周方向の１〜２゜の範囲内にあることを特徴
とする請求項７に記載のシール組立体。
（９）前記シール部材が公称横断面直径を有しており、
前記逃がし通路手段が後部終端領域を有しており、該後
部終端領域が、前記高圧構造体組立体の後面から、前記
公称横断面直径の１／２０〜１／２の範囲内の間隔だけ
隔たって配置されていることを特徴とする請求項１に記
載のシール組立体。
（１０）前記シール部材が公称横断面直径を有しており
、前記逃がし通路手段が後部終端領域を有しており、該
後部終端領域が、前記高圧構造体組立体の後面から、前
記公称横断面直径の１／２０〜１／２の範囲内の間隔だ
け隔たって配置されていることを特徴とする請求項２に
記載のシール組立体。
（１１）ａ、高圧チャンバを形成するシリンダと、前記
高圧チャンバ内に大きな流体圧力を形成する圧縮ストロ
ーク及び前記高圧チャンバ内に低圧が形成される戻りス
トロークに沿って前記シリンダで往復運動できるように
取り付けられたピストンと、前記ピストンと前記シリン
ダとの間の領域にシールを形成するシール組立体とを備
えたポンプ組立体を有しており、ｂ、前記シール組立体が実質的に固定のシール溝形成表
面手段を備えており、該シール溝形成表面手段が、互い
に対向する２つの溝形成側面及び１つの溝形成後面を備
えており、前記溝形成側面及び溝形成後面が集合的にシ
ール溝を形成しており、ｃ、更に、前記シール組立体が、前記シール溝内に嵌着
できる形状を有する弾性シール部材であって、前記チャ
ンバに連通している高圧領域に面している高圧表面部分
と、前記溝形成側面とシール係合できる２つの側面部分
と、前記溝形成後面に隣接して配置される後面部分とを
備えている弾性シール部材とを有しており、ｄ、前記弾性シール部材及び前記溝形成表面手段は、前
記高圧領域内が高圧状態にあるとき、前記弾性シール部
材が押圧されて高圧シール形状になるように配置されて
おり、前記弾性シール部材が高圧シール形状になったと
き、前記弾性シール部材の前記各側面部分は、前記溝形
成側面の側部シール表面部分を押圧しかつ前記弾性シー
ル部材の前記後面部分は、後部シール領域における前記
溝形成後面に隣接し、ｅ、更に、逃がし通路手段を有しており、該逃がし通路
手段が、前記側面部分の少なくとも１つから前記チャン
バに通じており、前記高圧領域内が高圧になった後、前記後部シール領域
内の圧力を逃がすように構成したことを特徴とするポン
プ装置。
（１２）前記シール組立体が更に、前記ピストンの周囲
に配置されたシールスリーブ部材を備えており、該シー
ルスリーブ部材が、この半径方向外方の周面の周囲に延
在していて該周面と係合していて、前記シールスリーブ
部材が前記溝形成側面の内方の側面を形成していること
を特徴とする請求項１１に記載のポンプ装置。
（１３）前記ポンプ組立体の一部が前記シール部材の周
囲に延在していて、前記溝形成側面の他方の側面を形成
していることを特徴とする請求項１２に記載のポンプ装
置。
（１４）前記ポンプ組立体の前記一部が、前記溝形成後
面と、前記チャンバに連通すべく軸線方向に延在してい
る前記逃がし通路手段とを形成していることを特徴とす
る請求項１３に記載のポンプ装置。
（１５）前記シール組立体が更にバックアップリングを
備えており、該バックアップリングがフランジ部分を備
えており、該フランジ部分は前記シール部材の周囲に延
在するように前記シールスリーブ部材の少なくとも一部
の上に延在しており、前記フランジ部分は、前記溝形成
側面の半径方向外方に配置された側面を形成しており、
更に前記フランジ部分には前記逃がし通路手段が形成さ
れていることを特徴とする請求項１２に記載のポンプ装
置。
（１６）前記シール組立体が更にバックアップリングを
備えており、該バックアップリングがフランジ部分を備
えており、該フランジ部分は前記シール部材の周囲に延
在しており、前記フランジ部分は半径方向外方に位置す
る溝形成側面を形成しており、更に前記フランジ部分に
は前記逃がし通路手段が形成されていることを特徴とす
る請求項１１に記載のポンプ装置。
（１７）前記シール組立体が更に、前記シリンダに当接
して配置されたバックアップリングを備えており、該バ
ックアップリング及び前記シリンダが前記溝形成表面手
段を形成しており、前記シリンダが前記溝形成側面の１
つの側面を形成しており、前記バックアップリングが前
記溝形成側面の他の側面を形成していることを特徴とす
る請求項１１に記載のポンプ装置。
（１８）ａ、前記シール組立体が更に、前記ピストンの
周囲に配置されたシールスリーブ部材を備えており、該
シールスリーブ部材が、この半径方向外方の周面の周囲
に延在していて該周面と係合していて、前記シールスリ
ーブ部材が前記溝形成側面の内方の側面を形成しており
、ｂ、前記シール組立体が更にバックアップリングを備え
ており、該バックアップリングがフランジ部分を備えて
おり、該フランジ部分は前記シール部材の周囲に延在す
るように前記シールスリーブ部材の少なくとも一部の上
に延在しており、前記フランジ部分は、半径方向外方に
配置された溝形成側面を形成しており、更に前記フラン
ジ部分には前記逃がし通路手段が形成されており、ｃ、前記シール組立体が更に、前記シリンダに当接して
配置されたバックアップリングを備えており、該バック
アップリング及び前記シリンダが第２溝形成表面手段を
形成しており、前記シリンダが２つの第２溝形成側面の
１つを形成しており、前記バックアップリングが前記第
２溝形成側面の他方を形成しており、前記第２溝形成側
面が前記第２溝形成表面手段を備えており、ｄ、前記第２溝形成表面手段には第２弾性シール部材が
配置されており、ｅ、前記逃がし通路手段が、前記２つの第２溝形成側面
手段のうちの少なくとも一方に通じていることを特徴と
する請求項１１に記載のポンプ装置。
（１９）前記バックアップリングのフランジ部分が、前
記第２溝形成側面の前記他方を形成していることを特徴
とする請求項１８に記載のポンプ装置。