JPH0343150A - Polishing device - Google Patents
Polishing deviceInfo
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- JPH0343150A JPH0343150A JP1178003A JP17800389A JPH0343150A JP H0343150 A JPH0343150 A JP H0343150A JP 1178003 A JP1178003 A JP 1178003A JP 17800389 A JP17800389 A JP 17800389A JP H0343150 A JPH0343150 A JP H0343150A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は被加工物を鏡面加工するための研磨装置に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a polishing apparatus for mirror-finishing a workpiece.
（従来の技術） 被加工物を精密に研磨加工するには種々の手段がある。(Conventional technology) There are various methods for precisely polishing a workpiece.
その１つとしてＥ Ｅ Ｍ （ｅｌａｓｔｉｃ ｅｍｉ
−ｓｓｌｏｎ ｉａｃｈｌｎｉｎｇ）が知られている。One of them is E EM (elastic emi).
-sslon iachlning) is known.
このＥＥＭは被加工物と微細な砥粒との間に相対的な変
位を生じさせながら軸を回転させることにより、砥粒を
被加工物の表面の凹凸に衝突させて加工を行なうもので
ある。This EEM performs machining by rotating the shaft while creating a relative displacement between the workpiece and fine abrasive grains, causing the abrasive grains to collide with the irregularities on the surface of the workpiece. .
しかしながら、このようなＥＥＭによる研磨加工は、軸
の回転により被加工物へ砥粒の衝突させることにより加
工を行なうので、所定の加工を行なうのに長時間掛かり
、加工能率が非常に悪いばかりか、その加工量のコント
ロールが難しいということもあった。However, in polishing using EEM, processing is performed by causing abrasive grains to collide with the workpiece by rotation of the shaft, so it takes a long time to perform the specified processing, and the processing efficiency is very low. However, it was also difficult to control the amount of processing.
そこで、本出願人は、先願である特願昭６３−７９４１
号明細書にて、液体中に被加工物と対向して配置された
中空状の工具本体と、この工具本体を回転自在に支持し
た支持部と、上記工具本体を回転駆動する駆動源と、上
記工具本体の内部空間に微細な砥粒を供給する供給手段
と、上記工具本体の周壁に形成されこの内部空間に供給
された砥粒を噴出するための多数の噴出孔と、上記工具
本体を上記被加工物の被加工面に沿って駆動する制御手
段とを具備し、上記工具本体から砥粒を所定の圧力で噴
出させることによって加工能率の向上を計るとともに加
工量をコントロールすることができるようにした研磨装
置を開示した。Therefore, the applicant has filed an earlier application, Japanese Patent Application No. 63-7941.
In the specification, a hollow tool body is disposed in a liquid facing a workpiece, a support part that rotatably supports the tool body, and a drive source that rotationally drives the tool body. a supply means for supplying fine abrasive grains into the internal space of the tool body; a large number of jetting holes formed in the peripheral wall of the tool body for jetting out the abrasive grains supplied to the internal space; and a control means that drives the workpiece along the surface to be machined, and by ejecting abrasive grains from the tool body at a predetermined pressure, the machining efficiency can be improved and the amount of machining can be controlled. A polishing device is disclosed.
しかるに、この研磨装置は、砥粒を噴出する工具を、多
孔質の焼結金属により形成しているので、微細な砥粒に
よりその噴出孔が目詰まりを起し、研磨能率の低下ある
いは研磨不能を惹起していた。However, in this polishing device, the tool for ejecting abrasive grains is made of porous sintered metal, so the fine abrasive grains can clog the ejection holes, reducing polishing efficiency or making polishing impossible. was causing
しかも、このような噴出孔を有する工具は、すこぶるク
リーニングが困難であるので、再使用に供することが実
際上不可能となり、実用性に乏しいものとなっていた。Moreover, since it is extremely difficult to clean a tool having such an ejection hole, it is practically impossible to reuse it, making it impractical.
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、上記事情を勘案してなされたもので研磨砥粒
を噴出させる工具が目詰まりを生じることなく、かつ、
クリーニングが容易で工具寿命が長くなり、しかも、数
入オーダの表面粗さの研磨加工が可能な研磨装置を提供
することを目的とする。(Problems to be Solved by the Invention) The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and a tool for ejecting abrasive grains does not become clogged, and
It is an object of the present invention to provide a polishing device that is easy to clean, has a long tool life, and is capable of polishing a surface roughness on the order of several units.
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
遊離砥粒を噴出して非接触研磨する研磨装置において、
球状の工具の外周面に研磨液噴出孔を開口させ、供給手
段から供給される研磨液を中空部を介して被加工物に向
って噴出させるようにして、目詰まりなく、高精度かつ
高能率研磨を可能としたものである。[Structure of the invention] (Means and effects for solving the problem) In a polishing device that performs non-contact polishing by ejecting loose abrasive grains,
A polishing liquid jet hole is opened on the outer circumferential surface of the spherical tool, and the polishing liquid supplied from the supply means is jetted toward the workpiece through the hollow part, resulting in high precision and high efficiency without clogging. This makes polishing possible.
（実施例） 以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。(Example) An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図中（１）は内部に液体りが収容された容器である。こ
の容器（１）内には支持部（２）が設けられ、この支持
部〈２）には工具本体（３）が回転自在に支持されてい
る。この工具本体（３）は上記支持部（２）に気密な状
態で回転自在に支持された軸部（４）と、金属製の中空
状の球形部（５）とからなる。そうして、球径部（５）
の外周面には、第２図に示すように、溝部（５ａ〉・・
・が経線方向に等配されている。また、これら各溝部（
５ａ）・・・には、一端が溝部（５ａ）・・・の内底面
に開口し、他端が球形部（５）の内球面に開口する一定
の内径を有する噴出孔（５ｂ）・・・が放射状に等間隔
にて穿設されている。In the figure, (1) is a container in which a liquid is stored. A support portion (2) is provided within the container (1), and a tool body (3) is rotatably supported on this support portion (2). The tool main body (3) consists of a shaft part (4) rotatably supported in an airtight manner by the support part (2), and a hollow spherical part (5) made of metal. Then, the spherical diameter part (5)
As shown in Fig. 2, there are grooves (5a) on the outer peripheral surface of the
・are equally distributed in the meridian direction. In addition, each of these grooves (
5a)... has a jet hole (5b) having a constant inner diameter, one end of which opens into the inner bottom surface of the groove part (5a), and the other end of which opens into the inner spherical surface of the spherical part (5).・ are drilled radially at equal intervals.
上記溝部（５ａ〉・・・の横断面形状は、例えば矩形、
台形、円形など任意形状でよい。The cross-sectional shape of the groove portion (5a>...) is, for example, rectangular,
Any shape such as trapezoid or circle may be used.
上記軸部（４）には複数の放射孔（６）が径方向に沿っ
て穿設されている。この放射孔（６）は一端が上記軸部
（４）の軸方向に沿って形成された連通路（７）を介し
て球形部（５）の内部空間に連通し、他端が上記軸部（
４）の外周面に開放している。この放射孔（６）の他端
は上記支持部（２）の内周面に形成された環状溝（８）
に連通している。A plurality of radiation holes (6) are bored in the shaft portion (4) along the radial direction. One end of this radiation hole (6) communicates with the internal space of the spherical part (5) via a communication path (7) formed along the axial direction of the shaft part (4), and the other end communicates with the internal space of the shaft part (4). (
4) is open to the outer peripheral surface. The other end of this radial hole (6) is an annular groove (8) formed on the inner peripheral surface of the support part (2).
is connected to.
上記支持部（２）の外周面には接続口体（９）が設けら
れている。この接続口体（９）には上記環状溝（８）に
連通ずる連通孔（１１）が穿設されているとともに、供
給ホース（１２）が接続されている。この供給ホース（
１２）からは微細な砥粒を混入した研磨液が所定の圧力
で供給される。したがって、その研磨液は環状溝（８）
、放射孔（６）、連通路（７〉および球形部（５）の内
部空間を通ってその周壁の噴出孔（５ｂ）・・・から容
器（１）内に噴出されるようになっている。A connection port body (9) is provided on the outer peripheral surface of the support portion (2). This connection port (9) has a communication hole (11) that communicates with the annular groove (8) and is connected to a supply hose (12). This supply hose (
12) supplies a polishing liquid mixed with fine abrasive grains at a predetermined pressure. Therefore, the polishing liquid is in the annular groove (8).
, through the internal space of the radiation hole (6), the communicating path (7>, and the spherical part (5)), and is ejected into the container (1) from the ejection hole (5b) on the peripheral wall thereof. .
上記工具本体（３）は駆動源（１３）によって回転駆動
されるようになっている。また、上記支持部（２）と駆
動源（１３）とは可動体（１４〉に取付けられ、この可
動体（１４〉はＣＮＣなど・の制御手段（１５）によっ
て駆動制御されるようになっている。すなわち、可動体
（１４〉は上記容器（１）内に設置された被加工物（１
６）の被加工面（１７）に対して工具本体（３）の球形
部（５〉が一定の間隔を保ちながら移動するよう上記制
御手段（１５〉によって制御される。さらに、工具本体
（３）と駆動源（１３）との間には、可撓継手Ｕ）が介
挿され、工具本体（３）が容器（１）の研磨液り中にて
浮沈自在となっている。The tool body (3) is rotatably driven by a drive source (13). Further, the support part (2) and the drive source (13) are attached to a movable body (14>), and the movable body (14>) is driven and controlled by a control means (15) such as a CNC. That is, the movable body (14) moves the workpiece (14) installed in the container (1).
It is controlled by the control means (15>) so that the spherical part (5>) of the tool body (3) moves with respect to the workpiece surface (17) of the tool body (3) while maintaining a constant distance. ) and the drive source (13), a flexible joint U) is inserted, so that the tool body (3) can float up and down in the polishing liquid in the container (1).
このように構成された研磨装置においては、工具本体（
３）を駆動源（１３）によって矢印（Ｒ）方向に回転駆
動するとともに、この工具本体（３）の球形部（５）内
へ供給ホース（１２）から研磨液を供給し、その球形部
（５）の噴出孔（５ｂ）・・・から噴出させる。さらに
、制御手段（１５）によって可動体（１４）をＣＮＣ制
御し、工具本体（３）の球形部（５〉を被加工物（１６
）の被加工面（１７）に対して一定の間隔を保ちながら
移動させる。すると、上記球形部（５）の噴出孔（５ｂ
）・・・から研磨液が噴出し、この研磨液が被加工物（
ｌＢ〉の被加工面（１７）に衝突するから、その研磨液
に含まれる微細な砥粒によって上記被加工面（１７）が
研磨加工されることになる。In the polishing device configured in this way, the tool body (
3) is rotationally driven in the direction of the arrow (R) by the drive source (13), and the polishing liquid is supplied from the supply hose (12) into the spherical part (5) of this tool body (3), and the spherical part ( 5) is ejected from the ejection hole (5b). Furthermore, the movable body (14) is CNC-controlled by the control means (15), and the spherical part (5> of the tool body (3) is moved to the workpiece (16).
) while maintaining a constant distance from the surface to be processed (17). Then, the ejection hole (5b) of the spherical part (5)
)... polishing liquid is ejected from the workpiece (
1B>, the surface to be processed (17) is polished by the fine abrasive grains contained in the polishing liquid.
このような研磨加工においては、被加工面（１７）を研
磨加工する砥粒を液体とともに内径が一定の工具本体（
３）の噴出孔（５ｂ）・・・から所定の圧力で噴出させ
ることができる。したがって、砥粒は上記る。In such polishing, abrasive grains for polishing the surface to be machined (17) are mixed together with liquid into a tool body (with a constant inner diameter).
3) can be ejected from the ejection holes (5b) at a predetermined pressure. Therefore, the abrasive grains are as described above.
また、工具本体（３〉の球形部（５）から噴出する研磨
液の圧力は調節することができる。したがって、その圧
力を変えることによって上記砥粒による加工量を調節す
ることができる。さらに、駆動液（１３〉により回転駆
動される工具本体（３）からの砥粒の噴出を容器（１）
の研磨液り中で行なうため、溝部（５ａ）・・・により
助長された動圧効果により非接触の安定性が増すことも
、被加工物（１６〉の研磨加工に寄与し、加工精度及び
加工能率の向上が計れる。ちなみに、入オーダの研磨で
も能率的に行うことができる。Further, the pressure of the polishing liquid ejected from the spherical part (5) of the tool body (3>) can be adjusted. Therefore, by changing the pressure, the amount of processing by the abrasive grains can be adjusted.Furthermore, The abrasive grains are ejected from the tool body (3) which is rotationally driven by the driving liquid (13) into the container (1).
Since the polishing process is carried out in the polishing liquid of Processing efficiency can be improved.Incidentally, even in-order polishing can be performed efficiently.
なお、上記実施例に限ることなく、工具本体（３）の球
形部（５〉を楕円球形としてもよい。また、溝部は、経
線方向でなく緯線方向に等配させてもよく、また、経線
及び緯線両方向に配設してもよい。さらに、溝部は、直
線状でなくねじれているものでもよい。さらにまた、噴
出孔（５ｂ）・・・の縦断面形状は、直線状、テーパ状
、外側開口部が面取りされているものなど、種々変更自
在である。さらに、本発明は、溝部（５ａ）・・・を設
けることなく、球形部（５）の外周全面にわたって噴出
孔（５ｂ）・・・を開口させるようにしてもよい。Note that the spherical portion (5>) of the tool body (3) may have an elliptic spherical shape without being limited to the above embodiment.Furthermore, the groove portions may be equally distributed in the latitude direction instead of the meridian direction, or Furthermore, the grooves may be arranged in both the directions of the latitude line and the latitude line.Furthermore, the groove portion may not be linear but may be twisted.Furthermore, the vertical cross-sectional shape of the ejection hole (5b) may be linear, tapered, It is possible to make various changes such as having a chamfered outer opening.Furthermore, in the present invention, the jet hole (5b) is provided over the entire outer circumference of the spherical portion (5) without providing a groove (5a). ... may be opened.
［発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、液体中において中空状の
工具本体から被加工物に向けて砥粒を噴出するとともに
、上記工具本体を被加工物の被加工面に沿って駆動する
ようにした。したがって、砥粒が所定の圧力で上記被加
工面に衝突して研磨加工が行われるので、その加工を能
率よく行なうことができるとともに、上記砥粒の噴出圧
力を変えることによって研磨量を制御することもできる
。[Effects of the Invention] As described above, the present invention jets abrasive grains from a hollow tool body toward a workpiece in a liquid, and at the same time, the tool body is moved along the machined surface of the workpiece. I made it drive. Therefore, the abrasive grains collide with the surface to be processed at a predetermined pressure to perform the polishing process, so that the process can be carried out efficiently, and the amount of polishing can be controlled by changing the jetting pressure of the abrasive grains. You can also do that.
また、回転駆動されている工具本体からの砥粒の噴出が
液体中で行われるので、噴出孔から噴出される研磨液に
よる動圧効果によって被加工物井接果が相俟って、例え
ば入オーダの研磨加工ら高能率かつ高精度で行うことが
できる。In addition, since the abrasive grains are ejected from the rotating tool body in liquid, the dynamic pressure effect of the abrasive liquid ejected from the ejection holes causes the workpiece to come into contact with the workpiece, for example. The polishing process can be performed with high efficiency and precision.
第１図はこの発明の一実施例の研磨装置の構成図、第２
図は同じく球形部の拡大正面図である。
（２）・・・支持部、（３〉・・・工具本体、（５）・
・・球形部、（５ａ〉・・・溝部、（５ｂ）・・・噴出
孔、（１２）・・・供給ホース（供給手段）、（１Ｂ）
・・・被加工物。Fig. 1 is a block diagram of a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention;
The figure is also an enlarged front view of the spherical part. (2)...Support part, (3>...Tool body, (5)...
...Spherical part, (5a>...Groove part, (5b)...Blowout hole, (12)...Supply hose (supply means), (1B)
...Workpiece.
Claims (2)
、上記被加工物に先端部が対向して配置されかつ少なく
とも上記先端部に中空部を有する工具本体と、この工具
本体を回転自在に支持する支持部と、上記工具本体を回
転駆動する駆動源と、上記工具本体の中空部に微細な砥
粒を含有する研磨液を供給する供給手段とを具備し、上
記工具本体の先端部には上記供給手段から供給される研
磨液を上記中空部を介して噴出させる多数の噴出孔が設
けられていることを特徴とする研磨装置。(1) A polishing device for polishing a workpiece in a liquid, including a tool body whose tip is disposed facing the workpiece and has at least a hollow portion in the tip, and a tool body that is rotatable. a support part for supporting the tool body, a drive source for rotationally driving the tool body, and a supply means for supplying a polishing liquid containing fine abrasive grains into the hollow part of the tool body, and the tip part of the tool body A polishing device characterized in that the polishing device is provided with a large number of spout holes for spouting the polishing liquid supplied from the supply means through the hollow portion.
記溝に噴出孔の一端部が開口していることを特徴とする
請求項（１）記載の研磨装置。(2) The polishing device according to claim 1, wherein a groove is carved on the outer circumferential surface of the tip of the tool body, and one end of the ejection hole opens into the groove.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1178003A JPH0343150A (en) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | Polishing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1178003A JPH0343150A (en) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | Polishing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0343150A true JPH0343150A (en) | 1991-02-25 |
Family
ID=16040852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1178003A Pending JPH0343150A (en) | 1989-07-12 | 1989-07-12 | Polishing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0343150A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010049919A1 (en) * | 2010-10-28 | 2012-05-03 | Otec Präzisionsfinish GmbH | Surface processing method of workpiece, involves applying fluidic pressure greater than ambient pressure to workpiece which is immersed in packed bed of polishing and grinding granular particles |
| US8628445B2 (en) | 2012-02-21 | 2014-01-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Vehicle-driving system |
-
1989
- 1989-07-12 JP JP1178003A patent/JPH0343150A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010049919A1 (en) * | 2010-10-28 | 2012-05-03 | Otec Präzisionsfinish GmbH | Surface processing method of workpiece, involves applying fluidic pressure greater than ambient pressure to workpiece which is immersed in packed bed of polishing and grinding granular particles |
| DE102010049919B4 (en) * | 2010-10-28 | 2015-05-13 | Otec Präzisionsfinish GmbH | Method and device for surface treatment of through holes having workpieces |
| US8628445B2 (en) | 2012-02-21 | 2014-01-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Vehicle-driving system |
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