JPH0342602B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0342602B2 JPH0342602B2 JP23891083A JP23891083A JPH0342602B2 JP H0342602 B2 JPH0342602 B2 JP H0342602B2 JP 23891083 A JP23891083 A JP 23891083A JP 23891083 A JP23891083 A JP 23891083A JP H0342602 B2 JPH0342602 B2 JP H0342602B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- scale
- index
- magnetic
- capacitance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は長さの測定方法に関する。
モアレ縞をなす如きスケール格子Ａとインデツ
クス格子Ｂに磁気目盛を記録し、スケール格子Ａ
及びスケール格子の２倍の長さで記録したインデ
ツクス格子のそれぞれ１本を例にとると、このＡ
とＢを交叉角θで重ね合せ、これを横方向に移動
すると、第１図の如くＮとＮが重なり合つたとき
はＡとＢは反撥し、第２図の如くＮとＳが重なる
とＡとＢは吸引する。従つてA.B間に圧力感知
器、歪計、ロードセル、磁気センサー、近接セン
サーなどのセンサーＸを設置するとＸはA.Bの磁
気スケールの移動による反撥、吸引により電気信
号を発生するからこれをカウントして長さを測定
することができる。
クス格子Ｂに磁気目盛を記録し、スケール格子Ａ
及びスケール格子の２倍の長さで記録したインデ
ツクス格子のそれぞれ１本を例にとると、このＡ
とＢを交叉角θで重ね合せ、これを横方向に移動
すると、第１図の如くＮとＮが重なり合つたとき
はＡとＢは反撥し、第２図の如くＮとＳが重なる
とＡとＢは吸引する。従つてA.B間に圧力感知
器、歪計、ロードセル、磁気センサー、近接セン
サーなどのセンサーＸを設置するとＸはA.Bの磁
気スケールの移動による反撥、吸引により電気信
号を発生するからこれをカウントして長さを測定
することができる。
スケール格子Ａ、インデツクス格子Ｂを同じ長
さで目盛つた組合せでもAB間に反撥と中間点と
の強弱の信号をとることができる又インデツクス
格子の目盛はスケール格子の目盛のＮ倍としても
よい。
さで目盛つた組合せでもAB間に反撥と中間点と
の強弱の信号をとることができる又インデツクス
格子の目盛はスケール格子の目盛のＮ倍としても
よい。
第３図、Ａ，Ｂの磁気スケール面（Ａ−１）
（Ｂ−１）の反撥吸引により固定面ＣとＢとの間
隔が変動するから（Ｂ−２）面と（Ｃ−２）面と
に静電容量の変化が生じる。
（Ｂ−１）の反撥吸引により固定面ＣとＢとの間
隔が変動するから（Ｂ−２）面と（Ｃ−２）面と
に静電容量の変化が生じる。
従つてこの静電容量の大小をカウントして長さ
を測定する。更にこの静電容量をLC又はRC共振
回路と組合せることにより静電容量の変化を共振
周波波数としフイルターと組合せるなどして取出
し、計数する。
を測定する。更にこの静電容量をLC又はRC共振
回路と組合せることにより静電容量の変化を共振
周波波数としフイルターと組合せるなどして取出
し、計数する。
第４図はインデツクス格子Ｂにガイド１を介し
て磁気抵抗効果素子２を接続したもので、スケー
ル格子とインデツクス格子の磁極の相互の変化に
よる磁気量の変化を抵抗値の変化としてとらえ計
数化する。
て磁気抵抗効果素子２を接続したもので、スケー
ル格子とインデツクス格子の磁極の相互の変化に
よる磁気量の変化を抵抗値の変化としてとらえ計
数化する。
スケール格子の磁気スケールに高透磁率の材質
で構成したインデツクス格子を交叉させ、これに
MR素子を結合して磁気信号を検出する。
で構成したインデツクス格子を交叉させ、これに
MR素子を結合して磁気信号を検出する。
又ホール素子を用いてスケール格子と交叉する
インデツクス格子の磁気量の変化から電圧を検出
する。
インデツクス格子の磁気量の変化から電圧を検出
する。
第１図，第２図はスケール格子Ａとインデツク
ス格子Ｂのそれぞれ１本の磁気記録磁極が相互に
影響し合う状態を示す。第３図はA.B.C面の断面
を示す。第４図はインデツクス格子に磁気抵抗効
果素子を取付けた状態を示す。
ス格子Ｂのそれぞれ１本の磁気記録磁極が相互に
影響し合う状態を示す。第３図はA.B.C面の断面
を示す。第４図はインデツクス格子に磁気抵抗効
果素子を取付けた状態を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 本文及び図面に示すようにスケール格子Ａ、
インデツクス格子Ｂが交叉角θで組合わされてな
る測長部のスケール格子Ａ、インデツクス格子Ｂ
を磁性材料で構成し、スケール格子Ａ及びインデ
ツクス格子ＢにＮ・Ｓの磁気目盛を記録し、Ａ上
をＢが横に移動することによりＡ上の磁極とＢ上
の磁極が相互に吸引、反撥することにより生じる
スケール格子Ａ面とインデツクス格子Ｂとの間の
変位、圧力変化を感知し、これをカウントするこ
とにより長さを測定する方法。 ２ 特許請求の範囲第１項の方法において第３図
の如く、A.Bの吸引、反撥を静電容量の変化と
し、これをカウントする測定の方法。 ３ 特許請求の範囲第１項の方法において静電容
量の変化をL.C若しくはR.C共振回路と組合わせ
ることにより、共振周波数として取り出す測長方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23891083A JPS60131402A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 測長方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23891083A JPS60131402A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 測長方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131402A JPS60131402A (ja) | 1985-07-13 |
| JPH0342602B2 true JPH0342602B2 (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=17037081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23891083A Granted JPS60131402A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 測長方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60131402A (ja) |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP23891083A patent/JPS60131402A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60131402A (ja) | 1985-07-13 |
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