JPH0341935U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0341935U JPH0341935U JP10307089U JP10307089U JPH0341935U JP H0341935 U JPH0341935 U JP H0341935U JP 10307089 U JP10307089 U JP 10307089U JP 10307089 U JP10307089 U JP 10307089U JP H0341935 U JPH0341935 U JP H0341935U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- vacuum suction
- stage
- suction hole
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
第１図は、この考案のウエーハ（大）を使用す
る場合の吸着チヤツク要部断面図、第２図は、ウ
エーハ（小）を使用する場合の吸着チヤツク要部
断面図である。第３図は、従来の大きさが一定の
ウエーハを吸着させるチヤツクの要部断面図であ
る。 １ａ，１ｂ……真空吸引孔、２ａ……外周ステ
ージ、２ｂ……内周ステージ、３……ウエーハ、
３ａ……ウエーハ（大）、３ｂ……ウエーハ（小
）、４……統括真空吸引孔、５……ねじ込み部、
６……通気孔、７……Ｏリング。
る場合の吸着チヤツク要部断面図、第２図は、ウ
エーハ（小）を使用する場合の吸着チヤツク要部
断面図である。第３図は、従来の大きさが一定の
ウエーハを吸着させるチヤツクの要部断面図であ
る。 １ａ，１ｂ……真空吸引孔、２ａ……外周ステ
ージ、２ｂ……内周ステージ、３……ウエーハ、
３ａ……ウエーハ（大）、３ｂ……ウエーハ（小
）、４……統括真空吸引孔、５……ねじ込み部、
６……通気孔、７……Ｏリング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハを載置し、統括真空吸引孔に連なる真
空吸引孔を複数個設けるステージを有するウエー
ハ吸着チヤツクにおいて、 上記ステージを、ウエーハ径寸法に対応する数
の同心状に設定するとともに、内周のステージは
、外周のステージの真空吸引孔内にねじ込み接続
され、かつねじ込み部は、ねじ込みにより外周ス
テージの真空吸引孔を閉塞可能とする通気孔を設
けたことを特徴とするウエーハ吸着チヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10307089U JPH0341935U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10307089U JPH0341935U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341935U true JPH0341935U (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=31651933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10307089U Pending JPH0341935U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341935U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021070265A1 (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | 株式会社日立ハイテク | 試料ステージ及び光学式検査装置 |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP10307089U patent/JPH0341935U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021070265A1 (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | 株式会社日立ハイテク | 試料ステージ及び光学式検査装置 |
| JPWO2021070265A1 (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 |