JPH02117755U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02117755U JPH02117755U JP2612789U JP2612789U JPH02117755U JP H02117755 U JPH02117755 U JP H02117755U JP 2612789 U JP2612789 U JP 2612789U JP 2612789 U JP2612789 U JP 2612789U JP H02117755 U JPH02117755 U JP H02117755U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamper
- hollow
- rotary table
- inspection device
- spindle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２
図はこの考案の他の実施例を示す部分断面図であ
る。 １……スタンパ、２……回転テーブル、３……
スピンドル、３ａ……通気孔、４……スペーサ、
４ａ，４ｂ……軸受け、５……磁性リング、６…
…磁性流体、８……センターガイド、９……スプ
リング。
図はこの考案の他の実施例を示す部分断面図であ
る。 １……スタンパ、２……回転テーブル、３……
スピンドル、３ａ……通気孔、４……スペーサ、
４ａ，４ｂ……軸受け、５……磁性リング、６…
…磁性流体、８……センターガイド、９……スプ
リング。
Claims (1)
- スタンパ検査装置におけるスタンパを載置する
回転テーブルを中空とし、該中空の内部から回転
テーブル上面に開口する複数の透孔を設け、前記
中空の内部と空気吸引装置の吸入口とをスピンド
ルに設けた通気孔を介して連通したことを特徴と
するスタンパ検査装置におけるスタンパ保持装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2612789U JPH02117755U (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2612789U JPH02117755U (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02117755U true JPH02117755U (ja) | 1990-09-20 |
Family
ID=31247475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2612789U Pending JPH02117755U (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02117755U (ja) |
-
1989
- 1989-03-09 JP JP2612789U patent/JPH02117755U/ja active Pending