JPH0337517A - 改良型電極配列を伴う容量型測定トランスデューサ - Google Patents

改良型電極配列を伴う容量型測定トランスデューサ

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JPH0337517A
JPH0337517A JP17137989A JP17137989A JPH0337517A JP H0337517 A JPH0337517 A JP H0337517A JP 17137989 A JP17137989 A JP 17137989A JP 17137989 A JP17137989 A JP 17137989A JP H0337517 A JPH0337517 A JP H0337517A
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JP
Japan
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electrode
electrodes
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supporting members
row
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Pending
Application number
JP17137989A
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English (en)
Inventor
Ai Andaamo Nirusu
ニルス　アイ　アンダーモ
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は一般に線型及び開型ｄ１す定における置換方ｆ
ｆ１１１定装置に関するものであり、特に容量型ｆｌｌ
１１定装置についてである。
［従来の技術］

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 　容量型測定装置は、第１、第２支持部材、該支持部材
    は相互に置換可能であり、支持部材の少なくとも一方は
    測定軸に対して置換可能であり、相互の支持部材の対応
    位置に応じて可変容量パターンを生じさせるために、測
    定軸に沿って該第１及び該第２支持部材上それぞれに第
    １及び第２電極列が位置し、該第１電極列はスケール波
    長として定められるピッチＰｒの均一な間隔を持った第
    １電極単体の列を含み、該第２電極列は該支持部材同士
    の相対位地の応じて第１電極の異なる部分と容量的に連
    結するために配列する第２電極単体の列を含み、該第２
    電極は互いにグループピッチＰｇを持って分離している
    複数の測定要素グループを定めるように配列されている
    。ここで各電極グループはＮ個の測定要素を持ち、Ｎは
    ２以上の整数であり、該各電極グループを形成する第２
    電極は夫々の所定グループ位置がスケール波長よりも大
    きな距離にわたって広がるように位置を占め、各スケー
    ル波長は、グループピッチをスケール波長に対応する間
    隔に分け、各間隔をＮ個に等分することにより得られる
    、スケール波長区分のグループの異なる位置に対応する
    ように各グループ内に位置しており、 各該電極グループ内の第２電極にＮ個の周期的励起信号
    の少なくとも１つの組み合わせを発信することができる
    信号発生器において、該励起信号は各グループの電極に
    より占められるスケール波長区分位置に対応する並びに
    応じて各グループ内の第２電極の対応する電極グループ
    にそれぞれ励起信号を発振するようになっており、 探知機及び、感知された第１電極の出力信号の合計を示
    す出力信号を生じさせるために、励起信号の少なくとも
    １つの組み合わせに対して第２電極列と容量的に連結さ
    れた第１電極によって生ずる出力信号を探知するための
    探知電極手段、該探知電極手段の出力信号より測定デー
    タを引き出すための信号処理手段、以上を含む改良型電
    極配列を伴う容量型測定トランスデューサ。
JP17137989A 1989-07-03 1989-07-03 改良型電極配列を伴う容量型測定トランスデューサ Pending JPH0337517A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08166204A (ja) * 1994-12-12 1996-06-25 Mitsutoyo Corp 静電容量式変位測定装置
JP2014024118A (ja) * 2012-06-19 2014-02-06 Amada Co Ltd 金型位置検出装置、曲げ加工装置、金型、被装着装置に対する装着部材の位置検出方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62238412A (ja) * 1986-04-09 1987-10-19 Mitsutoyo Corp 容量型位置測定トランスデユ−サ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62238412A (ja) * 1986-04-09 1987-10-19 Mitsutoyo Corp 容量型位置測定トランスデユ−サ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08166204A (ja) * 1994-12-12 1996-06-25 Mitsutoyo Corp 静電容量式変位測定装置
JP2014024118A (ja) * 2012-06-19 2014-02-06 Amada Co Ltd 金型位置検出装置、曲げ加工装置、金型、被装着装置に対する装着部材の位置検出方法

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