JPH033573Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、真空室の内壁に付着した水分やガス
を蒸発させてポンプで吸引することにより前記真
空室内を高真空にするためのベーキングランプユ
ニツトに関する。

考案の技術的背景ならびにその問題点 最近では、半導体製造装置あるいは各種の真空
装置において、超高真空のチエンバを形成する必
要性が生じている。

例えば、前記半導体製造装置では真空室内で基
板上に複数の金属からなる合金薄膜を蒸着法によ
り形成している。

このような蒸着法で用いる真空室を形成するに
当り、従来からベーキング法が用いられ、真空室
の内壁の温度を上昇して、この内壁に付着した水
分、ガス等を蒸発させ、これをポンプで吸引して
外部に排出することにより超高真空とするもので
ある。

このようなベーキング法を実施するに当つて
は、真空室となる真空室本体の外部から抵抗加熱
のヒータを巻きつけ、真空室内の温度を上昇させ
るようにしたものがある。

しかし、この方法は、真空室を外部から加熱す
るようにしており、しかも電熱線を用いているた
め、加熱効率が悪く、また真空室内の内部構造が
複雑な場合は、この内部構成部材すべてを加熱す
ることが難しいものとなる。

他の方法としては、真空室内にシース・ヒータ
を巻く方法もあるが、局部的で効率が悪いという
欠点がある。

本考案者は、上述のような欠点、問題点を解決
すべく鋭意検討したところ、熱源をランプとし、
これを真空室内に設ければ、熱効率が良く、真空
室内をくまなく加熱することができ、比較的簡単
に水分等を蒸発させて、超高真空を得ることがで
きることを見出して本考案を完成するに至つた。

考案の目的 本考案は、真空室内という可酷な条件下であつ
ても、熱効率よく速やかな加熱ができ、しかも真
空室本体への装着が容易で、メンテナンスも容易
なベーキングランプユニツトを提供することを目
的とする。

考案の概要 本考案に係るベーキングランプユニツトは、内
部が真空室となる真空室本体にシール性をもつて
フランジを取付けるとともに該フランジに一対の
電流導入端子を挿通し、この電流導入端子の前記
真空室側先端に弾性を有する支持部材を取付け、
この支持部材によりハロゲンランプを弾性支持し
たことを特徴とするものである。

このようにすれば、真空室内にランプを設置し
ているので、真空室内をくまなく照らし、短時間
で効率良く、内壁の温度を上昇させることがで
き、しかもランプの取付、交換のメンテナンスが
容易となり、熱伸縮により生じる接点不良を防止
することができることになる。

考案の具体的説明 以下、本考案の実施例を図面について説明す
る。

第１図は、本考案の一実施例を示すもので、真
空蒸着装置に、垂直型のランプを組み込んだベー
キングランプユニツトを示す概略説明図、第２図
は、同ベーキングランプユニツトの正面図、第３
図は、同ユニツトの電極押え部材の断面図であ
る。

第１図に示す真空蒸着装置１０はポンプ１１と
連通された真空室本体１２を有し、この真空室本
体１２の真空室Ｃ内には真空蒸着用の各種機器ｍ
と、この真空室本体１２の内壁１２ａを加熱する
ベーキングランプユニツトL₁が設けられている。

このベーキングランプユニツトL₁は第２図に
示すように、前記真空室本体１２に取付けられた
フランジ１３を有し、このフランジ１３に一対の
電流導入端子１４，１４を挿通し、この電流導入
端子１４，１４の真空室内側先端には、支持部材
１５が取付けられ、この支持部材１５および電極
押え部材１６ａを介してハロゲンランプ１７が挟
持されている。

なお、前記支持部材１５の強度が不足する恐れ
があるため、電極押え部材１６ａおよびステンレ
ス製の補強部材１６ｂを設けている。この電極押
え部材１６ａは第３図に示すように、スリーブ２
０内に設けたばね２１により弾揆的突出習性が付
与された支持片２２を有し、この支持片２２を後
退させた状態で、ハロゲンランプ１７の電極１７
ａを押圧するようにしている。

さらに詳述すれば、前記フランジ１３は、銅ま
たはアルミニウムからなるメタルシールＳを有す
るもので、真空かつ高温という可酷な条件下でも
ガスを発生せず、またシール力が低下しないよう
になつており、このフランジ１３はチエーン又は
ボルト等を使用して、前記真空室本体１２に取付
けるようになつている。つまり、このボルト等を
外すと、前記ベーキングランプユニツトL₁全体
を取出すことができ、メンテナンスが容易とな
る。

このフランジ１３を挿通する電流導入端子１
４，１４は、銅棒であり、真空室本体１２の外側
は絶縁材であるセラミツク１８により覆われ、内
部側の先端には一対のナツト１９，１９により挟
持された前記支持部材１５が取付けられている。

この支持部材１５は前記可酷な条件下でも弾性
を失わず導電性を有するもの、例えばステンレス
またはリンセイ銅などにより構成され、その先端
部間には、両端に電極１７ａ，１７ａを有するハ
ロゲンランプ１７が挟持されている。

このハロゲンランプ１７は超高真空下でガス洩
れが生じないように構成されているが、万一ガス
洩れが生じても、不必要な化学変化が生じないよ
うに安全性を見込みハロゲンランプとしている。

次に作用を説明する。

第１図のスイツチ２３をオンすると、電流が電
流導入端子１４，１４、および支持部材１５を通
つて流れ、ハロゲンランプ１７が点灯する。

これにより強力な光が真空室Ｃ内をくまなく照
らし、真空室Ｃの内壁１２ａの温度を効率良く上
昇させ、この内壁１２ａ及び各種機器ｍ等に付着
していた水分、ガス等を蒸発させる。

この蒸発ガスをポンプ１１により吸引排出する
と、きわめて真空度の高い真空室１２となり、真
空蒸着装置１０の蒸着作用が確実に行なわれるこ
とになる。

例えばハロゲンランプの定格として、全光束が
16900Lm、定格電圧100V、消費電力650Wのもの
を使用し、このハロゲンランプ１７より80mm程度
離れた位置の温度を、熱電対を用いて測定した
所、第６図に示すような測定結果が得られた。

このグラフから明らかなように、定格100Vで
400℃に達するまで10分程度であり、きわめて短
時間の温度上昇が可能である。ベーキングを行な
う最適温度は、200〜400℃であり、定格100Vで
使用できるので、通常のソケツトが使用できるの
で非常に便利である。

この場合、真空室Ｃ内の温度上昇を制御する必
要性がある時には、スライダツク等により電圧制
御すればよい。この場合の温度上昇も前述の
100Vの場合と同様に短時間となる。

また、この高真空、高温度という可酷な条件下
でも、フランジ１３はメタルシールＳを有するた
めに、シール性が低下することもなく、ガスを放
出することもない。

さらにランプ１７及び支持部材１５が超真空下
でもガス放出しないものであるため、不必要なガ
スが発生するという虞れがなく、また支持部材１
５はランプを弾性支持しているために、可酷な条
件下でも接点不良を起すこともなく、長寿命とな
る。

このようにしてベーキングを終了すると、真空
室Ｃ内をドライの窒素ガスなどで充満した後にラ
ンプ１７を取り外せば、このランプ１７を他の装
置に使用することもできる。

上述のように垂直型のランプにすれば、挟小な
真空室Ｃ内ではスペースをとらず、装着も容易と
なる。

なお、本考案は上述した実施例のみに限定され
るものではなく、第４，５図に示すような水平型
のランプにしてもよい。

この水平型ランプにすればランプの照射範囲が
広くなり、効率的な場合もある。

考案の効果 以上のように、本考案によれば、真空室本体に
シール性をもつてフランジを取付け、このフラン
ジに一対の電流導入端子を挿通し、この端子に支
持部材を設けてハロゲンランプを弾性支持してい
るため、これを真空室内に設置すると、この真空
室内をくまなく照らし、短時間で効率良く内壁の
温度を上昇させることができ、しかもランプの取
付、交換のメンテナンスも容易となり、熱伸縮に
より生じる接点不良も防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一例を真空蒸着装置に組み
込んだ状態を示す概略説明図、第２図は、本考案
の一実施例を示す正面図、第３図は、第２図の要
部断面図、第４図は、本考案の他の実施例を示す
正面図、第５図は、第４図の平面図、第６図は、
温度上昇特性を示すグラフである。 １２……真空室本体、１３……フランジ、１４
……電流導入端子、１５……支持部材、１７……
ハロゲンランプ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 内部が真空室Ｃとなる真空室本体１２にシール
   性をもつてフランジ１３を取付けるとともに該フ
   ランジ１３に一対の電流導入端子１４を挿通し、
   この電流導入端子１４の前記真空室Ｃ側先端に弾
   性を有する支持部材１５を取付け、この支持部材
   １５によりハロゲンランプ１７を弾性支持してな
   るベーキングランプユニツト。