JPH0335086A - 蛍光体層の処理方法 - Google Patents

蛍光体層の処理方法

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Publication number
JPH0335086A
JPH0335086A JP16890889A JP16890889A JPH0335086A JP H0335086 A JPH0335086 A JP H0335086A JP 16890889 A JP16890889 A JP 16890889A JP 16890889 A JP16890889 A JP 16890889A JP H0335086 A JPH0335086 A JP H0335086A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phosphor layer
treatment
fluorescent layer
fluorescent
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP16890889A
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English (en)
Inventor
Takeshi Nagameguri
武志 長廻
Yoshiyuki Okubo
大久保 好幸
Hidenori Oshima
英紀 大島
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Noritake Itron Corp
Original Assignee
Ise Electronics Corp
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Publication date
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Publication of JPH0335086A publication Critical patent/JPH0335086A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は蛍光表示管等に用いられる低速電子線励起蛍光
体の発光効率を向上させる蛍光体層の処理方法に関する
ものである。
〔従来の技術〕
蛍光表示管に用いられる蛍光体は、低電圧にて明るい輝
度が得られるZnO:Zn蛍光体が一般的であって、こ
れらは青緑色の発光を呈する。近年、青緑色以外の発光
色を呈するものとしては、青色の発光を呈するZnS:
Ag、C2,赤または橙色の発光を呈する(ZnCd)
 S : Ag 、 CL、黄色の発光を呈するZnS
:Au、A4等の蛍光体が提案されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、これらの低速電子線励起蛍光体は、ごく
表面(〜10A)で蛍光体励起が起るため、わずかな表
面コンタミネーションによシ発光効率を低下させるとい
う問題があった。すなわち、蛍光表示管の製造工程にか
いては、蛍光体層が電着またはスクリーン印刷法によシ
形成された後、熱工程(SOO〜570℃)が必要iた
め、蛍光面形成工程で付着したコンタミネーションは熱
工程時に蛍光体層と反応し、その表面を劣化させる。ま
た、近年の蛍光表示管の用途拡大とともにより高輝度の
蛍光表示管がlIE請されるように逢ってきた。
〔課題を解決するための手段〕
このような課題を解決するために本発明は、陽極上に形
成された蛍光体層をその熱処理前に活性酸素による処理
を施すものである。
〔作用〕
本発明においては、活性酸素の処理によう蛍光体層表面
のコンタミネーションがガス化されることになる。
〔実施例〕
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第1図は本発明による蛍光体層の処理方法の一実施例を
説明するための蛍光体を処理している状態を示す図であ
る。同図において、1は蛍光表示管のガラス基板、2は
ガラス基板1上に形成された陽極電極、3は陽極電極2
上に約10μmの膜厚で形成され処理を行なう例えばZ
 n O: Z nの蛍光体層である。このように配置
された基板組立体4を、例えば02を約20%の割合で
混合した窒素ガス5が封入されたカプセル6内に収容し
、上方、すなわち蛍光体層3側から紫外線ランプ7によ
う矢印で示す紫外線hvを照射する。この実施例では紫
外線hvの強度は約300 mW/ cdである。
このような紫外線hvによる処理方法によると、この紫
外線処理中に発生した活性酸素は、下記に示すような反
応式に基づいて蛍光体層3の表面のコンタミネーション
をガス化させ除去される。
hv(紫外線)+o2−+o”+o”3’(活性酸素)
CxHyOz(蛍光体層3表面のコンタミネーション)
+0*→Cot 、 CO2↑、H20↑この反応は、
熱を伴なわないので、蛍光体自体への悪影響は全く生じ
ない。また、この処理によシ表面が清浄化された蛍光体
層3は、その後の熱工程による熱処理によって表面の劣
化を生じることがなかった。
筐た、このようにして処理された蛍光体層3を有する陽
極電極2と、処理の行なわれていない蛍光体層を有する
陽極電極とをそれぞれ使用し、複数の陽極電極を有する
蛍光表示管を形成して輝度測定を行なった。この結果、
紫外線hvの照射処理を行なった蛍光体層3を用いてい
る陽極電極2の輝度は、処理を行なわなかった蛍光体層
を用いている陽極電極の輝度に対して130〜150係
の発光効率が得られた。
第2図および第3図は本発明の他の実施例を説明する蛍
光体層の処理状態を示す断面図であシ、第1図と同一部
分には同一符号を付しである。同図においては、ガス注
入口8aおよび排気口8bを有する真空容器8と、高周
波電源9に接続された対向電極10m 、 10bとを
備えたプラズマ発生装置11内に前記蛍光体層3を形成
した基板組立体4を負極側の対向電極10bと接続して
収容し、内部に例えば02ガス12を封入してプラズマ
放電を行たつて蛍光体層3の表面を活性酸素による処理
を行なっても前述と同様に蛍光体層3の表面が清浄化さ
れ、同様な効果が得られる。なか、この場合、プラズマ
処理の条件は、o2ガス流量40ce/分、圧力0.5
Torr、高周波入力電力(13,56MHz ) 1
00W 、処理時間15分間である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明による蛍光体層の処理方法は
、蛍光体層形成時に付着混入したコンタミネーションを
、熱を伴なわない活性酸素による処理によシ除去したの
で、その後の熱工程においてコンタミネーションによる
蛍光体層の劣化がなくなり1高発光効率の蛍光体層が得
られ、高輝度の蛍光表示管を製造することができるとい
う極めて優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による蛍光体層の処理方法の一実施例を
説明する蛍光体層の処理状態を示す図、第2図および第
3図は本発明の他の実施例を説明する蛍光体層の処理状
態を示す断面図である。 1・・・・ガラス基板、2・・・・陽極基板、3・・・
・蛍光体層、4・・・・基板組立体、5・・・・ガス、
6・・・・カプセル、7・・・・紫外線ランプ、8a・
・・・ガス注入口、8b・・・・排気口、8・・・・真
空容器、9・・・・高周波電源、10m 、 10b・
・・・対向電極、11・・・・プラズマ発生装置、12
・・・・ガス。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 陽極電極上に形成された蛍光体層を熱処理前に活性酸素
    による処理を行なうことを特徴とした蛍光体層の処理方
    法。
JP16890889A 1989-06-30 1989-06-30 蛍光体層の処理方法 Pending JPH0335086A (ja)

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JP16890889A JPH0335086A (ja) 1989-06-30 1989-06-30 蛍光体層の処理方法

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JPH0335086A true JPH0335086A (ja) 1991-02-15

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5861713A (en) * 1996-06-26 1999-01-19 Nec Corporation Low voltage electron beam display apparatus having brightness increased by reducing an oxide inevitably formed on a surface of an oxisulfide phosphor on manufacture

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5861713A (en) * 1996-06-26 1999-01-19 Nec Corporation Low voltage electron beam display apparatus having brightness increased by reducing an oxide inevitably formed on a surface of an oxisulfide phosphor on manufacture

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