JPH0334804B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0334804B2 JPH0334804B2 JP60148117A JP14811785A JPH0334804B2 JP H0334804 B2 JPH0334804 B2 JP H0334804B2 JP 60148117 A JP60148117 A JP 60148117A JP 14811785 A JP14811785 A JP 14811785A JP H0334804 B2 JPH0334804 B2 JP H0334804B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measured
- distance
- parallel plane
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光学式変位距離計の改良に関する。
（従来技術）
近年、生産ラインの自動化、マニユピレータ、
ロボツトのハンドリングなどにおいては、対象物
や障害物の位置、姿勢などを検知するために、小
型・軽量、高信頼性かつ安価な距離情報の取得手
段が要望されている。
ロボツトのハンドリングなどにおいては、対象物
や障害物の位置、姿勢などを検知するために、小
型・軽量、高信頼性かつ安価な距離情報の取得手
段が要望されている。
そして、従来のこの種装置の距離検出方法とし
ては、機械的な接触方法、電磁気的な方法、光学
的な方法、音響的な方法などさまざまであり、し
かも適用分野、耐環境性、測定可能距離範囲、精
度、サイズ、価格についても各種各様であつた。
ては、機械的な接触方法、電磁気的な方法、光学
的な方法、音響的な方法などさまざまであり、し
かも適用分野、耐環境性、測定可能距離範囲、精
度、サイズ、価格についても各種各様であつた。
ところで、光学的な方法については、反射光量
の距離依存性を利用する方式、三角測量方式、光
の伝播時間、位相の遅れを利用する方式、光干渉
方式などがあり、いずれも、高精度、非接触など
の特長をもつている。
の距離依存性を利用する方式、三角測量方式、光
の伝播時間、位相の遅れを利用する方式、光干渉
方式などがあり、いずれも、高精度、非接触など
の特長をもつている。
このうち、反射光量の距離依存性を利用する方
式と三角測量方式が生産ラインの自動化やロボツ
ト用途として多用されている。
式と三角測量方式が生産ラインの自動化やロボツ
ト用途として多用されている。
反射光量の距離依存性を利用する方式は、原
理、構成も簡単であるが、対象物体の材質、表面
状態、色、傾き、あるいは背景や外乱光などの距
離情報以外の要因によつても受光量が移動するた
めに誤動作しやすく、信頼性に問題がある。
理、構成も簡単であるが、対象物体の材質、表面
状態、色、傾き、あるいは背景や外乱光などの距
離情報以外の要因によつても受光量が移動するた
めに誤動作しやすく、信頼性に問題がある。
これに対して、三角測量法は、自然界において
は両眼の視差にもとづく奥行き感、立体感の認知
が知られており、距離計測におけるもつとも基本
的な原理である。
は両眼の視差にもとづく奥行き感、立体感の認知
が知られており、距離計測におけるもつとも基本
的な原理である。
距離計としての三角測量法の原理は、対象系の
非測定物の測定面の変位量が観測の変位量に置き
かえられる幾何学的な対応関係を利用して、数mm
から数ｍの距離が、かなりの精度で測定でき、一
般工業分野で広く用いられている。
非測定物の測定面の変位量が観測の変位量に置き
かえられる幾何学的な対応関係を利用して、数mm
から数ｍの距離が、かなりの精度で測定でき、一
般工業分野で広く用いられている。
観測系に機械的な可動機構をもたない検出法と
しては、電子走査方式のイメージセンサと呼ばれ
る金属酸化物半導体（MOS型）や電荷結合素子
（CCD型）非走査方式では光点位置センサ
（PSD）や光導伝光ポテンシヨメータと呼ばれる
アナログ出力型の固体素子が利用されている。
しては、電子走査方式のイメージセンサと呼ばれ
る金属酸化物半導体（MOS型）や電荷結合素子
（CCD型）非走査方式では光点位置センサ
（PSD）や光導伝光ポテンシヨメータと呼ばれる
アナログ出力型の固体素子が利用されている。
しかしながら、いずれにしても特殊な受光素子
を使うこと、周辺回路が複雑になるなどして価格
的にも、今だ使用者の要求を満足するものとはい
いがたいのが現状である。
を使うこと、周辺回路が複雑になるなどして価格
的にも、今だ使用者の要求を満足するものとはい
いがたいのが現状である。
（発明の目的）
本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたも
ので、三角測量方式のうち、観測系の光点位置を
検出する方式ではなく、入射角を検出する方式を
採用して、安価な汎用受光素子が使用可能で、し
かも連続的な距離計測も可能であり、さらに被測
定物体の反射特性、角度特性、光源の変動などに
影響されない小型、安価、高信頼性の距離計を新
規に提供することを目的とするものである。
ので、三角測量方式のうち、観測系の光点位置を
検出する方式ではなく、入射角を検出する方式を
採用して、安価な汎用受光素子が使用可能で、し
かも連続的な距離計測も可能であり、さらに被測
定物体の反射特性、角度特性、光源の変動などに
影響されない小型、安価、高信頼性の距離計を新
規に提供することを目的とするものである。
（発明の構成）
このため本発明に係る光学式変位距離計は、被
測定物に対向する遮光部材に投射スリツトと入射
スリツトとが所定の間隔で設けられ、該遮光部材
の投射スリツト側の内部には、投射スリツトを介
して被測定物を微小平光束で垂直方向から照明す
る光源が設けられ、上記遮光部材の入射スリツト
側の内部には、上記照明光軸と平行な平行平面を
有し、被測定物からの反射光を入射スリツトを介
して表面に斜め方向から入射する平行平面光学部
材が設けられ、該平行面光学部材に対して、入射
光の反射位置もしくは透過位置に一対の受光素子
が設けられ、該一対の受光素子で受光した光の強
度を比較して反射率もしくは透過率を求め、該反
射率もしくは透過率から入射光の入射角を求め、
該入射角と上記各スリツトの間隔とから被測定物
までの距離を求める演算器が設けられていること
を特徴とするものである。
測定物に対向する遮光部材に投射スリツトと入射
スリツトとが所定の間隔で設けられ、該遮光部材
の投射スリツト側の内部には、投射スリツトを介
して被測定物を微小平光束で垂直方向から照明す
る光源が設けられ、上記遮光部材の入射スリツト
側の内部には、上記照明光軸と平行な平行平面を
有し、被測定物からの反射光を入射スリツトを介
して表面に斜め方向から入射する平行平面光学部
材が設けられ、該平行面光学部材に対して、入射
光の反射位置もしくは透過位置に一対の受光素子
が設けられ、該一対の受光素子で受光した光の強
度を比較して反射率もしくは透過率を求め、該反
射率もしくは透過率から入射光の入射角を求め、
該入射角と上記各スリツトの間隔とから被測定物
までの距離を求める演算器が設けられていること
を特徴とするものである。
本発明の原理について述べれば、平行平面光学
部材の反射率または透過率は、その入射角に依存
することが知られている。例えば、屈析率ｎ＝
1.52の光学ガラスの反射率の入射角依存特性は第
６図（aS偏光、ｂ自然光、ｃ偏光）に示された
通りである。
部材の反射率または透過率は、その入射角に依存
することが知られている。例えば、屈析率ｎ＝
1.52の光学ガラスの反射率の入射角依存特性は第
６図（aS偏光、ｂ自然光、ｃ偏光）に示された
通りである。
そして、平行平面光学部材の入射角依存特性は
予め明らかであるので、ある入射角における反射
率もしくは透過率を測光して演算することによ
り、逆に入射角を求めることができ、入射角が求
まれば三角測量法から非測定物体までの距離を求
めることができるのである。
予め明らかであるので、ある入射角における反射
率もしくは透過率を測光して演算することによ
り、逆に入射角を求めることができ、入射角が求
まれば三角測量法から非測定物体までの距離を求
めることができるのである。
入射角の利用範囲としては、第６図からもわか
るように、偏光角から90°入射角までが、特性変
化が単調にかつ変化率が大きいので有用である。
この特性は平行平面光学部材の屈析率によつても
変わるし、また表面のコーテイングによつて、あ
る程度は変えることができる。
るように、偏光角から90°入射角までが、特性変
化が単調にかつ変化率が大きいので有用である。
この特性は平行平面光学部材の屈析率によつても
変わるし、また表面のコーテイングによつて、あ
る程度は変えることができる。
（発明の効果）
本発明によれば、予め反射率または入射率の入
射角依存特性の明らかな平行平面光学部材を用
い、一対の受光素子を利用して、反射率もしくは
透過率を求めて入射角を求め、三角測量法により
被測定物までの距離を求めるようにしたものであ
る。
射角依存特性の明らかな平行平面光学部材を用
い、一対の受光素子を利用して、反射率もしくは
透過率を求めて入射角を求め、三角測量法により
被測定物までの距離を求めるようにしたものであ
る。
したがつて、受光素子は汎用されているものを
一対だけ設ければよいから小型かつ安価に構成で
き、また、入射角は連続的に求められるから、連
続した距離計測も可能となる。
一対だけ設ければよいから小型かつ安価に構成で
き、また、入射角は連続的に求められるから、連
続した距離計測も可能となる。
さらに、一対の受光素子で受光した光の強度を
比較するものであるから、被測定物の材質、表面
状態、色などの反射特性、角度特性、光源の変動
などにも影響されることがなく、測距の信頼性も
高い。
比較するものであるから、被測定物の材質、表面
状態、色などの反射特性、角度特性、光源の変動
などにも影響されることがなく、測距の信頼性も
高い。
（実施例）
以下、本発明の実施例を添付図面について詳細
に説明する。
に説明する。
第１図に示すように、被測定物１と対向する位
置に遮光部材２を配置し、該遮光部材２に、投射
スリツト３と入射スリツト４とを所定の間隔h1で
形成する。
置に遮光部材２を配置し、該遮光部材２に、投射
スリツト３と入射スリツト４とを所定の間隔h1で
形成する。
該遮光部材２の投射スリツト３側の内部には、
発光ダイオードやレーザダイオードのような指向
性の光源５が配置され、該光源５の光を集光レン
ズ等で集光し投射スリツト３を介して、被測定物
１を微小平行光束で垂直方向から照明するように
なつている。
発光ダイオードやレーザダイオードのような指向
性の光源５が配置され、該光源５の光を集光レン
ズ等で集光し投射スリツト３を介して、被測定物
１を微小平行光束で垂直方向から照明するように
なつている。
上記遮光部材２の入射スリツト４側の内部に
は、上記光源５の照明光軸OLと平行な平行平面
６ａ，６ｂを有する平行平面光学部材６が配置さ
れ、被測定物１からの反射光を入射スリツト４を
介して表面６ａに斜め方向から入射するようにな
つている。
は、上記光源５の照明光軸OLと平行な平行平面
６ａ，６ｂを有する平行平面光学部材６が配置さ
れ、被測定物１からの反射光を入射スリツト４を
介して表面６ａに斜め方向から入射するようにな
つている。
ここで、投射スリツト３から被測定物１までの
距離をl1、入射スリツト４から平行平面部材６の
入射点までの距離をl2、投射スリツト３と入射ス
リツト４の間隔をh1、入射スリツト４と平行平面
部材６の表面６ａ（入射点）までの間隔をh2とす
れば、次の式が成り立つ。
距離をl1、入射スリツト４から平行平面部材６の
入射点までの距離をl2、投射スリツト３と入射ス
リツト４の間隔をh1、入射スリツト４と平行平面
部材６の表面６ａ（入射点）までの間隔をh2とす
れば、次の式が成り立つ。
l1／h1＝l2／h2＝tanθ ……(1)
したがつて、距離l1は
l1＝h1tanθ ……(2)
となる。
そして、間隔h1は予め求められているので、平
行平面光学部材６への入射角θが求まれば距離l1
が求められるようになる。
行平面光学部材６への入射角θが求まれば距離l1
が求められるようになる。
入射角θについては、先に第６図を用いて説明
したように、平行平面光学部材６の反射率もしく
は透過率の入射角依存特性から求めることができ
る。なお、平行平面光学部材６への入射角の利用
範囲は、同図から明らかなように、偏光角から
90°入射角までの特性変化が単調かつ変化率が大
きい領域を使用するのが好ましい。
したように、平行平面光学部材６の反射率もしく
は透過率の入射角依存特性から求めることができ
る。なお、平行平面光学部材６への入射角の利用
範囲は、同図から明らかなように、偏光角から
90°入射角までの特性変化が単調かつ変化率が大
きい領域を使用するのが好ましい。
被測定対象物からの反射光が偏光している場合
は、第６図からもわかるように反射特性Rθが変
る。この場合は偏光子を入射スリツト４の後方に
挿入して、Ｓ偏光またはＰ偏光のみを平行平面光
学部材６に入射させるのが良い。
は、第６図からもわかるように反射特性Rθが変
る。この場合は偏光子を入射スリツト４の後方に
挿入して、Ｓ偏光またはＰ偏光のみを平行平面光
学部材６に入射させるのが良い。
上記距離l1は、(2)式からも明らかなように、距
離l2や間隔h2には無関係であるが、平行平面光学
部材６への入射点は、入射角の変化と共に移動す
るため、受光素子（後述）のサイズから許容され
る範囲に納める必要があり、h1≫h2またはh2を十
分小さくして、入射点の移動量を小さくするのが
好ましい。
離l2や間隔h2には無関係であるが、平行平面光学
部材６への入射点は、入射角の変化と共に移動す
るため、受光素子（後述）のサイズから許容され
る範囲に納める必要があり、h1≫h2またはh2を十
分小さくして、入射点の移動量を小さくするのが
好ましい。
一方、上記平行平面光学部材６に対して、第２
図に示すように、入射光Ｌが表面６ａで反射した
第１反射光Ｒ１の第１反射測光位置７ａと、入射
光Ｌが表面６ａから入射し裏面６ｂで反射して表
面６ａから出射した第２反射光Ｒ２の第２反射測
光装置７ｂと、第３図に示すように、入射光Ｌが
表面６ａから入射して表面６ｂから出射した第１
透過光Ｔ１の第１透過測光位置７ｃと、入射光Ｌ
が表面６ａから入射して裏面６ｂで反射し、表面
６ａで再び反射して裏面６ｂから出射した第２透
過光Ｔ２の透過測光位置７ｄとが設定されてい
る。
図に示すように、入射光Ｌが表面６ａで反射した
第１反射光Ｒ１の第１反射測光位置７ａと、入射
光Ｌが表面６ａから入射し裏面６ｂで反射して表
面６ａから出射した第２反射光Ｒ２の第２反射測
光装置７ｂと、第３図に示すように、入射光Ｌが
表面６ａから入射して表面６ｂから出射した第１
透過光Ｔ１の第１透過測光位置７ｃと、入射光Ｌ
が表面６ａから入射して裏面６ｂで反射し、表面
６ａで再び反射して裏面６ｂから出射した第２透
過光Ｔ２の透過測光位置７ｄとが設定されてい
る。
そして、第１反射測光位置７ａと第２反射測
光位置７ｂ（第２図参照）、第１透過測光位置７
ｃの第２透過測光位置７ｄ（第３図参照）、第１
反射測光位置７ａと第１透過測光位置７ｃ（第４
図参照）の〜の組のうち、いずれか１の組の
各位値に一対の受光素子８ａと８ｂ，８ｃと８
ｄ，８ａと８ｃを配置する。
光位置７ｂ（第２図参照）、第１透過測光位置７
ｃの第２透過測光位置７ｄ（第３図参照）、第１
反射測光位置７ａと第１透過測光位置７ｃ（第４
図参照）の〜の組のうち、いずれか１の組の
各位値に一対の受光素子８ａと８ｂ，８ｃと８
ｄ，８ａと８ｃを配置する。
組を採用すれば第１反射光Ｒ１と第２反射光
Ｒ２との強度比 Ir2（θ）／Ir1（θ）＝（１−Ｒ）2 ……(3) 組を採用すれば第１透過光Ｔ１と第２透過光
Ｔ２との強度比 It2（θ）／It1（θ）＝R2 ……(4) 組を採用すれば第１反射光Ｒ１と第１透過光
Ｔ１との高度比 It1(θ)／Ir1(θ)＝Ｒ／(1-R)2 ……(5) がそれぞれ求められる。
Ｒ２との強度比 Ir2（θ）／Ir1（θ）＝（１−Ｒ）2 ……(3) 組を採用すれば第１透過光Ｔ１と第２透過光
Ｔ２との強度比 It2（θ）／It1（θ）＝R2 ……(4) 組を採用すれば第１反射光Ｒ１と第１透過光
Ｔ１との高度比 It1(θ)／Ir1(θ)＝Ｒ／(1-R)2 ……(5) がそれぞれ求められる。
平行平面光学部材６を利用する場合、第１と第
２の反射光Ｒ１，Ｒ２、または第１と第２の透過
光Ｔ１，Ｔ２は互いに平行であるため、特性の同
じ一対の受光素子８ａと８ｂ，８ｃと８ｄ，８ａ
と８ｃで測光すれば、実用上、少ない測光誤差で
強度比率の計測が可能である。
２の反射光Ｒ１，Ｒ２、または第１と第２の透過
光Ｔ１，Ｔ２は互いに平行であるため、特性の同
じ一対の受光素子８ａと８ｂ，８ｃと８ｄ，８ａ
と８ｃで測光すれば、実用上、少ない測光誤差で
強度比率の計測が可能である。
即ち、平行平面光学部材６の第１と第２の反射
光Ｒ１，Ｒ２、または第１と第２の透過光Ｔ１，
Ｔ２は互いに平行であるが、その分離距離は受光
器のサイズから制約される。しかし平行平面光学
部材６の厚さｄに依存しているため厚さｄを適当
に選ぶことによつて第１反射光Ｒ１は受光素子８
ａ、第２反射光Ｒ２は受光素子８ｂで測光するよ
うに、一対の特性の同じ受光素子、または２分割
受光素子を配設することができるのである。第１
透過光Ｔ１と第２透過光Ｔ２を測光する場合も同
様である。なお、測光距離範囲の制約から実施が
困難となる場合には、第４図のように、第２反射
光Ｒ１と第１透過光Ｔ１を測光するようにする。
光Ｒ１，Ｒ２、または第１と第２の透過光Ｔ１，
Ｔ２は互いに平行であるが、その分離距離は受光
器のサイズから制約される。しかし平行平面光学
部材６の厚さｄに依存しているため厚さｄを適当
に選ぶことによつて第１反射光Ｒ１は受光素子８
ａ、第２反射光Ｒ２は受光素子８ｂで測光するよ
うに、一対の特性の同じ受光素子、または２分割
受光素子を配設することができるのである。第１
透過光Ｔ１と第２透過光Ｔ２を測光する場合も同
様である。なお、測光距離範囲の制約から実施が
困難となる場合には、第４図のように、第２反射
光Ｒ１と第１透過光Ｔ１を測光するようにする。
受光素子８ａ〜８ｄとしては、汎用のホトダイ
オードまたはホトトランジスタなどの安価なもの
を使用することができる。
オードまたはホトトランジスタなどの安価なもの
を使用することができる。
上記(3)式〜(5)式で示した高度比は、第５図に示
すような演算処理器で求められる。
すような演算処理器で求められる。
即ち、例えば第１反射光Ｒ１と第２反射光Ｒ２
を同一特性の受光素子８ａ，８ｄでそれぞれ受光
した後、その出力を同一特性の対数増幅器９ａ，
９ｄで増幅し、その出力を差動増幅器１０に入力
して、差出力をとる。
を同一特性の受光素子８ａ，８ｄでそれぞれ受光
した後、その出力を同一特性の対数増幅器９ａ，
９ｄで増幅し、その出力を差動増幅器１０に入力
して、差出力をとる。
組を採用した場合の差出力
logIr2（θ）logIr1（θ）
＝logIr2（θ）／Ir1（θ）
＝log（１−Ｒ）2 ……(6)
組を採用した場合の差出力
logIt2（θ）−logIt1（θ）
＝logIt2（θ）／It1（θ）
＝logR2 ……(7)
組を採用した場合の差出力
logIt1（θ）−logIt1（θ）
＝logIt1（θ）／It1（θ）
＝logR、（１−Ｒ）2 ……(8)
がそれぞれ求められる。
上記差動増幅器１０で求められた差出力、つま
り強度比は、平行平面光学部材６の反射率Ｒ（θ）
もしくは透過率Ｔ（θ）に関係する。
り強度比は、平行平面光学部材６の反射率Ｒ（θ）
もしくは透過率Ｔ（θ）に関係する。
したがつて、この差動増幅器１０の出力信号を
マイクロコンピユータ（不図示）に入力して、第
６図の入射角依存特性により反射率Ｒ（θ）もし
くは透過率Ｔ（θ）から入射角（θ）を求め、三
角測量法により、入射角（θ）と各スリツト３，
４の間隔h1とから、被測定物１までの距離l1を求
めることができる。
マイクロコンピユータ（不図示）に入力して、第
６図の入射角依存特性により反射率Ｒ（θ）もし
くは透過率Ｔ（θ）から入射角（θ）を求め、三
角測量法により、入射角（θ）と各スリツト３，
４の間隔h1とから、被測定物１までの距離l1を求
めることができる。
なお距離l1を求める場合、予め定められた距離
範囲の上限、下限内に入つておればよいという使
用例においては、差動増幅器１０の出力との対応
表から、上下限の半固定設定値との比較、ON−
OFF出力で十分である。
範囲の上限、下限内に入つておればよいという使
用例においては、差動増幅器１０の出力との対応
表から、上下限の半固定設定値との比較、ON−
OFF出力で十分である。
またデジタル的かつ連続的な距離値が必要な場
合は、あらかじめ変換表をROM化しておいて、
自動変換するかマイクロコンピユータで演算、処
理して、距離情報を出力すればよい。
合は、あらかじめ変換表をROM化しておいて、
自動変換するかマイクロコンピユータで演算、処
理して、距離情報を出力すればよい。
一方、被測定物１の距離情報のみならず、姿
勢、つまり傾きについては、第７図に示すように
構成することで傾斜角θ′を求めることができる。
勢、つまり傾きについては、第７図に示すように
構成することで傾斜角θ′を求めることができる。
即ち、左右対象に光源５，５と平行平面光学部
材６，６とを配置し、光源５，５を交互または順
次に点・消灯、あるいは変調し、そのタイミング
に従つて、入射角を測光・計測・比較すれば、上
述と同様にして三角測量法により傾斜角θ′を求め
ることができる。
材６，６とを配置し、光源５，５を交互または順
次に点・消灯、あるいは変調し、そのタイミング
に従つて、入射角を測光・計測・比較すれば、上
述と同様にして三角測量法により傾斜角θ′を求め
ることができる。
第１図は本発明に係る光学式変位距離計の構成
図、第２図〜第４図は平行平面光学部材に対する
受光素子の配置例を示す図、第５図は演算器の回
路構成図、第６図は入射角依存特性を示すグラ
フ、第７図は被測定物の傾斜角を求める光学式変
位距離計の構成図である。 １……被測定物、２……遮光部材、３……投射
スリツト、４……入射スリツト、５……光源、６
……平行平面光学部材、６ａ……表面、６ｂ……
裏面、７ａ，７ｂ……反射側光位置、７ｃ，７ｄ
……透過側光位置、８ａ〜８ｄ……受光素子、９
ａ，９ｂ……対数増幅器、１０……差動増幅器、
h1，h2……間隔、l1，l2……距離、Ｒ１，Ｒ２…
…反射光、Ｔ１……Ｔ２……透過光。
図、第２図〜第４図は平行平面光学部材に対する
受光素子の配置例を示す図、第５図は演算器の回
路構成図、第６図は入射角依存特性を示すグラ
フ、第７図は被測定物の傾斜角を求める光学式変
位距離計の構成図である。 １……被測定物、２……遮光部材、３……投射
スリツト、４……入射スリツト、５……光源、６
……平行平面光学部材、６ａ……表面、６ｂ……
裏面、７ａ，７ｂ……反射側光位置、７ｃ，７ｄ
……透過側光位置、８ａ〜８ｄ……受光素子、９
ａ，９ｂ……対数増幅器、１０……差動増幅器、
h1，h2……間隔、l1，l2……距離、Ｒ１，Ｒ２…
…反射光、Ｔ１……Ｔ２……透過光。
Claims (1)
- １ 被測定物に対向する遮光部材に投射スリツト
と入射スリツトとが所定の間隔で設けられ、該遮
光部材の投射スリツト側の内部には、投射スリツ
トを介して被測定物を微小行平光束で垂直方向か
ら照明する光源が設けられ、上記遮光部材の入射
スリツト側の内部には、上記照明光軸と平行な平
行平面を有し、被測定物からの反射光を入射スリ
ツトを介して表面に斜め方向から入射する平行平
面光学部材が設けられ、該平行平面光学部材に対
して、入射光の反射位置もしくは透過位置に一対
の受光素子が設けられ、該一対の受光素子で受光
した光の強度を比較して反射率もしくは透過率を
求め、該反射率もしくは透過率から入射光の入射
角を求め、該入射角と上記各スリツトの間隔とか
ら被測定物までの距離を求める演算器が設けられ
ていることを特徴とする光学式変位距離計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14811785A JPS628009A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 光学式変位距離計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14811785A JPS628009A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 光学式変位距離計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS628009A JPS628009A (ja) | 1987-01-16 |
| JPH0334804B2 true JPH0334804B2 (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=15445637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14811785A Granted JPS628009A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 光学式変位距離計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS628009A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6094188A (en) * | 1990-11-30 | 2000-07-25 | Sun Microsystems, Inc. | Radio frequency tracking system |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629409U (ja) * | 1979-08-13 | 1981-03-20 | ||
| JPS57128810A (en) * | 1981-02-03 | 1982-08-10 | Olympus Optical Co Ltd | Distance measuring device |
-
1985
- 1985-07-04 JP JP14811785A patent/JPS628009A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS628009A (ja) | 1987-01-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4534637A (en) | Camera with active optical range finder | |
| US7583363B2 (en) | Range finder system and electronic system having same | |
| CA2025887C (en) | Optical gauging apparatus | |
| JPH05256647A (ja) | 傾斜角測定装置 | |
| GB2424533A (en) | Optical rangefinder having a shorter minimum measuring distance | |
| US4317992A (en) | Object detecting apparatus | |
| CN109342758A (zh) | 新型测速传感器 | |
| US5754281A (en) | Range finder | |
| JPH0345322B2 (ja) | ||
| RU2399063C1 (ru) | Детектор углового положения оптического источника | |
| JPH0334804B2 (ja) | ||
| JPH03102727A (ja) | 光電スイッチ | |
| US4459003A (en) | Zone-type range-detecting devices for cameras | |
| JP2851053B2 (ja) | 光ビーム入射角検出センサ | |
| US4723142A (en) | Focus detecting device | |
| JPH0798429A (ja) | 距離計測装置 | |
| JP3319666B2 (ja) | エッジ検出装置 | |
| RU2095765C1 (ru) | Цветовой пирометр | |
| JPS5813847B2 (ja) | 距離検出器 | |
| SU475639A1 (ru) | Электронно-оптический датчик координат | |
| JPS6217163B2 (ja) | ||
| RU2535526C1 (ru) | Двухкоординатный фотоэлектрический цифровой автоколлиматор | |
| SU1060941A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл измерени угловых перемещений | |
| JP2885703B2 (ja) | 光学式距離測定装置 | |
| JPH0663763B2 (ja) | 光学式位置検出方法 |