JPH03288306A - Multichannel magnetic head and manufacture of the same - Google Patents

Multichannel magnetic head and manufacture of the same

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JPH03288306A
JPH03288306A JP8922790A JP8922790A JPH03288306A JP H03288306 A JPH03288306 A JP H03288306A JP 8922790 A JP8922790 A JP 8922790A JP 8922790 A JP8922790 A JP 8922790A JP H03288306 A JPH03288306 A JP H03288306A
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JP
Japan
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magnetic
groove
channel
core
magnetic head
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Application number
JP8922790A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazunari Nakagawa
和成 中川
Takeshi Tottori
猛志 鳥取
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Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve accuracy for the structure of a head by deciding the track pitch of the multichannel magnetic head according to the working accuracy of a projecting part to be formed on a non-magnetic base plate, and obtaining the in-line accuracy of a gap to be formed on the same plane by precise grinding. CONSTITUTION:A magnetic head core part and a slider part are formed on a non- magnetic base plate 1 composed of barium titanate, zirconia and crystalized glass or the like with satisfactory wearing resistance, and projecting parts 25 and coil grooves 24 equivalent to the number of channels are formed on the gap counter surface of the base plate 1. In this part, a magnetic layer 2 composed of non-crystal Co-Nb-Zr and 'Sendust(R)' or the like with high saturated magnetic flux density and high permeability is attached while being magnetically insulated by a magnetic groove 12 and a channel separate groove 13. On the other hand, lead glass or the like is used for an adhesive agent 3 to be filled in the groove 12 and to couple core half bodies 50 and 51, and the return path of a magnetic circuit is constituted of an alternate laminated block 50 formed by a back core, which is composed of Ni-Zn ferrite or the like, and a back separator 6.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数のトラックにおいて記録再生可能なマルチ
チャンネル磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a multi-channel magnetic head capable of recording and reproducing on a plurality of tracks and a method for manufacturing the same.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、フロッピディスクやハードディスク等の磁気メモ
リの大容量化が進んでいる。これに伴い磁気記録媒体と
しては磁性体に高保磁力なメタル粉を用いたメタルフロ
ッピディスク等が開発され、磁気記録媒体上に記録され
る信号は、線記録密度及びトラック密度を高めたものと
なっている。トラック密度は磁気ヘッドのトラック幅を
狭くすることで比較的簡単に高められることから、現在
、磁気ヘッドの狭トラツク化が盛んに進められている。
In recent years, the capacity of magnetic memories such as floppy disks and hard disks has been increasing. Along with this, magnetic recording media such as metal floppy disks that use metal powder with high coercive force as the magnetic material have been developed, and the signals recorded on magnetic recording media have increased linear recording density and track density. ing. Since track density can be relatively easily increased by narrowing the track width of a magnetic head, efforts are currently being made to narrow the tracks of magnetic heads.

フロッピディスク等のトラック密度が高密度化されると
、ドライブの高精度なトラッキングサーボが必要となっ
てくる。トラッキングサーボの一つとしてセクタサーボ
がある。これは、フロッピディスクにサーボ用の専用セ
クタを設け、そのセクタに予めトラッキングサーボ信号
を記録しておき、それを磁気ヘッドで読み取り、トラッ
キングサーボをかける方法である。このようなサーボ信
号を書き込む磁気ヘッドとしては、同時に複数のトラッ
クに書き込み可能なマルチチャンネル磁気ヘッドが書き
込み時間を短縮でき有利である。
As the track density of floppy disks and the like increases, highly accurate tracking servo of the drive becomes necessary. A sector servo is one type of tracking servo. This is a method in which a dedicated sector for servo is provided on a floppy disk, a tracking servo signal is recorded in that sector in advance, and the signal is read by a magnetic head to apply tracking servo. As a magnetic head for writing such a servo signal, a multi-channel magnetic head that can write to a plurality of tracks simultaneously is advantageous because it can shorten the writing time.

従来のマルチチャンネル磁気ヘッドとしては第18図に
示すような構成が提案されている。ここで、30はヘッ
ドチップで、例えばM n −Z nフェライトなどの
磁性材もしくは非磁性材からなるコア基体(非磁性基体
1)と、このコア基体1のギャップ対向面に切削形成さ
れた山形状の突部に被着された、例えば非晶質Co−N
b−Zr、センダスト、Fe−3i等の高飽和磁束密度
及び高透磁率を有する磁性材からなる磁性層2とを有す
るコア半体40.41を、例えば鉛ガラス等からなる接
合ガラスによって接合一体化した構造を持つ。4は例え
ばチタン酸バリウム、チタン酸カルシウム等の非磁性材
からなるチャンネルセパレータ、7は励磁コイル、20
は2と同様な材料からなるスライダー 19はスライダ
ー溝、21はギャップ、22は巻線窓である。
As a conventional multi-channel magnetic head, a configuration as shown in FIG. 18 has been proposed. Here, 30 is a head chip, which includes a core base (non-magnetic base 1) made of a magnetic material or non-magnetic material such as Mn-Zn ferrite, and a mountain formed by cutting on the gap-opposing surface of this core base 1. For example, amorphous Co-N deposited on the protrusion of the shape.
Core halves 40 and 41 each having a magnetic layer 2 made of a magnetic material having high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability, such as b-Zr, Sendust, Fe-3i, etc., are bonded together by bonding glass made of lead glass or the like. It has a structured structure. 4 is a channel separator made of a non-magnetic material such as barium titanate or calcium titanate; 7 is an excitation coil; 20
2 is a slider made of the same material as 2. 19 is a slider groove, 21 is a gap, and 22 is a winding window.

上記のマルチチャンネル磁気ヘッドの製造方法について
第19図〜第24図を用いて説明する。
A method of manufacturing the above multi-channel magnetic head will be described with reference to FIGS. 19 to 24.

まず、第19図に示すように、例えばMn−Znフェラ
イトなどよりなる平板状のブロック(非磁性基体)1の
片面に、略V字形(略三角形)の溝23を所定間隔で平
行に多数本切削形成し、これによってコア基体(非磁性
基体〉 1の突起部25を形づくる。また、前記巻線窓
22形威用の溝(巻線溝)24を、上記溝23と直交し
て切削形成する。
First, as shown in FIG. 19, a large number of approximately V-shaped (approximately triangular) grooves 23 are formed in parallel at predetermined intervals on one side of a flat block (non-magnetic substrate) 1 made of, for example, Mn-Zn ferrite. The protrusion 25 of the core base (non-magnetic base) 1 is formed by cutting.Furthermore, the groove (winding groove) 24 for use in the winding window 22 is formed by cutting orthogonally to the groove 23. do.

次に、第20図のように、ブロック1上に、例えばCo
−Nb−Zr磁性合金などの高飽和磁束密度、高透磁率
の磁性合金材料よりなる前記磁性Hll (m性層)2
を、蒸着、スパッタリングなどの薄膜形成技術によって
所定厚みに底膜する。
Next, as shown in FIG. 20, for example, Co
- The magnetic Hll (m layer) 2 is made of a magnetic alloy material with high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability such as Nb-Zr magnetic alloy.
is formed into a bottom film to a predetermined thickness using thin film forming techniques such as vapor deposition and sputtering.

続いて第21図、第22図に示すように、前記接合ガラ
ス3を、ブロック1上の全面に比較的厚めに充填・被着
し、然る後、接合ガラス3を同図のA−A線まで研磨し
、前記突起部25の稜線上の磁性薄膜2がトラック幅T
Wをもって露呈するようにされる。
Subsequently, as shown in FIGS. 21 and 22, the bonded glass 3 is filled and adhered to the entire surface of the block 1 relatively thickly, and then the bonded glass 3 is placed in the direction A-A in the figure. The magnetic thin film 2 on the ridge line of the projection 25 has a track width T.
It is made to be exposed with W.

なお、この工程で前記巻線窓22形威用の溝24内の接
合ガラス3も除去される。
In this step, the bonded glass 3 in the groove 24 of the wire-wound window 22 is also removed.

次に、コア用の母材たるブロック1は、第22図のB−
B&!で2等分されて、前記した一方のコア半体40用
の第1コア母材42と、他方のコア半体41用の第2コ
ア母材43とに分離される。
Next, the block 1 which is the base material for the core is B- in FIG.
B&! The first core base material 42 for one of the core halves 40 described above and the second core base material 43 for the other core half 41 are separated.

この後、第23図に示すように、上記第1コア母材42
と第2コア母材43は、前記突起部25の稜線上で露呈
した磁性薄膜2囮士を突き合わせして位置決めされ、こ
の状態で加熱することより前記接合ガラス3で、第1.
第2コア母材42゜43は一体化される。然る後、同図
の1点鎖線に沿ってスライスすることによって、前記マ
ルチチャンネル磁気ヘッドを権威するヘッドチップ30
が得られる。
After this, as shown in FIG. 23, the first core base material 42
and the second core base material 43 are positioned by abutting the magnetic thin film 2 exposed on the ridgeline of the protrusion 25, and by heating in this state, the bonded glass 3 is bonded to the first core base material 43.
The second core base materials 42 and 43 are integrated. After that, the head chip 30 that authorizes the multi-channel magnetic head is sliced along the dashed line in the figure.
is obtained.

次に、第24図に示すように、励磁コイル7を巻線した
ヘッドチップ30を所定の数だけ間にチャンネルセパレ
ータ4を介して積層接着し、最後にスライダー20を接
着して第18図に示したマルチチャンネル磁気ヘッドを
得る。
Next, as shown in FIG. 24, a predetermined number of head chips 30 each having an excitation coil 7 wound thereon are laminated and bonded with a channel separator 4 in between.Finally, a slider 20 is bonded, and as shown in FIG. The multi-channel magnetic head shown is obtained.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

以上、説明したようなマルチチャンネル磁気ヘッドにお
いては、個々のヘッドチップ30に励磁コイル7を巻線
した後、それらを決められた間隔で正確に並べなければ
ならない。
In the multi-channel magnetic head as described above, after the excitation coils 7 are wound around the individual head chips 30, they must be arranged accurately at predetermined intervals.

上記手法においては、第25図に示すように、Tp精度
(ギャップ21の間隔Tpの精度)及びギャップ21の
インライン精度(ギャップ21が直iI上に並ぶ精度)
の確保が困難となる。また、部品点数が多いため、組立
て作業が複雑で量産性に劣る。
In the above method, as shown in FIG. 25, Tp accuracy (accuracy of the interval Tp of the gaps 21) and inline accuracy of the gaps 21 (accuracy that the gaps 21 are lined up on the straight iI)
It becomes difficult to secure. Furthermore, since there are a large number of parts, assembly work is complicated and mass production is poor.

本発明は、上記従来製品が持っていた加工精度及び量産
性が劣るという欠点を解決し、以て高精度で容易に製造
可能なマルチチャンネル磁気ヘッドとその製造方法を提
供することを目的とする。
An object of the present invention is to solve the disadvantages of the conventional products described above, such as poor processing accuracy and poor mass productivity, and to provide a multichannel magnetic head that can be easily manufactured with high precision and a method for manufacturing the same. .

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

磁気記録媒体上の複数のトラックに記録ならびに再生を
行うマルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、非磁性材か
らなる基板上に、必要なチャンネル数設けられた突起部
に被着された高飽和磁束密度及び高透磁率を有する磁性
膜の、前記突起部の稜線上部分を略同じトラック幅をも
って同一平面に露出させるとともに、少なくとも一方に
巻線を行うための溝を有する一対のコア半体を互いに突
き合わせ、前記非磁性材からなる基板の一部にスライダ
ー部を形成して一体構造とすることで、マルチチャンネ
ル磁気ヘッドのトラックピッチ精度及びインライン精度
を確保し、さらにはスライダ後付加の手間を省き量産性
を高める。
In a multi-channel magnetic head that performs recording and reproduction on multiple tracks on a magnetic recording medium, a high saturation magnetic flux density and high permeability material is attached to a protrusion provided with the required number of channels on a substrate made of a non-magnetic material. A portion of the ridgeline of the protrusion of the magnetic film having magnetic properties is exposed on the same plane with substantially the same track width, and a pair of core halves each having a groove for winding on at least one of them are butted against each other. By forming the slider part on a part of the substrate made of magnetic material and creating an integrated structure, the track pitch accuracy and in-line accuracy of the multi-channel magnetic head are ensured, and furthermore, the effort of adding the slider after the slider is eliminated, increasing mass productivity. .

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例について説明する。 Examples of the present invention will be described below.

第1図に本発明によるマルチチャンネル磁気ヘッドの一
実施例の斜視図を示す、ここで、1は磁気ヘッドコア部
及びスライダー部を形成する、例えばチタン酸バリウム
、チタン酸カルシウム、ジルコニア、結晶化ガラス等の
耐摩耗性に優れる非磁性材からなる非磁性基体(基板)
、2は非磁性基体1のギャップ対向面に所要のチャンネ
ル数だけ(ここでは4チヤンネル)形成された突起部2
5及び巻線溝24に被着される非晶質Co−Nb−Zr
、センダスト、Fe−5を等の高飽和磁束密度及び高透
磁率を有する磁性材からなる磁性層で、各チャンネル間
は絶縁溝12及びチャンネルセパレート溝13によって
磁気的に絶縁されている。3は絶縁溝12内の充填材及
びコア半体50゜51の接合材となる、例えば鉛ガラス
などの接合ガラス、4は巻線溝24を有するコア半体5
0の各チャンネル間の摺動面から巻線部上部にかけて埋
め込まれる非磁性基体1と同様な非磁性材からなるチャ
ンネルセパレータ、60は例えばMnZnフェライト、
Ni−Znフェライトなどのバルク磁性材からなるバッ
クコア5と非磁性基体1と同様な非磁性材からなるバッ
クコアセパレータ6を交互に積層接着したバックコアブ
ロックで、磁気ヘッドコア部のリア側で遮断される磁性
層2で形成される磁気回路のリターンバスとなる。7は
励磁コイルで、各チャンネルごとに巻線される。
FIG. 1 shows a perspective view of an embodiment of a multi-channel magnetic head according to the present invention, in which 1 is made of materials such as barium titanate, calcium titanate, zirconia, crystallized glass, etc. that form the magnetic head core part and slider part. Non-magnetic substrate (substrate) made of non-magnetic material with excellent wear resistance such as
, 2 is a protrusion 2 formed on the gap-opposing surface of the non-magnetic substrate 1 by the required number of channels (here, 4 channels).
5 and the amorphous Co-Nb-Zr coated on the winding groove 24.
The magnetic layer is made of a magnetic material having high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability, such as , Sendust, Fe-5, etc., and each channel is magnetically insulated by an insulating groove 12 and a channel separation groove 13 . 3 is a bonding glass such as lead glass, which serves as a filler in the insulating groove 12 and a bonding material for the core halves 50 and 51; 4 is a core half 5 having a winding groove 24;
A channel separator 60 made of a non-magnetic material similar to that of the non-magnetic substrate 1, which is embedded from the sliding surface between each channel of 0 to the upper part of the winding part, 60 is, for example, MnZn ferrite,
A back core block is made by alternately laminating and bonding a back core 5 made of a bulk magnetic material such as Ni-Zn ferrite and a back core separator 6 made of a nonmagnetic material similar to that of the nonmagnetic substrate 1, and is used to block the magnetic head core on the rear side. This serves as a return bus for the magnetic circuit formed by the magnetic layer 2. 7 is an excitation coil, which is wound for each channel.

19はスライダー溝である。19 is a slider groove.

第2図〜第16図を用いて第1図に示した本発明のマル
チチャンネル磁気ヘッドの製造方法の一実施例を説明す
る。
An embodiment of the method for manufacturing the multi-channel magnetic head of the present invention shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. 2 to 16.

まず、第2図に示すようにチタン酸バリウムからなる非
磁性基体1にV字状のトラック規制溝8を機械加工によ
り所定の本数略平行に設け、所要のチャンネル数の山形
の突起部25を形成する。
First, as shown in FIG. 2, a predetermined number of substantially parallel V-shaped track regulating grooves 8 are machined on a non-magnetic substrate 1 made of barium titanate, and a chevron-shaped protrusion 25 with a predetermined number of channels is formed. Form.

次に、第3図に示すように前記トラック規制溝8に直交
するように台形状の巻線溝24を機械加工で設ける。
Next, as shown in FIG. 3, a trapezoidal winding groove 24 is provided by machining so as to be perpendicular to the track regulating groove 8.

次に第4図に示すように前記トラック規制溝8及び巻線
溝24形底面に非晶質Co−Nb−Zr磁性合金からな
る磁性層2をスパッタリングにより所定の厚み被着させ
る。
Next, as shown in FIG. 4, a magnetic layer 2 made of an amorphous Co--Nb--Zr magnetic alloy is deposited to a predetermined thickness on the bottom surface of the track regulating groove 8 and the winding groove 24 by sputtering.

次に、第5図に示すように前記磁性層2の上に鉛ガラス
からなる接合ガラス3を比較的厚く充填する。
Next, as shown in FIG. 5, the magnetic layer 2 is filled with a relatively thick bonding glass 3 made of lead glass.

次に、第6図に示すように前記接合ガラス3を適当貴賎
るように研磨により除去した後、巻線溝24に充填され
ている接合ガラス3を所定部を除き機械加工により除去
する。
Next, as shown in FIG. 6, the bonded glass 3 is removed by polishing to a suitable degree, and then the bonded glass 3 filled in the winding groove 24 is removed by machining except for a predetermined portion.

次に、第7図に示すように前記トラック規制溝8に沿っ
て所定の深さの絶縁溝12を機械加工により設け、磁性
層2の各チャンネル間での磁気的結合を絶縁する。
Next, as shown in FIG. 7, an insulating groove 12 of a predetermined depth is provided by machining along the track regulating groove 8 to insulate magnetic coupling between the channels of the magnetic layer 2.

次に、第8図に示すように前記巻線溝24に被着された
磁性層2を各チャンネル間で磁気的に絶縁するとともに
巻線を行うためのチャンネルセパレート溝13を前記絶
縁溝12に沿って非磁性基体1の略中央まで設ける。
Next, as shown in FIG. 8, a channel separation groove 13 is formed in the insulating groove 12 for magnetically insulating the magnetic layer 2 adhered to the winding groove 24 between each channel and for winding. It is provided along the line up to approximately the center of the nonmagnetic substrate 1.

次に、第9図に示すように前記チャンネルセパレート溝
13の所定位置にチタン酸バリウムからなるチャンネル
セパレータ4を挿入する。
Next, as shown in FIG. 9, a channel separator 4 made of barium titanate is inserted into a predetermined position of the channel separation groove 13.

次に、第10図に示すように残留している接合カラス3
を加熱し、溶融して前記絶縁溝12及びチャンネルセパ
レータ4を封着する。
Next, as shown in Fig. 10, the remaining bonding crow 3
is heated and melted to seal the insulating groove 12 and the channel separator 4.

次に、第11図に示すようにガラス面を研磨し、所定の
トラック幅(Tw)を露呈させ、非磁性基体1を巻線溝
24及び前記チャンネルセパレータ4の少なくとも一部
を有するコア半体50と前記巻線溝24を持たないコア
半体51に同図点線部で分割する。
Next, the glass surface is polished to expose a predetermined track width (Tw) as shown in FIG. 50 and a core half 51 without the winding groove 24 at the dotted line in the figure.

次に、第12図に示すように少なくとも一方のコア半体
の研磨面に所定の厚みのギャップ材(図示せず)を被着
させ、研磨面同士を突合わせ、加熱し、接合ガラス3で
接合した後、摺動面26をチャンネルセパレータ4が露
出する(点線〉まで研磨し、リア部27を所定位置(点
線)で切断し、−時、磁気回路を遮断する。
Next, as shown in FIG. 12, a gap material (not shown) of a predetermined thickness is applied to the polished surface of at least one core half, the polished surfaces are butted together, heated, and bonded glass 3 is bonded. After joining, the sliding surface 26 is polished until the channel separator 4 is exposed (dotted line), the rear part 27 is cut at a predetermined position (dotted line), and the magnetic circuit is cut off at -.

次に、第13図に示すようにスライダー溝19を機械加
工により形成するとともにスライダーとしての不要部を
取り除く (点線参照)。
Next, as shown in FIG. 13, a slider groove 19 is formed by machining, and unnecessary parts of the slider are removed (see dotted lines).

次に、第14図に示すように各チャンネルの巻線424
に励磁コイル7をそれぞれ巻線した後、Mn−Znフェ
ライトからなる磁性材5及びチタン酸バリウムからなる
ハックコアセパレータ6が交互に積層接合されてなるハ
ックコアブロック60をリア部に挿入接合し、磁気回路
を復活させる。
Next, as shown in FIG. 14, the winding 424 of each channel is
After winding the excitation coils 7 in the respective parts, a hack core block 60 formed by alternately laminating and bonding magnetic materials 5 made of Mn-Zn ferrite and hack core separators 6 made of barium titanate is inserted and bonded into the rear part. Restore the magnetic circuit.

最後に摺動面のエツジ部にチャンファ加工を行い第1図
に示した本発明のマルチチャンネル磁気ヘッドを得る(
第15図)。
Finally, the edges of the sliding surfaces are chamfered to obtain the multichannel magnetic head of the present invention shown in FIG.
Figure 15).

リターンパス部の形成方法としては、第16図に示すよ
うに磁気ヘッドリア側を深く切除した後、バックコアブ
ロック60を接合しても・よい。なお、本実施例は本発
明によるマルチチャンネル磁気ヘッド−個を得るもので
あり、多数個取りの製造方法については前記方法の応用
より容易に展開できる。
As a method of forming the return path section, as shown in FIG. 16, the back core block 60 may be joined after deeply cutting out the rear side of the magnetic head. In this embodiment, a multi-channel magnetic head according to the present invention is obtained, and a method for producing a large number of magnetic heads can be easily developed by applying the above method.

第17図は、第1図に示したマルチチャンネル磁気ヘッ
ドの摺動面におけるギャップ部分の拡大図である。同図
において、トラックピッチ(Tp)は非磁性基体1に形
成される突起部25の加工精度で決定されるため±1μ
m前後の精度が確保される。また、ギャップ21のイン
ライン精度は精密研磨によって得られる同一平面上にギ
ャップを形成することで保証される。
FIG. 17 is an enlarged view of the gap portion on the sliding surface of the multi-channel magnetic head shown in FIG. In the figure, the track pitch (Tp) is determined by the processing accuracy of the protrusion 25 formed on the non-magnetic substrate 1, so it is ±1μ.
Accuracy of around m is ensured. Further, the in-line accuracy of the gap 21 is guaranteed by forming the gap on the same plane obtained by precision polishing.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように、本発明のマルチチャンネル磁気ヘッ
ドにおいて、トラックピッチ(Tp)は非磁性基体に形
成される突起部の加工精度で決定されるため、また、ギ
ャップのインライン精度は精密研磨によって得られる同
一平面上にギャップを形成することで、非常に高精度の
ものとすることができる。また、非磁性基体の一部によ
ってスライダーを形成するため量産性に優れる。
As described above, in the multi-channel magnetic head of the present invention, the track pitch (Tp) is determined by the processing accuracy of the protrusions formed on the non-magnetic substrate, and the in-line accuracy of the gap can be obtained by precision polishing. By forming the gaps on the same plane, very high precision can be achieved. Furthermore, since the slider is formed from a part of the non-magnetic substrate, it is excellent in mass production.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明のマルチチャンネル磁気ヘッドの一実施
例の斜視図、第2図、第3図、第4図、第5図、第6図
、第7図、第8図、第9図、第10図、第11図、第1
2図、第13図、第14図、第15図及び第16図は第
1図に示したマルチチャンネル磁気ヘッドの製造方法を
説明する工程図、第17図は第1図に示したマルチチャ
ンネル磁気ヘッドの摺動面の拡大図、第18図は従来の
マルチチャンネル磁気ヘッドの斜視図、第19図、第2
0図、第21図、第22図、第23図及び第24図は第
18図に示した従来のマルチチャンネル磁気ヘッドの製
造方法を説明する工程図、第25図は第18図に示した
従来のマルチチャンネル磁気ヘッドの摺動面の拡大図で
ある。 1・・・非磁性基体、 2・・・磁性層、3・・・接合
ガラス、  4・・・チャンネルセパレータ、7・・・
励磁コイル、19・・・スライダー溝、24・・・巻線
溝、25・・・突起部、50.51・・・コア半体、 
6o・・・バックコアブロック。 第1図 第2図 b 第3図 第 4 図 第 図 第 図 第 図 第 図 2 第10図 第11図 W 第 12 図 7 第14図 0 第19図 第20図 5 第18図 第 1 図 w 第22図 第23図 15 第24図
FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the multi-channel magnetic head of the present invention, FIGS. 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, and 9. , Fig. 10, Fig. 11, Fig. 1
2, 13, 14, 15, and 16 are process diagrams explaining the method for manufacturing the multichannel magnetic head shown in FIG. An enlarged view of the sliding surface of the magnetic head, FIG. 18 is a perspective view of a conventional multi-channel magnetic head, FIG.
0, 21, 22, 23, and 24 are process diagrams explaining the method for manufacturing the conventional multichannel magnetic head shown in FIG. 18, and FIG. FIG. 2 is an enlarged view of a sliding surface of a conventional multichannel magnetic head. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Nonmagnetic substrate, 2...Magnetic layer, 3...Bonding glass, 4...Channel separator, 7...
Excitation coil, 19...Slider groove, 24...Winding groove, 25...Protrusion, 50.51...Core half,
6o...Back core block. Fig. 1 Fig. 2b Fig. 3 Fig. 4 Fig. Fig. Fig. Fig. 2 Fig. 10 Fig. 11 W Fig. 12 Fig. 7 Fig. 14 Fig. 0 Fig. 19 Fig. 20 Fig. 5 Fig. 18 Fig. 1 w Figure 22 Figure 23 Figure 15 Figure 24

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)磁気記録媒体上の複数のトラックに記録ならびに
再生を行うマルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、非磁
性材からなる基板上に、必要なチャンネル数設けられた
突起部と、この突起部に被着され高飽和磁束密度及び高
透磁率を有する磁性膜と、少なくとも一方に巻線を行う
ための溝を有する2つのコア半体を互いに突き合わせ、
前記非磁性材からなる基板の一部にスライダー部を形成
して一体構造としたことを特徴とするマルチチャンネル
磁気ヘッド。
(1) In a multi-channel magnetic head that performs recording and reproduction on multiple tracks on a magnetic recording medium, a substrate made of a non-magnetic material has a protrusion provided with the required number of channels, and a protrusion attached to the protrusion. abutting two core halves having a magnetic film having high saturation magnetic flux density and high permeability and a groove for winding on at least one side;
A multi-channel magnetic head characterized in that a slider portion is formed on a part of the substrate made of the non-magnetic material to form an integral structure.
(2)1)非磁性材からなる基板上に平行にV字状の溝
を設け、必要なチャンネル数だけの 突起部を形成する工程、 2)工程1)で設けた溝と直交する台形状の巻線溝を設
ける工程、 3)工程1)、2)で溝を設けた面上に高飽和磁束密度
及び高透磁率を有する磁性膜 を物理蒸着などの薄膜形成法によつて設 ける工程、 4)前記磁性膜上にガラスをのせ、軟化温度以上に加熱
し充填する工程、 5)磁性膜上に適量のガラスを残し、表面を平らに研磨
する工程、 6)工程2)で設けた溝中のガラスを適当量取り除く工
程、 7)工程1)で形成した突起部に平行に磁性膜を各トラ
ックで磁気的に絶縁する絶縁 溝を設ける工程、 8)工程2)で設けた溝の内壁に設けたられた磁性膜を
磁気的に絶縁するとともに各 チャンネルの磁気ヘッドに巻線を行うた めのチャンネルセパレート溝を所定の位 置まで設ける工程、 9)工程8)で設けた溝中の磁気ヘッド摺動面付近から
巻線窓部にいたる部分に非磁 性材からなるチャンネルセパレータを挿 入する工程、 10)ガラスの軟化点以上に加熱し、残留ガラスを溶し
、前記絶縁溝及び前記チャンネ ルセパレータを封着する工程、 11)ガラス面を研磨し、所定のトラック幅を露呈させ
る工程、 12)工程11)を終了したコアを少なくとも前記チャ
ンネルセパレータの一部を有す る巻線窓を持つコアと持たないコアに分 割する工程、 13)工程12)で分割したコアの研磨面に所定の厚み
のギャップ材を被着した後、互 いにトラック幅露呈面を対向するように 突合わせ、ガラスの軟化点以上に加熱し 接合する工程、 14)工程13)で接合されたコアのバック側を所定の
位置で切断し磁気回路を遮断す る工程、 15)摺動面の所定の位置にスライダー溝を形成する工
程、 16)摺動面を所定のヘッドギャップ深さまで研磨する
工程、 17)各チャンネルの磁気ヘッドに所定の回数の巻線を
施す工程、 18)工程17)で形成した磁気回路遮断部に磁性材と
非磁性材を積層して形成したバ ックコアを接着する工程、 19)最後に摺動面のチャンファ加工を行う工程、 を有することを特徴とするマルチチャンネル磁気ヘッド
の製造方法。
(2) 1) Step of forming parallel V-shaped grooves on a substrate made of non-magnetic material and forming protrusions corresponding to the required number of channels, 2) Trapezoidal grooves perpendicular to the grooves formed in step 1) 3) providing a magnetic film having high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability on the surface where the grooves were provided in steps 1) and 2) by a thin film forming method such as physical vapor deposition; 4) A step of placing glass on the magnetic film and heating it above the softening temperature to fill it; 5) A step of leaving an appropriate amount of glass on the magnetic film and polishing the surface flat; 6) A step of forming the grooves formed in step 2). 7) Step of providing an insulating groove for magnetically insulating the magnetic film in each track parallel to the protrusion formed in step 1); 8) Inner wall of the groove formed in step 2) a step of magnetically insulating the magnetic film provided in the magnetic film and providing a channel separation groove up to a predetermined position for winding the magnetic head of each channel; 9) the magnetic head in the groove provided in step 8); A step of inserting a channel separator made of a non-magnetic material from the vicinity of the sliding surface to the winding window, 10) heating above the softening point of the glass to melt the remaining glass and sealing the insulating groove and the channel separator. a step of sealing, 11) a step of polishing the glass surface to expose a predetermined track width, 12) a step in which the core that has undergone step 11) does not have a core having a winding window having at least a portion of the channel separator. Step of dividing into cores: 13) After applying a gap material of a predetermined thickness to the polished surfaces of the cores divided in step 12), the cores are butted against each other so that the track width exposed surfaces face each other, and heated to a temperature above the softening point of glass. 14) cutting the back side of the core joined in step 13) at a predetermined position to interrupt the magnetic circuit; 15) forming a slider groove at a predetermined position on the sliding surface; 16) A step of polishing the sliding surface to a predetermined head gap depth, 17) A step of winding the magnetic head of each channel a predetermined number of times, 18) Adding a magnetic material to the magnetic circuit interrupting portion formed in step 17). 19) A method for manufacturing a multi-channel magnetic head, comprising the steps of: bonding a back core formed by laminating non-magnetic materials; 19) Finally, chamfering a sliding surface.
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