JPH0328708A - Measurement and display of surface roughness for object worked by laser - Google Patents
Measurement and display of surface roughness for object worked by laserInfo
- Publication number
- JPH0328708A JPH0328708A JP16431789A JP16431789A JPH0328708A JP H0328708 A JPH0328708 A JP H0328708A JP 16431789 A JP16431789 A JP 16431789A JP 16431789 A JP16431789 A JP 16431789A JP H0328708 A JPH0328708 A JP H0328708A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- surface roughness
- processed object
- data
- roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 title claims abstract description 56
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 38
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 8
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 abstract 3
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 241000282326 Felis catus Species 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 235000013405 beer Nutrition 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ加工物の表面粗さ３１測方法及び表／１
＜方法に関し、特にレーザ加工物の加工面のデタを２次
元の計測データとして記憶するレーザ加工物の表面粗さ
計測方法、及びその計測データを使用して、表面の詳細
を斜視図のように描画するレーザ加」二物の表面粗さ表
示方法に関する。
〔従来の技術〕
レーザカＩＩＩでは固有のビームモードと拡がり大きさ
をイ丁するレーザ゛ヒ゛−ｌ・を、レンズ等｛こよって
集光し、エネルギー密度の究めて高い熱源として使用し
ている。光であるレーザは光学的な焦点位置、焦点深度
を有し、さらに、レーザ加工に使用されるアシストガス
等の影響により、レーザ加工による加丁’−面は−様で
はなく、レーサビーｌ１の照射方向に沿って異なった面
粗さを有する。
第７図はレーザ加工物の加工向の例を表す図である。レ
ーザ加干物３０の加二Ｉ１面３１は上方からレーザビー
ムが照射され、かつ、アシストガスが吹きつけられて、
切断されたものである。上層３２はレーザ光によって溶
融されて切断されており、面粗さは細かい。中層３３は
アシストガスの影響により、ガス切断になり面粗さは中
程度である。
下層３４は上方からの熱、溶融した金属の流れ等によっ
て切断されたものであり、而粗さは粗い。
〔発明が解決しようとする課題〕
このように、レーザ加工物の加工面は−様ではなく、従
来の機械による加工物のような１次元での計測あるいは
表示では、レーザ加工物の加王而の面粗さを正確に３１
測、あるいは表示することはできない。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、レ
ーザ加工物のような面粗さが一様でない加工面の面粗さ
を的確に計測するレーザ加干物の表面粗さ計測方法を提
供することを目的とする。
また、本発明の他の目的はレーサ加工物の面粗さを的確
に描画できるレーサ加工物の表面[Industrial Application Field] The present invention provides surface roughness 31 measurement method and Table/1 of laser-processed objects.
<Regarding the method, in particular, there is a method for measuring the surface roughness of a laser-processed object, which stores the data of the machined surface of the laser-processed object as two-dimensional measurement data, and uses that measurement data to measure the details of the surface as shown in a perspective view. This invention relates to a method for displaying the surface roughness of objects subjected to laser drawing. [Prior Art] In Laser III, a laser beam with a unique beam mode and spread size is focused by a lens or the like, and used as a heat source with extremely high energy density. The laser, which is light, has an optical focal position and depth of focus, and due to the influence of the assist gas used in laser processing, the surface cut by the laser processing is not -like, but the irradiation of the laser beam l1 It has different surface roughness along the direction. FIG. 7 is a diagram showing an example of the processing direction of a laser-processed object. The surface 31 of the laser-dried food 30 is irradiated with a laser beam from above and blown with assist gas,
It has been severed. The upper layer 32 is melted and cut by laser light, and has a fine surface roughness. The middle layer 33 is gas-cut due to the influence of the assist gas and has a medium surface roughness. The lower layer 34 is cut by heat from above, a flow of molten metal, etc., and has a rough surface. [Problems to be Solved by the Invention] As described above, the machined surface of a laser-processed object is not shaped like -, and when measured or displayed in one dimension like a workpiece by a conventional machine, the surface of the laser-processed object is Accurate surface roughness of 31
cannot be measured or displayed. The present invention has been made in view of these points, and provides a method for measuring the surface roughness of a laser-cured product that accurately measures the surface roughness of a machined surface such as a laser-processed product whose surface roughness is not uniform. The purpose is to provide. Another object of the present invention is to provide a surface roughness of a laser-processed object that can accurately depict the surface roughness of the laser-processed object.
【１１さ表示方法を提
供することである。
（課題を解決するための手段〕
本発明では１゛，記課題を解決するために、レーザ加工
物の表面粗さ計測方法においーＣ、定のピッチ毎に触針
を移動させて、前記レザ加工物の表面粗さを測定し、前
記測定値をディジタル値に変換し、前記レーザ加工物の
加［面に対応する平而４：の而粗さデータを２次元マト
リンクスの３１測データとしてメモリに記憶することを
特徴とするレーザ加＝［物の表面粗さ計測方法が、提供
される。
また、レーザ加工物の表面粗さ表示方法において、一定
のピッチ毎に触針を移動させて、前記レーザ加工物の表
面粗さを測定し、前記測定値をディジタル値に変換し、
前記レーザ加工物の加工面に刻応ずる平面上の面粗さデ
ータを２次元マ｝ ＩＪックスの計測データとしてメモ
リに記憶し、前記マトリンクスの１行毎に横方向に走査
し、縦方向に面粗さを描画（，、前記レーザ加工物の平
面上の表面粗さを描くことを特徴とするレーザ加Ｔ物の
表面粗さ表示方法が、提供される。
〔作用〕
レーザ加工物の加工面の面粗さは一様ではないので、一
定ピッチ毎に一方向に而粗さを測定し、これを加二［面
に対応ずる２次元マトリックスＯＪ ；ｌ−測データと
して記憶する。この計測データは、ほぼ、加工面の面粗
さに対応しており、加工面の状態を的確に表している。
また、このディジタルデータを一定ビッヂ毎に２次元的
に描画すれば、レーザ加工物の表面を拡大した斜視図が
得られ、レーザ加工物の面粗さを的確に表示することが
できる。
〔実施例〕
以下、本発明の−実施例を図面に基ついて説明する。
第２図は本発明を実施するだめのハードウエアの概略の
構或図である。触針式粗さ計１はベース８にコラｌ、２
が直立配置されており、：Ｊラム２には横方向に移動す
るユニット３があり、ユニット３の先端には触針４が設
けられている。ユニット３は内部にバルスモータを内蔵
しており、パーソナルニコンピュータ１０からの指令に
よって触針４を横方向（Ｘ方向．ビー＝ｌ、又はテーブ
ル移動方向）に移動させる。
ベース８にはユニソト７があり、ユニット７は内部にパ
ルスモー夕を内蔵し、指令によって紙面と垂直の方向（
Ｙ方向・ビーｌ・照射方向又は深さ方向）に調整テーブ
ル６を移動させる。調整テブル６の」二にはレーザ加玉
物５が固定されている。
パーソナルコンピュータ１０からの指令はドライブ回路
２１に与えられ、ドライブ回路２１はユニット３内のパ
ルスモー夕を駆動して、ユニット３を横方向（Ｘ方向）
に動かし、触針４をレーザ加工物５の表面を触針しなが
ら移動させる。触針４からの而粗さ信号はアナロク信号
であり、その−ｒナＴフク信号はパーソナルコンピュー
タ１０内の追加ボード１１によって、ディジタル信号に
変換され、ディジタルな計測データとして、ハードディ
スクに格納される。すなわち、一定距離と、それに対応
ずるＺ方向の高さデータとして格納されていく。
横方向（Ｘ方向）の測定すべき範囲の測定力（，ｌわる
と、パーソナルコンピュータ１０はドライブ回路２１に
指令を出し、ユニット７を紙面と垂直方向（Ｙ方向）に
送る。すなわち、レーザ加工物上を触針４が一定ピッチ
分移動する。続いて、同じようにユニット３を横方向（
Ｘ方向）に移動させレーザ加工物４の表面粗さを測定し
、ハードディスクにその計測データを格納し−Ｃいく。
第６図は計測データの例を示す図である。３Ｉ測データ
は図のように、２次元マトリックスの形式で得られる。
これらのマトリックスの行及び列の数値はＹ方向のステ
ップの距離、Ｘ方向のデータの取り込み間隔によって変
化する。しかし、最近のパーソナルコンピュータのハー
ドディスクの容量は大きく、測定間隔あるいは、測定ピ
ッチを細かくしても充分に計測データを格納できる。ま
た、計測データは一区ハードディスクに格納された後に
、フＬ７ツビイディスク２６に出力して、保存していく
こともできる。
格納されたレーザ加工物の計測データは、プロッタイン
タフＪ−ス２２を経由して、プロッタ２３によって、描
画することができる。その詳細は後述する。パーソナル
コンピュータ１０に必要ナデータはキーボード２４ある
いはマウス２５を使用して指定される。また、ハードデ
ィスクに格納された２１棋ｔｌテ゛一夕はフ■】ンピイ
テ′イスク２６に出力して、保存ずることもできる。
さらに、プリンタ２７に計測データをプリントアウトで
きる。１：た、計測データから、中心線平均粗さＲａ、
最大高さＲｍａｘ、１０点平均粗さＲｚ等の面粗さを３
１算して、プリンタ２７にプリントアウトすることもで
きる。
第３図はパーソナルー゛Ｊンピュータに追加すべき追加
ボードのハードウェアの概略を示す図である。
追加ボード１１にはマルチプレクサ１２を介して、而粗
さ計測信号ＺＡとＸ軸方向の移動信号ＸＡが入力される
。この信号はＡＤ変換器１３でディジタル信号に変換さ
れ、εＩ測データとしてバス１６を経由して、プロセッ
ザ１５に読みとられ、図示されていないハードディスク
に格納されていく．，ここで、信号ＺＡはレーザ加工物
の面のｌ１ｒ１凸を示し、信号ＸＡは測定開始からの距
離を表す。従って、信号ＸＡから予め定めた一定距ｆｆ
ｉｌｉを検出し、表面の凹凸を示す信号ＺＡを読み取れ
ば、第６図に示すような２次元マトリックスの面粗さの
訓測データが作成できる。
逆にインタフェース１４からはトレース期間信号Ｔ Ｉ
と測定有効期間信号ＭＡが出力される。ε−の信号によ
って、触針粗さ計１は計測信号を出力する。また、触釧
粗さ計１のユニット３を横方１７Ｉ」（Ｘ方向）に移動
させるための信号Ｘ Ｉ）、ユニント７をＹ方向に所定
のステップ移動させる信号ＹＤがインタフェース１４を
経由して、ドライブ［τ』」路２丁に勾えられる。
第４図はパーソナルコンピュータの人出力信号の例を示
すタイムチャートである。トレース期間９
■０
信号ＴＩが出力され、触針粗さ計１はこの信号ＴＩがオ
ンの期間中は測定モードになる。次に横方向（Ｘ方向）
に計測を行う毎に、測定有効期間信ｑＭＡが出され、触
針粗さ計１の測定信号ＺＡはこの期間中有効であり、プ
ロセンサｌ５によって、読み取られる。横方向（Ｘ方向
）の移動量を示す信号ＸＡはディジタル的に読み取られ
、一定距離毎に信号ＺＡが計測データとして読み込んで
いくのに使用する。
第１図は本発明の−実施例の処理の流れを示すフローチ
ャートである。
〔Ｓ１〕触針粗さ計ｌはパーソナルコンピュータ１０か
らの指令によって、横方向（Ｘ方向）に触針４を移動さ
せレーザ加工物の面粗さの計測を行う。
〔Ｓ２〕計測データをディジタル信号に変換し、漢方ｒ
：ｉ］（ｘ方向）に一定量進むごとに読み取り、バーソ
づ−ノレｒｊンヒ゜ユーク１０のハードテ゛イスク１こ
格納していく。
〔Ｓ３〕次に縦方向（Ｙ方向）に一定ステンプ分移動す
る。
〔Ｓ４〕縦方向（Ｙ方向）の範囲が計測範囲か調べ、３
１測範囲であればＳ１に戻り横方向（Ｘ方向）に触針４
を移動させ計測を行う。縦方向（Ｙ方向）が計測範囲を
越えていれば、計測は完了であり、次のスデップに進む
。すなわち、ここで第６図に示すような計測データが得
られ、ハートディスクに格納される。
〔Ｓ５〕描画要求があれば、Ｓ６へいく。
〔Ｓ６〕描画要求に応じて、ハードディスクに格納され
た計測データをブロソタ２３に描画する。
〔Ｓ７〕中心線平均粗さＲａ等の面粗さデータの要求が
あれば、Ｓ８へ進む。
〔Ｓ８〕計測データから面粗さデータを訓算ずる。
〔Ｓ９〕面粗さデータをプリンタ２４にプリントアウト
する。
第５図は面粗さをプロックに描画した例を示す図である
。この例では、厚さ２．３ｍｍの鉄板をレーザ切断し、
横方向（Ｘ方向）に２ ． ５ ｍ ｍ （７）長さ
分描画したものであり、ピッチの間隔は０１２
０２ｍｍである。ここでは、第６図に示すような計測デ
ータの第１列のデータを横方向（Ｘ方向）に描画し、さ
らに次に縦方向（Ｙ方向）に一定ピッチ移動して、次の
第２列のデータを猫画して行けば、第５図の陽画が得ら
れる。この図は実際は２次元表示の集合であるが、３次
元的な斜視図として認識することができ、レーザ加工物
の面粗さが切断面の上層、中層、下層で変化しているこ
とが的確に分かる。すなわち、第５図は加工面を拡大表
示した斜視図と等価でもあり、レーザ加工機の加工条件
等を決定するのに有用である。
また、描画に際して、縦方向（Ｙ方向）に移動して次の
行を痛画するときに、描画の開始点を少しづつずらして
いくと、猫画は立体斜視図のようになって、まり面粗さ
の凹凸が明確になる場合がある。
さらに、プロツタではなく、パーソナルコンピュータ１
０の表示画面１７にこの猫画を表示することもできる。
これはハードディスク内の計測デタを画像信号に変換す
ればよく、通常のバーソナルコンピュータのソフトウェ
アで簡単に行うことができる。
」二記の説明では、制御装置としてパーソナルコンピュ
ータを使用したが、ワークステーションあるいはＰＣ（
プログラマブル・コント「７−ラ）等を使用することも
できる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明では、レーザ加工物の而粗さ
データを計測して、２次元のマトリックスの馴測データ
として、格納するようにしたので、より的確な面粗さデ
ータが得られる。
また、その言１測データから立体的な面の状態を描画す
るようにしたので、レーザ加工物の加工面の状態を的確
に認識でき、加工条件等を決定する上での有力な判断材
料となる。[11] To provide a display method. (Means for Solving the Problems) In the present invention, 1. In order to solve the problems described above, in a method for measuring the surface roughness of a laser-processed object, 1. Measure the surface roughness of the workpiece, convert the measured value into a digital value, and store the roughness data corresponding to the processed surface of the laser workpiece as 31 measurement data in a two-dimensional matrix. A method for measuring the surface roughness of a laser-processed object is provided, which is characterized in that the surface roughness of a laser-processed object is measured by moving a stylus at regular pitches, measuring the surface roughness of the laser-processed object, converting the measured value into a digital value,
The surface roughness data on the plane corresponding to the machined surface of the laser-processed object is stored in memory as two-dimensional IJx measurement data, and each row of the matrix is scanned horizontally, and the surface roughness data is vertically scanned. A method for displaying the surface roughness of a laser-processed object is provided, which is characterized by drawing the surface roughness on a plane of the laser-processed object. [Operation] Processed surface of the laser-processed object Since the surface roughness of the surface is not uniform, the roughness is measured in one direction at regular pitches, and this is stored as a two-dimensional matrix corresponding to the surface.This measurement data almost corresponds to the surface roughness of the machined surface, and accurately represents the condition of the machined surface.Also, if this digital data is drawn two-dimensionally for each fixed bit, the surface of the laser machined object can be visualized. An enlarged perspective view can be obtained, and the surface roughness of the laser-processed object can be accurately displayed. [Examples] Examples of the present invention will be described below with reference to the drawings. It is a schematic configuration diagram of hardware for carrying out the invention.The stylus type roughness meter 1 has a base 8, a base 8,
is arranged upright, and the :J ram 2 has a unit 3 that moves laterally, and a stylus 4 is provided at the tip of the unit 3. The unit 3 has a built-in pulse motor, and moves the stylus 4 in the lateral direction (X direction.be=l, or table movement direction) according to a command from the personal computer 10. The base 8 has a UniSoto 7, and the unit 7 has a built-in pulse motor, and according to commands, it can move in the direction perpendicular to the page.
The adjustment table 6 is moved in the Y direction, beer direction, irradiation direction, or depth direction). A laser bead 5 is fixed to the second part of the adjustment table 6. Commands from the personal computer 10 are given to the drive circuit 21, and the drive circuit 21 drives the pulse motor in the unit 3 to move the unit 3 in the lateral direction (X direction).
, and move the stylus 4 along the surface of the laser-processed object 5. The roughness signal from the stylus 4 is an analog signal, and the -rnaT signal is converted into a digital signal by an additional board 11 in the personal computer 10 and stored in the hard disk as digital measurement data. . That is, it is stored as a certain distance and the corresponding height data in the Z direction. When the measuring force (,l) of the range to be measured in the lateral direction (X direction) is exceeded, the personal computer 10 issues a command to the drive circuit 21 and sends the unit 7 in the direction perpendicular to the plane of the paper (Y direction).In other words, laser processing The stylus 4 moves over the object by a certain pitch.Subsequently, the unit 3 is moved laterally (
The surface roughness of the laser-processed object 4 is measured, and the measured data is stored in the hard disk. FIG. 6 is a diagram showing an example of measurement data. The 3I measurement data is obtained in the form of a two-dimensional matrix, as shown in the figure. The values in the rows and columns of these matrices change depending on the step distance in the Y direction and the data acquisition interval in the X direction. However, the capacity of the hard disks of recent personal computers is large, and measurement data can be stored sufficiently even if the measurement interval or measurement pitch is made finer. Further, after the measurement data is stored in the first hard disk, it can also be output to the L7 double disk 26 for storage. The stored measurement data of the laser workpiece can be plotted by the plotter 23 via the plotter interface 22. The details will be described later. Data required for the personal computer 10 is designated using the keyboard 24 or mouse 25. Furthermore, the 21 chess game data stored on the hard disk can be output to the digital disk 26 for storage. Furthermore, the measurement data can be printed out on the printer 27. 1: From the measurement data, the center line average roughness Ra,
Surface roughness such as maximum height Rmax, 10 point average roughness Rz, etc.
It is also possible to calculate the value and print it out on the printer 27. FIG. 3 is a diagram schematically showing the hardware of an additional board to be added to the personal computer. A roughness measurement signal ZA and a movement signal XA in the X-axis direction are input to the additional board 11 via a multiplexer 12. This signal is converted into a digital signal by the AD converter 13, read by the processor 15 via the bus 16 as εI measurement data, and stored in a hard disk (not shown). , where the signal ZA indicates the l1r1 convexity of the surface of the laser-worked object, and the signal XA indicates the distance from the start of the measurement. Therefore, a predetermined distance ff from the signal XA
By detecting ili and reading the signal ZA indicating surface irregularities, it is possible to create surface roughness experimental data in a two-dimensional matrix as shown in FIG. Conversely, from the interface 14, the trace period signal T I
The measurement valid period signal MA is output. In response to the signal ε-, the stylus roughness meter 1 outputs a measurement signal. In addition, a signal XI) for moving the unit 3 of the touch roughness meter 1 in the lateral direction 17I'' (X direction) and a signal YD for moving the unit 7 a predetermined step in the Y direction are sent via the interface 14. , Drive [τ''] is located on 2nd street. FIG. 4 is a time chart showing an example of a human output signal of a personal computer. Trace period 9 (1)0 The signal TI is output, and the stylus roughness meter 1 is in the measurement mode while the signal TI is on. Next, the horizontal direction (X direction)
Each time a measurement is performed, a measurement valid period signal qMA is issued, and the measurement signal ZA of the stylus roughness meter 1 is valid during this period and is read by the processor l5. A signal XA indicating the amount of movement in the lateral direction (X direction) is read digitally, and is used to read the signal ZA as measurement data every fixed distance. FIG. 1 is a flowchart showing the flow of processing in an embodiment of the present invention. [S1] The stylus roughness meter 1 moves the stylus 4 in the lateral direction (X direction) in response to a command from the personal computer 10 to measure the surface roughness of the laser-processed object. [S2] Convert the measurement data to digital signals and convert them into Chinese medicine r
:i] (in the x direction) and stores it in one hard disk in the storage unit 10. [S3] Next, move in the vertical direction (Y direction) by a certain step. [S4] Check whether the range in the vertical direction (Y direction) is the measurement range, 3
If it is within 1 measurement range, return to S1 and move the stylus 4 in the horizontal direction (X direction).
Move and measure. If the vertical direction (Y direction) exceeds the measurement range, the measurement is complete and the process advances to the next step. That is, measurement data as shown in FIG. 6 is obtained here and stored in the heart disk. [S5] If there is a drawing request, go to S6. [S6] In response to the drawing request, the measurement data stored in the hard disk is drawn on the plotter 23. [S7] If there is a request for surface roughness data such as center line average roughness Ra, the process advances to S8. [S8] Surface roughness data is calculated from the measurement data. [S9] Print out the surface roughness data on the printer 24. FIG. 5 is a diagram showing an example of surface roughness drawn on a block. In this example, a steel plate with a thickness of 2.3 mm is laser cut,
2 in the horizontal direction (X direction). It is drawn for a length of 5 mm (7), and the pitch interval is 012 mm. Here, data in the first column of measurement data as shown in Fig. 6 is drawn in the horizontal direction (X direction), and then moved by a certain pitch in the vertical direction (Y direction) to draw the data in the next second column. If you make a cat drawing of the data, you will get the positive image shown in Figure 5. Although this diagram is actually a collection of two-dimensional displays, it can be recognized as a three-dimensional perspective view, and it can be clearly seen that the surface roughness of the laser-processed object changes in the upper, middle, and lower layers of the cut surface. I understand. That is, FIG. 5 is equivalent to an enlarged perspective view of the processed surface, and is useful for determining the processing conditions of the laser processing machine. Also, when drawing, when moving in the vertical direction (Y direction) and drawing the next line, if you shift the drawing start point little by little, the cat drawing will look like a 3D perspective view and will not fit. Surface roughness may become clearly uneven. Furthermore, it is not a printer, but a personal computer 1.
This cat drawing can also be displayed on the display screen 17 of 0. This can be done simply by converting the measurement data in the hard disk into an image signal, and can be easily done using normal personal computer software. In the explanation in Section 2, a personal computer was used as the control device, but a workstation or PC (
It is also possible to use a programmable controller such as "7-RA". [Effects of the Invention] As explained above, in the present invention, roughness data of a laser-processed object is measured and a two-dimensional matrix is calculated. Since it is stored as data, more accurate surface roughness data can be obtained.Also, since the three-dimensional surface condition is drawn from the measured data, the machined surface of the laser-processed object can be The condition can be recognized accurately, and it becomes a powerful judgment material in determining processing conditions, etc.
第１図は本発明の一実施例の処理の流れを示すフローチ
ャート、
１３
１４
第２図は本発明を実施するためのハードウエアの概略の
構或図、
第：３図はパーソナルコンピュータに追加すべきボ−ド
のハードウェアの概略を示す図、第４図はパーソナルコ
ンピュータの人出力信号のタイｌ・チャート・
第５図は面粗さをプロソタに描画した例を示す図、
第６図は田測データの例を示す図、
第７図はレーザ加工物の加工面の例を表す図である。
触針粗さ計
触針
レーザ加工物
パーソナルコンピュータ
追加ボード
ドライブ回路
プロッタインタフェース
プ口ンタ
１
５
プリンタFigure 1 is a flowchart showing the processing flow of an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic diagram of the hardware configuration for implementing the present invention, and Figure 3 is a diagram showing the hardware to be added to a personal computer. Figure 4 is a diagram showing the outline of the hardware of the board, Figure 4 is a chart of human output signals from a personal computer, Figure 5 is a diagram showing an example of surface roughness drawn on a professional basis, Figure 6 is FIG. 7 is a diagram showing an example of a processed surface of a laser-processed object. Stylus Roughness Meter Stylus Laser Workpiece Personal Computer Additional Board Drive Circuit Plotter Interface Printer 1 5 Printer
Claims (1)
のピッチ毎に触針を移動させて、前記レーザ加工物の表
面粗さを測定し、前記測定値をディジタル値に変換し、 前記レーザ加工物の加工面に対応する平面上の面粗さデ
ータを２次元マトリックスの計測データとしてメモリに
記憶することを特徴とするレーザ加工物の表面粗さ計測
方法。 （２）前記計測データから、表面粗さデータを算出する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ加
工物の表面粗さ計測方法。 （３）レーザ加工物の表面粗さ表示方法において、一定
のピッチ毎に触針を移動させて、前記レーザ加工物の表
面粗さを測定し、前記測定値をディジタル値に変換し、 前記レーザ加工物の加工面に対応する平面上の面粗さデ
ータを２次元マトリックスの計測データとしてメモリに
記憶し、 前記マトリックスの１行毎に横方向に走査し、縦方向に
面粗さを描画し、 前記レーザ加工物の表面粗さを描くことを特徴とするレ
ーザ加工物の表面粗さ表示方法。（４）前記マトリック
スの行に相当する描画を行うときに、描画開始位置を一
定距離変化させて描画することを特徴とする特許請求の
範囲第３項記載のレーザ加工物の表面粗さ表示方法。 （５）前記描画はプロッタを使用して描画することを特
徴とする特許請求の範囲第３項又は第４項記載のレーザ
加工物の表面粗さ表示方法。 （６）前記描画はパーソナルコンピュータの表示画面に
描画することを特徴とする特許請求の範囲第３項または
第４項記載のレーザ加工物の表面粗さ表示方法。[Claims] (1) In a method for measuring the surface roughness of a laser-processed object, a stylus is moved at regular pitches to measure the surface roughness of the laser-processed object, and the measured value is converted into a digital value. A method for measuring the surface roughness of a laser-processed object, characterized in that the surface roughness data on a plane corresponding to the machined surface of the laser-processed object is stored in a memory as measurement data in a two-dimensional matrix. (2) The method for measuring the surface roughness of a laser-processed object according to claim 1, characterized in that surface roughness data is calculated from the measurement data. (3) In the method for displaying the surface roughness of a laser-processed object, the surface roughness of the laser-processed object is measured by moving a stylus at regular pitches, the measured value is converted into a digital value, and the laser Surface roughness data on a plane corresponding to the machined surface of the workpiece is stored in memory as measurement data in a two-dimensional matrix, and each row of the matrix is scanned in the horizontal direction, and the surface roughness is drawn in the vertical direction. , A method for displaying surface roughness of a laser-processed object, characterized by depicting the surface roughness of the laser-processed object. (4) A method for displaying surface roughness of a laser-processed object according to claim 3, characterized in that when drawing corresponding to a row of the matrix, drawing is performed by changing a drawing start position by a certain distance. . (5) The method for displaying surface roughness of a laser-processed object according to claim 3 or 4, wherein the drawing is performed using a plotter. (6) The method for displaying the surface roughness of a laser-processed object according to claim 3 or 4, wherein the drawing is performed on a display screen of a personal computer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16431789A JPH0328708A (en) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | Measurement and display of surface roughness for object worked by laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16431789A JPH0328708A (en) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | Measurement and display of surface roughness for object worked by laser |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328708A true JPH0328708A (en) | 1991-02-06 |
Family
ID=15790854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16431789A Pending JPH0328708A (en) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | Measurement and display of surface roughness for object worked by laser |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0328708A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0571952A (en) * | 1991-09-09 | 1993-03-23 | Mitsutoyo Corp | Measuring apparatus for surface roughness |
| JPH0587561A (en) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Mitsutoyo Corp | Device for measuring surface roughness |
| CN104834806A (en) * | 2015-03-09 | 2015-08-12 | 绍兴文理学院 | Joint roughness coefficient size effect sampling representativeness evaluation method |
| CN104833333A (en) * | 2015-03-09 | 2015-08-12 | 绍兴文理学院 | Method for determining structural surface roughness coefficient dimension effect sample characterization unit |
-
1989
- 1989-06-27 JP JP16431789A patent/JPH0328708A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0571952A (en) * | 1991-09-09 | 1993-03-23 | Mitsutoyo Corp | Measuring apparatus for surface roughness |
| JPH0587561A (en) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Mitsutoyo Corp | Device for measuring surface roughness |
| CN104834806A (en) * | 2015-03-09 | 2015-08-12 | 绍兴文理学院 | Joint roughness coefficient size effect sampling representativeness evaluation method |
| CN104833333A (en) * | 2015-03-09 | 2015-08-12 | 绍兴文理学院 | Method for determining structural surface roughness coefficient dimension effect sample characterization unit |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106001927B (en) | One kind measurement machining integrated laser planarizing polishing method | |
| CN101138926A (en) | Profile modeling laser engraving process method and laser carving machine thereof | |
| CN101639456B (en) | Method and device for testing thermal circulation parameters of laser welding | |
| CN102183216A (en) | Three-dimensional measurement method and device based on linear structured light | |
| EP3901809A1 (en) | System and method of simulating and optimizing surface quality based on location and orientation of additively manufactured build parts | |
| CN109332886B (en) | A kind of laser processing and device of unlimited breadth | |
| JP2000131032A (en) | Method and device for measuring three-dimensional profile | |
| JPH0328708A (en) | Measurement and display of surface roughness for object worked by laser | |
| TWI638714B (en) | Self-adaptive method of tuning printing direction in printing three-dimension model and system to achieve it | |
| CN101003357B (en) | Method for making nano microstructure based on constant force mode of atomic force microscope | |
| US11422725B2 (en) | Point-cloud dataset storage structure and method thereof | |
| CN104359420A (en) | Tool wear three-dimensional shape measuring method based on laser displacement sensor scanning | |
| JP4334181B2 (en) | Plate material bending method and apparatus | |
| CN1255751C (en) | Information processing method and appts. for deposition | |
| CN102645182B (en) | Surface profile scanning type workpiece precut part weighing device | |
| JP5892801B2 (en) | Stamping device and stamping method | |
| CN213363784U (en) | Automatic detection device of image measuring instrument | |
| JP2950660B2 (en) | Surface roughness measuring device | |
| CN206011732U (en) | A kind of focal plane correcting unit of 3D printer | |
| JP2000249640A (en) | Hardness measuring apparatus | |
| JPH0571952A (en) | Measuring apparatus for surface roughness | |
| Hecht et al. | Triangulation based digitizing of tooling and sheet metal part surfaces-Measuring technique, analysis of deviation to CAD and remarks on use of 3D-coordinate fields for the finite element analysis | |
| He et al. | Determination of strain in incremental sheet forming process | |
| JPH0446706B2 (en) | ||
| CN113857698B (en) | Pulse laser drilling positioning calibration method |