JPH03285071A - W-c laminated material and production thereof - Google Patents

W-c laminated material and production thereof

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JPH03285071A
JPH03285071A JP8375190A JP8375190A JPH03285071A JP H03285071 A JPH03285071 A JP H03285071A JP 8375190 A JP8375190 A JP 8375190A JP 8375190 A JP8375190 A JP 8375190A JP H03285071 A JPH03285071 A JP H03285071A
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JP
Japan
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layer
tungsten
tungsten carbide
composite material
gas
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JP8375190A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Sasaki
康 佐々木
Tomekichi Kimoto
木本止 喜知
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Nippon Steel Nisshin Co Ltd
Original Assignee
Nisshin Steel Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To obtain a product having superior quality by forming a second layer of a W-C alloy and a third layer of WC on a first layer of W by a vapor growth method. CONSTITUTION:A reaction tube 1 is set in a heating furnace 2 and heated with a heater 12. WF6, H2 and CH4 are introduced from cylinders 4a-4c into the tube 1 through a pipe 3. A first layer of W is formed in the tube 1 by a vapor growth method and a second layer of a W-C alloy and a third layer of WC are formed on the first layer. The tube 1 is then taken out of the furnace 2 and a Cu pipe as a substrate for deposition is removed by dissolution in nitric acid. The exfoliation of the coating layers can nearly be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は、耐摩耗性、耐熱性等が要求される弓抜きダイ
ス、熱間工具等として使用されるW−C系複合材料の製
造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field 1] The present invention relates to a method for producing a W-C composite material used as a bow die, hot tool, etc., which require wear resistance, heat resistance, etc. Regarding.

[従来の技術] 耐摩耗性が要求される金属部品としては、気相成長法(
CVD法)によって金属母材の表面にタングステンカー
バイトを析出させたものが知られている。また、金属母
材に対するタングステンカーバイトの被覆層の付着力を
向上させるため、金属母材の表面に各種の材料を中間層
として設けることも知られている。
[Conventional technology] For metal parts that require wear resistance, the vapor phase growth method (
It is known that tungsten carbide is deposited on the surface of a metal base material by CVD (CVD method). It is also known to provide various materials as intermediate layers on the surface of the metal base material in order to improve the adhesion of the tungsten carbide coating layer to the metal base material.

タングステンカーバイトの性質を利用した従来の耐摩耗
部品は、部品を構成する金属母材の表面に耐摩耗性材料
であるタングステンカーバイトを被覆することによって
作製されている。しかし、金属母材とタングステンカー
バイトの熱膨張係数は一般的に異なっている。そのため
、タングステンカーバイトを被覆した後に冷却する過程
で、熱応力が発生し、タングステンカーバイトにクラッ
クが生じ易くなる。その結果、使用後短時間でタングス
テンカーバイトが金属母材から剥離するという欠点があ
る。
Conventional wear-resistant parts that utilize the properties of tungsten carbide are manufactured by coating the surface of a metal base material constituting the part with tungsten carbide, which is a wear-resistant material. However, the thermal expansion coefficients of the metal base material and tungsten carbide are generally different. Therefore, in the process of cooling the tungsten carbide after coating it, thermal stress is generated, making the tungsten carbide more likely to crack. As a result, there is a drawback that tungsten carbide peels off from the metal base material within a short time after use.

この欠点を解消するため、部品全体をタングステンカー
バイトで作製することが考えられる。しかし、タングス
テンカーバイトは、非常に硬(、成形が著しく困難な材
料である。そのため、通常使用されているような機械部
品形状に加工することは、実際的には不可能である。他
方、焼結によりタングステンカーバイト製部品を作製し
ようとしても、タングステンカーバイトが難焼結性であ
り、しかも非常に高い焼結温度が必要となる。この点で
、焼結法も現実的なものとはいえない。
To overcome this drawback, it is conceivable to make the entire part from tungsten carbide. However, tungsten carbide is a material that is extremely hard (and extremely difficult to form), so it is practically impossible to process it into the shape of commonly used mechanical parts.On the other hand, Even if we try to make tungsten carbide parts by sintering, tungsten carbide is difficult to sinter, and extremely high sintering temperatures are required.In this respect, sintering is not practical. No, no.

そこで、タングステンカーバイトと金属母材の間゛にニ
ッケル等の中間層を介在させ、タングステンカーバイト
と金属母材との間の熱膨張差に起因した熱歪みを緩和さ
せる方法が採用されている(特開昭52−89583号
公報参照)。
Therefore, a method has been adopted in which an intermediate layer such as nickel is interposed between the tungsten carbide and the metal base material to alleviate the thermal strain caused by the difference in thermal expansion between the tungsten carbide and the metal base material. (Refer to Japanese Unexamined Patent Publication No. 52-89583).

[発明が解決しようとする課題] しかし、中間層を金属母材の表面に形成し、その上にタ
ングステンカーバイトを析出させる場合には、中間層の
表面に酸化皮膜等が形成されていると、中間層に対する
タングステンカーバイトの密着不良が生じる。そのため
、タングステンカーバイトは、依然として剥離し易い状
態にある。また、金属母材の表面に中間層を設ける工程
が付加されるため、製造工程が複雑化する。
[Problems to be Solved by the Invention] However, when forming an intermediate layer on the surface of a metal base material and depositing tungsten carbide thereon, an oxide film or the like may be formed on the surface of the intermediate layer. , poor adhesion of tungsten carbide to the intermediate layer occurs. Therefore, tungsten carbide is still in a state where it is easy to peel off. Furthermore, since a step of providing an intermediate layer on the surface of the metal base material is added, the manufacturing process becomes complicated.

更に最近の傾向として、たとえば内径5μm程度の引抜
きダイスの内側のみをタングステンカバイトでコーティ
ングすることにみられるように、微細部分に対するコー
ティングの要求が増加している。ところが、このような
微細部分に対しては、従来の方法でタングステンカーバ
イトを形成することは非常に困難である。
Furthermore, as a recent trend, there has been an increasing demand for coating fine parts, as seen in coating only the inside of a drawing die with an inner diameter of about 5 μm with tungsten cavite. However, it is extremely difficult to form tungsten carbide on such minute parts using conventional methods.

そこで、本発明は、これらの問題を解消するために案出
されたものであり、基材部分及びその上に形成された優
れた密着性をもつタングステンカーバイト層を備えたW
−C系複合材料、及び該W−C系複合材料を一連のCV
D反応で作製する方法を提供することを目的とする。
Therefore, the present invention has been devised to solve these problems.
-C based composite material and the W-C based composite material through a series of CV
The purpose is to provide a method for producing by D reaction.

[課題を解決するための手段] 本発明のW−C系複合材料は、その目的を達成するため
、第1層としてのタングステンの上に、タングステン−
炭素合金の第2層及びタングステンカーバイトの第3層
が設けられており、これら各層が気相成長法で作製され
たものであることを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the object, the W-C composite material of the present invention has a tungsten layer on top of tungsten as the first layer.
A second layer of carbon alloy and a third layer of tungsten carbide are provided, and each of these layers is produced by a vapor phase growth method.

また、このW−C系複合材料の製造方法は、ハロゲン化
タングステン及び水素を含有する原料ガスから気相成長
法によって加熱された銅製或いはステンレス鋼製基板の
上にタングステンを析出させた後、前記原料ガスに炭化
水素系ガスを加えて析出反応を継続させ、前記タングス
テンの析出層の上にタングステン−炭素合金を析出させ
、更に前記原料ガスに加える炭化水素系ガスの量を増加
させて析出反応を継続させ、前記タングステン−炭素合
金の析出層の上にタングステンカーバイトを析出させる
ことを特徴とする。
In addition, the method for manufacturing this W-C composite material includes depositing tungsten on a copper or stainless steel substrate heated by a vapor phase growth method from a raw material gas containing tungsten halide and hydrogen, and then depositing tungsten on a heated copper or stainless steel substrate. A hydrocarbon gas is added to the raw material gas to continue the precipitation reaction, a tungsten-carbon alloy is deposited on the tungsten precipitation layer, and the amount of hydrocarbon gas added to the raw material gas is further increased to cause the precipitation reaction. tungsten carbide is deposited on the precipitated layer of the tungsten-carbon alloy.

炭化水素系ガスとしては、メタン、ブタン、ベンゼンか
ら選ばれた1種又は2種以上を使用することができる。
As the hydrocarbon gas, one or more selected from methane, butane, and benzene can be used.

また、銅製基板を使用するとき、タングステンカーバイ
トの析出後に銅製基板を化学的に溶解除去することによ
ってW−C系複合材料が製造される。或いは、ステンレ
ス鋼製基板な使用するとき、タングステンカーバイトが
析出した基板を冷却し、機械的な力によって析出物と基
板とを分離することもできる。
Further, when a copper substrate is used, a WC-based composite material is manufactured by chemically dissolving and removing the copper substrate after tungsten carbide is deposited. Alternatively, when a stainless steel substrate is used, the substrate on which tungsten carbide is deposited can be cooled and the precipitate and the substrate can be separated by mechanical force.

【作用] 本発明においては、部品の基材となるタングステン自体
も気相成長法によって作製される。そして、このタング
ステン基材の上に、組成が少しづつ変化する材料を気相
成長法で析出させる。そのため、第1層〜第3層の間で
不連続的な組成変化が生じることなく、W−C系複合材
料の物性はタングステンからタングステンカーバイトに
かけて連続的に変化する。・これに対し、従来の方法で
は、基材となる材料を切削加工、焼結等によって所定の
形状に作製した上で、この基材の表面にタングステンカ
ーバイトをコーティングしている。
[Function] In the present invention, tungsten itself, which serves as the base material of the component, is also produced by a vapor phase growth method. Then, on this tungsten base material, a material whose composition changes little by little is deposited by vapor phase growth. Therefore, the physical properties of the W-C composite material change continuously from tungsten to tungsten carbide without causing discontinuous compositional changes between the first layer to the third layer. - On the other hand, in the conventional method, a material serving as a base material is produced into a predetermined shape by cutting, sintering, etc., and then tungsten carbide is coated on the surface of this base material.

そのため、基材とコーティング層との間に、不連続な界
面が形成されることが避けられない。
Therefore, it is inevitable that a discontinuous interface will be formed between the base material and the coating layer.

基材とコーティング層との間に不連続な界面があるか否
かは、得られた製品の特性に大きな影響を与える。たと
えば、鋼製基材の上にタングステンカーバイト層を形成
したものにあっては、基材と被覆層との間の熱膨張差に
起因した熱歪みや熱応力が発生して、基材及び被覆層に
種々の悪影響を及ぼす。これに対し、基材から被覆層に
かけて組成が連続的につながっている本発明のW−C系
複合材料にあっては、熱応力の発生が著しく低減される
。そのため、タングステンカーバイトの剥離等の欠陥が
抑制される。
The presence or absence of a discontinuous interface between the substrate and the coating layer has a significant influence on the properties of the resulting product. For example, when a tungsten carbide layer is formed on a steel base material, thermal distortion and thermal stress occur due to the difference in thermal expansion between the base material and the coating layer. This has various negative effects on the coating layer. On the other hand, in the W-C composite material of the present invention in which the composition is continuous from the base material to the coating layer, the occurrence of thermal stress is significantly reduced. Therefore, defects such as peeling of tungsten carbide are suppressed.

タングステン質の第1層とタングステンカーバイト質の
第3層との間には、タングステン−炭素合金からなる第
2層が中間層として形成されている。この中間層により
、第1層のタングステンに対するタングステンカーバイ
トの密着性が向上する。この中間層は、原料ガスに加え
られる炭化水素系ガスの量を増加させていく段階で形成
されるものであり、僅か数μm程度の層厚であってもタ
ングステンカーバイトの密着性向上に十分な効果を発揮
する。
A second layer made of a tungsten-carbon alloy is formed as an intermediate layer between the first tungsten layer and the third tungsten carbide layer. This intermediate layer improves the adhesion of tungsten carbide to the tungsten of the first layer. This intermediate layer is formed when the amount of hydrocarbon gas added to the raw material gas is increased, and even a layer thickness of only a few μm is sufficient to improve the adhesion of tungsten carbide. It has a great effect.

また、タングステン質の基材の形成からタングステンカ
ーバイト層の形成まで、同一の反応室内で行うことがで
きる。そのため、各層の表面が酸化されることがない、
これによっても、各層間の密着性が向上する。しかも、
基材がタングステンであるため、得られたW−C系複合
材料に対して所定の機械加工を施すことも可能である。
Further, the steps from forming the tungsten base material to forming the tungsten carbide layer can be performed in the same reaction chamber. Therefore, the surface of each layer will not be oxidized.
This also improves the adhesion between each layer. Moreover,
Since the base material is tungsten, it is also possible to perform predetermined machining on the obtained W-C based composite material.

[実施例] 以下、実施例によって本発明を具体的に説明する。[Example] Hereinafter, the present invention will be specifically explained with reference to Examples.

本実施例においては、第1図に概略を示した構造をもつ
反応装置を使用した。
In this example, a reaction apparatus having the structure shown schematically in FIG. 1 was used.

析出用基板としては、銅パイプ製の反応管lを使用した
。この反応管1を加熱炉2の内部に配置し、配管3を介
してWF、ガスボンベ4a、水素ガスボンベ4b及びメ
タンガスボンベ4Cに接続した。また、ボンベ48〜4
cから反応管lの内部に導入されるガスの流量を検出す
るため、流量調節器58〜5cを、それぞれ配管3から
分岐してボンベ4a〜4cに至る分岐配管68〜6cに
取り付けた。
A reaction tube l made of copper pipe was used as the deposition substrate. This reaction tube 1 was placed inside a heating furnace 2 and connected via piping 3 to a WF, a gas cylinder 4a, a hydrogen gas cylinder 4b, and a methane gas cylinder 4C. Also, cylinder 48~4
In order to detect the flow rate of the gas introduced into the reaction tube l from c, flow rate regulators 58 to 5c were attached to branch pipes 68 to 6c, which branched from pipe 3 and reached cylinders 4a to 4c, respectively.

流量調節器58〜5Cは、検出されたガス流量に対応し
た制御信号を流量調節弁78〜7cに出力し、流量調節
弁78〜7cの開度を制御する。
The flow rate regulators 58-5C output control signals corresponding to the detected gas flow rates to the flow rate regulating valves 78-7c, thereby controlling the opening degrees of the flow rate regulating valves 78-7c.

これによって、ボンベ48〜4cから反応管lに導入さ
れるWF、ガス、Haガス及びCH4ガスの流量がそれ
ぞれ調節される。
As a result, the flow rates of WF, gas, Ha gas, and CH4 gas introduced from the cylinders 48 to 4c into the reaction tube 1 are adjusted.

また、配管3には圧力計8が設けられており、反応管l
の出側に接続された排気管9には流量調節弁lOが設け
られている。更に、排気管9は、排気ポンプ11に接続
されている。反応管1内の圧力は、圧力計8で検出した
圧力情報に基づいた制御信号を流量調節弁10に送り、
その制御信号で流量調節弁10の開度な調節することに
よって自動的に制御される。反応に使用されたガスは、
排気ポンプ11で除塵装置(図示せず)等を経て系外に
排出される。
In addition, a pressure gauge 8 is provided in the pipe 3, and the reaction tube l
The exhaust pipe 9 connected to the outlet side of the exhaust pipe 9 is provided with a flow rate control valve lO. Further, the exhaust pipe 9 is connected to an exhaust pump 11. The pressure inside the reaction tube 1 is controlled by sending a control signal based on pressure information detected by a pressure gauge 8 to a flow rate control valve 10.
The control signal is automatically controlled by adjusting the opening of the flow control valve 10. The gas used in the reaction is
The exhaust pump 11 passes through a dust removal device (not shown), etc., and then exhausts it out of the system.

なお、符番12は、反応管1を所定の温度に維持するヒ
ータを示す。また、WF、ガスボンベ4aから反応管l
に至る管路6a、3は、W F aが途中で凝縮するこ
とを防止するために、加温機能を備えている。
Note that numeral 12 indicates a heater that maintains the reaction tube 1 at a predetermined temperature. In addition, from WF, gas cylinder 4a to reaction tube l
The pipes 6a and 3 leading to the pipes 6a and 3 are provided with a heating function in order to prevent W Fa from condensing on the way.

ヒータ12に供給する電力を調節して、内径4mmの反
応管lを700℃に維持した。また、原料ガスとしてW
Faガス及び水素ガスをそれぞれ100cc/分及び4
00 c c/分の流量でガスボンベ4a、4bから内
径7mmの銅パイプ製の反応管l内に導入して、管内部
の雰囲気圧を75トールに維持した。
The electric power supplied to the heater 12 was adjusted to maintain the temperature of the reaction tube 1 having an inner diameter of 4 mm at 700°C. In addition, W as a raw material gas
Fa gas and hydrogen gas at 100cc/min and 4
The gas was introduced from the gas cylinders 4a and 4b into a reaction tube 1 made of a copper pipe having an inner diameter of 7 mm at a flow rate of 0.00 cc/min, and the atmospheric pressure inside the tube was maintained at 75 torr.

この条件下でCVD反応を1.5時間継続させた。この
過程で、反応管lの内周面にタングステンが析出した。
The CVD reaction was continued under these conditions for 1.5 hours. During this process, tungsten was deposited on the inner peripheral surface of the reaction tube 1.

次いで、ボンベ4Cを開き1oocc/分の流量でCH
4を原料ガスに加え、WF、−H2−CH4の三成分系
混合ガスを反応管lに導入した。
Next, open cylinder 4C and add CH at a flow rate of 1oocc/min.
4 was added to the raw material gas, and a ternary mixed gas of WF and -H2-CH4 was introduced into the reaction tube 1.

この状態で析出反応を1.5時間継続させた。The precipitation reaction was continued in this state for 1.5 hours.

更に、その後30分間にわたって徐々にCH4ガスの流
量を200cc/分まで増加させた後、WF、及びCH
4の供給を停止した。そして、電源を切り、反応管1を
水素雰囲気中で室温まで冷却した。
Furthermore, after gradually increasing the flow rate of CH4 gas to 200 cc/min over the next 30 minutes, WF and CH
The supply of 4 was stopped. Then, the power was turned off, and the reaction tube 1 was cooled to room temperature in a hydrogen atmosphere.

タングステン等が析出した反応管1を加熱炉2から取り
出し、所定の長さに切断した後、析出用基板である銅製
パイプを硝酸で溶解除去した。これにより、タングステ
ン、タングステン−炭素合金及びタングステンカーバイ
トが積層された複層構造をもつW−C系複合材料が得ら
れた。
The reaction tube 1 in which tungsten and the like were deposited was taken out from the heating furnace 2 and cut into a predetermined length, and then the copper pipe serving as the deposition substrate was dissolved and removed with nitric acid. As a result, a WC-based composite material having a multilayer structure in which tungsten, tungsten-carbon alloy, and tungsten carbide were laminated was obtained.

このW−C系複合材料を軸に沿って切断し、内面をX線
分析したところ、W、Cのピークが観察された。また、
通常のCVD法によって析出したタングステンカーバイ
トにみられるW、Cは検出されなかった。そして、CH
,を1oocc/分の流量で導入した工程で析出した部
分では、タングステンカーバイトは確認されなかった。
When this WC-based composite material was cut along the axis and the inner surface was subjected to X-ray analysis, W and C peaks were observed. Also,
W and C, which are found in tungsten carbide deposited by the usual CVD method, were not detected. And C.H.
, was introduced at a flow rate of 1 oocc/min, no tungsten carbide was observed in the part precipitated in the process.

また、W−C系複合材料の各層の厚みは、第1層として
のタングステン層が約1mm、第2層としてのタングス
テン−炭素合金層が約1mm、第3層としてのタングス
テンカーバイト層が約0゜1mmであった。また、これ
ら各層の軸方向厚みは、実質的に均一なものであった。
The thickness of each layer of the W-C composite material is approximately 1 mm for the tungsten layer as the first layer, approximately 1 mm for the tungsten-carbon alloy layer as the second layer, and approximately 1 mm for the tungsten carbide layer as the third layer. It was 0°1 mm. Further, the axial thickness of each of these layers was substantially uniform.

得られたW−C系複合材料に対して、アルゴン気流中で
15℃/分の加熱速度で900℃まで加熱した後、冷却
速度15℃/分で200℃まで冷却するヒートパターン
を10回連続して繰り返す試験に供した。加熱・冷却後
にあっても、層間剥離や亀裂等の欠陥は全(検出されな
かった。
The obtained W-C composite material was heated to 900°C at a heating rate of 15°C/min in an argon stream, and then cooled to 200°C at a cooling rate of 15°C/min 10 times in succession. and then subjected to repeated tests. Even after heating and cooling, no defects such as delamination or cracks were detected.

[発明の効果] 以上に説明したように1本発明においては、CVD法に
よってタングステン、タングステン−炭素合金及びタン
グステンカーバイトの3層構造からなるW−C系複合材
料を得ている。このW−C系複合材料は、各層の間の密
着性が優れ、また組成が不連続的に変化することがない
ので、従来のタングステンカーバイト被覆した部品に見
られるような被覆層の剥離が非常に少ないものとなる。
[Effects of the Invention] As explained above, in the present invention, a WC-based composite material having a three-layer structure of tungsten, tungsten-carbon alloy, and tungsten carbide is obtained by the CVD method. This W-C composite material has excellent adhesion between each layer, and the composition does not change discontinuously, so there is no peeling of the coating layer as seen in conventional tungsten carbide coated parts. It will be very small.

しかも、母材を金属質のタングステンとしているので、
加工もタングステンカーバイトに比較して容易なものと
なる。更に、タングステンの析出からタングステンカー
バイトの析出までを同一の反応室内で行うことができる
ため、製造工程が簡略化されることは勿論、酸化等がな
い優れた品質の製品が得られる。
Moreover, since the base material is metallic tungsten,
Machining is also easier compared to tungsten carbide. Furthermore, since the steps from tungsten precipitation to tungsten carbide precipitation can be performed in the same reaction chamber, the manufacturing process is not only simplified, but also a product of excellent quality free from oxidation etc. can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明実施例で使用した反応装置の概略を示
す。 l:反応管       2:加熱炉 3:配管、 4 a : WF aガスボンベ4b:水
素ガスボンベ 4 c : CHaガスボンベ 58〜5c:流量調節器 68〜6C:分岐配管7a〜
7c:流量調節弁 8:圧力計
FIG. 1 schematically shows a reaction apparatus used in Examples of the present invention. 1: Reaction tube 2: Heating furnace 3: Piping, 4 a: WF a gas cylinder 4b: Hydrogen gas cylinder 4 c: CHa gas cylinder 58~5c: Flow rate regulator 68~6C: Branch piping 7a~
7c: Flow rate control valve 8: Pressure gauge

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)第1層としてのタングステンの上に、タングステ
ン−炭素合金の第2層及びタングステンカーバイトの第
3層が設けられており、これら各層が気相成長法で作製
されたものであることを特徴とする耐摩耗性に優れたW
−C系複合材料。
(1) A second layer of tungsten-carbon alloy and a third layer of tungsten carbide are provided on the tungsten layer as the first layer, and each of these layers is manufactured by a vapor phase growth method. W with excellent wear resistance characterized by
-C-based composite material.
(2)ハロゲン化タングステン及び水素を含有する原料
ガスから気相成長法によって加熱された銅製或いはステ
ンレス鋼製基板の上にタングステンを析出させた後、前
記原料ガスに炭化水素系ガスを加えて析出反応を継続さ
せ、前記タングステンの析出層の上にタングステン−炭
素合金を析出させ、更に前記原料ガスに加える炭化水素
系ガスの量を増加させて析出反応を継続させ、前記タン
グステン−炭素合金の析出層の上にタングステンカーバ
イトを析出させることを特徴とするW−C系複合材料の
製造方法。
(2) Tungsten is deposited on a copper or stainless steel substrate heated by vapor phase growth from a raw material gas containing tungsten halide and hydrogen, and then a hydrocarbon gas is added to the raw material gas for precipitation. The reaction is continued to precipitate a tungsten-carbon alloy on the tungsten precipitation layer, and the precipitation reaction is continued by increasing the amount of hydrocarbon gas added to the raw material gas to precipitate the tungsten-carbon alloy. A method for producing a W-C based composite material, comprising depositing tungsten carbide on the layer.
(3)請求項2記載の炭化水素系ガスがメタン,ブタン
,ベンゼンから選ばれた1種又は2種以上であることを
特徴とするW−C系複合材料の製造方法。
(3) A method for producing a W-C composite material, characterized in that the hydrocarbon gas according to claim 2 is one or more selected from methane, butane, and benzene.
(4)請求項2記載の製造方法において銅製基板を使用
するとき、タングステンカーバイトの析出後に銅製基板
を化学的に溶解除去することを特徴とするW−C系複合
材料の製造方法。
(4) A method for producing a W-C based composite material, characterized in that when a copper substrate is used in the production method according to claim 2, the copper substrate is chemically dissolved and removed after the tungsten carbide is deposited.
(5)請求項2記載の製造方法においてステンレス鋼製
基板を使用するとき、タングステンカーバイトが析出し
た基板を冷却し、機械的な力によって析出物と基板とを
分離することを特徴とするW−C系複合材料の製造方法
(5) When a stainless steel substrate is used in the manufacturing method according to claim 2, the substrate on which tungsten carbide is precipitated is cooled, and the precipitate and the substrate are separated by mechanical force. - A method for producing a C-based composite material.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2568063A (en) * 2017-11-02 2019-05-08 Hardide Plc Water droplet erosion resistant coatings for turbine blades and other components

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2568063A (en) * 2017-11-02 2019-05-08 Hardide Plc Water droplet erosion resistant coatings for turbine blades and other components
GB2568063B (en) * 2017-11-02 2019-10-30 Hardide Plc Water droplet erosion resistant coatings for turbine blades and other components
US11795830B2 (en) 2017-11-02 2023-10-24 Hardide Plc Water droplet erosion resistant coatings for turbine blades and other components

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