JPH0328281Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0328281Y2 JPH0328281Y2 JP1984095204U JP9520484U JPH0328281Y2 JP H0328281 Y2 JPH0328281 Y2 JP H0328281Y2 JP 1984095204 U JP1984095204 U JP 1984095204U JP 9520484 U JP9520484 U JP 9520484U JP H0328281 Y2 JPH0328281 Y2 JP H0328281Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cold box
- temperature valve
- valve
- low
- conduit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 26
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 12
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の利用分野〕
本考案は、コールドボツクスに係り、特にヘリ
ウム冷凍機に好適なコールドボツクスに関するも
のである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a cold box, and particularly to a cold box suitable for a helium refrigerator.
ヘリウム冷凍機のコールドボツクスのように、
極低温流体を保持する装置は、一般に真空断熱が
採用されており、この極低温流体を制御する低温
弁には、侵入熱を小さくするために、長尺のステ
ムを持つ首長弁が採用されている。コールドボツ
クスの一例を第４図に示す。コールドボツクス１
の内部は、真空になつており、主に熱交換器３と
それを結ぶ配管６で構成されている。低温弁７は
長尺のステム４を持つ首長弁で、上フランジ２に
取り付けられており、上フランジ２の外部に、弁
の駆動部５が配置され、圧縮空気で駆動される。
Like the cold box of a helium refrigerator,
Devices that hold cryogenic fluids generally use vacuum insulation, and the cryogenic valves that control this cryogenic fluid use long stem valves to reduce heat intrusion. There is. An example of a cold box is shown in FIG. cold box 1
The inside is in a vacuum state and mainly consists of a heat exchanger 3 and piping 6 connecting the heat exchanger 3. The low temperature valve 7 is a long valve having a long stem 4, and is attached to the upper flange 2. A valve driving section 5 is disposed outside the upper flange 2 and is driven by compressed air.
従来のコールドボツクスでは、圧縮空気を駆動
源とする弁を用いているので、駆動部が低温にな
つて、圧縮空気が液化、あるいは、固化すること
を防ぐために、長尺のステムをもつ首長弁を用い
かつ、駆動部を常温に保持する必要があつた。そ
のため、首長の分だけ、コールドボツクスが高く
なる。弁の設置される位置が上部に限定されるた
め、配管をその位置までひきまわす必要がある。
また、上フランジに弁の駆動部が並ぶため、弁の
個数が多い場合、弁の駆動部の占有面積に従つて
コールドボツクスが大型化する。首長弁でも、常
温部と極低温部を結ぶステムがあるため、侵入熱
が多い、などの欠点があつた。 Conventional cold boxes use valves that use compressed air as the driving source, so in order to prevent the compressed air from liquefying or solidifying due to the low temperature of the driving part, a long valve with a long stem is used. In addition, it was necessary to maintain the drive unit at room temperature. Therefore, the cold box will be higher by the amount of the chief. Since the valve can only be installed at the top, it is necessary to route the piping to that position.
In addition, since the valve drive parts are lined up on the upper flange, when the number of valves is large, the size of the cold box increases according to the area occupied by the valve drive parts. Even in the case of long valves, there is a stem that connects the room-temperature part and the extremely low-temperature part, so there are drawbacks such as a lot of heat intrusion.
なお、こん種の低温弁に関するものとして、例
えば、特公昭56−1534号公報記載のものがある。 An example of this kind of low-temperature valve is disclosed in Japanese Patent Publication No. 1534/1983.
本考案の目的は、侵入熱が少なくコンパクトで
任意の配管位置に取り付けることができる低温弁
を用いて、ヘリウム冷凍機用のコンパクトなコー
ルドボツクスを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a compact cold box for a helium refrigerator using a low-temperature valve that generates little heat intrusion, is compact, and can be installed in any piping position.
本考案は、プロセスガスが流通する導管に設け
られた低温弁を真空断熱された内部に保持するコ
ールドボツクスにおいて、前記低温弁の駆動部を
前記コールドボツクスの内部に設け、前記プロセ
スガスを前記低温弁の駆動部の駆動源ガスとして
有するポジシヨナーを前記コールドボツクスの外
部に設け、前記低温弁の駆動部と前記ポジシヨナ
ーとを導管で連結したことを特徴とするもので、
長尺のステムを不要とし低温弁のコンパクト化、
侵入熱の減少並びに低温弁取り付け位置の任意化
を図つたものである。
The present invention provides a cold box that maintains a low-temperature valve installed in a conduit through which a process gas flows inside a vacuum-insulated interior, in which a drive section of the low-temperature valve is provided inside the cold box, and the process gas is transferred to the low-temperature valve. A positioner having a driving source gas for a driving part of the valve is provided outside the cold box, and the driving part of the low temperature valve and the positioner are connected by a conduit,
Eliminates the need for long stems, making the low-temperature valve more compact.
This is intended to reduce the amount of heat that enters and to allow the low temperature valve to be installed at any location.
以下、本考案の一実施例を第１図により説明す
る。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
コールドボツクス１は、極低温になる熱交換器
３およびそれらを連結する配管６等を内部に保持
し、外部からの侵入熱を減少させるために、真空
断熱されている。プロセスガスであるヘリウムガ
スの流量を制御するために、低温弁７が配管６に
設置されており、低温弁７の駆動部５は、コール
ドボツクス外部に設けられたポジシヨナー９から
駆動源ガスであるヘリウムガスの供給を、導管８
を通して受ける。 The cold box 1 internally holds the heat exchanger 3 which becomes extremely low temperature, the piping 6 connecting them, etc., and is vacuum-insulated to reduce heat intrusion from the outside. In order to control the flow rate of helium gas, which is a process gas, a low temperature valve 7 is installed in the piping 6, and the drive unit 5 of the low temperature valve 7 receives driving source gas from a positioner 9 provided outside the cold box. Supply helium gas to conduit 8
receive through.
低温弁７の駆動源ガスである圧縮ヘリウムガス
は、圧縮空気と異なり、極低温でも液化、固化す
ることがないので、低温弁７のステム４を長尺に
する必要がない。したがつて、駆動部５と低温弁
７の全体構造は著しくコンパクトにすることがで
きる。また、導管８は細い管であり、配管径路も
太いプロセス配管の間にとることができるので、
低温弁７は、コールドボツクス１の任意の位置に
設定できる。また、低温弁７と外部との間は、駆
動部５、導管８から構成され、特に、導管８は細
管で、その長さも従来の低温弁の長尺ステムより
も長くとることができるので、外部から低温弁７
への侵入熱も減少する。 Unlike compressed air, the compressed helium gas that is the driving source gas for the low temperature valve 7 does not liquefy or solidify even at extremely low temperatures, so there is no need to make the stem 4 of the low temperature valve 7 long. Therefore, the overall structure of the drive unit 5 and the cryogenic valve 7 can be made significantly more compact. In addition, since the conduit 8 is a thin pipe and the piping route can be taken between thick process piping,
The low temperature valve 7 can be set at any position in the cold box 1. Furthermore, the connection between the low temperature valve 7 and the outside is composed of the drive unit 5 and the conduit 8. In particular, the conduit 8 is a thin tube, and its length can be longer than the long stem of a conventional low temperature valve. Low temperature valve 7 from outside
The heat intrusion into the air is also reduced.
プロセスガス流量を制御弁で連続的に制御する
必要がなく、オンオフ制御で良い場合でも、コー
ルドボツクス内部の構造は同じである。 Even if it is not necessary to continuously control the process gas flow rate with a control valve and only on/off control is sufficient, the internal structure of the cold box remains the same.
第１図の導管８に蓄冷器１０を付加した本考案
の他の実施例を第２図に示す。導管内のヘリウム
ガスは、低温弁７の開閉時にはその開閉状態に応
じて移動する。その際ガスの移動とともに熱の移
動が生じる。開閉頻度が少ない弁では、重要でな
いが、開閉頻度が多い弁では、この熱の移動によ
り生じる侵入熱の増加は重要な問題となる。蓄冷
器１０は、熱容量の大きい物質で構成され、ガス
の移動に伴なう熱の移動を防ぐ効果がある。 Another embodiment of the present invention in which a regenerator 10 is added to the conduit 8 of FIG. 1 is shown in FIG. The helium gas in the conduit moves when the low temperature valve 7 is opened or closed according to its open/closed state. At this time, heat transfer occurs along with the gas movement. For valves that are opened and closed infrequently, this is not important; however, for valves that are opened and closed frequently, the increase in intrusion heat caused by this heat transfer becomes an important problem. The regenerator 10 is made of a material with a large heat capacity, and has the effect of preventing heat transfer due to the movement of gas.
第３図は本考案の更に他の実施例を示すもの
で、低温弁の駆動部が複動式アクチユエーターで
は、駆動部と外部とを結ぶヘリウムガス導管８′
が、２系列になる。この２系列の導管８′は低温
弁７の開閉時において一方が駆動部５から外部
へ、ヘリウムガスが流れている時には、他方は外
部から駆動部５へ、ヘリウムガスが流れるという
関係にある。この２系列の導管を互いに熱交換さ
せることにより、ガスの移動に伴なう熱の移動を
減少させることができる。 FIG. 3 shows still another embodiment of the present invention, in which the drive section of the cryogenic valve is a double-acting actuator, and the helium gas conduit 8' connects the drive section and the outside.
However, there are two series. These two lines of conduits 8' are in such a relationship that when the low temperature valve 7 is opened or closed, one is flowing from the driving section 5 to the outside, and when helium gas is flowing, the other is flowing helium gas from the outside to the driving section 5. By exchanging heat between these two lines of conduits, it is possible to reduce the transfer of heat accompanying the movement of gas.
本実施例によれば、低温弁の駆動源ガスとし
て、極低温で液化、あるいは、固化しない、プロ
セスガスと同じ圧縮ヘリウムガスを用いることに
より、長尺のステムが不要となり、弁のコンパク
ト化、侵入熱の減少が可能となり、かつ、コール
ドボツクス内の低温弁の取り付け位置を任意化で
きるので、コールドボツクスをコンパクトな構造
にできるという効果がある。 According to this embodiment, by using compressed helium gas, which is the same as the process gas and which does not liquefy or solidify at extremely low temperatures, as the driving source gas for the low-temperature valve, a long stem is not required, and the valve can be made more compact. Since it is possible to reduce the amount of heat that enters the cold box, and the mounting position of the low temperature valve within the cold box can be made arbitrary, there is an effect that the cold box can be made into a compact structure.
また、本構造のコールドボツクスは、低温弁の
駆動源ガスとして必要な圧縮空気が減少、あるい
は不要であるので、圧縮空気設備を小型化、ある
いは他に圧縮空気が不要なシステムでは、圧縮空
気設備をなくすことができるという効果がある。 In addition, the cold box with this structure reduces or eliminates the need for compressed air as the driving source gas for the low-temperature valve, so it is possible to downsize compressed air equipment, or in systems that do not require compressed air. This has the effect of eliminating
本考案によれば、低温弁の長尺ステムが不要と
なり、低温弁のコンパクト化、侵入熱の減少が可
能となり、かつ、コールドボツクス内の低温弁の
取り付け位置を任意化できるので、コールドボツ
クスをコンパクトな構造にできるという効果があ
る。
According to the present invention, the long stem of the low-temperature valve is no longer necessary, making it possible to make the low-temperature valve more compact and reducing heat intrusion.In addition, the installation position of the low-temperature valve within the cold box can be made arbitrary, so the cold box can be This has the effect of creating a compact structure.
第１図は、本考案によるコールドボツクスの一
実施例を示す系統図、第２図は、本考案によるコ
ールドボツクスの他の実施例を示す低温弁に関係
する部分の構造図、第３図は、本考案によるコー
ルドボツクスの更に他の実施例を示す低温弁に関
係する部分の構造図、第４図は、従来のコールド
ボツクスの系統図である。
１……コールドボツクス、５……駆動部、７…
…低温弁、８……導管、９……ポジシヨナー。
Fig. 1 is a system diagram showing one embodiment of the cold box according to the present invention, Fig. 2 is a structural diagram of a part related to a low temperature valve showing another embodiment of the cold box according to the present invention, and Fig. 3 is a system diagram showing an embodiment of the cold box according to the present invention. FIG. 4 is a structural diagram of a portion related to a low temperature valve showing still another embodiment of a cold box according to the present invention. FIG. 1... Cold box, 5... Drive section, 7...
...Cryogenic valve, 8...Conduit, 9...Positioner.
Claims (1)
温弁を真空断熱された内部に保持するコールド
ボツクスにおいて、前記低温弁の駆動部を前記
コールドボツクスの内部に設け、前記プロセス
ガスを前記低温弁の駆動部の駆動源ガスとして
有するポジシヨナーを前記コールドボツクスの
外部に設け、前記低温弁の駆動部と前記ポジシ
ヨナーとを導管で連結したことを特徴とするコ
ールドボツクス。 ２ 前記ポジシヨナーを、前記駆動源ガスとして
ヘリウムガスを有するポジシヨナーとした実用
新案登録請求の範囲第１項記載のコールドボツ
クス。 ３ 前記導管を、前記コールドボツクスの内部で
蓄冷器が設けられた導管とした実用新案登録請
求の範囲第１項記載のコールドボツクス。[Claims for Utility Model Registration] 1. In a cold box that maintains a low-temperature valve provided in a conduit through which a process gas flows inside a vacuum-insulated interior, a drive unit for the low-temperature valve is provided inside the cold box, and the A cold box characterized in that a positioner having a process gas as a driving source gas for a driving section of the low temperature valve is provided outside the cold box, and the driving section of the low temperature valve and the positioner are connected by a conduit. 2. The cold box according to claim 1, wherein the positioner is a positioner having helium gas as the driving source gas. 3. The cold box according to claim 1, wherein the conduit is a conduit provided with a regenerator inside the cold box.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9520484U JPS6113281U (en) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | cold box |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9520484U JPS6113281U (en) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | cold box |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6113281U JPS6113281U (en) | 1986-01-25 |
| JPH0328281Y2 true JPH0328281Y2 (en) | 1991-06-18 |
Family
ID=30654213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9520484U Granted JPS6113281U (en) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | cold box |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6113281U (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS561534A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-09 | Nec Corp | Manufacture of photomask |
-
1984
- 1984-06-27 JP JP9520484U patent/JPS6113281U/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS561534A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-09 | Nec Corp | Manufacture of photomask |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6113281U (en) | 1986-01-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3269137A (en) | Dense gas helium refrigerator | |
| CN109733644A (en) | A kind of cryogenic propellant is space-orbit to squeeze isolated thermodynamics exhaust system | |
| JPH0328281Y2 (en) | ||
| US3314473A (en) | Crystal growth control in heat exchangers | |
| JPS59137761A (en) | Air conditioner | |
| JP3413671B2 (en) | Cryogenic valve | |
| JPS60178260A (en) | Cryogenic refrigerator | |
| JPS60205153A (en) | Air cooling type refrigerator | |
| JPS59164473A (en) | Low temperature valve | |
| JPH01127861A (en) | Cryogenic refrigerator | |
| JPH0247382Y2 (en) | ||
| JPS61122461A (en) | Cryogenic valve | |
| US4462419A (en) | Thermal blocked valve | |
| JPH063089A (en) | Tubular heat exchanger with temperature controller | |
| JP2529583B2 (en) | Low temperature valve | |
| JPS59115267U (en) | Piping for cryogenic equipment | |
| JPH03103679A (en) | Freezing breakage preventing cock | |
| RU1791668C (en) | Device for feeding liquid cooling agent | |
| JPS58148571U (en) | air cooling unit | |
| JPS59115413U (en) | Low temperature adsorption purifier | |
| JPS62160273U (en) | ||
| JPH01139959A (en) | Helium refrigerator | |
| JPS5810934U (en) | Ground refrigeration equipment using liquefied gas | |
| GB2294755A (en) | Thermal storage apparatus for controlling temperature | |
| JPH0519284B2 (en) |