JPH03271272A - Polymerizable imide monomer, production thereof and photo-setting composition - Google Patents

Polymerizable imide monomer, production thereof and photo-setting composition

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JPH03271272A
JPH03271272A JP2070856A JP7085690A JPH03271272A JP H03271272 A JPH03271272 A JP H03271272A JP 2070856 A JP2070856 A JP 2070856A JP 7085690 A JP7085690 A JP 7085690A JP H03271272 A JPH03271272 A JP H03271272A
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JP
Japan
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weight
photo
acid
reaction
formula
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JP2070856A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasunori Kojima
小島 康則
Nobuyuki Hayashi
信行 林
Toshiaki Ishimaru
敏明 石丸
Kuniaki Sato
邦明 佐藤
Toshiyuki Fujita
藤田 利之
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

NEW MATERIAL:A compound expressed by formula I (R is H or methyl). USE:Used as a photo-setting composition. Said composition is made to a hardened material of heat-resistant and photo-sensitive resin useful as a coating material or heat resistant photoresist, etc., in electric or electronic industrial field having excellent adhesiveness to base material, photo-setting property and heat resistance after hardening. PREPARATION:Imidealcohol expressed by formula II is reacted with acrylic acid or methacrylic acid in a solvent such as sulforane-toluene at 50-200 deg.C for 3-20hr and preferably using a catalyst such as p-toluene sulfonate to afford the aimed compound expressed by formula I. Molar ratio of imidealcohol to acrylic acid or methacrylic acid is used as 1 :2-1 :10 and the catalyst is used in 0.01-30wt.% to imidealcohol.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、重合性イミド単量体、その製造法及び該単量
体を含む光硬化性組成物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a polymerizable imide monomer, a method for producing the same, and a photocurable composition containing the monomer.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、耐熱性感光性樹脂は、電気・電子工業の分野にお
いて被覆材料、耐熱性フォトレジストなどとして広く利
用されている。
In recent years, heat-resistant photosensitive resins have been widely used as coating materials, heat-resistant photoresists, and the like in the electrical and electronic industries.

この種の耐熱性感光性樹脂は、その本来の特性として、
光硬化性と光硬化後の耐熱性に優れていることが望まれ
る。
This type of heat-resistant photosensitive resin has the following inherent characteristics:
It is desired that the material has excellent photocurability and heat resistance after photocuring.

ところが、従来公知の耐熱性感光性樹脂は、これらの要
求をいずれも満足するものは少ない。−般に光硬化性に
優れるものは光硬化後の耐熱性に劣るものが多い。
However, few of the conventionally known heat-resistant photosensitive resins satisfy all of these requirements. - In general, many of the materials that have excellent photocurability have poor heat resistance after photocuring.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

本発明は、上記した問題点を解決するためになされたも
のであり、前記要求特性を満足する耐熱性感光性樹脂硬
化体を形成することのできる新規かつ有用な重合性イミ
ド単量体及びその製造法を提供することを目的とする。
The present invention was made in order to solve the above-mentioned problems, and provides a novel and useful polymerizable imide monomer capable of forming a heat-resistant photosensitive resin cured product satisfying the above-mentioned required properties, and a polymerizable imide monomer thereof. The purpose is to provide a manufacturing method.

また、本発明は上記したような耐熱性感光性樹脂硬化体
を形成する光硬化性組成物を提供することを目的とする
Another object of the present invention is to provide a photocurable composition that forms a cured heat-resistant photosensitive resin as described above.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、一般式(I) C式中、Rは水素原子又はメチル基を示す〕で表される
重合性イミド単量体に関する。
The present invention relates to a polymerizable imide monomer represented by the general formula (I) in which R represents a hydrogen atom or a methyl group.

また、本発明は、−紋穴(n) で表されるイミドアルコールとアクリル酸又はメタクリ
ビレ酸とを反応させることを特徴とする上記の一般式(
I)で表される重合性イミド単量体の製造法に関する。
Further, the present invention provides the above general formula (n) characterized by reacting an imide alcohol represented by -Momonana (n) with acrylic acid or methacrybilic acid.
The present invention relates to a method for producing a polymerizable imide monomer represented by I).

この反応は、エステル化反応であり、常法により行われ
る。式(II)で表されるイミドアルコールとアクリル
酸又はメタクリル酸とのモル比を1=2〜1:10、好
ましくは1:3〜l:6、特に好ましくは1:4〜1:
5となるように仕込む。
This reaction is an esterification reaction, and is carried out by a conventional method. The molar ratio of imide alcohol represented by formula (II) to acrylic acid or methacrylic acid is 1=2 to 1:10, preferably 1:3 to 1:6, particularly preferably 1:4 to 1:
Prepare so that it becomes 5.

反応に有機溶媒を使用する場合は、出発原料である式(
n)のイミドアルコールとアクリル酸又はメタクリル酸
及び反応生成物である一般式(1)で表される重合性イ
ミド単量体のいずれをも熔解することができる有機溶媒
を適宜用いることができるが、一般に極性有機溶媒が好
ましい。このような極性有機溶媒としては、例えば、ス
ルホラン、N、N−ジメチルアセトアミド、N、N−ジ
メチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N
、N−ジメチルプロピレン尿素、N、N−ジメチルエチ
レン尿素などが挙げられる。溶解性、反応性の点からス
ルホランを用いることが好ましい。
When using an organic solvent for the reaction, the starting material of the formula (
An organic solvent capable of dissolving any of the imide alcohol and acrylic acid or methacrylic acid of n) and the reaction product, the polymerizable imide monomer represented by the general formula (1), can be used as appropriate. , generally polar organic solvents are preferred. Examples of such polar organic solvents include sulfolane, N,N-dimethylacetamide, N,N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, and N-dimethylacetamide.
, N-dimethylpropyleneurea, N,N-dimethylethyleneurea, and the like. From the viewpoint of solubility and reactivity, it is preferable to use sulfolane.

また、このような極性有機溶媒に水と共沸混合物を作り
やすい沸点30−150″Cの有機溶媒を併用すること
もできる。このような有機溶媒として、例エバ、ベンゼ
ン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、ヘキサン、
ヘプタン、シクロヘキサン、オクタン、イソプロピルエ
ーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、メチルエチ
ルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、
四塩化炭素、トリクロルエチレンなどの有機溶媒が挙げ
られる。
In addition, an organic solvent having a boiling point of 30-150"C that easily forms an azeotrope with water can be used in combination with such a polar organic solvent. Examples of such organic solvents include EVA, benzene, toluene, xylene, and ethylbenzene. , hexane,
Heptane, cyclohexane, octane, isopropyl ether, ethyl ether, butyl ether, methyl ethyl ketone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone,
Examples include organic solvents such as carbon tetrachloride and trichlorethylene.

上記の一般式(I[)で表されるイミドアルコールとア
クリル酸又はメタクリル酸との反応の反応温度は、50
〜200℃、好ましくは100〜180℃であり、特に
好ましくは120〜150°Cである。反応に要する時
間は、3〜20時間、好ましくは4〜10時間であり、
特に好ましくは5〜6時間である。
The reaction temperature of the reaction between the imide alcohol represented by the above general formula (I[) and acrylic acid or methacrylic acid is 50
-200°C, preferably 100-180°C, particularly preferably 120-150°C. The time required for the reaction is 3 to 20 hours, preferably 4 to 10 hours,
Particularly preferably, the time is 5 to 6 hours.

上記の一般式(n)で表されるイミドアルコールとアク
リル酸又はメタクリル酸との反応は、触媒を用いること
によって促進することができる。
The reaction between the imide alcohol represented by the above general formula (n) and acrylic acid or methacrylic acid can be promoted by using a catalyst.

触媒としては、例えば、硫酸、J)−トルエンスルホン
酸、ベンゼンスルホン酸、メタンスルホン酸、トリフル
オロメタンスルホン酸、塩化亜鉛、リン酸、酸化アンチ
モン、チタン酸エステル、メトキシフェノールなどの公
知のエステル触媒が挙げられる。触媒の使用量は、−紋
穴(Il)で表されるイミドアルコールに対して0.0
1〜301〜30重蓋しくは0.05〜20重量%であ
り、特に好ましくは0.1〜10重蓋%である。
Examples of catalysts include known ester catalysts such as sulfuric acid, J)-toluenesulfonic acid, benzenesulfonic acid, methanesulfonic acid, trifluoromethanesulfonic acid, zinc chloride, phosphoric acid, antimony oxide, titanate ester, and methoxyphenol. Can be mentioned. The amount of catalyst used is 0.0 relative to the imide alcohol represented by -Momona (Il).
The amount is 1 to 30% by weight or 0.05 to 20% by weight, particularly preferably 0.1 to 10% by weight.

反応終了後、反応溶液に反応生成物に対する非溶媒、例
えば、テトラヒドロフラン、アセトン、メチルアルコー
ル、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチ
ルアルコールなどを混入し、生成する沈殿物を=P別、
洗浄することによって反応生成物である上記−紋穴(I
)で表されるイミド化合物を粉状物質として得ることが
できる。
After the reaction is completed, a non-solvent for the reaction product, such as tetrahydrofuran, acetone, methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, etc. is mixed into the reaction solution, and the resulting precipitate is separated by =P,
By washing the reaction product, the above-mentioned hole (I
) can be obtained as a powdery substance.

本発明に出発原料として用いる上記の式(n)で表され
るイミドアルコールは、ベンゾフェノンテトラカルボン
酸無水物にモノエタノ−ルア貴ン(HtN−CH,−C
H2−0H)を有機溶媒中で反応させることによって得
ることができる。ヘンシフエノンテトラカルボン酸無水
物とエタノールアミンとのモル比は、1:2〜1:lO
1好ましくは1:2〜1:5であり、特に好ましくは1
:2〜1:3である。
The imide alcohol represented by the above formula (n) used as a starting material in the present invention is prepared by adding monoethanol to benzophenone tetracarboxylic anhydride (HtN-CH, -C
H2-0H) in an organic solvent. The molar ratio of hensifhenonetetracarboxylic anhydride and ethanolamine is 1:2 to 1:1O
1 preferably 1:2 to 1:5, particularly preferably 1
:2 to 1:3.

また、このイミドアルコールの製造の際に用いる有機溶
媒としては、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物と
モノエタノールアミンのいずれをも溶解しうる極性有機
溶媒が用いられる。このような極性有機溶媒としては、
例えば、スルホラン、N、N−ジメチルアセトアミド、
N、N−ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロ
リドン、N、N−ジメチルプロピレン尿素と、N、N−
ジメチルエチレン尿素などが挙げられる。溶解性、反応
性の点からスルホランを用いることが好ましい。また、
このような極性有機溶媒に水と共沸混合物を作りやすい
沸点30〜150°Cの有機溶媒を併用することもでき
る。このような有機溶媒として、例工ば、ベンゼン、ト
ルエン、キシレン、エチルベンゼン、ヘキサン、ヘプタ
ン、シクロヘキサン、オクタン、イソプロピルエーテル
、エチルエーテル、ブチルエーテル、メチルエチルケト
ン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、四塩化
炭素、トリクロルエチレンなどの有機溶媒が挙げられる
Further, as the organic solvent used in the production of this imide alcohol, a polar organic solvent that can dissolve both benzophenone tetracarboxylic anhydride and monoethanolamine is used. Such polar organic solvents include:
For example, sulfolane, N,N-dimethylacetamide,
N,N-dimethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylpropylene urea and N,N-
Examples include dimethylethylene urea. From the viewpoint of solubility and reactivity, it is preferable to use sulfolane. Also,
An organic solvent having a boiling point of 30 to 150°C that easily forms an azeotrope with water can also be used in combination with such a polar organic solvent. Examples of such organic solvents include benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, hexane, heptane, cyclohexane, octane, isopropyl ether, ethyl ether, butyl ether, methyl ethyl ketone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone, carbon tetrachloride, and trichloroethylene. Organic solvents such as

上記のベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物とモノエ
タノールアミンの反応は、50〜200°C1好ましく
は100〜180°C1特に好ましくは140−160
℃の温度で行う。反応に要する時間は、2〜20時間、
好ましくは4〜10時間であり、特に好ましくは5〜7
時間である。
The above reaction between benzophenone tetracarboxylic anhydride and monoethanolamine is carried out at a temperature of 50 to 200°C, preferably 100 to 180°C, particularly preferably 140 to 160°C.
Perform at a temperature of °C. The time required for the reaction is 2 to 20 hours.
Preferably 4 to 10 hours, particularly preferably 5 to 7 hours.
It's time.

上記、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物とモノエ
タノールアミンとの反応は、触媒を用いて促進させるこ
とができる。触媒としては、例えば、硫酸、p−)ルエ
ンスルホン酸、塩化亜鉛、リン酸、酸化アンチモン、チ
タン酸エステル、メトキシフェノールなどの公知の触媒
を用いることができる。触媒の使用量は、ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸無水物に対して0.01〜30重量
%であり、好ましくは0.05〜20重量%、特に好ま
しくは0.1〜10重量%である。
The above reaction between benzophenone tetracarboxylic anhydride and monoethanolamine can be promoted using a catalyst. As the catalyst, for example, known catalysts such as sulfuric acid, p-)luenesulfonic acid, zinc chloride, phosphoric acid, antimony oxide, titanate ester, and methoxyphenol can be used. The amount of the catalyst used is 0.01 to 30% by weight, preferably 0.05 to 20% by weight, particularly preferably 0.1 to 10% by weight, based on the benzophenone tetracarboxylic anhydride.

上記のようにして得られた一般式(r)で表されるイミ
ド化合物は、光開始剤の存在で重合することができ、感
光性ポリマーとともに光硬化性組成物として使用するこ
とができる。
The imide compound represented by the general formula (r) obtained as described above can be polymerized in the presence of a photoinitiator, and can be used as a photocurable composition together with a photosensitive polymer.

また、本発明は、 (A)一般式(I)で表される重合性イミド単量体 (B)感光性ポリマー 及び(C)光開始剤 を含む光硬化性組成物に関する。Moreover, the present invention (A) Polymerizable imide monomer represented by general formula (I) (B) Photosensitive polymer and (C) photoinitiator The present invention relates to a photocurable composition comprising:

(B)感光性ポリマーとしては、例えば、公知の耐熱性
の高い感光性ポリアミド酸、感光性ポリイミド、感光性
ポリアミドイミドなどが挙げられる。
Examples of the photosensitive polymer (B) include known photosensitive polyamic acids, photosensitive polyimides, and photosensitive polyamideimides that have high heat resistance.

(C)光開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、ジ
エチルアミノベンゾフェノン、ジエチルチオキサントン
、ベンゾインメチルエーテル、2−1−ブチルアントラ
キノン、アントラキノン、ミヒラーケトン、フェナンス
レンキノン、カンファーキノン、ベンゾイン、2−メチ
ルヘンジイン、メチルアントラキノン、アセトフェノン
、ジアセチル、ベンジル、アントラセンなどの公知の光
開始剤が挙げられる。
(C) Photoinitiators include, for example, benzophenone, diethylaminobenzophenone, diethylthioxanthone, benzoin methyl ether, 2-1-butylanthraquinone, anthraquinone, Michler's ketone, phenanthrenequinone, camphorquinone, benzoin, 2-methylhendiin, Known photoinitiators include methylanthraquinone, acetophenone, diacetyl, benzyl, anthracene and the like.

上記(A)及び(B)成分は、(A)/ (B)(重量
比)が、20/80〜50150の範囲で用いられるこ
とが好ましい。20/80未満では感度、耐熱性が低下
する傾向があり、50150を超えると、耐現像液性が
低下し、所望のパターンを得にくくなる傾向がある。
The above (A) and (B) components are preferably used in a range of (A)/(B) (weight ratio) of 20/80 to 50,150. If it is less than 20/80, sensitivity and heat resistance tend to decrease, and if it exceeds 50,150, developer resistance tends to decrease and it becomes difficult to obtain a desired pattern.

(C)成分の使用量は、(A)及び(B)成分100重
量部に対して0.01〜30重量部の範囲で用いられる
ことが好ましく、0.05〜10重量部の範囲で用いら
れることがより好ましく、0.1〜2.7重量部の範囲
で用いられることが特に好ましい。この量が少なすぎる
と、感度が低下する傾向があり、多すぎると、安定性が
低下する傾向がある。
The amount of component (C) to be used is preferably 0.01 to 30 parts by weight, and preferably 0.05 to 10 parts by weight per 100 parts by weight of components (A) and (B). More preferably, it is used in an amount of 0.1 to 2.7 parts by weight. If this amount is too small, sensitivity tends to decrease, and if this amount is too large, stability tends to decrease.

本発明の光硬化性組成物は、適量の有機溶媒に溶解して
使用できるが、有機溶媒としては、本発明の一般式(1
)で表される重合性イミド単量体及び用いる光開始剤を
溶解でき、かつ塗布などの作業性を阻害しないものが適
宜に用いられる。具体例としては、有機溶媒として例示
したものが挙げられる。有機溶媒を使用する場合、その
使用量は、上記(A)及び(B)成分100重量部に対
し、通常、50〜500重量部である。
The photocurable composition of the present invention can be used by dissolving it in an appropriate amount of an organic solvent.
) that can dissolve the polymerizable imide monomer represented by () and the photoinitiator used, and that does not impede workability such as coating, is appropriately used. Specific examples include those exemplified as organic solvents. When an organic solvent is used, the amount used is usually 50 to 500 parts by weight per 100 parts by weight of components (A) and (B).

本発明の光硬化性組成物を調製するに当たり、−紋穴(
I)で表されるイミド単量体、感光性ポリマー及び光開
始剤混合順序、混合方法などには特に制限がなく、従来
知られているものと同様に行うことができる。
In preparing the photocurable composition of the present invention,
There are no particular restrictions on the order and method of mixing the imide monomer represented by I), the photosensitive polymer, and the photoinitiator, and the mixing may be carried out in the same manner as conventionally known methods.

本発明の光硬化性m放物は、適量の有機溶媒に溶解した
後、例えば、浸漬法、スプレー法、スクリーン法、スピ
ナー塗布法、バーコーター塗布法などによって銅貼り積
層板、シリコーンウェハーなどの基材に塗布し、乾燥後
、塗膜とされる。
The photocurable m-parabolite of the present invention can be applied to copper-clad laminates, silicone wafers, etc. by dipping, spraying, screen, spinner coating, bar coater coating, etc. after dissolving it in an appropriate amount of organic solvent. It is applied to a base material, and after drying, it becomes a coating film.

この塗膜上に、所望のパターンを描いたマスク上から活
性光線を照射することにより、照射部において重合が起
こり、この照射部は非照射部に比べて現像液に対する溶
解性が大きく低下する。
By irradiating this coating film with actinic light from above a mask with a desired pattern, polymerization occurs in the irradiated areas, and the solubility of the irradiated areas in a developer is greatly reduced compared to the non-irradiated areas.

上記活性光線としては、通常紫外線が用いられるが、場
合により、電子線、放射線のような電離性放射線を照射
することによっても塗膜に対して同様の効果を与えるこ
とができる。
As the actinic light, ultraviolet rays are usually used, but in some cases, the same effect can be given to the coating film by irradiating the coating with ionizing radiation such as electron beams or radiation.

上記のように処理された塗膜上に、適当な現像液を塗布
すれば、高い溶解性を保持している非照射部は現像除去
されるとともに、活性光線の照射により溶解性が低下せ
しめられた照射部は残り、所望の樹脂パターンを得るこ
とができる。
If an appropriate developer is applied to the coating film treated as described above, the non-irradiated areas that maintain high solubility will be developed and removed, and the solubility will be reduced by irradiation with actinic light. The irradiated area remains, and a desired resin pattern can be obtained.

現像液としては、非照射部を適当な時間内に完全に溶解
除去し得るものが好ましい。
The developer is preferably one that can completely dissolve and remove the non-irradiated area within an appropriate time.

本発明になる光硬化性組成物は、基材に対する接着性に
優れるのみならず、光硬化後、加熱処理することにより
高い耐熱性をもった耐熱性感光性樹脂硬化体を形成する
The photocurable composition of the present invention not only has excellent adhesiveness to a substrate, but also forms a cured heat-resistant photosensitive resin having high heat resistance by heat treatment after photocuring.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明を実施例によりさらに詳しく説明するが、
本発明はこれら実施例により限定されるものではない。
Next, the present invention will be explained in more detail by examples.
The present invention is not limited to these Examples.

参考例1 感光性ポリアミド酸PI−Aの合成 撹拌装置、冷却器、温度計及び滴下ロートを備えた50
0dの四つロフラスコにジアミノジフェニルエーテル4
0.05g(0,2モル)、ジメチルアセトアミド/ア
セトン126g/126g (1/l)を仕込み、完全
に溶解し、5℃まで冷却した後、エビクロンB−440
0(大日本インキ社製の5−(2,5−ジオキソテトラ
ヒドロフリル)3−メチル−3−シクロヘキセン−1,
2−ジカルボン酸無水物)52.85g(0,2モル)
を加え、温度を40°C以下に保ちながら8時間反応さ
せ、ポリアミド酸を得た。
Reference Example 1 Synthesis of photosensitive polyamic acid PI-A 50 equipped with a stirring device, a cooler, a thermometer and a dropping funnel
Diaminodiphenyl ether 4 in a 0d four-loaf flask
0.05g (0.2 mol), dimethylacetamide/acetone 126g/126g (1/l), completely dissolved, and after cooling to 5℃, Ebicuron B-440
0 (manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd., 5-(2,5-dioxotetrahydrofuryl)3-methyl-3-cyclohexene-1,
2-dicarboxylic anhydride) 52.85 g (0.2 mol)
was added and reacted for 8 hours while keeping the temperature below 40°C to obtain polyamic acid.

更に、触媒として、ジラウリン酸n−ブチルを添加し、
撹拌しながらイソシアナートエチルメタクリレート15
.52g(0,1モル)を滴下ロートより徐々に滴加し
た。滴加終了後、約6時間反応させ、感光性ボリアごド
酸PI−Aの溶液を得た。
Furthermore, n-butyl dilaurate is added as a catalyst,
Isocyanate ethyl methacrylate 15 while stirring
.. 52 g (0.1 mol) was gradually added dropwise from the dropping funnel. After the completion of the dropwise addition, the reaction was allowed to proceed for about 6 hours to obtain a solution of photosensitive polyagodic acid PI-A.

参考例2 感光性ポリアミド酸PI−Bの合成 撹拌装置、冷却器、温度計及び滴下ロートを備えた50
0dの四つロフラスコにジアミノジフェニルエーテル4
0.05g(0,2モル)、N−メチル−2−ピロリド
ン295gを仕込み、完全に溶解し、5°Cまで冷却し
た後、ヘンヅフエノンテトラカルボン酸二無水物45.
11g(0,14モル)、5XDA (有機合成薬品工
業■製の1.3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル
)−1,L3,3テトラメチルジシロキサンニ無水物)
25.59g(0,06モル)を加え、温度を40°C
以下に保ちながら8時間反応させ、ボリアごド酸を得た
Reference Example 2 Synthesis of photosensitive polyamic acid PI-B 50 equipped with a stirrer, a cooler, a thermometer and a dropping funnel
Diaminodiphenyl ether 4 in a 0d four-loaf flask
0.05g (0.2 mol) and 295g of N-methyl-2-pyrrolidone were charged, completely dissolved, and cooled to 5°C.
11g (0.14 mol), 5XDA (1,3-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-1,L3,3tetramethyldisiloxane dianhydride manufactured by Organic Synthetic Pharmaceutical Industry ■)
Add 25.59g (0.06 mol) and lower the temperature to 40°C.
The reaction was carried out for 8 hours while maintaining the following conditions to obtain boriagodic acid.

更に、触媒として、ジラウリン酸n−ブチルを添加し、
撹拌しながらイソシアナートエチルメタクリレ−)15
.52g(0,1モル)を滴下口−トより徐々に滴加し
た。滴加終了後、約6時間反応させ、感光性ポリアミド
酸PI−Bの溶液を得た。
Furthermore, n-butyl dilaurate is added as a catalyst,
While stirring, add isocyanate (ethyl methacrylate) 15
.. 52 g (0.1 mol) was gradually added dropwise from the dropping port. After completion of the dropwise addition, the reaction was carried out for about 6 hours to obtain a solution of photosensitive polyamic acid PI-B.

実施例1 撹拌装置、冷却器、温度計及び滴下ロートを備えた30
0+Id容量の四つロフラスコにベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物40g(0,124モル)及びスル
ホラン/トルエン(30g/20g)を仕込み、150
″Cの温度に加熱し、そのまま激しく撹拌しながら滴下
ロートよりモノエタノールアミン15.2 g (0,
248モル)を約30分要して滴下した。更に、150
℃の温度で6時間反応を行い、ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物を完全に反応させた。次いで、前記の
反応液中にアクリル酸35.75g(0,496モル)
、p−1ルエンスルホン酸5.07g(10重量%)、
メトキシフェノール0.05g(0,1重量%)及びト
ルエン50gを仕込み、水分離装置を付けた後、還流下
でエステル化反応を行った。反応は130℃で5時間要
した。
Example 1 30 with stirrer, cooler, thermometer and dropping funnel
40 g (0,124 mol) of benzophenone tetracarboxylic dianhydride and sulfolane/toluene (30 g/20 g) were placed in a four-bottle flask with a capacity of 0+Id.
15.2 g of monoethanolamine (15.2 g (0,
248 mol) was added dropwise over about 30 minutes. Furthermore, 150
The reaction was carried out at a temperature of .degree. C. for 6 hours, and the benzophenonetetracarboxylic dianhydride was completely reacted. Then, 35.75 g (0,496 mol) of acrylic acid was added to the reaction solution.
, p-1 luenesulfonic acid 5.07 g (10% by weight),
After charging 0.05 g (0.1% by weight) of methoxyphenol and 50 g of toluene and attaching a water separator, an esterification reaction was carried out under reflux. The reaction took 5 hours at 130°C.

反応後、析出した結晶をそのまま二戸遇し、テトラヒド
ロフランで洗浄した後、真空乾燥を行い、黄色の結晶を
得た。この結晶の赤外吸収スペクトル(■日立製作所製
日立260−30型赤外分光光度計を用いKBr法で測
定)を第1図に示し、そのI3C−NMR及び’H−N
MR(共に■日立製作所製日立R250型核磁気共鳴ス
ペクトロメーター)による分析の結果を、それぞれ第2
図及び第3図に示した。第2図において、9.62 p
pmの0=C−Hに基づく吸収と、8.25〜9.0 
ppmのベンゼン環に基づく吸収、6.15〜6.2 
ppmのC=Cに基づく吸収及び1.85〜3.05p
pmのCH,に基づく吸収が認められた。また、第3図
において、8.1〜8.2 ppmの吸収と5.8〜6
.4 ppmの吸収及び4.0〜4.5 ppmの吸収
の積分強度比は、それぞれ6:6:8 (=3:3:4
)であり、理論値に一致し、所望の一般式(r)(Rは
水素原子)で表わされる重合性イミド単量体が得られた
ことが確認された。
After the reaction, the precipitated crystals were collected, washed with tetrahydrofuran, and vacuum dried to obtain yellow crystals. The infrared absorption spectrum of this crystal (measured by the KBr method using a Hitachi Model 260-30 infrared spectrophotometer manufactured by Hitachi, Ltd.) is shown in Figure 1, and its I3C-NMR and 'H-N
The results of analysis by MR (both Hitachi R250 Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer manufactured by Hitachi, Ltd.) were
It is shown in Fig. 3 and Fig. 3. In Figure 2, 9.62 p
Absorption based on 0=C-H of pm and 8.25-9.0
Absorption based on ppm benzene rings, 6.15-6.2
Absorption based on ppm C=C and 1.85-3.05p
Absorption based on CH of pm was observed. In addition, in Fig. 3, absorption of 8.1 to 8.2 ppm and absorption of 5.8 to 6 ppm are shown.
.. The integrated intensity ratio of absorption at 4 ppm and absorption at 4.0 to 4.5 ppm is 6:6:8 (=3:3:4), respectively.
), which corresponded to the theoretical value, and it was confirmed that a polymerizable imide monomer represented by the desired general formula (r) (R is a hydrogen atom) was obtained.

比較例1 撹拌装置、冷却器、温度計及び滴下ロートを備えた30
0d容量の四つロフラスコにベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物40g(0,124モル)及びスルホラ
ン/トルエン(30g/20g)を仕込み、150°C
の温度に加熱し、そのまま激しく撹拌しながら滴下ロー
トよりネオペンタノ−ルアξン25.58g(0,24
8モル)を約40分かけて滴下した。更に、150°C
の温度で6時間反応を行い、ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物を完全に反応させた。次いで、前記の反
応液中にアクリル酸35.75g(0,496モル)、
P−トルエンスルホン酸4.83g(10重量%)、メ
トキシフェノール0.05g(0,1重量%)及びトル
エン50gを仕込み、水分離装置を付けた後、還流下で
エステル化反応を行ったが、結晶を得ることができなか
った。
Comparative Example 1 30 equipped with a stirrer, cooler, thermometer and dropping funnel
40 g (0,124 mol) of benzophenone tetracarboxylic dianhydride and sulfolane/toluene (30 g/20 g) were placed in a four-bottle flask with a capacity of 0 d, and heated at 150°C.
25.58 g (0,24
8 mol) was added dropwise over about 40 minutes. Furthermore, 150°C
The reaction was carried out at a temperature of 6 hours, and the benzophenonetetracarboxylic dianhydride was completely reacted. Then, 35.75 g (0,496 mol) of acrylic acid was added to the reaction solution,
After charging 4.83 g (10% by weight) of P-toluenesulfonic acid, 0.05 g (0.1% by weight) of methoxyphenol, and 50 g of toluene and attaching a water separation device, an esterification reaction was carried out under reflux. , could not obtain crystals.

比較例2 撹拌装置、冷却器、温度計及び滴下ロートを備えた30
0d容量の四つロフラスコにB−4400(大日本イン
キ社製の5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)
−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボ
ン酸無水物)40g(0,151モル)及びメチルイソ
ブチルケトン/トルエン(30g/20 g)を仕込み
、150°Cの温度に加熱し、そのまま激しく撹拌しな
がら滴下ロートよりネオペンタノールアミン31.16
 g(0,302モル)を約50分かけて滴下した。更
に、150″Cの温度で6時間反応を行い、B−440
0を完全に反応させた。次いで、前記の反応液中にアク
リル酸43.53 g (0,604モル)、p−)ル
エンスルホン酸5.0g(10重量%)、メトキシフェ
ノール0.1g(0,2重量%)及びトルエン50gを
仕込み、水分離装置を付けた後、還流下でエステル化反
応を行った。反応は130℃で約5時間髪した。反応−
週間後、得られた物質は一部ゲル化した。
Comparative Example 2 30 equipped with a stirrer, cooler, thermometer and dropping funnel
B-4400 (5-(2,5-dioxotetrahydrofuryl) manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.) was placed in a four-bottle flask with a capacity of 0 d.
-3-Methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride) 40g (0,151 mol) and methyl isobutyl ketone/toluene (30g/20g) were charged, heated to a temperature of 150°C, and left as it was. Add neopentanolamine 31.16 from the dropping funnel while stirring vigorously.
g (0,302 mol) was added dropwise over about 50 minutes. Furthermore, a reaction was carried out at a temperature of 150"C for 6 hours, and B-440
0 was completely reacted. Next, 43.53 g (0,604 mol) of acrylic acid, 5.0 g (10% by weight) of p-)luenesulfonic acid, 0.1 g (0.2% by weight) of methoxyphenol, and toluene were added to the reaction solution. After charging 50 g and attaching a water separator, the esterification reaction was carried out under reflux. The reaction was carried out at 130°C for about 5 hours. Reaction-
After a week, the resulting material had partially gelled.

実施例2 実施例1で得られた単量体50重量部、参考例1で得ら
れた感光性ポリアミド酸PI−A(固形分)50重量部
、光開始剤としてベンゾフェノン2.7重量部及びジエ
チルアミノベンゾフエノン0.1重量部をジメチルアセ
トアミド/アセトン(重量比で1/1)で溶解し、固形
分30重量%に調整し、光硬化性組成物を得た。
Example 2 50 parts by weight of the monomer obtained in Example 1, 50 parts by weight of the photosensitive polyamic acid PI-A (solid content) obtained in Reference Example 1, 2.7 parts by weight of benzophenone as a photoinitiator, and 0.1 part by weight of diethylaminobenzophenone was dissolved in dimethylacetamide/acetone (1/1 weight ratio) and the solid content was adjusted to 30% by weight to obtain a photocurable composition.

このようにして得られた光硬化性組成物を銅貼り積層板
上に塗布し、80°Cで10分間乾燥させた後(膜厚3
0μm)、紫外線を500+J/cdとして照射(光透
過量が段階的に変化する部分を含むネガフィルム(光学
密度0.05を第1段目とし、1段ごとに光学密度0.
15ずつ増加するステップタブレット(SD))を通し
て照射コした。更に、1%炭酸ナトリウム水溶液を用い
て23°Cで1分間現像することにより、感度S T 
4.7段、解像度200μm、密着性125μmの良好
なパターンを得ることができた。
The photocurable composition thus obtained was applied onto a copper-clad laminate and dried at 80°C for 10 minutes (thickness: 3
0 μm), irradiated with ultraviolet rays at 500+J/cd (negative film including a part where the amount of light transmission changes stepwise (first stage is optical density 0.05, and optical density 0.05 for each stage)
Irradiation was carried out through step tablets (SD) in increments of 15. Furthermore, by developing with 1% sodium carbonate aqueous solution at 23°C for 1 minute, the sensitivity S
A good pattern with 4.7 steps, resolution of 200 μm, and adhesion of 125 μm was obtained.

また、前記単量体をガラス板に塗布し、80’Cで3分
間加熱後、250°Cで1時間熱処理したところ、10
%重量減少温度は380℃であった。
In addition, when the monomer was applied to a glass plate, heated at 80'C for 3 minutes, and then heat-treated at 250°C for 1 hour, 10
The % weight loss temperature was 380°C.

実施例3 実施例1で得られた単量体20重量部、参考例1で得ら
れた感光性ボリアくド酸PI−A(固形分)8031i
1部、光開始剤としてベンゾフェノン2.7重量部及び
ジエチルアミノベンゾフェノン0.1重量部をジメチル
アセトアミド/アセトン(重量比でl/1)で溶解し、
固形分30重量%に調整し、光硬化性組成物を得た。
Example 3 20 parts by weight of the monomer obtained in Example 1, photosensitive boriadic acid PI-A (solid content) 8031i obtained in Reference Example 1
1 part by weight, 2.7 parts by weight of benzophenone as a photoinitiator and 0.1 part by weight of diethylaminobenzophenone are dissolved in dimethylacetamide/acetone (l/1 by weight),
The solid content was adjusted to 30% by weight to obtain a photocurable composition.

このようにして得られた光硬化性組成物を銅貼り積層板
上に塗布し、80°Cで10分間乾燥させた後(膜厚3
0μm)、紫外線を500 o+J/dlとして照射し
た。更に、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて23°C
で1分間現像することにより、感度S T 4.3段、
解像度200μm、密着性150μmの良好なパターン
を得ることができた。
The photocurable composition thus obtained was applied onto a copper-clad laminate and dried at 80°C for 10 minutes (thickness: 3
0 μm) and irradiated with ultraviolet light at 500 o+J/dl. Furthermore, using a 1% aqueous sodium carbonate solution at 23°C
By developing for 1 minute at
A good pattern with a resolution of 200 μm and an adhesion of 150 μm could be obtained.

実施例4 実施例1で得られた単量体50重量部、参考例2で得ら
れた感光性ポリアミド酸PI−850重量部、光開始剤
としてベンゾフェノン2.7重量部及びジエチルアミノ
ベンゾフェノン0.1重量部をN−メチル−2−ピロリ
ドンで溶解し、光硬化性組成物を得た。
Example 4 50 parts by weight of the monomer obtained in Example 1, 850 parts by weight of the photosensitive polyamic acid PI-obtained in Reference Example 2, 2.7 parts by weight of benzophenone and 0.1 part by weight of diethylaminobenzophenone as photoinitiators. Part by weight was dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone to obtain a photocurable composition.

このようにして得られた光硬化性m酸物を銅貼り積層板
上に塗布し、80°Cで15分間乾燥させた後、紫外線
を500■J/cillとして照射した。更に、1%炭
酸ナトリウム水溶液を用いて23°Cで1分間現像する
ことにより、感度S T 4.5段、解像度200am
、密着性125μmの良好なパターンを得ることができ
た。
The photocurable m-acid thus obtained was applied onto a copper-clad laminate, dried at 80°C for 15 minutes, and then irradiated with ultraviolet rays at 500 J/cil. Furthermore, by developing for 1 minute at 23°C using a 1% aqueous sodium carbonate solution, the sensitivity S T 4.5 steps and the resolution 200 am were obtained.
A good pattern with adhesion of 125 μm could be obtained.

実施例5 実施例1で得られた単量体20重量部、参考例2で得ら
れた感光性ポリアミド酸PI−880重量部、光開始剤
としてベンゾフェノン2.7重量部及びジエチルアミノ
ベンゾフェノン0.1重量部をN−メチル−2〜ピロリ
ドンに溶解し、光硬化性組成物を得た。
Example 5 20 parts by weight of the monomer obtained in Example 1, 880 parts by weight of the photosensitive polyamic acid PI-obtained in Reference Example 2, 2.7 parts by weight of benzophenone and 0.1 part by weight of diethylaminobenzophenone as photoinitiators. Parts by weight were dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone to obtain a photocurable composition.

このようにして得られた光硬化性組成物を銅貼り積層板
上に塗布し、80″Cで15分間乾燥させた後、紫外線
を500sJ/dとして照射した。更に、1%炭酸ナト
リウム水溶液を用いて23℃で1分間現像することによ
り、感度S T 4.5段、解像度200μm、密着性
150μmの良好なパターンを得ることができた。
The photocurable composition thus obtained was applied onto a copper-clad laminate, dried at 80''C for 15 minutes, and then irradiated with ultraviolet light at 500 sJ/d. By developing at 23° C. for 1 minute using the above-mentioned film, a good pattern with a sensitivity S T of 4.5 steps, a resolution of 200 μm, and an adhesion of 150 μm could be obtained.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の新規な重合性イミド単量体を含む光硬化性組成
物は、基材に対する接着性に優れるとともに、光硬化性
及び硬化後の耐熱性に優れた感光性樹脂硬化体を生しる
The photocurable composition containing the novel polymerizable imide monomer of the present invention produces a photosensitive resin cured product that has excellent adhesion to a substrate and has excellent photocurability and heat resistance after curing. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は実施例1で得られた結晶の赤外吸収スペクトル
、第2図はその結晶の13(、−NMRスペクトル及び
第3図はその結晶の’H−NMRスペクトルである。
FIG. 1 shows the infrared absorption spectrum of the crystal obtained in Example 1, FIG. 2 shows the 13(,-NMR spectrum) of the crystal, and FIG. 3 shows the 'H-NMR spectrum of the crystal.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) 〔式中、Rは水素原子又はメチル基を示す〕で表わされ
る重合性イミド単量体。 2、式(II) ▲数式、化学式、表等があります▼(II) で示されるイミドアルコールとアクリル酸又はメタクリ
ル酸とを反応させることを特徴とする請求項1記載の一
般式( I )で表される重合性イミド単量体の製造法。 3、(A)請求項1記載の一般式( I )で表される重
合性イミド単量体、 (B)感光性ポリマー 及び(C)光開始剤 を含む光硬化性組成物。
[Claims] 1. A polymerizable imide monomer represented by the general formula (I) ▲There are numerical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼(I) [In the formula, R represents a hydrogen atom or a methyl group]. 2. Formula (II) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ (II) The general formula (I) according to claim 1, characterized in that the imide alcohol represented by (II) is reacted with acrylic acid or methacrylic acid. A method for producing the polymerizable imide monomer shown. 3. A photocurable composition comprising (A) a polymerizable imide monomer represented by the general formula (I) according to claim 1, (B) a photosensitive polymer, and (C) a photoinitiator.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6432607B1 (en) * 1998-11-10 2002-08-13 Teijin Seiki Co., Ltd. Photocurable resin composition and method of optically forming three-dimensional shape
JP2007146098A (en) * 2005-10-25 2007-06-14 Hitachi Chem Co Ltd Imide monomer and its production method, and active energy ray-curable composition
US9422399B2 (en) 2013-06-18 2016-08-23 Dupont Teijin Films U.S. Limited Partnership Copolyesterimides derived from N,N′-bis-(hydroxyalkyl)-3,3′,4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic diimide and films made therefrom
US9637588B2 (en) 2013-10-07 2017-05-02 Dupont Teijin Films U.S. Limited Partnership Copolyesterimides derived from aromatic dicarboxylic acids and aliphatic glycols and films made therefrom
WO2022071226A1 (en) * 2020-09-29 2022-04-07 富士フイルム株式会社 Resin composition, cured product, laminate, cured product production method, and semiconductor device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6432607B1 (en) * 1998-11-10 2002-08-13 Teijin Seiki Co., Ltd. Photocurable resin composition and method of optically forming three-dimensional shape
JP2007146098A (en) * 2005-10-25 2007-06-14 Hitachi Chem Co Ltd Imide monomer and its production method, and active energy ray-curable composition
US9422399B2 (en) 2013-06-18 2016-08-23 Dupont Teijin Films U.S. Limited Partnership Copolyesterimides derived from N,N′-bis-(hydroxyalkyl)-3,3′,4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic diimide and films made therefrom
US9840590B2 (en) 2013-06-18 2017-12-12 Dupont Teijin Films U.S. Limited Partnership Copolyesterimides derived from N,N′-bis-(hydroxyalkyl)-benzophenone-3,3′,4,4′-tetracarboxylic diimide and films made therefrom
US9637588B2 (en) 2013-10-07 2017-05-02 Dupont Teijin Films U.S. Limited Partnership Copolyesterimides derived from aromatic dicarboxylic acids and aliphatic glycols and films made therefrom
WO2022071226A1 (en) * 2020-09-29 2022-04-07 富士フイルム株式会社 Resin composition, cured product, laminate, cured product production method, and semiconductor device

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