JPH03267593A - ねじ溝真空ポンプ - Google Patents
ねじ溝真空ポンプInfo
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- JPH03267593A JPH03267593A JP6787390A JP6787390A JPH03267593A JP H03267593 A JPH03267593 A JP H03267593A JP 6787390 A JP6787390 A JP 6787390A JP 6787390 A JP6787390 A JP 6787390A JP H03267593 A JPH03267593 A JP H03267593A
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- thread
- groove
- vacuum pump
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- Pending
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
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- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
- F04C18/084—Toothed wheels
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はねじ溝真空ポンプに係り、特に、粘性流領域か
ら分子流領域に及ぶ広い範囲の気体に適用されるねじ溝
真空ポンプに関する。
ら分子流領域に及ぶ広い範囲の気体に適用されるねじ溝
真空ポンプに関する。
真空ポンプの一つに構造が簡単で比較的製作も容易なね
じ溝真空ポンプがある。従来のねし溝真空ポンプの一例
を部分断面図として第３図に示す。図において、１は断
面がまゆ形の静止筒、５はギアカバーで、ベースプレー
ト４はこれらにより挾んで取付けられる。ベースプレー
ト４の静止筒１側へ突出した第一回転軸ベース４１およ
び第二回転軸ベース４２には、その上、下を上軸受２３
３３（図示せず）および下軸受２４．３４で軸支されて
第一回転軸および第二回転軸３が設けられ、これらの回
転軸には相互に噛み合い隙間１１を持ち、外周に角ねじ
が切られた、それぞれ、右ねじ回転筒２５と左ねじ回転
筒３５が噛み合うように構成されている。そして、右ね
じ回転筒２５の回転軸である第一回転軸２の第一回転軸
ベース４１の第一ペースインロ一部４１１には第一回転
軸２に設けられた回転子２１と、これに対向して第一ペ
ースインロ一部４１１の内面に固定された固定子２２と
からなるモータ部を形成し、このモータ部より生じた動
力は第一回転軸２と左ねじ回転筒３Ｓの回転軸である第
二回転軸３の下端部に取付けられた第一ギア２６と第二
ギア３６の噛み合いによって第一回転軸２から第二回転
軸３へと伝達され、右ねじ回転筒２５および左ねじ回転
筒３５の噛み合いを生じる。このように構成されるので
右ねじ回転筒２５と左ねじ回転筒３５が高速で回転して
噛み合うことにより、上部の吸い込み口１３より吸い込
まれた流体は、噛み合い隙間１１と外周隙間１２で囲ま
れながら下部へ移送され吐出口４３より下方へ吐出され
る。なお、図中２５１は右ねじ溝、２５３は右ねじ山、
３５１は左ねじ溝、そして３５３は左ねじ山である。
じ溝真空ポンプがある。従来のねし溝真空ポンプの一例
を部分断面図として第３図に示す。図において、１は断
面がまゆ形の静止筒、５はギアカバーで、ベースプレー
ト４はこれらにより挾んで取付けられる。ベースプレー
ト４の静止筒１側へ突出した第一回転軸ベース４１およ
び第二回転軸ベース４２には、その上、下を上軸受２３
３３（図示せず）および下軸受２４．３４で軸支されて
第一回転軸および第二回転軸３が設けられ、これらの回
転軸には相互に噛み合い隙間１１を持ち、外周に角ねじ
が切られた、それぞれ、右ねじ回転筒２５と左ねじ回転
筒３５が噛み合うように構成されている。そして、右ね
じ回転筒２５の回転軸である第一回転軸２の第一回転軸
ベース４１の第一ペースインロ一部４１１には第一回転
軸２に設けられた回転子２１と、これに対向して第一ペ
ースインロ一部４１１の内面に固定された固定子２２と
からなるモータ部を形成し、このモータ部より生じた動
力は第一回転軸２と左ねじ回転筒３Ｓの回転軸である第
二回転軸３の下端部に取付けられた第一ギア２６と第二
ギア３６の噛み合いによって第一回転軸２から第二回転
軸３へと伝達され、右ねじ回転筒２５および左ねじ回転
筒３５の噛み合いを生じる。このように構成されるので
右ねじ回転筒２５と左ねじ回転筒３５が高速で回転して
噛み合うことにより、上部の吸い込み口１３より吸い込
まれた流体は、噛み合い隙間１１と外周隙間１２で囲ま
れながら下部へ移送され吐出口４３より下方へ吐出され
る。なお、図中２５１は右ねじ溝、２５３は右ねじ山、
３５１は左ねじ溝、そして３５３は左ねじ山である。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、各回転筒のねじ山とねじ溝とが噛み合う位置
での噛み合い隙間１１と外周隙間１２より気体が洩れる
。一般に、外周隙間１２の方が面積が大きくて漏れ量も
多く、そのため背圧を高くすることができず、排気速度
も大きく出来ないという欠点がある。
での噛み合い隙間１１と外周隙間１２より気体が洩れる
。一般に、外周隙間１２の方が面積が大きくて漏れ量も
多く、そのため背圧を高くすることができず、排気速度
も大きく出来ないという欠点がある。
本発明の目的は、大気圧下で作動可能な排気速度の大き
いねじ溝真空ポンプを提供することにある。
いねじ溝真空ポンプを提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明のねじ溝真空ポンプは
、 （１）静止筒内の配置され、外周に相互に係合する角ね
じが設けられた一対の回転筒を係合させて回転させるこ
とによって気体分子を前記回転筒の軸方向に移動させる
真空ポンプにおいて、 前記角ねじのねじ山の頂部とねじ溝の 底部のうち、少なくとも一方に前記回転筒の前記ねじ山
の配列方向に平行な少なくとも一個の帯状溝を設けてな
ることを特徴とする。
、 （１）静止筒内の配置され、外周に相互に係合する角ね
じが設けられた一対の回転筒を係合させて回転させるこ
とによって気体分子を前記回転筒の軸方向に移動させる
真空ポンプにおいて、 前記角ねじのねじ山の頂部とねじ溝の 底部のうち、少なくとも一方に前記回転筒の前記ねじ山
の配列方向に平行な少なくとも一個の帯状溝を設けてな
ることを特徴とする。
（２）（１）において、前記係合状態で前記帯（３）
状溝と相対向する前記回転筒の外周面
に前記帯状溝と噛み合うことができる
帯状突起を設けてなることを特徴とす
る。
（１）において、前記帯状溝の側面の少なくとも一方が
どの位置でも下方向に 傾斜するように構成したことを特徴と する。
どの位置でも下方向に 傾斜するように構成したことを特徴と する。
本発明は、気体移送用ねじの、例えば、ねじ山にシール
用のねじ溝または帯状突起を設けたので、ねじ山の外周
からの気体の漏れを防ぐことができ、背圧を高くし、排
気高速も大きくすることができる。
用のねじ溝または帯状突起を設けたので、ねじ山の外周
からの気体の漏れを防ぐことができ、背圧を高くし、排
気高速も大きくすることができる。
以下、本発明の一実施例を第１図の断面図により説明す
る。第３図と異なる点は、静止筒ｌ内に右ねじ溝２５１
Ａの底面に心底ねじ２５２Ａ、右ねじ山２５３Ａの頂面
に在外ねじ２５４Ａをそれぞれ設けた右ねじ回転筒２５
Ａと、左ねじ溝３５１Ａの底面に表底ねじ３５２Ａ、左
ねじ山３５３Ａの頂面に表外ねじ３５４Ａを、それぞれ
、設けた左ねじ回転筒３５Ａとを軸心を平行にして配置
し、心底ねじ２５２Ａと表外ねじ３５４Ａ、在外ねじ２
５４Ａと表底ねじ３５２Ａの噛み合い隙間１１Ａを極力
小さくなるように接近して噛み合わせ、かつ、静止筒１
の内周と在外ねじ２５４Ａおよび表外ねじ３５４Ａとの
間の外周隙間１２Ａも極力小さくしであることである。
る。第３図と異なる点は、静止筒ｌ内に右ねじ溝２５１
Ａの底面に心底ねじ２５２Ａ、右ねじ山２５３Ａの頂面
に在外ねじ２５４Ａをそれぞれ設けた右ねじ回転筒２５
Ａと、左ねじ溝３５１Ａの底面に表底ねじ３５２Ａ、左
ねじ山３５３Ａの頂面に表外ねじ３５４Ａを、それぞれ
、設けた左ねじ回転筒３５Ａとを軸心を平行にして配置
し、心底ねじ２５２Ａと表外ねじ３５４Ａ、在外ねじ２
５４Ａと表底ねじ３５２Ａの噛み合い隙間１１Ａを極力
小さくなるように接近して噛み合わせ、かつ、静止筒１
の内周と在外ねじ２５４Ａおよび表外ねじ３５４Ａとの
間の外周隙間１２Ａも極力小さくしであることである。
右ねじ回転筒２５Ａの第一回転軸２は、上軸受２３、下
軸受２４で支持されている。また、第一回転軸２には、
モータの回転子２１が設けられ１回転子２１に対向する
面には、第一回転軸ベース４１に組み込まれた固定子２
２が設置されている。第二回転軸３も第一回転軸２と同
様に、上軸受３３（図示は省略）、下軸受３４で支持さ
れている。
軸受２４で支持されている。また、第一回転軸２には、
モータの回転子２１が設けられ１回転子２１に対向する
面には、第一回転軸ベース４１に組み込まれた固定子２
２が設置されている。第二回転軸３も第一回転軸２と同
様に、上軸受３３（図示は省略）、下軸受３４で支持さ
れている。
第一回転軸２の下端には、第一ギア２６を装着し、第二
回転軸３の下端には第一ギア２６と全く同じ第二ギア３
６を装着している。静止筒１の上端開口部は吸い込み口
１３で、この先に排気装置（図示は省略）が接続され、
気体は吸い込み口１３より下方に押し出され吐出口４３
より排気される。固定子２２と回転子２１の関係で、第
一回転軸２が回転すると、第一ギア２６と第二ギア３６
の噛み合いにより、右ねじ回転筒２５Ａと左ねじ回転筒
２５Ａと左ねじ回転筒３５Ａとは、逆方向に同一回転数
で回転し、吸い込み口１３より吸入された気体は、右ね
じ回転筒２５Ａと左ねじ回転筒３５Ａに設けられた右ね
じ溝２５１Ａと左ねじ溝３５１Ａ内に導入され、右ねじ
溝２５１Ａの気体は左ねじ山３５３Ａにより、また、左
ねじ溝３５１Ａ内の気体は右ねじ山２５３Ａにより、回
転と共に、強制的に下方へ移動させられる。
回転軸３の下端には第一ギア２６と全く同じ第二ギア３
６を装着している。静止筒１の上端開口部は吸い込み口
１３で、この先に排気装置（図示は省略）が接続され、
気体は吸い込み口１３より下方に押し出され吐出口４３
より排気される。固定子２２と回転子２１の関係で、第
一回転軸２が回転すると、第一ギア２６と第二ギア３６
の噛み合いにより、右ねじ回転筒２５Ａと左ねじ回転筒
２５Ａと左ねじ回転筒３５Ａとは、逆方向に同一回転数
で回転し、吸い込み口１３より吸入された気体は、右ね
じ回転筒２５Ａと左ねじ回転筒３５Ａに設けられた右ね
じ溝２５１Ａと左ねじ溝３５１Ａ内に導入され、右ねじ
溝２５１Ａの気体は左ねじ山３５３Ａにより、また、左
ねじ溝３５１Ａ内の気体は右ねじ山２５３Ａにより、回
転と共に、強制的に下方へ移動させられる。
このとき、右ねじ溝２５１Ａ、左ねじ溝３５１Ａ内の気
体は右ねじ山２５３Ａ、左ねじ山３５３Ａの外周隙間１
２Ａより上方へ漏れようとするが。
体は右ねじ山２５３Ａ、左ねじ山３５３Ａの外周隙間１
２Ａより上方へ漏れようとするが。
右ねじ山２５３Ａ、左ねじ山３５３Ａの外周上に設けた
右ねじ山２５３Ａと座弁ねじ２５４Ａにより、下方向へ
力を受けて移動するため漏れが半減する。また、心底ね
じ２５２Ａと座弁ねじ３５４Ａ、木酸ねじ３５２Ａと在
外ねじ２５４Ａとの接近した噛み合い隙間１１Ａがら漏
れを少なくしている。
右ねじ山２５３Ａと座弁ねじ２５４Ａにより、下方向へ
力を受けて移動するため漏れが半減する。また、心底ね
じ２５２Ａと座弁ねじ３５４Ａ、木酸ねじ３５２Ａと在
外ねじ２５４Ａとの接近した噛み合い隙間１１Ａがら漏
れを少なくしている。
第２図は本発明の他の実施例の断面図である。
図において、１２Ｂは外周隙間、２５Ｂは右ねじ回転筒
、２５３Ｂは右ねじ山、２５４Ｂは在外ねじ、３５Ｂは
左ねじ回転筒、３５３Ｂは左ねじ山、そして３５４Ｂは
座弁ねじである。第２図は、在外ねじ２５４Ｂのねじ溝
形状が図のθを鋭角とし、溝側面を下方に傾斜させて、
この溝内の気体により大きな下方向分力を与えるように
したもので漏れ防止性能が高まる。なお、本発明の実施
例では簡単のため、−条ねじの回転筒としたが、多条ね
じの場合も同様の効果がある。
、２５３Ｂは右ねじ山、２５４Ｂは在外ねじ、３５Ｂは
左ねじ回転筒、３５３Ｂは左ねじ山、そして３５４Ｂは
座弁ねじである。第２図は、在外ねじ２５４Ｂのねじ溝
形状が図のθを鋭角とし、溝側面を下方に傾斜させて、
この溝内の気体により大きな下方向分力を与えるように
したもので漏れ防止性能が高まる。なお、本発明の実施
例では簡単のため、−条ねじの回転筒としたが、多条ね
じの場合も同様の効果がある。
本発明によれば、ねじ溝内の気体がねじ山の外周より漏
れても、下方へ移送されるため背圧を高くすることがで
き、排気速度も大きくすることができる。
れても、下方へ移送されるため背圧を高くすることがで
き、排気速度も大きくすることができる。
第１図は、本発明の一実施例のねじ溝真空ポンプの断面
図、第２図は同じく他の実施例の断面図、第３図は、従
来例を示す断面図である。 １は静止筒、１１は噛み合い隙間、１２は外周隙間、１
３は吸い込み口、２５は右ねし回転筒、２５１は右ねじ
溝、２５２は心底ねじ、２５３は右ねじ山、２５４は在
外ねじ、３５は左ねじ回転筒、３５１は左ねじ溝、３５
２は木酸ねじ、３５３は左ねじ山、３５４は座弁ねじ、
４３は吐出口。 茅１０
図、第２図は同じく他の実施例の断面図、第３図は、従
来例を示す断面図である。 １は静止筒、１１は噛み合い隙間、１２は外周隙間、１
３は吸い込み口、２５は右ねし回転筒、２５１は右ねじ
溝、２５２は心底ねじ、２５３は右ねじ山、２５４は在
外ねじ、３５は左ねじ回転筒、３５１は左ねじ溝、３５
２は木酸ねじ、３５３は左ねじ山、３５４は座弁ねじ、
４３は吐出口。 茅１０
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、静止筒内に配置され、外周に相互に係合する角ねじ
が設けられた一対の回転筒を係合させて回転させること
によって気体分子を前記回転筒の軸方向に移動させる真
空ポンプにおいて、 前記角ねじのねじ山の頂部とねじ溝の底部のうち、少な
くとも一方に前記回転筒の前記ねじ山の配列方向に平行
な少なくとも一個の帯状溝を設けてなることを特徴とす
るねじ溝真空ポンプ。 ２、請求項１において、前記係合状態で前記帯状溝と相
対向する前記回転筒の外周面に前記帯状溝を噛み合うこ
とができる帯状突起を設けてなるねじ溝真空ポンプ。 ３、請求項１において、前記帯状溝の側面の少なくとも
一方がどの位置でも下方向に傾斜するように構成したね
じ溝真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6787390A JPH03267593A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | ねじ溝真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6787390A JPH03267593A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | ねじ溝真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03267593A true JPH03267593A (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=13357476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6787390A Pending JPH03267593A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | ねじ溝真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03267593A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007065484A1 (de) * | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Ghh Rand Schraubenkompressoren Gmbh | Schraubenkompressor |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP6787390A patent/JPH03267593A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007065484A1 (de) * | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Ghh Rand Schraubenkompressoren Gmbh | Schraubenkompressor |
| US9091268B2 (en) | 2005-12-08 | 2015-07-28 | Ghh Rand Schraubenkompressoren Gmbh | Three-stage screw compressor |
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