JPH03243822A - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
- Publication number
- JPH03243822A JPH03243822A JP3959090A JP3959090A JPH03243822A JP H03243822 A JPH03243822 A JP H03243822A JP 3959090 A JP3959090 A JP 3959090A JP 3959090 A JP3959090 A JP 3959090A JP H03243822 A JPH03243822 A JP H03243822A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical fiber
- reflected
- pressure
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 10
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 59
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明は、大電流、高電圧に伴う電磁誘導雑音に強く
圧力等を計測するための変位測定装置に関する。
圧力等を計測するための変位測定装置に関する。
（従来の技術）
従来のひずみゲージ式圧力計においては、信号を伝達す
るために電気的に接続線が必要となり、工業プラント内
の電力機器、動力機械の大電力、高電圧化に伴う電磁誘
導雑音等による影響を受け易く、出力に誤差が起き易い
。
るために電気的に接続線が必要となり、工業プラント内
の電力機器、動力機械の大電力、高電圧化に伴う電磁誘
導雑音等による影響を受け易く、出力に誤差が起き易い
。
この電磁誘導雑音に強いものとして、例えば特開昭６１
−２７５６３２号公報に記載されたような光フアイバ応
用の圧力測定装置がある。この圧力測定装置は、第３図
に示すように、圧力Ｐを受ける受圧ダイアフラム３１に
光源３３の光線を光源用光ファイバ３５で投光し、その
反射光を再び受光用光ファイバ３７で第１−感光素子３
９ａに投光して電気信号に変換する。受圧ダイアフラム
３１のたわみによる反射光の変化から圧力を測定するも
のである。光源３３の光線の一部を参照用光ファイバ３
６によりセンサーヘッド４１まで往復させ、第２感光素
子３９ｂに投光して電気信号に変換する。第１感光素子
３９ａから出力される反射信号出力を第２感光素子３９
ｂから出力される参照信号出力で除算等の演算をする演
算手段４５よりの出力信号と受圧力の対応関係（例えば
直線関係）を作る出力調整手段４７により外乱による光
量変動等を除き、正確な圧力測定をするものである。
−２７５６３２号公報に記載されたような光フアイバ応
用の圧力測定装置がある。この圧力測定装置は、第３図
に示すように、圧力Ｐを受ける受圧ダイアフラム３１に
光源３３の光線を光源用光ファイバ３５で投光し、その
反射光を再び受光用光ファイバ３７で第１−感光素子３
９ａに投光して電気信号に変換する。受圧ダイアフラム
３１のたわみによる反射光の変化から圧力を測定するも
のである。光源３３の光線の一部を参照用光ファイバ３
６によりセンサーヘッド４１まで往復させ、第２感光素
子３９ｂに投光して電気信号に変換する。第１感光素子
３９ａから出力される反射信号出力を第２感光素子３９
ｂから出力される参照信号出力で除算等の演算をする演
算手段４５よりの出力信号と受圧力の対応関係（例えば
直線関係）を作る出力調整手段４７により外乱による光
量変動等を除き、正確な圧力測定をするものである。
しかしながら、このような従来の装置では、実用性を考
慮して光ファイバとセンサーヘッド４１との間あるいは
光ファイバの中間に光ファイバマルチコネミタを用い分
割可能としている。このような構成では、光量の再現性
を保証するためには、１μｓ以下の位置合せなどの高精
度のコネクタが必要となり、コスト面での採算が取れな
い。
慮して光ファイバとセンサーヘッド４１との間あるいは
光ファイバの中間に光ファイバマルチコネミタを用い分
割可能としている。このような構成では、光量の再現性
を保証するためには、１μｓ以下の位置合せなどの高精
度のコネクタが必要となり、コスト面での採算が取れな
い。
さらには、光源３３からの光を光源用光ファイバ３５と
参照用光ファイバ３６に分けて運び、また反射光をゲ光
用光ファイバ３７にて運ぶため、個々の光ファイバが別
々に外乱の影響を受けた場合には除去できないという欠
点があった。
参照用光ファイバ３６に分けて運び、また反射光をゲ光
用光ファイバ３７にて運ぶため、個々の光ファイバが別
々に外乱の影響を受けた場合には除去できないという欠
点があった。
（発明が解決しようとする課題）
以上のように光ファイバを応用した従来の圧力測定装置
では、光伝送の中間に光フアイバコネクタを使用すると
光量の再現性に問題があった。
では、光伝送の中間に光フアイバコネクタを使用すると
光量の再現性に問題があった。
したがって測定精度の悪化及び信頼性に欠けていた。ま
た複数の光ファイバを用いるため外乱の影響を受けやす
いといった問題点もあった。
た複数の光ファイバを用いるため外乱の影響を受けやす
いといった問題点もあった。
そこで、この発明は外乱の影響を受けにくく中間に光フ
アイバコネクタを挿入しても、正確な圧力等の測定を可
能にした変位測定装置の提供を目的としている。
アイバコネクタを挿入しても、正確な圧力等の測定を可
能にした変位測定装置の提供を目的としている。
（Ｗ題を解決するための手段）
本発明の変位測定装置は。
波長の異なる光を送出する光源と、
この光源からの光を集光して運ぶ光源用光ファイバと、
この光源用光ファイバで運ばれた光を、第１のみを反射
し、第２の光を吸収する波長選択性を持った受圧ダイア
フラム（センサヘッド）と、受圧ダイアフラムで反射さ
れた第１の光及び前記第２の光を集光して運ぶ受光用光
ファイバと。
し、第２の光を吸収する波長選択性を持った受圧ダイア
フラム（センサヘッド）と、受圧ダイアフラムで反射さ
れた第１の光及び前記第２の光を集光して運ぶ受光用光
ファイバと。
この受光用光ファイバにより運ばれた光を前記第１の光
と前記第２の光に分ける波長選択性を持つミラー（波長
選択手段）と、 前記第１の光を受して電気信号に変換する第１の感光素
子と、 前記第２の光を受光して電気信号に変換する第２の感光
素子と。
と前記第２の光に分ける波長選択性を持つミラー（波長
選択手段）と、 前記第１の光を受して電気信号に変換する第１の感光素
子と、 前記第２の光を受光して電気信号に変換する第２の感光
素子と。
前記第１及び第２の感光素子の出力から外乱による光量
変化を除く演算手段と、 この演算手段の出力信号と前記受圧ダイアフラムの受圧
力との対応関係を作る出力調整手段と、から成ることを
特徴としている。
変化を除く演算手段と、 この演算手段の出力信号と前記受圧ダイアフラムの受圧
力との対応関係を作る出力調整手段と、から成ることを
特徴としている。
（作 用）
圧力（変位量）に応じて受圧ダイアフラム（センサヘッ
ド）がたわむと反射光量が変化（距離が小さくなると光
量増加）し、第１感光素子での光量が増加し１反射信号
電圧が上昇する。参照光量は一定のままであり、第２感
光素子で電気信号に変えられた参照電圧も一定であるの
で、反射゛信号と参照信号による演算処理と出力調整処
理により圧力に対応した出力を出すことができる。外乱
により光ファイバが曲げを受けた場合は、１本の光ファ
イバに信号光、参照光を入れているので、反射信号電圧
、参照信号電圧とも同様に変化し。
ド）がたわむと反射光量が変化（距離が小さくなると光
量増加）し、第１感光素子での光量が増加し１反射信号
電圧が上昇する。参照光量は一定のままであり、第２感
光素子で電気信号に変えられた参照電圧も一定であるの
で、反射゛信号と参照信号による演算処理と出力調整処
理により圧力に対応した出力を出すことができる。外乱
により光ファイバが曲げを受けた場合は、１本の光ファ
イバに信号光、参照光を入れているので、反射信号電圧
、参照信号電圧とも同様に変化し。
演算処理することにより外乱による変動を除ける。
また途中に光フアイバコネクタを挿入しても１本の光フ
ァイバであるため位置合せの影響を受にくい。
ァイバであるため位置合せの影響を受にくい。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を説明する。第１図は実施例
に係る圧力測定装置の概略構成図を示し、圧力Ｐを受け
る受圧ダイアフラムｌと、信号用光源としての第１ＬＥ
Ｄ２と、波長の異なる参照用光源としての第２ＬＥＤ３
と１両ＬＥＤ２゜３よりの光を１本の光ファイバに入れ
るカプラ４と、両ＬＥＤ２．３よりの光線を運ぶ光源用
光ファイバ５と、センサーヘッド内で光源用光ファイバ
５の光の一部を受光用光ファイバ１１に入れるために、
光源用光ファイバ５と受光用光ファイバ１１の光フアイ
バクラッドの一部を取除いて融着した結合部７と、内面
１ａに波長選択性を持たせるためにダイアフラム内面に
誘電体多層膜等を蒸着などにより施し、測定すべき圧力
に応じてたわむ受圧ダイアフラム１と、受圧ダイアフラ
ム１よりの反射光と串照光を運ぶ受光用光ファイバ１１
と、第１ＬＥＤ２の波長を反射し、第２ＬＥＤの波長を
通過させるダイクロイックミラーなどの波長選択性を持
つミラー１２と、受圧ダイアフラム１よりの反射信号を
電気信号に変換する第１フオトダイオード（以下ＰＤと
略称する）１５と、参照光を電気信号に変換する第２Ｐ
Ｄ１６と、第１ＰＤ１５と第２ＰＤ１６との出力から外
乱による光量変化を除く演算手段１７と、この演算手段
１７の出力信号と受圧力との対応関係（例えば直線関係
）を作る出力調整手段１８とを備えている。
に係る圧力測定装置の概略構成図を示し、圧力Ｐを受け
る受圧ダイアフラムｌと、信号用光源としての第１ＬＥ
Ｄ２と、波長の異なる参照用光源としての第２ＬＥＤ３
と１両ＬＥＤ２゜３よりの光を１本の光ファイバに入れ
るカプラ４と、両ＬＥＤ２．３よりの光線を運ぶ光源用
光ファイバ５と、センサーヘッド内で光源用光ファイバ
５の光の一部を受光用光ファイバ１１に入れるために、
光源用光ファイバ５と受光用光ファイバ１１の光フアイ
バクラッドの一部を取除いて融着した結合部７と、内面
１ａに波長選択性を持たせるためにダイアフラム内面に
誘電体多層膜等を蒸着などにより施し、測定すべき圧力
に応じてたわむ受圧ダイアフラム１と、受圧ダイアフラ
ム１よりの反射光と串照光を運ぶ受光用光ファイバ１１
と、第１ＬＥＤ２の波長を反射し、第２ＬＥＤの波長を
通過させるダイクロイックミラーなどの波長選択性を持
つミラー１２と、受圧ダイアフラム１よりの反射信号を
電気信号に変換する第１フオトダイオード（以下ＰＤと
略称する）１５と、参照光を電気信号に変換する第２Ｐ
Ｄ１６と、第１ＰＤ１５と第２ＰＤ１６との出力から外
乱による光量変化を除く演算手段１７と、この演算手段
１７の出力信号と受圧力との対応関係（例えば直線関係
）を作る出力調整手段１８とを備えている。
受圧ダイアフラムｌは取付部材１９にＥＢ溶接（エレク
トロンビーム溶接）される。又、受圧ダイアフラム１の
取付部材１９とセンサーヘッド６とはＥＢ溶接によるシ
ール部２０を介して連結され受圧ダイアフラム１とセン
サーヘッド６との間に形成された空間部２１を密閉して
いる。空間部２１はＥＢ溶接の際に真空に引かれた後密
閉されるので、絶対圧型の圧力測定装置を構成する。
トロンビーム溶接）される。又、受圧ダイアフラム１の
取付部材１９とセンサーヘッド６とはＥＢ溶接によるシ
ール部２０を介して連結され受圧ダイアフラム１とセン
サーヘッド６との間に形成された空間部２１を密閉して
いる。空間部２１はＥＢ溶接の際に真空に引かれた後密
閉されるので、絶対圧型の圧力測定装置を構成する。
第１ＬＥＤ２と波長の異なる第２ＬＥＤ３の光線は、カ
プラ４により光源用ファイバ５に導かれ、センサーヘッ
ド６に伝送される。センサーヘッド６内で、光源用光フ
ァイバ５と受光用光ファイバ１１の光フアイバクラッド
の一部を取除いて融着させることにより光源用光ファイ
バ５の光の一部が受光用光ファイバ１１に導かれる。又
、光源用光ファイバ５より受圧ダイアフラムｌに投光さ
れた光はダイアフラム内面１ａに施されている波長選択
性物質により第１ＬＥＤ２の波長のみ反射され、この反
射光は受光用光ファイバ１１により受光され、結合部７
で参照光と一体となり、波長選択性を持つミラーＩ２に
導かれる。ミラーＩ２による反射光は反射され第１ＰＤ
により電気信号に変換され、参照光はミラー１２を透過
して第２ＰＤにより電気信号に変換される。
プラ４により光源用ファイバ５に導かれ、センサーヘッ
ド６に伝送される。センサーヘッド６内で、光源用光フ
ァイバ５と受光用光ファイバ１１の光フアイバクラッド
の一部を取除いて融着させることにより光源用光ファイ
バ５の光の一部が受光用光ファイバ１１に導かれる。又
、光源用光ファイバ５より受圧ダイアフラムｌに投光さ
れた光はダイアフラム内面１ａに施されている波長選択
性物質により第１ＬＥＤ２の波長のみ反射され、この反
射光は受光用光ファイバ１１により受光され、結合部７
で参照光と一体となり、波長選択性を持つミラーＩ２に
導かれる。ミラーＩ２による反射光は反射され第１ＰＤ
により電気信号に変換され、参照光はミラー１２を透過
して第２ＰＤにより電気信号に変換される。
第ＰＤよりの反射信号を第２ＰＤよりの参照信号で例え
ば割算することにより外乱による光量変化等の影響を受
けることなしに圧力測定が行なえる。
ば割算することにより外乱による光量変化等の影響を受
けることなしに圧力測定が行なえる。
第２図は本発明の変形例でありセンサ一部の構成図を示
しており、他の部分は第１図に示すものと同等である。
しており、他の部分は第１図に示すものと同等である。
この変形例はダイアプラム内面１ａに波長選択性を持た
せず研摩した状態のままで、波長選択に干渉フィルタ１
０を用いる方式である。
せず研摩した状態のままで、波長選択に干渉フィルタ１
０を用いる方式である。
干渉フィルタ１０は、第↓ＬＥＤの波長を透過させ。
第２ＬＥＤの波長を反射させるので、信号用光線は透過
し、受圧ダイアフラム１で反射し再び干渉フィルタ１０
を透過して受光用光ファイバ１１で受光される。又、参
照用光線は干渉フィルタｌＯにより反射して受光用光フ
ァイバ１１に入射する。波長選択性を持つミラー１２に
よる反射光線は反射され第１ＰＤにより電気信号に変換
され、参照光はミラー１２を透過して第２ＰＤにより電
気信号に変換される。第１ＰＤよりの反射信号を第２Ｐ
Ｄよりの参照信号で割算することにより外乱による光量
変化等の影響を受けることなしに圧力測定が行なえる。
し、受圧ダイアフラム１で反射し再び干渉フィルタ１０
を透過して受光用光ファイバ１１で受光される。又、参
照用光線は干渉フィルタｌＯにより反射して受光用光フ
ァイバ１１に入射する。波長選択性を持つミラー１２に
よる反射光線は反射され第１ＰＤにより電気信号に変換
され、参照光はミラー１２を透過して第２ＰＤにより電
気信号に変換される。第１ＰＤよりの反射信号を第２Ｐ
Ｄよりの参照信号で割算することにより外乱による光量
変化等の影響を受けることなしに圧力測定が行なえる。
なお、上記実施例中波長選択性を持つものは、ダイクロ
イックフィルター、コールドミラー、コールドフィルタ
ー等である。
イックフィルター、コールドミラー、コールドフィルタ
ー等である。
さらに、本発明は上記圧力測定装置に限定されることな
く、第１の実施例においては受圧ダイアプラムの受ける
圧力が温度等に対応して変化する対応関係においては受
圧ダイアフラムの受ける圧力が温度等に対応して変化す
る対応関係を有すれば温度計としても利用でき、また、
第２の実施例においては、受圧ダイアフラムを設ける必
要もないことから特願昭６３−２０７４２３号に示すよ
うに光を液面に照射し、その反射光で液面までの距離を
測定する液面レベル計や同様に温度計等として適用でき
る。
く、第１の実施例においては受圧ダイアプラムの受ける
圧力が温度等に対応して変化する対応関係においては受
圧ダイアフラムの受ける圧力が温度等に対応して変化す
る対応関係を有すれば温度計としても利用でき、また、
第２の実施例においては、受圧ダイアフラムを設ける必
要もないことから特願昭６３−２０７４２３号に示すよ
うに光を液面に照射し、その反射光で液面までの距離を
測定する液面レベル計や同様に温度計等として適用でき
る。
以上のように、この発明の構成によれば、工水の光源用
光ファイバで信号用光と参照用光の光線を伝送し、１本
の受光用光ファイバで反射光線と参照光線を伝送するの
で、光ファイバの中間に光フアイバマルチコネクタを挿
入しても、反射信号を参照信号で演算処理しているので
、コネクタの脱着による圧力の再現性は確保できる。ま
た光ファイバの曲げ、振動等の外乱の影響を受けにくｂ
）。
光ファイバで信号用光と参照用光の光線を伝送し、１本
の受光用光ファイバで反射光線と参照光線を伝送するの
で、光ファイバの中間に光フアイバマルチコネクタを挿
入しても、反射信号を参照信号で演算処理しているので
、コネクタの脱着による圧力の再現性は確保できる。ま
た光ファイバの曲げ、振動等の外乱の影響を受けにくｂ
）。
第工図はこの発明の実施例に係る圧力測定装置の概略構
成図、第２図は本発明の変形例のセンサ一部構成図、第
３図は従来の圧力測定装置を示す概略構成図である。 １、・受圧ダイアフラム ２・・・第１ＬＥＤ（光源）
３・・・第２ＬＥＤ （光源）５・・・光源用光ファイ
バ６・・・センサーヘッド ７・・・接合部１０・・
・干渉フィルタ １２・・・波長選択性を持つミラー
成図、第２図は本発明の変形例のセンサ一部構成図、第
３図は従来の圧力測定装置を示す概略構成図である。 １、・受圧ダイアフラム ２・・・第１ＬＥＤ（光源）
３・・・第２ＬＥＤ （光源）５・・・光源用光ファイ
バ６・・・センサーヘッド ７・・・接合部１０・・
・干渉フィルタ １２・・・波長選択性を持つミラー
Claims (2)
- （１）波長の異なる第１および第２の光を送出するため
の少なくとも１つの光源と、 この光源からの光を集光して運ぶ光源用光ファイバと、 この光源用光ファイバで運ばれた第１の光のみを反射し
、第２の光を吸収する波長選択特性を有するセンサヘッ
ドと、 前記光源用光ファイバと少なくとも一部が結合してこの
光源用光ファイバから前記第２の光を受け取ると共に、
前記センサヘッドで反射された第１の光をそれぞれ集光
して運ぶ受光用光ファイバと、 この受光用光ファイバにより運ばれた光を前記第１およ
び第２の光に分ける波長選択手段と、前記第１の光を受
光して電気信号に変換する第１の感光素子と、 前記第２の光を受光して電気信号に変換する第２の感光
素子と、 前記第１および前記第２の感光素子の出力から外乱によ
る光量変化を除く演算手段と、 この演算手段の出力信号と前記センサヘッドからの変位
量との対応関係を作る出力調整手段とから成ることを特
徴とする変位測定装置。 - （２）波長の異なる第１および第２の光を送出するため
の少なくとも１つの光源と、 この光源からの光を集光して運ぶ光源用光ファイバと、 この光源用光ファイバで運ばれた第１の光のみを反射し
、第２の光を透過する波長選択特性を有する第１の波長
選択手段と、 この波長選択手段で反射された第１の反射光と、前記第
１の波長選択手段を透過した前記第２の光が被測定面で
反射された第２の反射光の両者を集光して運ぶ受光用光
ファイバと、 この受光用光ファイバにより運ばれた前記反射光を前記
第１および第２の反射光に分ける第２の波長選択手段と
、 前記第１の反射光を受光して電気信号に変換する第１の
感光素子と、 前記第２の反射光を受光して電気信号に変換する第２の
感光素子と、 前記第１および前記第２の感光素子の出力から外乱によ
る光量変化を除く演算手段と、 この演算手段の出力信号と前記被測定面までの変位量と
の対応関係を作る出力調整手段と、から成ることを特徴
とする変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3959090A JPH03243822A (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3959090A JPH03243822A (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | 変位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03243822A true JPH03243822A (ja) | 1991-10-30 |
Family
ID=12557319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3959090A Pending JPH03243822A (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03243822A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615736B2 (en) | 2007-05-31 | 2009-11-10 | Fujikura Ltd. | Optical sensor |
| JP2010071891A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Toshiba Corp | 光圧力計 |
| US8934739B2 (en) | 2010-08-06 | 2015-01-13 | Fujikura Ltd. | Sensor head and optical sensor |
-
1990
- 1990-02-22 JP JP3959090A patent/JPH03243822A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615736B2 (en) | 2007-05-31 | 2009-11-10 | Fujikura Ltd. | Optical sensor |
| JP2010071891A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Toshiba Corp | 光圧力計 |
| US8934739B2 (en) | 2010-08-06 | 2015-01-13 | Fujikura Ltd. | Sensor head and optical sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4596925A (en) | Fiber optic displacement sensor with built-in reference | |
| US4356396A (en) | Fiber optical measuring device with compensating properties | |
| EP0184721B1 (en) | Pressure measuring system | |
| EP0228677B1 (en) | Optical pressure-sensing system | |
| US4368645A (en) | Optical pressure sensor | |
| GB2144215A (en) | Interferometric detector with fibre-optic sensor | |
| EP0167220B1 (en) | Optical transducer and measuring device | |
| US5149963A (en) | Fiber-optic position sensor including photovoltaic bi-cell | |
| US4666304A (en) | Optical measurement apparatus | |
| US6329648B1 (en) | Phase locked loop fiber optic sensor system | |
| JPS63118999A (ja) | 光ファイバセンサにおける光ファイバリ−ド及びコネクタの損失を補償する方法及び装置 | |
| US5929989A (en) | Optical pressure detection method and apparatus | |
| JPH03243822A (ja) | 変位測定装置 | |
| JPH0829128A (ja) | 物理量測定装置及びその測定器 | |
| US4607162A (en) | Sensing apparatus for measuring a physical quantity | |
| JPH0249115A (ja) | 変位測定装置とそれを利用した圧力測定装置 | |
| JPH11110673A (ja) | 非音響型光圧力センサーまたは非音響型光圧力センサーのｔｄｍ（時分割多重送信）アレイを用いた圧力計測装置とその方法 | |
| JPH068724B2 (ja) | 光学的検出装置 | |
| JPH0257909A (ja) | 変位測定装置及び圧力測定装置 | |
| JPH0522857B2 (ja) | ||
| JPS6147514A (ja) | 反射型光フアイバセンサ | |
| JPH0550710B2 (ja) | ||
| JPS61275632A (ja) | 圧力測定装置 | |
| JPH095021A (ja) | 光ファイバセンサ | |
| JP2918761B2 (ja) | 光位置検出装置 |