JPH03239977A - 集積回路のスクリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、集積回路のスクリーニング装置に関する。

従来の技術 近年、集積回路の高集積化が進展するとともに低消費電
力化が求められている。集積度の高い集積回路に対して
は、製造工程におけるスクリーニングが必須である。従
来の集積回路のスクリーニング装置は、第２図に示すよ
うに構成されていた。

すなわち、スクリーニング対象の集積回路１１．１２゜
１３を例えば高温状態や過電圧などの温度的または電気
的なストレスを与えるストレス負荷器（バーンイン装置
）　１４に配置し、信号源１５からの入力信号に応じた
各集積回路１１１２．１３からの出力を切換スイッチ１
６を介して機能検査器１７に入力して、各集積回路１１
．１２．１３のストレス負荷状態での機能を検査するよ
うになっていた。なお、１８はこれらの機器を制御し、
データを受取り、解析するコントローラである。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、従来構成のスクリーニング装置では、ス
トレス負荷状態でのわずかな電源電流の変動などを調べ
ることはできず、スクリーニングの精度が低くなる傾向
があった。また、これを避けるべく、電源電流などをス
クリーニング後に調べようとすると、再度ストレス負荷
状態としなければならないなど、手間がかかって検査能
率が低下してしまう。

本発明は上記問題を解決するもので、スクリ−ニングの
精度を高くてきながら、能率よく検査できる集積回路の
スクリーニング装置を提供することを目的とするもので
ある。

課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明の集積回路のスクリー
ニング装置は、集積回路に電気的または温度的にストレ
スを与えるストレス負荷器と、集積回路の機能検査を行
う機能検査器と、集積回路の直流検査を行う直流検査器
とを備えたものである。

作用 上記構成により、集積回路のスクリーニングの際に、被
ストレス状態の集積回路の機能だけてなく直流特性の変
動をも観察することができ、さらに精度の高いスクリー
ニングが能率よく行える。

実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図において、１はスクリーニング対象としての３石
の集積回路２．　３．　４が装着されるストレス負荷器
（バーンイン装置）で、このストレス負荷器１は、例え
ば集積回路２．　３．　４収納部を高温に維持して集積
回路２．　３．　４を高温状態に保持可能とされている
。各集積回路２．３．４の所定端子には、集積回路２．
　３．　４の端子の中から測定のために必要な端子を選
択する第１の切換スイッチ（スキャナ）５が接続されて
いるとともに、各集積回路２．　３．　４の他の所定端
子には、スクリーニング中に集積回路２．　３．　４を
駆動させるための信号源６が接続されている。そして、
このスクリーニング装置には、集積回路２，３゜４の機
能検査を行う機能検査器７に加えて、集積回路２．　３
．　４の電源電流測定などの直流検査を行う直流検査器
８が設けられている。これらの機能検査器７および直流
検査器８はこの両者を切換える第２の切換スイッチ９に
接続され、さらにこの第２の切換スイッチ９が第１の切
換スイッチ５に接続されている。上述のストレス負荷器
１、第１、第２の切換スイッチ５，９、信号源６、機能
検査器７および直流検査器８はコントローラｌＯにより
制御され、このコントローラ１０は機能検査器７および
直流検査器８からのデータを収集、解析する。

次に、上記構成における作用を説明する。

まず、信号源６により、スクリーニング対象の集積回路
２．　３．　４を駆動させ、ストレス負荷器１により集
積回路２．　３．　４を高温に保つ。そして、第２の切
換スイッチ９を機能検査器７側に接続するとともに第１
の切換スイッチ５を切換えて、各集積回路２．　３．　
４の機能を、機能検査器７により検査する。あらかじめ
コントローラ１０に設定した時間が経過すると、第２の
切換スイッチ９が直流検査器８側に接続され、かつ第１
の切換スイッチ５が切換えられて、集積回路２．　３．
　４の電源電流の変化検査などの直流検査が直流検査器
８により行われる。両検査器７，８の検査結果はコント
ローラｌＯにより集計され、この結果からリアルタイム
で、スクリーニング時間に対する機能検査不良個数の増
加率およびスクリーニング時間に対する直流検査不良個
数の増加率がグラフ化される。このようにして、機能検
査および直流検査が能率良く行われ、精度の高いスクリ
ーニングが可能となる。

なお、上記実施例においては集積回路を高温のストレス
状態にする例を示したが、過電圧や高温から低温に変化
させるなどの電気的または温度的ストレスをストレス負
荷器によって与えるようにしてもよい。

発明の効果 以上のように本発明によれば、機能検査器に加えて直流
検査器も備える構成としたので、集積回路のスクリーニ
ングの際に、わずかな電源電流の時間変化をも能率良く
検査することができ、精度の高いスクリーニングを効率
的に行なうことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る集積回路のスクリーニ
ング装置のブロック図、第２図は従来の集積回路のスク
リーニング装置のブロック図である。 １・・・ストレス負荷器、２．’３．４・・・集積回路
、５゜ ９・・・切換スイッチ、 ６・・・信号源、 ７・・・機能検 査器、 ８・・・直流検査器、 １０・・・コントローラ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、集積回路に電気的または温度的にストレスを与える
   ストレス負荷器と、集積回路の機能検査を行う機能検査
   器と、集積回路の直流検査を行う直流検査器とを備えた
   集積回路のスクリーニング装置。