JPH03235298A - Semiconductor memory device - Google Patents
Semiconductor memory deviceInfo
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- JPH03235298A JPH03235298A JP2030402A JP3040290A JPH03235298A JP H03235298 A JPH03235298 A JP H03235298A JP 2030402 A JP2030402 A JP 2030402A JP 3040290 A JP3040290 A JP 3040290A JP H03235298 A JPH03235298 A JP H03235298A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体メモリ装置に関し、特にチップ内に発
生した不良ビットとその不良ビットに隣接する複数のロ
ーあるいはカラムを複数のスペアローあるいはスペアカ
ラムに置換する冗長回路に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a semiconductor memory device, and in particular, a method for converting a defective bit generated in a chip and a plurality of rows or columns adjacent to the defective bit into a plurality of spare rows or columns. Regarding redundant circuits to be replaced.
半導体メモリ装置では、ウェハプロセス時にパターン欠
陥や結晶欠陥等に起因するビット不良がチップ内に生じ
た場合、不良ビットを正常動作するスペアビットに置換
し、メモリーチップの救済が図られる。このチップの救
済は、チップにあらかじめ挿入しておいた冗長回路によ
り行われる。In a semiconductor memory device, when a bit defect due to a pattern defect, crystal defect, etc. occurs in a chip during wafer processing, the defective bit is replaced with a normally operating spare bit to repair the memory chip. This chip relief is performed by a redundant circuit that has been inserted into the chip in advance.
第2図に従来の半導体メモリ装置のアドレス選択回路と
冗長回路を示す。FIG. 2 shows an address selection circuit and a redundancy circuit of a conventional semiconductor memory device.
図において、(21)はアドレスバッファー(22)は
正常時のデコーダ回路、(23)はメモリーセル、(2
4)は冗長回路を動作可能状態とするためのマスター回
路、(25)は置換するローあるいはカラムを指定する
ためのアドレスプログラム回路、(26)はスペアデコ
ーダ回路、(27)はスペアメモリセル、(28)は冗
長回路使用時に正常時のデコーダ回路を動作禁止状態に
するためのノーマルディセーブル回路である。In the figure, (21) is an address buffer (22) which is a decoder circuit in normal operation, (23) is a memory cell, and (2) is a decoder circuit in normal operation.
4) is a master circuit for enabling the redundant circuit, (25) is an address program circuit for specifying a row or column to be replaced, (26) is a spare decoder circuit, (27) is a spare memory cell, (28) is a normal disable circuit for disabling the normal decoder circuit when the redundant circuit is used.
メモリーセル内に不良ビットの発生がない通常のローあ
るいはカラムの選択では、アドレスバッファからの信号
が(22)のデコーダ回路によりデコーダされ、メモリ
セル内の一本のローあるいはカラムを選択するようにし
ている。一方、メモリセル内に不良ビットが発生してい
る場合には、冗長回路を用いてスペアローあるいはスペ
アカラムが選択されるようにすると同時に通常のローあ
るいはカラムの選択を禁止するようになっている。即ち
ウェハプロセスの段階で、(24)のマスター回路によ
り冗長回路を動作可能状態とし、且つ、不良ビットを含
むローあるいはカラムのアドレスを(25)のアドレス
プログラム回路にプログラムしておく。これにより、も
し不良ビットを含むローあるいはカラムのアドレスか選
択される場合でも、通常のデコーダ回路(22)をノー
マルディセーブル回路(28)で動作禁止状態とし、同
時にスペアメモリセル内のスペアローあるいはスペアカ
ラムが選択される。このとき、スペアローあるいはスペ
アローあるいはスペアカラムは、不良ビットを含むロー
あるいはカラムの一つに対して、一つだけ選択される。In normal row or column selection in which no defective bits occur in the memory cell, the signal from the address buffer is decoded by the decoder circuit (22) to select one row or column in the memory cell. ing. On the other hand, if a defective bit occurs in a memory cell, a redundant circuit is used to select a spare row or column, and at the same time prohibit selection of a normal row or column. That is, at the wafer process stage, the redundant circuit is enabled by the master circuit (24), and the address of the row or column containing the defective bit is programmed into the address program circuit (25). As a result, even if a row or column address containing a defective bit is selected, the normal decoder circuit (22) is disabled by the normal disable circuit (28), and at the same time, the spare row or spare memory cell in the spare memory cell is disabled. Column is selected. At this time, only one spare row, spare row, or spare column is selected for one row or column containing a defective bit.
不良ビット発生の原因が、発生した不良ビットにのみ発
現しているならば、以上の様なスペア変換は問題なく行
うことができる。しかしながら、不良ビット発生原因が
、不良の発生したビットたけではなくその周辺のビット
にも発現していて、それにもかかわらず不良検出時にそ
れらのビットが不良と認知されないならば、そのような
ヒツトを含む半導体メモリ装置は不安定な動作をし、危
険性を有することとなる。If the cause of the defective bit is present only in the generated defective bit, the above spare conversion can be performed without any problem. However, if the cause of the defective bit occurrence is not only in the bit where the defect occurred, but also in the bits surrounding it, and those bits are not recognized as defective at the time of defect detection, then such a hit Semiconductor memory devices containing such devices operate unstablely and are potentially dangerous.
従来の半導体メモリ装置の冗長構成では、不良ビットを
含むローあるいはカラムの一つに対して、ただ一つのス
ペアローあるいはスペアカラムにのみ置換するようにな
っている。しかし、パターン欠陥や結晶欠陥等の不良ビ
ット発生原因は、不良発生ビット周辺にも発現している
可能性があり、従来の方法を用いた救済チップの全てが
正常な動作をするかどうか保証できないという問題があ
った。In the conventional redundant configuration of semiconductor memory devices, one row or column containing a defective bit is replaced with only one spare row or column. However, causes of defective bits such as pattern defects and crystal defects may also occur around the defective bits, and it is not possible to guarantee that all repair chips using conventional methods will operate normally. There was a problem.
この発明は上記のような問題を解決するためになされた
もので、上記の様に不良ビット発生原因が周辺のビット
にも発現している場合でも、より高い確率で正常動作の
半導体メモリ装置への救済が可能となることを目的とし
ている。This invention was made to solve the above-mentioned problem, and even when the cause of defective bits is also present in peripheral bits as mentioned above, it is possible to return to a semiconductor memory device that operates normally with a higher probability. The purpose is to make relief possible.
この発明に係わる半導体メモリ装置は、スペアメモリセ
ル内に少なくとも3つ以上のスペアローあるいはスペア
カラムを設けると同時に少なくとも3つ以上のスペアア
ドレスをプログラムできるプログラム回路とそれらにそ
れぞれ接続するスペアデコーダ回路を設けたものである
。A semiconductor memory device according to the present invention is provided with at least three or more spare rows or spare columns in a spare memory cell, and at the same time, a program circuit that can program at least three or more spare addresses and a spare decoder circuit that is connected to each of them. It is something that
この発明における半導体メモリ装置では、不良ビットか
発生した際のスペア変換で、不良発生ビットを含めたロ
ーあるいはカラムとそれに隣接する少なくとも2つ以上
のローあるいはカラムを同時にスペア変換することによ
り、不良ビット発生原因が不良発生ビット周辺のビット
にまで分布している場合でも、その分布範囲内のビット
の多くを置換し、より高い確率で正常動作する半導体メ
モリ装置を得る。In the semiconductor memory device according to the present invention, in spare conversion when a defective bit occurs, the row or column including the defective bit and at least two or more adjacent rows or columns are simultaneously converted into spares. To obtain a semiconductor memory device that operates normally with a higher probability by replacing many of the bits within the distribution range even when the cause of occurrence is distributed to bits surrounding a defective bit.
(実施例) この発明の一実施例を図について説明する。(Example) An embodiment of the invention will be described with reference to the drawings.
第1図はこの発明の一実施例を示す半導体メモリ装置の
ブロック図であり、図において、(11)はアドレスバ
ッファー、(12)は正常時のデコーダ回路、(13)
はメモリーセル、(14)は冗長回路を動作可能状態と
するためのマスター回路、(15)は置換するローのア
ドレスを指定するためのアドレスプログラム回路、(1
6)はスペアデコーダ回路、(17)はスペアメモリセ
ル、そして(18)は冗長回路使用時に正常時のデコー
ダ回路を動作禁止状態にするためのノーマルディセーブ
ル回路である。FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor memory device showing an embodiment of the present invention. In the figure, (11) is an address buffer, (12) is a decoder circuit in normal operation, and (13) is a decoder circuit in normal operation.
is a memory cell, (14) is a master circuit for enabling the redundant circuit, (15) is an address program circuit for specifying the address of the row to be replaced, (1
6) is a spare decoder circuit, (17) is a spare memory cell, and (18) is a normal disable circuit for disabling the normal decoder circuit when the redundant circuit is used.
次にこの発明の動作について説明する。Next, the operation of this invention will be explained.
メモリセル内に一つの不良ビットが発生した場合、ウェ
ハプロセス時にマスター回路で、冗長回路を動作可能状
態にすると同時に、不良発生ビットを含むローのアドレ
スとそのローに隣接する少なくとも2つ以上のローのア
ドレスを複数のアドレスプログラム回路(15)にプロ
グラムする。If a single defective bit occurs in a memory cell, during wafer processing, the master circuit enables the redundant circuit and at the same time identifies the address of the row containing the defective bit and at least two or more rows adjacent to that row. The address of 1 is programmed into a plurality of address program circuits (15).
これにより、不良発生ビットを含むローのアドレスが指
定される場合だけでなく、それに隣接するいくつかのロ
ーのアドレスが指定される場合でも、スペアデコーダか
動作し、それぞれに対応するスペアローが選択されるよ
うになる。また、以上のようにスペアデコーダか動作す
るときにはノーマルディセーブル回路により正常のデコ
ーダが動作禁止状態となり、メモリセル内の不良ビット
を含むローとその周辺のローにはアクセスされないよう
になっている。As a result, the spare decoder operates not only when the address of the row containing the defective bit is specified, but also when the addresses of several adjacent rows are specified, and the corresponding spare row is selected. Become so. Furthermore, when the spare decoder operates as described above, the normal disable circuit disables the normal decoder from operating, so that the row containing the defective bit in the memory cell and the rows around it are not accessed.
なお上記実施例ではスペアローを用いた冗長構成のもの
を示したか、スペアカラム、あるいはスペアローとスペ
アカラム両方を用いた冗長構成のものでも良い。In the above embodiment, a redundant configuration using a spare row is shown, but a redundant configuration using a spare column or both a spare row and a spare column may be used.
以上のように、この発明によれば、半導体メモリ装置の
冗長構成においてスペア変換するローあるいはカラムを
不良ビットを含むローあるいはカラムだけではなく、そ
れに隣接する複数のローあるいはカラムを同時にスペア
変換することにより、不良ビット発生原因が隣接ビット
に影響を与えることかあっても、正常動作の半導体メモ
リ装置をより高い確率で得ることができる。As described above, according to the present invention, in a redundant configuration of a semiconductor memory device, not only a row or column containing a defective bit but also a plurality of rows or columns adjacent to the row or column can be converted into spares at the same time. Therefore, even if the cause of defective bits affects adjacent bits, a normally operating semiconductor memory device can be obtained with a higher probability.
第1図は、この発明の一実施例による半導体メモリ装置
の冗長部分のブロック図、第2図は従来の半導体メモリ
装置の冗長部分のブロック図である。図において、(1
1)はアドレスバッファ、(12)はデコーダ、(13
)はメモリセル、(14)はマスター回路、(15)は
アドレスプログラム回路、(16)はスペアデコーダ、
(17)はスペアメモリセル、(18)はノーマルディ
セーブル回路である。FIG. 1 is a block diagram of a redundant portion of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of a redundant portion of a conventional semiconductor memory device. In the figure, (1
1) is an address buffer, (12) is a decoder, (13
) is a memory cell, (14) is a master circuit, (15) is an address program circuit, (16) is a spare decoder,
(17) is a spare memory cell, and (18) is a normally disabled circuit.
Claims (1)
ーあるいはスペアカラムに置換する際に、不良発生ビッ
トを含むローあるいはカラムに隣接する複数のローある
いはカラムも同時に置換することを特徴とする半導体メ
モリ装置。A semiconductor memory device characterized in that when a row or column containing a defective bit is replaced with a spare row or column, a plurality of rows or columns adjacent to the row or column containing the defective bit are also replaced at the same time.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2030402A JPH03235298A (en) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | Semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2030402A JPH03235298A (en) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | Semiconductor memory device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03235298A true JPH03235298A (en) | 1991-10-21 |
Family
ID=12302946
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2030402A Pending JPH03235298A (en) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | Semiconductor memory device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03235298A (en) |
-
1990
- 1990-02-09 JP JP2030402A patent/JPH03235298A/en active Pending
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