JPH03234488A - Rectangular coordinate type robot - Google Patents

Rectangular coordinate type robot

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Publication number
JPH03234488A
JPH03234488A JP2875290A JP2875290A JPH03234488A JP H03234488 A JPH03234488 A JP H03234488A JP 2875290 A JP2875290 A JP 2875290A JP 2875290 A JP2875290 A JP 2875290A JP H03234488 A JPH03234488 A JP H03234488A
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JP
Japan
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linear
linear movement
movement unit
unit
screw
Prior art date
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Pending
Application number
JP2875290A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadashi Munakata
正 宗像
Shin Murakami
伸 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH03234488A publication Critical patent/JPH03234488A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • B23Q5/38Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
    • B23Q5/40Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

PURPOSE:To work a reaction required for the acceleration of a moving base as the shaft force of the driving shaft of each linear movement unit and extremely increase rigidity by providing such a constitution as situating a working position in a cross point in which each linear movement unit is crossed to each other at a right angle. CONSTITUTION:One linear movement unit 19 is driven and moved in a determined direction, and the other linear movement unit 24 is moved in the moving direction of the linear movement unit 19 while being supported by support bases 12a, 12b. Hence, the work position, or a working head is regularly situated in the cross point of the axial lines of both the linear movement units 19, 24 and directly driven by the respective linear units 19, 24. Therefore, the reaction of a force accelerating the masses of a tool shaft 26 and each linear operating unit 19, 24 acts on each linear movement unit 19, 24 as its shaft force.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、直角座標形ロボットに関する。[Detailed description of the invention] [Purpose of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a Cartesian robot.

(従来の技術) 従来の直角座標形ロボットは、直方体状の動作領域をも
ち構造が簡単なために、電子部品、機械部品の組立等に
広く利用されている。この種直角座標形ロボットは大別
して2つの範鴫に分けられる。その1つは、第7図にそ
の平面図を示すように、櫓状の架台1にその両端を支持
されリニアガイド4に沿ってX方向に直線駆動機構5及
び駆動モータ6によって移動するガータ2とこのガータ
2上でリニアガイド4に沿ってガータ2の移動方向と直
交するY方向に移動するツール昇降軸(作業位置Pで示
す)などを備えた移動台3とにより構成したものである
。また、他の1つは、第8図にその平面図を示すように
、架台1上に支持されリニアガイド4に沿ってX方向に
直線駆動機構5及び駆動モータ6によって移動するよう
にガータ2を構成し、これと直交するようにY方向に移
動する同一構造を有し、かつ、ツール昇降軸等からなる
加工ヘッド(作業位置Pで示す)などを備えた移動台3
を配設したものである。そして、両者は、要求される負
荷荷重、動作範囲、位置決め精度等によって使い分けら
れていた。
(Prior Art) Conventional Cartesian coordinate robots have a rectangular parallelepiped operating area and have a simple structure, and are therefore widely used for assembling electronic parts and mechanical parts. This kind of Cartesian coordinate robot can be roughly divided into two categories. One of them is, as shown in a plan view in FIG. 7, a garter 2 whose both ends are supported by a tower-shaped pedestal 1 and which moves in the X direction along a linear guide 4 by a linear drive mechanism 5 and a drive motor 6. and a movable table 3 equipped with a tool elevating shaft (indicated by a working position P) that moves on the gutter 2 along a linear guide 4 in the Y direction perpendicular to the moving direction of the gutter 2. The other one, as shown in a plan view in FIG. A movable table 3 having the same structure that moves in the Y direction orthogonally thereto, and equipped with a processing head (indicated by working position P) consisting of a tool elevating shaft, etc.
is arranged. Both types were used depending on the required load, operating range, positioning accuracy, etc.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、近年、例えば、印刷基板へのチップ部品
の装着を行なうチップマウンタと称される装置へこれら
直角座標形ロボットが応用されるようになり、そのため
、従来のこの種口ボットでは達成し得ないような作業の
高速性と高精度が要求されるようになってきた。とくに
、作業の高速化のためには、ツール昇降軸等の各軸の最
高速度及び加速度を高くすることが不可欠である。しか
し、従来の直角座標形ロボットでは、例えば第7図に示
すものでは、X軸方向への移動のための駆動をガータ2
の一端で直線駆動機構5により行っているため、高加減
速度でその起動停止を行うと、ガータ2に第7図に矢印
で示すような曲げ振動を生じることになる。とくに、肝
心な作業位置Pでは、この曲げ振動の振動変位が増巾さ
れるため大巾な作業精度の低下を招来するおそれがあっ
た。
(Problem to be Solved by the Invention) However, in recent years, these Cartesian coordinate robots have been applied to devices called chip mounters that mount chip components onto printed circuit boards, and as a result, the conventional There is a growing demand for high-speed and high-accuracy work that cannot be achieved with these bots. In particular, in order to speed up the work, it is essential to increase the maximum speed and acceleration of each axis, such as the tool elevating axis. However, in conventional Cartesian coordinate robots, for example the one shown in FIG. 7, the drive for movement in the
Since the linear drive mechanism 5 is used at one end of the gutter 2, if the gutter 2 is started or stopped at a high acceleration/deceleration rate, bending vibrations as shown by the arrows in FIG. 7 will occur in the gutter 2. In particular, at the critical work position P, the vibration displacement of this bending vibration is amplified, which may lead to a significant drop in work accuracy.

また、この欠点を防ぐためにガータ2の他端にも直線駆
動機構5を設けて両方の駆動機構を同期させて駆動する
方式が用いられていた。しかし、この駆動方式では、装
置全体が大掛りとなるばかりではなく、ガータ2の曲げ
振動は依然として生じていた。さらに、例えば、第8図
に示すものでも、Y軸方向の支持は完全な片持ち梁構造
となっているため剛性が弱く、そのため曲げ振動が生じ
ていた。また、第7図と第8図に示すものでは、ともに
ツール昇降軸等の各軸の最高速度は、駆動モータ6によ
って回転される直線駆動機構5の長尺ボールスクリュの
危険速度に制約されて余り高くできないする問題点があ
った。
Furthermore, in order to prevent this drawback, a method has been used in which a linear drive mechanism 5 is provided at the other end of the gutter 2 and both drive mechanisms are driven in synchronization. However, with this driving method, not only did the entire device become large-scale, but also the bending vibration of the gutter 2 still occurred. Furthermore, for example, even in the case shown in FIG. 8, the support in the Y-axis direction has a complete cantilever structure, so the rigidity is low, which causes bending vibration. In addition, in both the systems shown in FIGS. 7 and 8, the maximum speed of each axis such as the tool elevating axis is limited by the critical speed of the long ball screw of the linear drive mechanism 5 rotated by the drive motor 6. There was a problem that it could not be made too high.

本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、両端を架台
の四辺形枠体の対向辺に設けたリニアガイドによって支
持され、かつ、互いに直交するスクリュスプラインの交
点に加工ヘッドを吊下げたハウジングを配設し、各スク
リュスプラインを別々のモータで駆動することにより、
剛性が高く、高加減速度でも振動を生ぜず、かつ位置決
め精度が高く、しかも各軸の最高速度を高く設定でき、
そのため、作業の高速化を可能とした直角座標形ロボッ
トを提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above points, and the processing head is supported by linear guides having both ends provided on opposite sides of the quadrilateral frame of the pedestal, and the processing head is suspended at the intersection of mutually orthogonal screw splines. By arranging the housing and driving each screw spline with a separate motor,
High rigidity, no vibration even at high acceleration/deceleration, high positioning accuracy, and the maximum speed of each axis can be set high.
Therefore, the purpose of this invention is to provide a Cartesian coordinate robot that can speed up work.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

(課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために本発明の直角座標形ロボット
では、移動台を有する第1直線動作ユニットと別の移動
台を有する第2直線動作ユニットとをそれぞれの軸線が
直交するように各移動台を結合して一体化し、この結合
点近傍に加工ヘッドを配設し、かつ、第1直線動作ユニ
ットの両端部のうち少くとも一端を第2直線動作ユニッ
トの動作方向と平行に移動するように設けられた支持台
により支承し、また、第2直線動作ユニットの両端部の
うち少くとも一端を第1直線ユニットの動作方向と平行
に移動するように設けられた支持台により支承する。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, in the Cartesian coordinate robot of the present invention, a first linear motion unit having a movable base and a second linear motion unit having another movable base are separated from each other. The movable tables are connected and integrated so that their axes are perpendicular to each other, and a processing head is disposed near the connection point, and at least one of both ends of the first linear movement unit is connected to the second linear movement unit. The second linear movement unit is supported by a support stand provided to move in parallel to the movement direction, and at least one end of the second linear movement unit is provided to move in parallel to the movement direction of the first linear movement unit. It is supported by a support stand.

(作 用) 上記のように構成された直角座標形ロボットにおいて、
一方の直線動作ユニットを駆動して所定方向に動作させ
ると、他方の直線動作ユニットが支持台により支承され
つつ一方の直線動作ユニットの動作方向に移動する。こ
れにより作業位置、すなわち加工ヘッドは常に両直線動
作ユニットの軸線の交点に位置するようになり、各直線
ユニットにより直接駆動されるようになる。このため、
ツール軸及び各直線動作ユニットの質量を加速する力の
反力は各直線動作ユニットにその軸力(軸方向圧縮力)
として作用する。
(Function) In the Cartesian coordinate robot configured as above,
When one linear movement unit is driven to operate in a predetermined direction, the other linear movement unit is supported by the support base and moves in the movement direction of the one linear movement unit. As a result, the working position, ie the processing head, is always located at the intersection of the axes of the two linear units and is directly driven by each linear unit. For this reason,
The reaction force of the force accelerating the mass of the tool axis and each linear motion unit is the axial force (axial compressive force) on each linear motion unit.
It acts as.

(実施例) 以下本発明の直角座標形ロボットの実施例を図面につい
て説明する。
(Example) Hereinafter, an example of the Cartesian coordinate robot of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図と第2図に示すように、櫓状の架台1の上面の四
辺状枠体の各対向辺りニアガイド7a。
As shown in FIGS. 1 and 2, there are near guides 7a on each opposing side of the quadrilateral frame on the upper surface of the tower-shaped pedestal 1.

7bと8a、8bがそれぞれ設けられ、このリニアガイ
ド7a、7b、8a、8b上には、リニアガイド軸受9
a、9b、10a、10bを介して支持台11a、ll
bと12a、12bがリニアガイドに沿って移動自在に
配設されている。また、支持台11a、llb、12a
、12bには、スクリュスプライン13.23がそれぞ
れ固着されている。さらに、第3図〜15図に示すよう
に、スクリュスプライン13は円筒状軸断面をしていて
、その外周部にはボールBを収容するポールスクリュ溝
13aとボールスプライン溝13bが形成され、ハウジ
ング状の移動台14がボールスプライン溝13bと噛合
するスプライン軸受15を介してスクリュスプライン1
3に支持されている。
7b, 8a, and 8b are provided, and linear guide bearings 9 are provided on these linear guides 7a, 7b, 8a, and 8b.
Support stands 11a, ll via a, 9b, 10a, 10b
b, 12a, and 12b are movably arranged along a linear guide. In addition, support stands 11a, llb, 12a
, 12b each have a screw spline 13.23 fixed thereto. Furthermore, as shown in FIGS. 3 to 15, the screw spline 13 has a cylindrical shaft cross section, and a pole screw groove 13a for accommodating the ball B and a ball spline groove 13b are formed on the outer periphery of the screw spline 13. A movable table 14 having a shape of
It is supported by 3.

なお、スプライン軸受15はフランジによりハウジング
H内に係止されている。また、移動台14には軸受16
を介してポールスクリュ溝13aと噛合うポールスクリ
ュナツト17が回動自在に支持されている。なお、軸受
16はスペーサ16AによりハウジングHに係止されて
いる。このボールスクリュナツト17には歯付ベルトプ
ーリ18が固着されカバー板14AによりハウジングH
内に封止されており、また、移動台14のハウジング部
には駆動モータ19が固着され、その出力軸20には歯
付ベルトプーリ21が固着されていて、両歯付ベルトプ
ーリ18.21間には歯付ベルト22が巻回されて駆動
モータ19の回転力をボールスクリュナツト17に伝達
するようになっている。さらに、スクリュスプライン1
3の両輪端にはリニアガイド7a、7bに沿って移動す
る支持台11a、llbが固着されている。このように
して、直角座標形ロボットの第1直線動作ユニットを構
成する。
Note that the spline bearing 15 is secured within the housing H by a flange. In addition, the moving table 14 has a bearing 16.
A pole screw nut 17 that engages with the pole screw groove 13a is rotatably supported. Note that the bearing 16 is secured to the housing H by a spacer 16A. A toothed belt pulley 18 is fixed to this ball screw nut 17, and the housing H is fixed to the ball screw nut 17 by a cover plate 14A.
Further, a drive motor 19 is fixed to the housing portion of the moving table 14, and a toothed belt pulley 21 is fixed to its output shaft 20, and both toothed belt pulleys 18, 21 A toothed belt 22 is wound between them to transmit the rotational force of the drive motor 19 to the ball screw nut 17. Furthermore, screw spline 1
Support stands 11a and llb that move along linear guides 7a and 7b are fixed to both wheel ends of 3. In this way, the first linear motion unit of the Cartesian robot is configured.

一方、スクリュスプライン23の両輪端にはリニアガイ
ド12a、12bに沿って移動する支持台12a、12
bが固着され、このスクリュスプライン23には移動台
25が前述した移動台14と同様の手段により移動台1
4の移動と直交するように一体に形成され、かつ支持さ
れている。さらに、移動台25のハウジング部には駆動
モータ24が固着されていて、移動台14と同様の手段
により駆動モータ24の回転力をボールスクリュナツト
17に伝達するようになっている。このようにして直角
座標形ロボットの第2直線動作ユニットを構成する。ま
た、移動台25のハウジングには両スクリュスプライン
13.23の交点に加工ヘッドであるツールを装着する
ツール軸26が吊下げられている。このようにして、構
成された移動台14と25は一体に形成されたハウジン
グHを構成し、一体となって移動する。
On the other hand, at both wheel ends of the screw spline 23, there are support stands 12a, 12 that move along the linear guides 12a, 12b.
b is fixed to the screw spline 23, and a movable base 25 is attached to the movable base 1 by means similar to the above-described movable base 14.
It is integrally formed and supported so as to be orthogonal to the movement of 4. Further, a drive motor 24 is fixed to the housing portion of the movable table 25, and the rotational force of the drive motor 24 is transmitted to the ball screw nut 17 by the same means as the movable table 14. In this way, the second linear motion unit of the Cartesian coordinate robot is constructed. Further, a tool shaft 26 is suspended from the housing of the movable table 25 at the intersection of both screw splines 13.23 to which a tool, which is a processing head, is attached. The movable tables 14 and 25 configured in this manner constitute an integrally formed housing H and move as one.

このようにして構成された本発明の直角座標形ロボット
の実施例の作用を第1図と第2図について説明する。ま
ず、移動台14に取付けた駆動モータ19を回転させる
と、この駆動モータ19の出力軸20の回転力は歯付ベ
ルト22を介してボールスクリュナツト17に伝達され
て、移動台14を有する第1直線動作ユニットはボール
を介してリニアガイド7a、7bに沿ってスクリュスプ
ライン13の軸方向、すなわち第1図に示すX方向に移
動する。これと同時に、この移動台14と直交して一体
に結合された移動台25およびこの移動台25を支持す
るスクリュスプライン23も、その両端に固着した支持
台12a、12bがリニアガイド8a、8bによりリニ
アガイド軸受10a、10bを介して支持されているた
め、移動台25を有する′1s2直線動作ユニットは同
じくX方向に移動する。また、移動台25に取付けられ
た駆動モータ24を駆動すると、移動台14の場合と同
じ動きにより、移動台25は、スクリュスプライン23
がその両軸端をリニアガイド7a。
The operation of the embodiment of the Cartesian coordinate robot of the present invention constructed in this way will be explained with reference to FIGS. 1 and 2. First, when the drive motor 19 attached to the movable base 14 is rotated, the rotational force of the output shaft 20 of the drive motor 19 is transmitted to the ball screw nut 17 via the toothed belt 22. The linear movement unit moves in the axial direction of the screw spline 13, that is, in the X direction shown in FIG. 1, along the linear guides 7a and 7b via the balls. At the same time, the movable base 25 that is integrally coupled with the movable base 14 and the screw spline 23 that supports the movable base 25 are also supported by the linear guides 8a and 8b, with the support bases 12a and 12b fixed to both ends thereof. Since it is supported via the linear guide bearings 10a and 10b, the '1s2 linear motion unit having the moving table 25 also moves in the X direction. Furthermore, when the drive motor 24 attached to the movable base 25 is driven, the movable base 25 moves along the screw spline 23 by the same movement as the movable base 14.
The both ends of the shaft are connected to the linear guide 7a.

7b上にリニアガイド軸受9a、9bを介して支持され
た支持台11 a、  1 l bに固着されているた
め、第1直線動作ユニットは移動台14とスクリュスプ
ライン13とともにスクリュスプライン23の軸方向、
すなわちY方向に移動する。
Since it is fixed to the support bases 11a and 11b supported on the linear guide bearings 9a and 9b on the 7b, the first linear motion unit moves in the axial direction of the screw spline 23 together with the movable base 14 and the screw spline 13. ,
That is, it moves in the Y direction.

したがって、ツールおよびそのツール軸(昇降軸)26
の軸心、すなわち作業位置(点)Pは、平面的(X−Y
面)に直交するスクリュスプライン13とスクリュスプ
ライン23の交点に常に位置することになる。その結果
、スクリュスプライン13と23の両軸端が架台1のリ
ニアガイド7a、7b、8a、8bに支持され、かつ、
移動されるため、ツールおよびその昇降軸26の質量を
加速するための力の反力は、それぞれのスクリュスプラ
イン13と23の軸力として作用する。
Therefore, the tool and its tool axis (elevating axis) 26
The axial center of , that is, the working position (point) P is
It is always located at the intersection of the screw spline 13 and the screw spline 23, which are perpendicular to the plane). As a result, both axial ends of the screw splines 13 and 23 are supported by the linear guides 7a, 7b, 8a, 8b of the pedestal 1, and
As it is moved, the reaction force of the force for accelerating the mass of the tool and its lifting shaft 26 acts as an axial force on the respective screw splines 13 and 23.

そのため、この加速力は、剛性の弱いスクリュスプライ
ン13.23の曲げ方向に作用することがなくなり、高
加減速度で移動台の起動停止を行ってもスクリュスプラ
イン13.23の曲げ振動の発生が極めて少なくなる。
Therefore, this acceleration force no longer acts in the bending direction of the screw spline 13.23, which has low rigidity, and even if the moving platform is started and stopped at a high acceleration/deceleration rate, bending vibration of the screw spline 13.23 is extremely unlikely to occur. It becomes less.

しかも、架台1から作業位置Pまでの距離の割り出しに
精度の良いポールスクリュを直接用いるので極めて高い
作業精度の実現が可能となる。さらに、ボールスクリュ
ナツトドアを回転させて移動台14.24の移動を行う
ため、長尺のポールスクリュを回転する際に支障となる
危険速度の制約もなくなり直線動作ユニットの高速度運
転が可能となる。
Furthermore, since a highly accurate pole screw is directly used to determine the distance from the gantry 1 to the working position P, extremely high working accuracy can be achieved. Furthermore, since the moving table 14.24 is moved by rotating the ball screw nut door, there is no critical speed restriction that would be an obstacle when rotating a long pole screw, and the linear motion unit can operate at high speed. Become.

なお、本実施例では、移動台の直線駆動機構としてスク
リュスプラインを用いたが、スクリュスプラインの代り
にラック及びピニオンを用い、移動台にピニオン及び駆
動モータを配設して直線動作ユニットを構成してもよい
。また、ツール及び昇降軸(ツール軸)の質量が小さな
場合には、それらの重量を支えるボールスプラインの機
能は余り重要でなくなるため、スクリュスプラインの代
りにポールスクリュのみでもよい。さらに、本実施例で
は直交する2本のスクリュスプラインを櫓状の架台で支
持したが、第6図に示すように、他の実施例ではX、 
Y方向の一方あるいは両方を片持ち梁構造とし、かつ、
コの字形あるいはL字形の平面形状をもつ架台でスクリ
ュスプラインを支持してもよい。なお、第6図に示す実
施例では、第1図に示す実施例と共通の部分名称には同
一符号を付し、それらの説明は省略した。
In this example, a screw spline was used as the linear drive mechanism of the moving table, but a rack and pinion were used instead of the screw spline, and the pinion and drive motor were arranged on the moving table to form a linear movement unit. It's okay. Further, when the mass of the tool and the lifting shaft (tool shaft) is small, the function of the ball spline to support their weight becomes less important, and therefore only the pole screw may be used instead of the screw spline. Furthermore, in this embodiment, two orthogonal screw splines were supported by a turret-shaped frame, but as shown in FIG. 6, in other embodiments,
One or both of the Y directions have a cantilever structure, and
The screw spline may be supported by a frame having a U-shaped or L-shaped planar shape. In the embodiment shown in FIG. 6, the names of parts common to those in the embodiment shown in FIG. 1 are given the same reference numerals, and their explanations are omitted.

なお、それぞれの直線動作ユニットが長方形に配置され
る場合には、全体の軽量化のために短辺側スクリュスプ
ラインを剛構造とし、長辺側スクリュスプラインを柔構
造としてもよい。
In addition, when each linear movement unit is arranged in a rectangle, the short side screw spline may be made into a rigid structure and the long side screw spline may be made into a flexible structure in order to reduce the weight of the whole.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、駆動モータ、直線駆動機構及び移動台
から構成される直線動作ユニットを2個双方の移動台部
分で直交するように一体化させて結合し、この結合点の
近傍に加工ヘッドを配設し、かつ、各直線動作ユニット
の両端部を架台に設けられたリニアガイド上に支持され
た支持台に固着するようにしたので、常に作業位置(点
)がそれぞれの直線動作ユニットが直交する交点に位置
するようになる。これにより移動台の加速に要する反力
が各直線動作ユニットの駆動軸の軸力(軸方向圧縮力)
として作用するため、その剛性が極めて高くなるととも
に、従来の曲げ剛性に比べて変位が少なくなり、高加減
速度による移動台の起動停止による振動の発生が少なく
なり、かつ、直線動作ユニットによる割り出し精度がそ
のまま作業位置の位置決め精度となるため高精度の位置
決め精度が得られる。さらに、ポールスクリュのナツト
を回転駆動させて移動台を移動させるため、最高速度が
極めて高く設定できるので作業の高速化が可能となった
直角座標形ロボットが得られるとする効果がある。
According to the present invention, two linear motion units composed of a drive motor, a linear drive mechanism, and a moving table are integrated and coupled together so that the parts of both moving tables are perpendicular to each other, and the processing head is placed near the coupling point. In addition, both ends of each linear motion unit are fixed to a support base supported on a linear guide provided on the frame, so that the working position (point) of each linear motion unit is always fixed. They will be located at orthogonal intersections. As a result, the reaction force required to accelerate the moving table is the axial force (axial compressive force) of the drive shaft of each linear motion unit.
The rigidity is extremely high, and the displacement is smaller than that of conventional bending rigidity, which reduces vibrations caused by starting and stopping the moving platform due to high acceleration/deceleration, and improves indexing accuracy due to the linear motion unit. Since this directly corresponds to the positioning accuracy of the working position, high positioning accuracy can be obtained. Furthermore, since the moving table is moved by rotationally driving the nut of the pole screw, the maximum speed can be set extremely high, which has the effect of providing a Cartesian coordinate robot that can speed up work.

例の斜視図、第2図はその平面図、第3図はその直線駆
動ユニットのポールスクリュ駆動部の一部横断面図、第
4図はスクリュスプラインの詳細側面図、第5図はその
断面図、第6図は本発明の直角座標形ロボットの他の実
施例の平面図、第7図と第8図は従来の直角座標形ロボ
ットの平面図である。
Figure 2 is a plan view of the example, Figure 3 is a partial cross-sectional view of the pole screw drive part of the linear drive unit, Figure 4 is a detailed side view of the screw spline, and Figure 5 is its cross section. 6 are plan views of other embodiments of the Cartesian coordinate robot of the present invention, and FIGS. 7 and 8 are plan views of conventional Cartesian coordinate robots.

1・・・架台、7a、7b、8a、8b=・・リニアガ
イド、lla、llb、12a、12b−・・支持台、
13.23・・・スクリュスプライン、14.25・・
・移動台、19.24・・・駆動モータ。
1... Frame, 7a, 7b, 8a, 8b=... Linear guide, lla, llb, 12a, 12b-... Support stand,
13.23...Screw spline, 14.25...
・Moving table, 19.24... Drive motor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 移動台を有する第1直線動作ユニットと別の移動台を有
する第2直線動作ユニットとをそれぞれの軸線が直交す
るように前記各移動台を結合して一体化し、この結合点
近傍に加工ヘッドを配設し、かつ、前記第1直線動作ユ
ニットの両端部のうち少くとも一端を前記第2直線動作
ユニットの動作方向と平行に移動するように設けられた
支持台により支承し、また、前記第2直線動作ユニット
の両端部のうち少くとも一端を前記第1直線ユニットの
動作方向と平行に移動するように設けられた支持台によ
り支承したことを特徴とする直角座標形ロボット。
A first linear movement unit having a moving table and a second linear movement unit having another moving table are integrated by connecting the respective moving tables so that their respective axes are perpendicular to each other, and a processing head is placed near the connecting point. and at least one end of both ends of the first linear motion unit is supported by a support stand provided so as to move in parallel to the operating direction of the second linear motion unit, and A Cartesian coordinate robot, characterized in that at least one end of both ends of a two-linear movement unit is supported by a support stand provided so as to move in parallel to the movement direction of the first linear unit.
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