JPH0323275B2 - - Google Patents

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JPH0323275B2
JPH0323275B2 JP57133737A JP13373782A JPH0323275B2 JP H0323275 B2 JPH0323275 B2 JP H0323275B2 JP 57133737 A JP57133737 A JP 57133737A JP 13373782 A JP13373782 A JP 13373782A JP H0323275 B2 JPH0323275 B2 JP H0323275B2
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JP
Japan
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workpiece
assist gas
nozzle
laser
laser beam
Prior art date
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Application number
JP57133737A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS5924596A (en
Inventor
Kenji Masuda
Ichiro Egashira
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Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Publication date
Application filed by Amada Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
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Publication of JPS5924596A publication Critical patent/JPS5924596A/en
Publication of JPH0323275B2 publication Critical patent/JPH0323275B2/ja
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/1476Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はレーザービームに依つて切断や穴明
けなどの種々の方法によつて板状の金属板のよう
な被加工材(ワークピース)を加工するレーザー
加工装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a laser processing device for processing a workpiece such as a plate-shaped metal plate by various methods such as cutting and drilling using a laser beam. It is.

よく知られているように、レーザービームは産
業界において種々の材料を処理するのに広く使用
されており、金属加工の分野においては、レーザ
ービームは金属板のような板状の被加工材の切断
や穴明けに利用されている。
As is well known, laser beams are widely used in industry to process various materials, and in the field of metal processing, laser beams are used to process plate-shaped workpieces such as metal plates. It is used for cutting and drilling.

一般には、板状の被加工材を加工するレーザー
加工装置では、レーザー発振器からのレーザービ
ームを被加工材へ照射するための反射鏡とレーザ
ービームを集光する集光レンズを備えた加工ヘツ
ド部と被加工材を水平に支持して移動させる加工
テーブル部とで構成されている。レーザー加工に
おけるレーザービームは、レーザー発振器で作ら
れ上記の加工ヘツド部から被加工材へ被加工材を
溶融するためにアシストガス(例えば酸素ガス)
と共に照射される。
Generally, in laser processing equipment that processes plate-shaped workpieces, a processing head is equipped with a reflecting mirror for irradiating the workpiece with a laser beam from a laser oscillator and a condensing lens for focusing the laser beam. and a processing table that horizontally supports and moves the workpiece. In laser processing, the laser beam is generated by a laser oscillator and sent from the processing head to the workpiece using an assist gas (e.g. oxygen gas) to melt the workpiece.
irradiated with.

このアシストガスは、被加工材と反応して被加
工材の溶融を助けると共に、溶融した金属やスラ
ツグを除去する作用をする。また溶融金属の飛散
に対して集光レンズを保護する作用もある。
This assist gas reacts with the workpiece to help melt the workpiece, and also functions to remove molten metal and slag. It also has the effect of protecting the condenser lens from scattering of molten metal.

レーザーによる切断加工においては、被加工材
の加工点に集中的に照射されたレーザービームの
エネルギーが熱エネルギーとして被加工材に吸収
されると共にアシストガス(O2ガス)による被
加工材との酸化反応による反応熱もこれに付加さ
れる。これらの熱エネルギーによつて被加工材は
溶融されて切断されるのである。一般的にレーザ
ービームによる切断においては、加工部に発生す
る熱の周辺部への影響は、プラズマアーク切断、
ガス溶断などに比較すれば非常に小さいのが特徴
である。然し、被加工材が厚板である場合や、切
断形状が微細で複雑な時は、加工速度を遅くする
ために上述の熱影響部分の範囲が広くなる。従つ
て切断の形状が微細で複雑な時には、必要とする
微細な形状が溶融されて完全に除去されてしまつ
た。一方厚板の時には切断面の精度が悪化すると
云う問題があつた。
In laser cutting, the energy of the laser beam focused on the processing point of the workpiece is absorbed by the workpiece as thermal energy, and the assist gas (O 2 gas) oxidizes the workpiece. The heat of reaction due to the reaction is also added to this. The workpiece is melted and cut by this thermal energy. Generally, when cutting with a laser beam, the effect of heat generated in the processing area on the surrounding area is reduced by plasma arc cutting,
It is characterized by being extremely small compared to gas cutting. However, when the workpiece is a thick plate or the cut shape is fine and complicated, the range of the heat-affected part becomes wider in order to slow down the processing speed. Therefore, when the shape to be cut is minute and complicated, the required fine shape is melted and completely removed. On the other hand, when using thick plates, there was a problem in that the precision of the cut surface deteriorated.

これに対して、従来は被加工材を水冷しながら
切断すると云う方法をとつていたが、切断加工の
終了後に冷却水がノズル先端の細孔部に毛管現象
によつて残留し、切断を再開したときにアシスト
ガスの噴流によつて飛散してレンズに付着するな
どの問題もあつた。
To deal with this, the conventional method was to cut the workpiece while cooling it with water, but after the cutting process, the cooling water remained in the pores at the tip of the nozzle due to capillary action, causing the cutting to be interrupted. There were also problems such as the assist gas scattering and adhering to the lens when restarted.

この発明の第1の目的は、加工部分に発生する
熱の周辺部への影響を防止して、微細な形状の加
工ができる新規なレーザー加工装置を提供するこ
とである。
A first object of the present invention is to provide a new laser processing apparatus that can process fine shapes while preventing the influence of heat generated in the processing area on the surrounding area.

この発明の第2の目的は加工速度が遅くても加
工周辺部への熱の影響を防止して切断面の精度の
良好な加工ができるレーザー加工装置を提供する
ことである。
A second object of the present invention is to provide a laser processing apparatus that can prevent the influence of heat on the peripheral area of the processing even at low processing speeds and perform processing with good precision on the cut surface.

更にこの発明の目的は、レーザー加工部分の熱
エネルギーの周辺部への拡散を効率よく阻止する
冷却装置を加工ヘツドに備えたレーザー加工装置
を提供することである。
A further object of the present invention is to provide a laser processing apparatus in which the processing head is equipped with a cooling device that efficiently prevents the thermal energy of the laser processing portion from diffusing to the surrounding area.

更にまたこの発明の目的は、冷却装置の冷却水
がノズル内に逆流するのを防止した加工ヘツドを
備えたレーザー加工装置を提供することである。
A further object of the present invention is to provide a laser processing apparatus having a processing head that prevents the cooling water of the cooling device from flowing back into the nozzle.

その他の目的と本発明の利点は、本発明の好適
な実施例とその原理を示した添付図面の説明に従
つて明らかになるであろう。
Other objects and advantages of the invention will become apparent from the description of the accompanying drawings, which illustrate preferred embodiments of the invention and its principles.

第1図、第2図に示す様に、番号1で示される
レーザー加工装置は、CO2(二酸化炭素)レーザ
ー発振装置の如きレーザー発振装置3に接続され
ている。前記レーザー発振装置3は、現在入手で
きるものであり、レーザービームLBを作り出し、
それを第1図の矢印によつて示されるように前記
レーザー加工装置へ送り出す様に配置されてい
る。
As shown in FIGS. 1 and 2, a laser processing device designated by the number 1 is connected to a laser oscillation device 3, such as a CO 2 (carbon dioxide) laser oscillation device. The laser oscillation device 3 is currently available and produces a laser beam LB,
It is arranged so as to send it to the laser processing device as shown by the arrow in FIG.

前記レーザー加工装置1は、ベース5、上記ベ
ース5の一端部に固定され垂直に形成されている
ポスト7、および前記ポスト7によつて前記ベー
ス5の上方に水平片持ち梁状に支持されているオ
ーバーヘツドビーム9とから成つている。前記ベ
ース5の上端には、加工される板金の如き被加工
材Wを水平に載置するべく複数のスライドボール
13を有する固定テーブル11が設けられてい
る。前記オーバーヘツドビーム9の前端には、ミ
ラーアツセンブリ17および集光レンズ19を有
するプロセツシングヘツドアツセンブリ15が設
けられている。そして、上記ミラーアツセンブリ
17は、前記レーザー発振装置3からのレーザー
ビームLBを前記集光レンズ19および前記被加
工材Wの方向へ屈折させるように設けられてお
り、前記レーザー発振装置3から前記ミラーアツ
センブリ17へ送るために、この実施例において
は、さらに2つのミラーアツセンブリ21,23
が設けられている。従つて、上述の如きレーザー
加工装置1は、前記レーザー発振装置3からレー
ザービームLBを受け取り、矢印で示す様に前記
プロセツシングヘツドアツンブリ15を通して前
記ワークピースWの加工のためそのレーザービー
ムLBを供給する様になつている。
The laser processing device 1 includes a base 5, a post 7 fixed to one end of the base 5 and formed vertically, and supported above the base 5 by the post 7 in a horizontal cantilever shape. It consists of an overhead beam 9. A fixed table 11 having a plurality of slide balls 13 is provided at the upper end of the base 5 to horizontally place a workpiece W such as a sheet metal to be processed. At the front end of the overhead beam 9, a processing head assembly 15 having a mirror assembly 17 and a condenser lens 19 is provided. The mirror assembly 17 is provided so as to refract the laser beam LB from the laser oscillation device 3 toward the condenser lens 19 and the workpiece W. In order to feed the mirror assembly 17, in this embodiment two further mirror assemblies 21, 23 are provided.
is provided. Therefore, the laser processing device 1 as described above receives the laser beam LB from the laser oscillation device 3 and directs the laser beam LB to process the workpiece W through the processing head assembly 15 as shown by the arrow. It is now becoming possible to supply

前記被加工材Wを供給し、位置決めするため
に、前記レーザー加工装置には、水平移動可能な
第1キヤリツジ25、および前記第1キヤリツジ
25の上に移動可能に載置され且つ前記被加工材
Wを把持する複数の把持手段29を保持している
第2キヤリツジ27が設けられている。上記第1
キヤリツジ25は、前記固定テーブル11の上端
に互いに平行に固定された一対のレーザー31上
に滑動自在に載置されており、駆動されることに
より前記プロセツシングヘツドアツセンブリ15
の真下に位置する加工ゾーンへ接近離脱自在に移
動する様になつている。前記把持手段29を保持
している前記第2キヤリツジ27は、前記第1キ
ヤリツジ25の上に載置され、駆動されることに
より前記レール31と直角の方向へ水平移動でき
る様になつている。前記把持手段29は、前記第
2キヤリツジ27に着脱調節自在に取り付けられ
ており、加工される被加工材Wの幅によつて調節
できる様になつている。また、被加工材Wの両端
を支持するために、複数のスライドボール13を
有する一対の移動テーブル33,35が、前記第
1キヤリツジ25に取り付け可能となつており、
それらの移動テーブル33,35は、前記第1キ
ヤリツジ25によつて被加工材Wと共に移動する
様になつている。さらに、前記固定テーブル11
上において被加工材Wを最初に位置決めするため
に、ひつこめることのできるストツパー手段37
が、前記レーザー加工装置1の一部に水平に固定
されているアーム部材39に設けられている。従
つて、被加工材Wは、初めにその端部が前記スト
ツパー手段37と当接する様に前記把持手段29
によつて把持されるとき、前記固定テーブル11
上に位置決めされる。上述の位置決めにおいて、
前記把持手段29は、前記第1キヤリツジ25に
よつて前記ポスト7の近くの最初の位置に位置し
ているものとする。
In order to supply and position the workpiece W, the laser processing apparatus includes a first carriage 25 that is horizontally movable, and a first carriage 25 that is movably placed on the first carriage 25 and that is configured to move the workpiece W. A second carriage 27 is provided which holds a plurality of gripping means 29 for gripping W. 1st above
The carriage 25 is slidably mounted on a pair of lasers 31 fixed parallel to each other on the upper end of the fixed table 11, and is driven to move the processing head assembly 15.
It is designed so that it can move freely toward and away from the machining zone located directly below. The second carriage 27 holding the gripping means 29 is placed on the first carriage 25 and can be driven to horizontally move in a direction perpendicular to the rail 31. The gripping means 29 is removably attached to the second carriage 27 and can be adjusted depending on the width of the workpiece W to be processed. Further, in order to support both ends of the workpiece W, a pair of moving tables 33 and 35 having a plurality of slide balls 13 can be attached to the first carriage 25,
These movable tables 33 and 35 are adapted to be moved together with the workpiece W by the first carriage 25. Furthermore, the fixed table 11
Retractable stopper means 37 for initially positioning the workpiece W on the
is provided on an arm member 39 horizontally fixed to a part of the laser processing device 1. Therefore, the workpiece W is held in place by the gripping means 29 such that its end portion first comes into contact with the stopper means 37.
When held by the fixed table 11
positioned above. In the above positioning,
It is assumed that the gripping means 29 are placed in an initial position near the post 7 by the first carriage 25.

上述の如き構成によつて、被加工材Wは、前記
第1および第2キヤリツジ25,27によつて前
記固定テーブル11上における前記プロセツシン
グヘツドアツセンブリ15の真下に位置すると
き、レーザービームLBにより切断あるいは穴あ
けされる。
With the above configuration, when the workpiece W is positioned directly below the processing head assembly 15 on the fixed table 11 by the first and second carriages 25 and 27, the workpiece W is exposed to the laser beam. Cut or drilled by LB.

もちろん、前記レーザー発振装置3によつて作
られたレーザービームLBは、前記プロセツシン
グヘツドアツセンブリ15へ送られ、矢印によつ
て示される様に前記ミラーアツセンブリ17によ
つて下方に向けられる。そして、そのレーザービ
ームLBは、集光レンズ19を通して酸素ガスの
如きアシストガスと共に被加工材Wへ供給され
る。
Of course, the laser beam LB produced by the laser oscillator 3 is sent to the processing head assembly 15 and directed downward by the mirror assembly 17 as shown by the arrow. . The laser beam LB is then supplied to the workpiece W through the condenser lens 19 together with an assist gas such as oxygen gas.

また、前記第1および第2キヤリツジ25,2
7が、プログラムされた数値制御のもとに自動的
かつ連続的に移動可能なことは同業者が容易に理
解しうるところである。
Further, the first and second carriages 25, 2
Those skilled in the art will readily understand that 7 can be moved automatically and continuously under programmed numerical control.

次に、前記プロセツシングヘツドアセンブリ1
5に備えられているノズルアセンブリーの構成に
ついて説明する。第3図を参照するに、ノズルア
センブリ41はアシストガスと共にレーザービー
ムLBを被加工材Wに照射する噴出口43を備え
た内側ノズルと冷却材を噴出するための冷却剤通
路45とその噴出口47とを備えた外側ノズルと
を一体的に構成した2重ノズルとなつている。こ
の内側ノズルは、内側ノズル本体49と、着脱自
在の内側ノズルチツプ51とから成る。外側ノズ
ルも同様に、外側ノズル本体と、着脱自在の外側
ノズルチツプ53とから成つている。前記冷却剤
通路には冷却剤導入口55に連通している。また
この内側ノズル本体の外径部にはネジ57が形成
してある。前記内側ノズル本体49は、スリーブ
状の保持部材59に垂直方向に摺動自在に保持さ
れている。またスリーブ状のケーシング61は環
状部材63に一体的に固定されている。本実施例
においては、スリーブ状のケーシング部材61に
は、レーザービームと共に被加工材Wに噴出する
アシストガスの圧力を計測するための圧力計65
を備えている。前記2重ノズルのほぼ中央部に
は、リング状のカラー部材67が上下方向に摺動
自在に嵌挿してある。
Next, the processing head assembly 1
The configuration of the nozzle assembly provided in No. 5 will be explained. Referring to FIG. 3, the nozzle assembly 41 includes an inner nozzle equipped with an ejection port 43 for irradiating the workpiece W with a laser beam LB together with assist gas, a coolant passage 45 for ejecting coolant, and its ejection port. 47 and an outer nozzle are integrally configured to form a double nozzle. This inner nozzle consists of an inner nozzle body 49 and a detachable inner nozzle tip 51. The outer nozzle similarly consists of an outer nozzle body and a detachable outer nozzle tip 53. The coolant passage communicates with a coolant inlet 55 . Further, a screw 57 is formed on the outer diameter portion of this inner nozzle body. The inner nozzle main body 49 is held by a sleeve-shaped holding member 59 so as to be vertically slidable. Further, the sleeve-shaped casing 61 is integrally fixed to the annular member 63. In this embodiment, the sleeve-shaped casing member 61 includes a pressure gauge 65 for measuring the pressure of the assist gas ejected to the workpiece W together with the laser beam.
It is equipped with A ring-shaped collar member 67 is fitted into the substantially central portion of the double nozzle so as to be slidable in the vertical direction.

この2重のノズルは複数の調節ネジ69によつ
て、その水平位置を調節できるように座金71を
介してスプリング73によつてケーシング61の
中に保持されている。スリーブ状保持部材59の
中に垂直方向に摺動自在に保持されたこの2重ノ
ズルは、ネジ57に噛合した環状の調節ナツト7
5によつて垂直方向の位置を調節できるように設
けられており、また開口部77を有する環状部材
79により支承されている。また、この2重ノズ
ルとスリーブ状の保持部材59は、ピン81とピ
ン83によつて回転しないように保持されている
が、垂直方向には移動させることができる。更に
また、このノズルアセンブリ41には、被加工材
の反りまたは歪みに対抗するための押圧機構85
を備えている。
This double nozzle is held in the casing 61 by a spring 73 via a washer 71 so that its horizontal position can be adjusted by a plurality of adjusting screws 69. This double nozzle, which is vertically slidably held in a sleeve-like retaining member 59, is fitted with an annular adjusting nut 7 engaged with a screw 57.
5 so that its vertical position can be adjusted, and is supported by an annular member 79 having an opening 77. Further, the double nozzle and the sleeve-shaped holding member 59 are held by the pins 81 and 83 so as not to rotate, but can be moved in the vertical direction. Furthermore, the nozzle assembly 41 includes a pressing mechanism 85 for counteracting warpage or distortion of the workpiece.
It is equipped with

この押圧機構85は、キヤスターローラー89
とキヤスターローラーを固着する環状のキヤスタ
ーローラー保持部材87から成り、前記環状部材
79の下面にボルトによつて固定されている。
This pressing mechanism 85 includes a caster roller 89
and an annular caster roller holding member 87 for fixing the caster roller, and is fixed to the lower surface of the annular member 79 with bolts.

この環状のキヤスターローラー保持部材の内側
には、冷却剤を吸引排出する環状の排出用ノズル
91が設けられており、前記の外側ノズルから噴
出されて被加工材Wの上面に溜つた冷却剤を外側
ノズルをとり囲んだ環状の吸引口93から図示し
ない真空ポンプにより吸引排出する。またこのキ
ヤスターローラー保持部材には、前記の冷却材が
周囲に拡散しないようにするシールリング95が
取付けられており、このシールリング95は被加
工材Wの上面に当接している。前記内側ノズル本
体の内径の大径部分には、アシストガスの絞り作
用を行なうべくテーパ孔を形成した第1アシスト
ガスガイド部材97が内装されており、下方の小
径部分には同形状の第2アシストガスガイド部材
99が内装されている。第3図より明らかなよう
に、第1アシストガスガイド部材97および第2
アシストガスガイド部材99の先端部は、内側ノ
ズル本体の内周面から離隔してあり、かつ各アシ
ストガスガイド部材97,99の先端側外周面と
内側ノズルの内周面との間には若干の空間部10
1,103がそれぞれ設けてある。
An annular discharge nozzle 91 for sucking and discharging the coolant is provided inside the annular caster roller holding member, and the coolant that is ejected from the outer nozzle and accumulated on the upper surface of the workpiece W is provided. is sucked and discharged from an annular suction port 93 surrounding the outer nozzle by a vacuum pump (not shown). Further, a seal ring 95 is attached to this caster roller holding member to prevent the coolant from spreading to the surroundings, and this seal ring 95 is in contact with the upper surface of the workpiece W. A first assist gas guide member 97 having a tapered hole is installed in the large inner diameter portion of the inner nozzle body to throttle the assist gas, and a second assist gas guide member 97 of the same shape is installed in the lower small diameter portion. An assist gas guide member 99 is installed inside. As is clear from FIG. 3, the first assist gas guide member 97 and the second assist gas guide member 97
The tip of the assist gas guide member 99 is spaced apart from the inner circumferential surface of the inner nozzle body, and there is a slight gap between the outer circumferential surface of the tip side of each assist gas guide member 97, 99 and the inner circumferential surface of the inner nozzle. space 10 of
1,103 are provided respectively.

以上のごとき説明より理解されるように、要す
るに本発明は、アシストガスの絞り作用を行なう
べくテーパ孔を形成したアシストガスガイド部材
を内側ノズル内に設け、このアシストガスガイド
部材の先端部を内側ノズルの内面から離隔して設
けると共に、アシストガスガイド部材の先端側外
周面と内側ノズルの内周面との間に空間部を形成
してなるものであるから、アシストガスがアシス
トガスガイド部材のテーパ孔を通過するとき、次
第に増速されることとなる。そして、アシストガ
スガイド部材の先端部からアシストガスが噴出し
たとき、アシストガス流の一部に前記空間部側へ
流れる乱流を生じる。
As can be understood from the above explanation, in short, the present invention provides an assist gas guide member with a tapered hole formed in the inner nozzle to perform a throttling action on the assist gas, and the tip of the assist gas guide member is inserted into the inner nozzle. Since the assist gas guide member is provided at a distance from the inner surface of the nozzle and a space is formed between the outer circumferential surface of the tip side of the assist gas guide member and the inner circumferential surface of the inner nozzle, the assist gas flows through the assist gas guide member. When passing through the tapered hole, the speed will be gradually increased. When the assist gas is ejected from the tip of the assist gas guide member, a turbulent flow is generated in a part of the assist gas flow toward the space side.

したがつて、内側ノズルからアシストガスを被
加工材へ噴射するとき、冷却水やスパツタが噴き
上げられて集光レンズに付着する傾向にあると
き、冷却水やスパツタはアシストガス流に対して
逆流することとなるので、アシストガスガイドの
先端部における1部の乱流に巻き込まれて空間部
側へ流されたり、テーパ孔による増速作用によつ
て噴き戻されることとなり、冷却水やスパツタが
集光レンズへ付着することを効果的に防止できる
ものである。
Therefore, when the assist gas is injected from the inner nozzle onto the workpiece, the cooling water and spatter tend to be blown up and adhere to the condenser lens, and the cooling water and spatter flow against the flow of the assist gas. As a result, the cooling water and spatter may be caught in the turbulent flow at the tip of the assist gas guide and flowed toward the space, or may be blown back by the speed-increasing action of the tapered hole, causing the cooling water and spatter to collect. This can effectively prevent adhesion to optical lenses.

なお本発明は上述の実施例にのみ限定されるべ
きではなく適宜の設計変更を行なうことによつて
他の実施態様でもつて実施できるものである。
It should be noted that the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but can be implemented in other embodiments by making appropriate design changes.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明に係るレーザー加工装置の側
面図である。第2図は第1図のレーザー加工装置
の平面図である。第3図は第1図及び第2図にお
けるレーザー加工機のノズルアセンブリの拡大断
面図である。 (図面の主要な部分を表わす符号の説明)、9
7,99……アシストガスガイド、101,10
3……空間部。
FIG. 1 is a side view of a laser processing apparatus according to the present invention. 2 is a plan view of the laser processing apparatus shown in FIG. 1. FIG. FIG. 3 is an enlarged sectional view of the nozzle assembly of the laser processing machine in FIGS. 1 and 2. FIG. (Explanation of symbols representing main parts of drawings), 9
7,99...assist gas guide, 101,10
3...Space part.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 被加工材Wへアシストガスを噴出すると共に
レーザー光線を照射するための内側ノズル49,
51を囲繞して前記被加工材Wへ冷却媒体を噴出
する外側ノズル53を設け、この外側ノズル53
の周囲に、被加工材Wへ噴射された冷却媒体を吸
引する吸引口93を設けてなるレーザー加工装置
において、前記内側ノズル内に、アシストガスの
絞り作用を行なうべくテーパ孔を形成したアシス
トガスガイド部材97,99を設け、このアシス
トガスガイド部材の先端部を内側ノズルの内面か
ら離隔して設けると共にアシストガスガイド部材
の先端側外周面と内側ノズルの内周面との間に空
間部101,103を形成してなることを特徴と
するレーザー加工装置。
1 an inner nozzle 49 for ejecting assist gas and irradiating a laser beam onto the workpiece W;
51 and is provided with an outer nozzle 53 for spouting a cooling medium to the workpiece W, and this outer nozzle 53
In the laser processing apparatus, a suction port 93 is provided around the inside nozzle for sucking the cooling medium injected to the workpiece W, and a tapered hole is formed in the inner nozzle to perform a throttling action on the assist gas. Guide members 97 and 99 are provided, and the tips of the assist gas guide members are spaced apart from the inner surface of the inner nozzle, and a space 101 is provided between the outer circumferential surface of the tip side of the assist gas guide member and the inner circumferential surface of the inner nozzle. , 103.
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