JPH03231388A - 光走査読取装置 - Google Patents
光走査読取装置Info
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- JPH03231388A JPH03231388A JP2027990A JP2799090A JPH03231388A JP H03231388 A JPH03231388 A JP H03231388A JP 2027990 A JP2027990 A JP 2027990A JP 2799090 A JP2799090 A JP 2799090A JP H03231388 A JPH03231388 A JP H03231388A
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Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は光走査読取装置に関する。
[従来の技術]
光源からのレーザー光束をホログラムスキャナーにより
偏向させて被走査体を走査し、被走査体による反射光束
を上記ホログラムスキャナーのホログラムディスクを介
して受光部へ導き被走査体上の情報を読取る装置は、バ
ーコード読取装置等に関連して良く知られている。
偏向させて被走査体を走査し、被走査体による反射光束
を上記ホログラムスキャナーのホログラムディスクを介
して受光部へ導き被走査体上の情報を読取る装置は、バ
ーコード読取装置等に関連して良く知られている。
[発明が解決しようとする課題]
このような光走査読取装置には反射−1次光による問題
があった。
があった。
第4図を参照すると、符号1はホログラムディスク、符
号2はモーターを示している。これらはホログラムスキ
ャナーを構成している。
号2はモーターを示している。これらはホログラムスキ
ャナーを構成している。
ホログラムディスク1にはホログラムによる回折格子が
2光束等角干渉ホログラムとして形成されており、これ
にレーザー光束りを入射させると回折光L1と弱い反射
−1次光L2が発生する。これら回折光L1、反射−1
次光L2はモーター2によりホロダラムディスク1を回
転させると偏向する。
2光束等角干渉ホログラムとして形成されており、これ
にレーザー光束りを入射させると回折光L1と弱い反射
−1次光L2が発生する。これら回折光L1、反射−1
次光L2はモーター2によりホロダラムディスク1を回
転させると偏向する。
回折光L□は被走査体を走査し、被走査体による反射光
束は回折光L1の光路を逆進してホログラムディスクに
入射すると入射レーザー光束りと同方向で逆向きに回折
され、レーザー光束りの光路を途中まで逆に進み、途中
から分離されて受光部へ向かう。
束は回折光L1の光路を逆進してホログラムディスクに
入射すると入射レーザー光束りと同方向で逆向きに回折
され、レーザー光束りの光路を途中まで逆に進み、途中
から分離されて受光部へ向かう。
レーザー光束りのホログラムディスク1への入射角は、
一般に回折効率を最大にして強度の強い偏向光束を得る
ためにブラック条件を満足するブラック角θ1に設定さ
れる。するとこのとき回折光L1の回折角もθ、となる
。
一般に回折効率を最大にして強度の強い偏向光束を得る
ためにブラック条件を満足するブラック角θ1に設定さ
れる。するとこのとき回折光L1の回折角もθ、となる
。
また反射−1次光L2の方向はホログラムに関して回折
光L2と対称的になる。このため反射−1次光L2はホ
ログラムディスク1の回転に伴い周期的に被走査体から
の反射光束の方向と合致して入射レーザー光束りの光路
を逆進し、受光部に入射して読取信号に対してノイズ成
分として作用し読取信号のS/N比を低下させる原因と
なるのである。
光L2と対称的になる。このため反射−1次光L2はホ
ログラムディスク1の回転に伴い周期的に被走査体から
の反射光束の方向と合致して入射レーザー光束りの光路
を逆進し、受光部に入射して読取信号に対してノイズ成
分として作用し読取信号のS/N比を低下させる原因と
なるのである。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、
その目的とするところは反射−1次光によるノイズ成分
を除去し、高S/N比で情報読取を行い得る新規な光走
査読取装置の提供にある。
その目的とするところは反射−1次光によるノイズ成分
を除去し、高S/N比で情報読取を行い得る新規な光走
査読取装置の提供にある。
[課題を解決するための手段]
以下、本発明を説明する。
本発明の光走査読取装置は「光源からのレーザー光束を
ホログラムスキャナ二により偏向させて被走査体を走査
し、被走査体による反射光束を上記ホログラムスキャナ
ーのホログラムディスクを介して受光部へ導き被走査体
上の情報を読取る」装置であって、以下の点を特徴とす
る。
ホログラムスキャナ二により偏向させて被走査体を走査
し、被走査体による反射光束を上記ホログラムスキャナ
ーのホログラムディスクを介して受光部へ導き被走査体
上の情報を読取る」装置であって、以下の点を特徴とす
る。
即ち第1に、ホログラムディスクのホログラムとして「
2光束等角干渉により作製されたマスターホログラムか
ら転写され、ホログラム格子にαの倒れ角を与えられた
レプリカホログラム」を用いる。
2光束等角干渉により作製されたマスターホログラムか
ら転写され、ホログラム格子にαの倒れ角を与えられた
レプリカホログラム」を用いる。
第2に、ホログラムディスクのホログラムへの入射角を
「マスターホログラムに於けるブラック角からαだけず
らす」ことにより、入射レーザー光束の入射方向と反射
−1次光の方向とを2αだけずらし、反射−1次光が受
光部へ戻らないように構成する。
「マスターホログラムに於けるブラック角からαだけず
らす」ことにより、入射レーザー光束の入射方向と反射
−1次光の方向とを2αだけずらし、反射−1次光が受
光部へ戻らないように構成する。
[作 用コ
周知の如く、2光束等角干渉により作製されたホログラ
ム格子に入射角γで波長λのレーザー光束を入射させた
場合に得られる回折光の回折角δは上記入射角子ととも
に sinγ+sinδ=λ/d (1)なる関係
を満足する。ここにdはホログラム格子のピッチである
。
ム格子に入射角γで波長λのレーザー光束を入射させた
場合に得られる回折光の回折角δは上記入射角子ととも
に sinγ+sinδ=λ/d (1)なる関係
を満足する。ここにdはホログラム格子のピッチである
。
ブラック角θは、上記(1)式に於いて入射角と回折角
とが等しくなる場合の角、即ち θ=γ=δ を満足する角として与えられる。即ちブラック角θに対
して上記(1)式はブラック条件sinθ=λバ2d)
(2)を与える。
とが等しくなる場合の角、即ち θ=γ=δ を満足する角として与えられる。即ちブラック角θに対
して上記(1)式はブラック条件sinθ=λバ2d)
(2)を与える。
また前述したように反射−1次光は常にホログラムに対
して回折光と対称的に発生する。従って、γ≠δなる条
件に於いてはレーザー光束の入射方向と反射−1次光の
方向にずれが生ずることになり、この方向のずれを利用
して反射−1次光が受光部へ到達しないようにすること
が可能である。
して回折光と対称的に発生する。従って、γ≠δなる条
件に於いてはレーザー光束の入射方向と反射−1次光の
方向にずれが生ずることになり、この方向のずれを利用
して反射−1次光が受光部へ到達しないようにすること
が可能である。
但し、レーザー光束のホログラムディスクへの入射角を
ブラック角からずらすと一般には回折効率の低下を生じ
て被走査体を走査する光束の強度が低下するので矢張り
読取信号のS/N比が低下してしまう。
ブラック角からずらすと一般には回折効率の低下を生じ
て被走査体を走査する光束の強度が低下するので矢張り
読取信号のS/N比が低下してしまう。
そこで本発明では、レーザー光束の入射角をブラック角
θからαだけずらして反射−1次光の方向をレーザー光
束の入射方向から分離するとともに、ホログラムディス
クに用いるレプリカホログラムのホログラム格子の倒れ
角を利用して回折効率の低下を防ぐのである。
θからαだけずらして反射−1次光の方向をレーザー光
束の入射方向から分離するとともに、ホログラムディス
クに用いるレプリカホログラムのホログラム格子の倒れ
角を利用して回折効率の低下を防ぐのである。
第1図(A)は倒れ角αのホログラム格子を有するレプ
リカホログラムを示している。符号IAはアクリル基板
を示し、符号IBはアクリル基板IAに紫外線硬化樹脂
により形成されたホログラム格子を示している。ホログ
ラム格子は紫外線硬化樹脂の表面の凹凸により表面レリ
ーフ格子として形成されているがこの凹凸の凸部の突出
する方向とアクリル基板IAの法線とのなす角が倒れ角
である。
リカホログラムを示している。符号IAはアクリル基板
を示し、符号IBはアクリル基板IAに紫外線硬化樹脂
により形成されたホログラム格子を示している。ホログ
ラム格子は紫外線硬化樹脂の表面の凹凸により表面レリ
ーフ格子として形成されているがこの凹凸の凸部の突出
する方向とアクリル基板IAの法線とのなす角が倒れ角
である。
レプリカホログラムはマスターホログラムを転写するこ
とにより作製される。このレプリカホログラムの作製に
就いて簡単に説明する。
とにより作製される。このレプリカホログラムの作製に
就いて簡単に説明する。
ガラス等の基板の上にフォトレジストを塗布し、2光束
を等角度で入射させて互いに干渉させて露光を行ったの
ち現像を行うとフォトレジスト層の凹凸により2光束等
角干渉によるホログラム格子をもったホログラム原盤が
得られる。
を等角度で入射させて互いに干渉させて露光を行ったの
ち現像を行うとフォトレジスト層の凹凸により2光束等
角干渉によるホログラム格子をもったホログラム原盤が
得られる。
このホログラム原盤にNiスパッターによりNiの導電
性被膜を形成する。この導電性被膜を電極としてNi電
鋳を行いNi層を略0.3mmの厚さに形成し、このN
i層をホログラム原盤から剥がす。その後N1層を洗浄
してフォトレジストを落すとNi層にはホログラム原盤
に於ける凹凸が転写されている。このように凹凸を転写
されたNi層を、強度補強のための金属基板、例えばア
ルミ基板に接着する。かくしてマスターホログラムが得
られる。
性被膜を形成する。この導電性被膜を電極としてNi電
鋳を行いNi層を略0.3mmの厚さに形成し、このN
i層をホログラム原盤から剥がす。その後N1層を洗浄
してフォトレジストを落すとNi層にはホログラム原盤
に於ける凹凸が転写されている。このように凹凸を転写
されたNi層を、強度補強のための金属基板、例えばア
ルミ基板に接着する。かくしてマスターホログラムが得
られる。
第1図(B)で符号2はマスターホログラムを示してい
る。符号2Aは金属基板、符号2Bは転写により表面レ
リーフ格子として形成されたNi層によるホログラム格
子を示す。このホログラム格子2Bに於いては倒れ角は
0である。
る。符号2Aは金属基板、符号2Bは転写により表面レ
リーフ格子として形成されたNi層によるホログラム格
子を示す。このホログラム格子2Bに於いては倒れ角は
0である。
マスターホログラム上に紫外線硬化樹脂を滴下し、プレ
コート剤を塗布したアクリル基板で挟み込む。しかるの
ちに紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化せしめと紫
外線硬化樹脂にマスターホログラム2のホログラム格子
が表面レリーフ格子として転写される。
コート剤を塗布したアクリル基板で挟み込む。しかるの
ちに紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化せしめと紫
外線硬化樹脂にマスターホログラム2のホログラム格子
が表面レリーフ格子として転写される。
続いて第1図(B)に示すように、ホログラム格子IB
を形成された紫外線硬化樹脂とアクリル基板IAとを一
体としてマスターホログラム2から引き剥がすとレプリ
カホログラムが得られる。
を形成された紫外線硬化樹脂とアクリル基板IAとを一
体としてマスターホログラム2から引き剥がすとレプリ
カホログラムが得られる。
レプリカホログラムをマスターホログラム2から剥離さ
せる際、レプリカホログラムはマスターホログラムに対
して傾くことになる。このときマスターホログラムとレ
プリカホログラムに於ける表面レリーフ格子は剥離され
るまでは互いに凹凸が嵌り合でいるため剥離されるレプ
リカホログラムがマスターホログラムに対して傾く部分
で互いの凹凸が凹凸配列方向に力を及ぼし合うことにな
る。紫外線硬化樹脂は硬化した状態に於いてもマスター
ホログラムの表面に比して柔らかいので、この力の作用
により凹凸配列方向へ変形し倒れ角βが形成される。
せる際、レプリカホログラムはマスターホログラムに対
して傾くことになる。このときマスターホログラムとレ
プリカホログラムに於ける表面レリーフ格子は剥離され
るまでは互いに凹凸が嵌り合でいるため剥離されるレプ
リカホログラムがマスターホログラムに対して傾く部分
で互いの凹凸が凹凸配列方向に力を及ぼし合うことにな
る。紫外線硬化樹脂は硬化した状態に於いてもマスター
ホログラムの表面に比して柔らかいので、この力の作用
により凹凸配列方向へ変形し倒れ角βが形成される。
この倒れ角βは以下にのべるようにレプリカホログラム
をマスターホログラムから剥離させる際の条件の調整に
より制御でき、実験によればβ〈15度の範囲で所望の
倒れ角を実現できた。
をマスターホログラムから剥離させる際の条件の調整に
より制御でき、実験によればβ〈15度の範囲で所望の
倒れ角を実現できた。
第1図(D)はマスターホログラム2からレプリカホロ
グラム10を剥離させる装置を示している。
グラム10を剥離させる装置を示している。
マスターホログラム2はステッピングモーターM1で回
転させる。一方、ステッピングモーターM2によりネジ
棒3Aを回転させて抑え部材3Bを矢印方向へ移動させ
つつ、ステッピングモーターM3でネジ棒4Aを回転さ
せ剥離部材4Bを矢印方向へ移動させてレプリカホログ
ラム10に剥離力を作用させる。
転させる。一方、ステッピングモーターM2によりネジ
棒3Aを回転させて抑え部材3Bを矢印方向へ移動させ
つつ、ステッピングモーターM3でネジ棒4Aを回転さ
せ剥離部材4Bを矢印方向へ移動させてレプリカホログ
ラム10に剥離力を作用させる。
このようにして剥離を行う際、レプリカホログラム10
における「倒れ角」を制御する要因としては抑え部材3
Bの移動速度と剥離部材4Bの移動速度とマスターホロ
グラムの回転速度とがあり、これらを調整して倒れ角を
制御することができる。
における「倒れ角」を制御する要因としては抑え部材3
Bの移動速度と剥離部材4Bの移動速度とマスターホロ
グラムの回転速度とがあり、これらを調整して倒れ角を
制御することができる。
第1図(E)に示すように剥離されつつあるレプリカホ
ログラム10の剥離部近傍のホログラム表面とマスター
ホログラム2の表面とのなす角Xを剥離角と称する。剥
離角は抑え部材3Bと剥離部材4Bの移動速度により定
まり、倒れ角制御に大きな影響を与える。また抑え部材
3Bの移動速度を剥離速度と称する。
ログラム10の剥離部近傍のホログラム表面とマスター
ホログラム2の表面とのなす角Xを剥離角と称する。剥
離角は抑え部材3Bと剥離部材4Bの移動速度により定
まり、倒れ角制御に大きな影響を与える。また抑え部材
3Bの移動速度を剥離速度と称する。
さて、第1図(C)は倒れ角αを持つレプリカホログラ
ムのホログラム格子にレーザー光束りを入射させた状態
を示している。入射角を02、回折角を03とすると、
これら入射角・回折角は前述の式(1)を満足する。
ムのホログラム格子にレーザー光束りを入射させた状態
を示している。入射角を02、回折角を03とすると、
これら入射角・回折角は前述の式(1)を満足する。
倒れ角αがあると、ホログラム格子の実質的ピッチはマ
スターホログラムに於けるピッチdに対して、d−co
sα となるがαの大きさを5度程度の微小角に設定す
ればd−cosα勾dであり、ブラック角はマスターホ
ログラムにおけるブラック角θ。
スターホログラムに於けるピッチdに対して、d−co
sα となるがαの大きさを5度程度の微小角に設定す
ればd−cosα勾dであり、ブラック角はマスターホ
ログラムにおけるブラック角θ。
と実質的に同一である。倒れ角αの存在があるとブラッ
ク条件は、 ブラック角θ=(θ2−α)#(θ3+α)#θ。
ク条件は、 ブラック角θ=(θ2−α)#(θ3+α)#θ。
に対して成り立ち、このとき最大の回折効率が得られる
。
。
即ち、第3図に於いて曲線3−1をマスターホログラム
の回折効率とするとこれは入射角がブラック角O6であ
るとき最大値をとる。しかるにマスターホログラムから
転写されたレプリカホログラムが倒れ角αを有すると回
折効率は第3図の曲線3−2の如きものとなり回折効率
最大は入射角がθ。
の回折効率とするとこれは入射角がブラック角O6であ
るとき最大値をとる。しかるにマスターホログラムから
転写されたレプリカホログラムが倒れ角αを有すると回
折効率は第3図の曲線3−2の如きものとなり回折効率
最大は入射角がθ。
−αのときに最大となる。即ちマスターホログラムに於
けるブラック角O8から倒れ角αだけ入射角をずらすこ
とにより最大の回折効率で回折光を発生させることがで
きる。
けるブラック角O8から倒れ角αだけ入射角をずらすこ
とにより最大の回折効率で回折光を発生させることがで
きる。
レプリカホログラムのホログラム格子に対する入射角θ
2と回折角θ3が上記関係を満足すると、回折角と入射
角とは2αだけ異なることになる、反射−1次光は常に
回折光と対称に発生するから反射−1次光と被走査体か
らの戻り光束との間にも2αの方向ずれが生ずることに
なる。
2と回折角θ3が上記関係を満足すると、回折角と入射
角とは2αだけ異なることになる、反射−1次光は常に
回折光と対称に発生するから反射−1次光と被走査体か
らの戻り光束との間にも2αの方向ずれが生ずることに
なる。
このようにして入射光束と被走査体からの反射光束を分
離できる。
離できる。
[実施例コ
以下、具体的な実施例に即して説明する。
第2図に示す実施例は、光走査読取装置の1例であるバ
ーコード読取装置である。
ーコード読取装置である。
図示されないレーザー光源からのレーザー光束りは集束
性であってガラス板13の中央部に小さく蒸着された蒸
着ミラー14により反射され、さらにミラー15に反射
されたのち、モーター2で回転されるホログラムディス
ク100のホログラム格子に入射し回折光L1と反射−
1次光L2を発生する。ホログラムディスク100はそ
のホログラム格子がレプリカホログラム10(第1図参
照)で構成されたものであリホログラフ格子は倒れ角α
を有する。
性であってガラス板13の中央部に小さく蒸着された蒸
着ミラー14により反射され、さらにミラー15に反射
されたのち、モーター2で回転されるホログラムディス
ク100のホログラム格子に入射し回折光L1と反射−
1次光L2を発生する。ホログラムディスク100はそ
のホログラム格子がレプリカホログラム10(第1図参
照)で構成されたものであリホログラフ格子は倒れ角α
を有する。
回折光り、はミラー17に反射され、バーコードを有す
る被走査体30上に集光する。そしてホログラムディス
ク100の回転とともに回折光L1は偏向してバーコー
ドを走査する。
る被走査体30上に集光する。そしてホログラムディス
ク100の回転とともに回折光L1は偏向してバーコー
ドを走査する。
被走査体30からの反射光束はミラー17により反射さ
れホログラムディスク100のホログラム格子により回
折される。この回折は入射レーザー光束りと同方向逆向
きに生じ、回折された光束はミラー15に反射され、さ
らにガラス板13を透過して集光レンズ19により受光
素子21上に集光される。かくしてバーコードの情報は
電気信号に変換されて読取られる。
れホログラムディスク100のホログラム格子により回
折される。この回折は入射レーザー光束りと同方向逆向
きに生じ、回折された光束はミラー15に反射され、さ
らにガラス板13を透過して集光レンズ19により受光
素子21上に集光される。かくしてバーコードの情報は
電気信号に変換されて読取られる。
さてホログラムディスクのレプリカホログラムは、使用
レーザー光束に対しブラック角が35度であるようなマ
スターホログラムから転写され、その倒れ角αは5度に
設定された。
レーザー光束に対しブラック角が35度であるようなマ
スターホログラムから転写され、その倒れ角αは5度に
設定された。
このような倒れ角を実現するためレプリカホログラムの
剥離条件として、第1図(D)に示す如き剥離装置を用
い、剥離角:8度、剥離速度:0.55mm/sec、
マスターホログラムの回転速度:4度/secに設定し
て、所望の結果を得た。
剥離条件として、第1図(D)に示す如き剥離装置を用
い、剥離角:8度、剥離速度:0.55mm/sec、
マスターホログラムの回転速度:4度/secに設定し
て、所望の結果を得た。
このようなレプリカホログラムのホログラム格子を持つ
ホログラムディスク100に対し、レーザー光束りの入
射角を30度に設定した。その結果、回折光り、の回折
角は略40度となり、入射レーザー光束りと反射−1次
光L2との間に10度のずれが生じた。従ってミラー1
50大きさと配設位置を調整して反射−1次光L2がミ
ラー15に入射しないようにすることができ、反射−1
次光が受光部に入射するのを防止することができた。
ホログラムディスク100に対し、レーザー光束りの入
射角を30度に設定した。その結果、回折光り、の回折
角は略40度となり、入射レーザー光束りと反射−1次
光L2との間に10度のずれが生じた。従ってミラー1
50大きさと配設位置を調整して反射−1次光L2がミ
ラー15に入射しないようにすることができ、反射−1
次光が受光部に入射するのを防止することができた。
また回折効率は最大であり、十分な光強度をもって被走
査体30の走査を行うことができた。
査体30の走査を行うことができた。
[発明の効果]
以上、本発明によれば新規な光走査読取装置を提供でき
る。
る。
この装置は上記の如き構成となっているから、ホログラ
ムディスクのホログラム格子による反射−1次光の影響
による読取信号のS/N比の低下を防止しつつ、しかも
ホログラム格子による最大の回折効率により十分な光強
度を持った光束で光走査を行うことが可能である。
ムディスクのホログラム格子による反射−1次光の影響
による読取信号のS/N比の低下を防止しつつ、しかも
ホログラム格子による最大の回折効率により十分な光強
度を持った光束で光走査を行うことが可能である。
第1図は本発明の特徴の一端をなす倒れ角を持つレプリ
カホログラムのホログラム格子を説明するだめの図、第
2図は本発明の1実施例を示す図、第3図は倒れ角と回
折効率の関係を説明するための図、第4図は発明の詳細
な説明するための図である。 IA、、、レプリカホログラムのアクリル基板、IB。 0.倒れ角を有するホログラム格子、200.マスター
ホログラム、L50.レーザー光束、L+、、、回折先
見 ? 因 墨 ■ /′7f−)4 図
カホログラムのホログラム格子を説明するだめの図、第
2図は本発明の1実施例を示す図、第3図は倒れ角と回
折効率の関係を説明するための図、第4図は発明の詳細
な説明するための図である。 IA、、、レプリカホログラムのアクリル基板、IB。 0.倒れ角を有するホログラム格子、200.マスター
ホログラム、L50.レーザー光束、L+、、、回折先
見 ? 因 墨 ■ /′7f−)4 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光源からのレーザー光束をホログラムスキャナーにより
偏向させて被走査体を走査し、被走査体による反射光束
を上記ホログラムスキャナーのホログラムディスクを介
して受光部へ導き被走査体上の情報を読取る装置であっ
て、 ホログラムディスクのホログラムとして、2光束等角干
渉により作製されたマスターホログラムから転写され、
ホログラム格子にαの倒れ角を与えられたレプリカホロ
グラムを用い、 ホログラムディスクのホログラムへの入射角をマスター
ホログラムに於けるブラック角からαだけずらすことに
より、入射レーザー光束の入射方向と反射−1次光の方
向とを2αだけずらし、反射−1次光が受光部へ戻らな
いように構成したことを特徴とする光走査読取装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2027990A JPH0614371B2 (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光走査読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2027990A JPH0614371B2 (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光走査読取装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03231388A true JPH03231388A (ja) | 1991-10-15 |
JPH0614371B2 JPH0614371B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=12236266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2027990A Expired - Lifetime JPH0614371B2 (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 光走査読取装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0614371B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010085722A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toppan Printing Co Ltd | 光学素子及びパターン形成方法 |
-
1990
- 1990-02-07 JP JP2027990A patent/JPH0614371B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010085722A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toppan Printing Co Ltd | 光学素子及びパターン形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0614371B2 (ja) | 1994-02-23 |
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