JPH03228292A - Gaas semiconductor storage - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 18
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 abstract 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 101150098533 SOST gene Proteins 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はガリウム砒素半導体記憶装置に関し、特にそ
のメモリセルの回路構成の改良に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a gallium arsenide semiconductor memory device, and particularly to improvements in the circuit configuration of its memory cells.
第2図は例えば1981年I E D M (Inte
rnationalElectron Device
Meeting)予稿集83ページ記載の従来のガリウ
ム砒素半導体記憶装置におけるメモリセルの回路構成図
である。Figure 2 shows, for example, the 1981 IEDM (Inte
rnationalElectron Device
FIG. 3 is a circuit configuration diagram of a memory cell in a conventional gallium arsenide semiconductor memory device described on page 83 of the preliminary collection.
図において、1及び2はノーマリオン型金属半導体電界
効果型トランジスタ(以下、金属−半導体電界効果トラ
ンジスタをMESFETと略記する)、3〜6はノーマ
リオフ型MESFETである。ノーマリオン型MESF
ETI並びにノーマリオフ型MESFET3は、ノーマ
リオン型MESFET1を負荷、ノーマリオフ型MES
FE73をドライバ、ノード9を入力ノード。ノード8
を出力ノードとする第1のE/Dインバータ回路を構成
し、ノーマリオン型MESFETIはそのドレインが電
源7に接続され、そのゲート及びソースが共通でノーマ
リオフ型MESFET3のドレイン8に接続されている
。またノーマリオフ型MESFET3は、そのゲートが
入力ノード9に接続され、ソースが接地されている。ま
た同様にノーマリオン型MESFE72並びにノーマリ
オフ型MESFET4は、/ −? T) オフ型ME
SFET2を負荷、ノーマリオフ型MESFET4をド
ライバ、ノード8を入力ノード。ノード9を出力ノード
とする第2のE/Dインバータ回路を構成し、ノーマリ
オン型MESFET2はそのドレインが電源7に接続さ
れ、そのゲート及びソースが共通でノーマリオフ型ME
SFET4のドレイン9に接続されている。またノーマ
リオフ型MEsFET4はそのゲートが入力ノード8に
接続され、ソースが接地されている。そして上記第1及
び第2のE/Dインバータ回路は、それぞれの入力と出
力とを交差接続されたフリップフロ21回路の構成とな
っている。さらにノード8及びノード9はデータの蓄え
られるストレージノードとなっている。ノーマリオフ型
MESFET5はトランファゲートで、ストレージノー
ド8とビット線10との間に接続され、そのゲートには
、ワード線12が入力するようになっている。同様にノ
ーマリオフ型MESFET6はトランファゲートで、ス
トレージノード9とビット線11との間に接続され、そ
のゲートには、ワード線12が入力する。In the figure, 1 and 2 are normally-on metal semiconductor field effect transistors (hereinafter, metal-semiconductor field effect transistors are abbreviated as MESFETs), and 3 to 6 are normally-off MESFETs. Normally-on type MESF
ETI and normally-off type MESFET3 load normally-on type MESFET1, and normally-off type MESFET1
FE73 is the driver and node 9 is the input node. node 8
The normally-on type MESFET I has its drain connected to the power supply 7, and its gate and source are commonly connected to the drain 8 of the normally-off type MESFET 3. Further, the normally-off type MESFET 3 has its gate connected to the input node 9 and its source grounded. Similarly, the normally-on type MESFET 72 and the normally-off type MESFET 4 are / -? T) Off type ME
SFET2 is the load, normally-off MESFET4 is the driver, and node 8 is the input node. A second E/D inverter circuit with node 9 as an output node is configured, and the normally-on type MESFET 2 has its drain connected to the power supply 7, and its gate and source are common and is a normally-off type MESFET.
It is connected to the drain 9 of SFET4. Further, the normally-off type MEsFET 4 has its gate connected to the input node 8 and its source grounded. The first and second E/D inverter circuits have a configuration of a flip-flow 21 circuit in which the input and output of each are cross-connected. Furthermore, nodes 8 and 9 serve as storage nodes where data is stored. The normally-off MESFET 5 is a transfer gate connected between the storage node 8 and the bit line 10, and the word line 12 is input to the gate. Similarly, normally-off MESFET 6 is a transfer gate connected between storage node 9 and bit line 11, and word line 12 is input to its gate.
次に動作について説明する。Next, the operation will be explained.
メモリセルが非選択状態のときワード線12はLowレ
ベルとなり、トランスファゲート5及び6は共に非導通
状態となるため、メモリセルはビット線10及び11か
ら切り離される。このとき以下のような機構によってメ
モリセルにはHigh、Low対のデータが保持される
。When the memory cell is in a non-selected state, the word line 12 is at a low level, and the transfer gates 5 and 6 are both non-conductive, so that the memory cell is separated from the bit lines 10 and 11. At this time, high and low pairs of data are held in the memory cell by the following mechanism.
第3図は上記第1あるいは第2のE/Dインバータの伝
達特性を示す図であり、図中実線17は上記インバータ
の伝達特性で、破線18は実線17をy=xに関して対
称に折り返した曲線である。FIG. 3 is a diagram showing the transfer characteristics of the first or second E/D inverter, in which the solid line 17 is the transfer characteristic of the inverter, and the broken line 18 is the solid line 17 folded back symmetrically with respect to y=x. It is a curve.
入力がLowレベルのときドライバFETが非導通状態
となるため出力は負荷FETによってHighレベルに
引き上げられる。ここで仮に電源7の電位を1.5vと
すると出力のHighレベルは1.5Vまで引き上げら
れようとするが、実際には出力がもう一方のインバータ
のゲートに入力するためドライバFETのゲート・ソー
ス間に形成される寄生ショットキダイオードの存在によ
ってショットキバリア高さΦB程度でクランプされ、通
常この値は0.6V程度となる。次にインバータへの入
力レベルが上昇してドライブFETのしきい値電圧を越
えるとドライバFETが導通し、通常ドライバFETの
電流駆動能力は負荷FETの電流駆動能力よりも数倍以
上大きく設定されるため、出力レベルは急速にLowレ
ベルに低下する。インバータへの入力レベルがさらに上
昇すると、今度はドライバFETのゲート・ドレイン間
に形成される寄生ショットキダイオードの存在によって
出力レベルが徐々に引き上げられる。このようにしてメ
モリセルの非選択時における上記第1あるいは第2のE
/Dインバータの伝達特性は図の実線17のようになる
。さらに上記第1及び第2のE/Dインバータは入力と
出力とが互いに交差接続されるため、非選択状態におけ
るストレージノード8及び9の電位は実線17と破線1
8の交点A及びBで決定される。すなわちストレージノ
ード8,9にはHigh、Low1対のデータが保持さ
れる。Since the driver FET becomes non-conductive when the input is at a low level, the output is pulled up to a high level by the load FET. Here, if the potential of the power supply 7 is set to 1.5V, the high level of the output is about to be raised to 1.5V, but in reality, the output is input to the gate of the other inverter, so the gate and source of the driver FET Due to the presence of a parasitic Schottky diode formed between them, the Schottky barrier height is clamped at approximately ΦB, and this value is normally approximately 0.6V. Next, when the input level to the inverter rises and exceeds the threshold voltage of the drive FET, the driver FET becomes conductive, and the current drive capacity of the driver FET is usually set to be several times larger than the current drive capacity of the load FET. Therefore, the output level rapidly decreases to Low level. When the input level to the inverter further increases, the output level is gradually raised due to the presence of a parasitic Schottky diode formed between the gate and drain of the driver FET. In this way, the first or second E when the memory cell is not selected is
The transfer characteristic of the /D inverter is as shown by the solid line 17 in the figure. Furthermore, since the inputs and outputs of the first and second E/D inverters are cross-connected to each other, the potentials of the storage nodes 8 and 9 in the non-selected state are the solid line 17 and the broken line 1.
It is determined by the intersection points A and B of 8. That is, the storage nodes 8 and 9 hold one pair of high and low data.
次にメモリセルが選択状態になると、読出し時において
はワード線12が)Iighレベルとなり、トランスフ
ァゲート5及び6が導通して保持されていたデータがビ
ット線10及び11に読出される。これらビット線に読
出されたデータはさらに後段の回路で増幅され外部へ出
力される。またメモリセルへのデータの書込みはワード
線12をH1ghレベルとしてメモリセルを選択状態に
して、さらにビット線lO及び11を書込み回路によっ
て強く一方をHighレベルに、他方をLowレベルに
することによってビット線のデータをメモリセルのスト
レージノードへ書込む。Next, when the memory cell is brought into a selected state, the word line 12 becomes high level during reading, the transfer gates 5 and 6 are made conductive, and the held data is read onto the bit lines 10 and 11. The data read onto these bit lines is further amplified by a subsequent circuit and output to the outside. To write data to a memory cell, the word line 12 is set to H1gh level to put the memory cell in a selected state, and the bit lines 10 and 11 are strongly set to High level and the other to Low level by the write circuit. Write the data on the line to the storage node of the memory cell.
従来のガリウム砒素半導体記憶装置におけるメモリセル
は以上のように構成されているため、メモリセルに保持
されるデータのHighレベルがドライバFET3ある
いは4のゲート・ソース間のショットキバリア高さで制
限され、0.6V程度になってしまう。このためメモリ
セルが保持するデータの電圧振幅が小さく、以下に説明
するように、α線の入射によるソフトエラーを起こし易
いという問題点があった。Since the memory cell in the conventional gallium arsenide semiconductor memory device is configured as described above, the high level of data held in the memory cell is limited by the height of the Schottky barrier between the gate and source of the driver FET 3 or 4. The voltage will be about 0.6V. For this reason, the voltage amplitude of the data held by the memory cell is small, and as will be explained below, there is a problem in that soft errors are likely to occur due to the incidence of alpha rays.
すなわち、一般にME S F ETはガリウム砒素半
導体基板上に不純物を混入した活性領域を有するが、こ
の活性領域が高電位になっている場合、α線の入射によ
って基板内に生成された電子はこの高電位の活性領域へ
収集される。従ってメモリセルのHigh側のストレー
ジノード電位が低下する。この低下量は通常0.6Vを
上回る値となり、従ってHigh側のストレージノード
へのα線の入射によってHigh側のストレージノード
の電位がLow側のストレージノードの電位より低下し
てデータの反転が起こる。これは次の書込みまで回復不
可能なものとなる。In other words, MESFETs generally have an active region doped with impurities on a gallium arsenide semiconductor substrate, but when this active region is at a high potential, electrons generated in the substrate by the incidence of α rays are absorbed by this active region. collected into the active area at high potential. Therefore, the high-side storage node potential of the memory cell decreases. The amount of this decrease is usually more than 0.6V, and therefore, due to the incidence of α rays on the High side storage node, the potential of the High side storage node decreases from the potential of the Low side storage node, causing data inversion. . This becomes unrecoverable until the next write.
そこでα線の入射に対してメモリセルの耐性を高めデー
タが反転する確率を低減するために第4図に示すように
ストレージノード8及び9とGNDとの間にショットキ
ダイオード13及び14を順方向に挿入することにより
ストレージノード8及び9の容量を高める方法が考えら
れる。すなわちストレージノードの容量を高めることに
よって同じ電荷収集量に対する電位の変化量が低減され
ソフトエラー発生率が低減される。しかし、この方法で
は次のような問題点がある。Therefore, in order to increase the resistance of the memory cell to the incidence of α rays and reduce the probability of data inversion, Schottky diodes 13 and 14 are connected between storage nodes 8 and 9 and GND in the forward direction, as shown in FIG. One possible method is to increase the capacity of the storage nodes 8 and 9 by inserting them into the storage nodes 8 and 9. That is, by increasing the capacitance of the storage node, the amount of change in potential for the same amount of charge collection is reduced, and the soft error occurrence rate is reduced. However, this method has the following problems.
まず、例えば第4図においてノード8にH1ghレベル
、ノード9にLowレベルのデータが保持されていると
すると、High側のストレージノード8とGNDとの
間にはドライバFET4のゲート・ソース間に形成され
る寄生ショットキダイオードの他に、上記付加したショ
ットキダイオード14が並列に接続されることとなり、
ノード8に対するショットキダイオードのショットキ電
流が増加してノード8の電位が低下する。特にメモリセ
ルにおいては低消費電力化のために負荷のノーマリオン
型MESFETI及び2の電流供給能力を極力低減して
いるためにノード8とGNDとの間に接続されるショッ
トキダイオードの実質的な面積の増加によるノード8の
電位の低下が著しい。そしてHigh側のノード8の電
位が低下するとメモリセルに保持されるデータの電圧振
幅が低下するため、ダイオード付加によるソフトエラー
発生率低減の効果が向上しないだけでなく、ノイズマー
ジンも低下してしまう。First, for example, in FIG. 4, if node 8 holds data at H1gh level and node 9 holds data at low level, there is a connection between the gate and source of driver FET 4 between storage node 8 on the High side and GND. In addition to the parasitic Schottky diode, the added Schottky diode 14 is connected in parallel.
The Schottky current of the Schottky diode to node 8 increases, and the potential of node 8 decreases. In particular, in memory cells, the current supply capacity of normally-on type MESFET I and 2 of the load is reduced as much as possible in order to reduce power consumption, so the substantial area of the Schottky diode connected between node 8 and GND is The potential of node 8 decreases significantly due to the increase in . When the potential of node 8 on the High side decreases, the voltage amplitude of the data held in the memory cell decreases, which not only does not improve the effect of reducing the soft error rate by adding a diode, but also reduces the noise margin. .
このように従来のメモリセルではα線によるソフトエラ
ーが起こり易く、また第4図のような容量付加を行って
も、データの電圧振幅が低下して効果が向上しないだけ
でなく、ノイズマージンも低下するという問題点があっ
た。In this way, conventional memory cells are prone to soft errors caused by α rays, and even if capacitance is added as shown in Figure 4, not only will the data voltage amplitude decrease and the effect will not improve, but the noise margin will also decrease. There was a problem with the decline.
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たものでメモリセルに保持されるデータの電圧振幅を低
下させることなくストレージノードへの容量付加を行い
、ソフトエラー耐性の高いメモリセルを有するガリウム
砒素半導体装置を得ることを目的とする。This invention was made to solve the above-mentioned problems, and it adds capacity to the storage node without reducing the voltage amplitude of data held in the memory cell, thereby making the memory cell highly resistant to soft errors. An object of the present invention is to obtain a gallium arsenide semiconductor device having the following properties.
この発明に係るガリウム砒素半導体記憶装置は、メモリ
セル内部の各ストレージノードと、ドライバFETのソ
ースの電源よりも高い電位を有する中間ノードとの間に
、各ストレージノードをアノードとし、かつ上記中間ノ
ードをカソードとするショットキダイオードを接続し、
さらに上記中間ノードとドライバFETのソースの電源
との間に負荷素子を接続したものである。A gallium arsenide semiconductor memory device according to the present invention is provided between each storage node inside a memory cell and an intermediate node having a higher potential than the power source of the source of a driver FET, with each storage node serving as an anode; Connect a Schottky diode with the cathode of
Further, a load element is connected between the intermediate node and the source power source of the driver FET.
この発明においては、上記構成により、メモリセルに付
加するショットキダイオードのカソードの電位を、メモ
リセルのドライバFETのソースの電源よりも高くした
から、内部ノードの電圧の低下を殆ど伴うことなく、内
部ノードに容量を付加することができ、この結果、ノイ
ズマージンの低下を招くことなく、ソフトエラー耐性を
高めることができる。In this invention, with the above configuration, the potential of the cathode of the Schottky diode added to the memory cell is made higher than the power supply of the source of the driver FET of the memory cell. Capacitance can be added to the node, and as a result, soft error resistance can be increased without reducing noise margin.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例によるガリウム砒素半導体記
憶装置のメモリセルの回路構成図であり、第2図ないし
第4図と同一符号は同一または相当部分を示し、15は
ノーマリオンMESFETであり、第4図に示した回路
図のショットキダイオード13及び14のカソードを中
間ノード16に接続したもので、さらにノーマリオン型
MESFE715をそのドレインが中間ノード16に接
続され、そのゲート及びソースが接地されたものとなっ
ている。FIG. 1 is a circuit configuration diagram of a memory cell of a gallium arsenide semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention, in which the same reference numerals as in FIGS. 2 to 4 indicate the same or corresponding parts, and 15 is a normally-on MESFET. The cathodes of Schottky diodes 13 and 14 in the circuit diagram shown in FIG. It has become something that has been done.
次に動作について説明する。Next, the operation will be explained.
メモリセルが非選択状態のとき、ワード線12はLow
レベルであり、トランスファゲート5及び6が非導通状
態であるためメモリセルのストレージノードはビット線
から電気的に切り離される。When the memory cell is in an unselected state, the word line 12 is low.
Since the transfer gates 5 and 6 are in a non-conductive state, the storage node of the memory cell is electrically disconnected from the bit line.
このときメモリセルのストレージノードには、従来例の
場合と全く同様の原理で)Iigh、Low1対のデー
タが保持される。仮にノード8にHighレベル、ノー
ド9にLowレベルのデータが蓄えられているとすると
、従来例においてはノード8からショットキダイオード
14を経てGNDへ流れる電流のためにノード8のスト
レージ電位の低下が起こっていたが、本発明においては
ノード16が直接GNDとはならず、GNDとの間に負
荷素子15が接続されているためGNDより高い電位を
有し、このためにノード8の電位の低下が防止される。At this time, the storage node of the memory cell holds one pair of data (high and low) based on exactly the same principle as in the conventional example. Assuming that high level data is stored in node 8 and low level data in node 9, in the conventional example, the storage potential of node 8 decreases due to the current flowing from node 8 to GND via Schottky diode 14. However, in the present invention, the node 16 is not directly connected to GND, but has a higher potential than GND because the load element 15 is connected between it and GND, and therefore the potential of node 8 decreases. Prevented.
すなわち、通常ショットキダイオードはショットキバリ
ア高さの程度のバイアス条件においては、バイアス電圧
に対し指数関数的に電流が増加する性質を有するため、
電流の増加率が高く、従って中間ノード16の電位の上
昇によりショットキダイオード14を流れる電流は急速
に減少する。ノード8のHighレベルを決定するのは
ショットキダイオード14を通じて流れる電流とドライ
バFET4のゲートを通じてGNDへ流れる電流の2つ
によるものであるが、中間ノード16の電位を上昇させ
ることによりショットキダイオード14を流れる電流を
、ドライバFET4のゲートを通じて流れる電流以下に
抑えれば、ショットキダイオード14の付加によるノー
ド8の電位の低下を小さく抑えることができる。ノード
16の電位の調節は、負荷のノーマリオン型MESFE
715の電流駆動力を、例えばサイズの変更等で変化さ
せることによって、これを行うことができる。ただし、
ショットキダイオードによって付加される容量値はアノ
ード・カソード間のバイアス電圧が大きいほど大きいた
めストレージノードの電圧振幅と付加される容量値との
両面から中間ノード16の電位の最適値を選ぶ必要があ
る。In other words, normally a Schottky diode has a property that the current increases exponentially with respect to the bias voltage under bias conditions of the Schottky barrier height.
The rate of increase in current is high, and therefore the current flowing through Schottky diode 14 decreases rapidly as the potential at intermediate node 16 increases. The High level of the node 8 is determined by two factors: the current flowing through the Schottky diode 14 and the current flowing to GND through the gate of the driver FET 4. By increasing the potential of the intermediate node 16, the current flowing through the Schottky diode 14 By suppressing the current below the current flowing through the gate of the driver FET 4, the drop in the potential of the node 8 due to the addition of the Schottky diode 14 can be suppressed to a small level. The potential of node 16 is adjusted by the normally-on type MESFE of the load.
This can be done by changing the current driving force of 715, for example by changing its size. however,
Since the capacitance value added by the Schottky diode increases as the bias voltage between the anode and the cathode increases, it is necessary to select the optimum value of the potential of the intermediate node 16 from both the voltage amplitude of the storage node and the capacitance value added.
なお、書き込み及び読み出し動作についても従来例と全
く同様である。Note that write and read operations are also exactly the same as in the conventional example.
このように本実施例では、中間ノード16を介して負荷
FET15を接続することによって、中間ノード16の
電位をGNDレベルより高くすることができ、メモリセ
ルのストレージノードの電圧振幅を殆ど低下させること
なく容量の付加を行うことができ、従ってノイズマージ
ンを低下せずにα線に対するソフトエラー耐性を効率よ
く高めることができる。In this embodiment, by connecting the load FET 15 through the intermediate node 16, the potential of the intermediate node 16 can be made higher than the GND level, and the voltage amplitude of the storage node of the memory cell can be almost reduced. Therefore, the soft error resistance against α rays can be efficiently increased without reducing the noise margin.
なお、上記実施例ではメモリセルの負荷素子としてノー
マリオン型MESFETを用いた場合について説明した
が、これは他の負荷素子、例えば抵抗素子等でも良く同
様な効果を奏する。In the above embodiment, a normally-on MESFET is used as a load element of a memory cell, but other load elements such as a resistance element may be used, and similar effects can be obtained.
また、上記実施例では付加されたショットキダイオード
のカソードとGNDとの間に接続される負荷素子として
、ノーマリオン型MESFETを用いた場合について説
明したが、これは他の負荷素子、例えば抵抗素子等でも
良く同様の効果を奏する。Furthermore, in the above embodiment, a normally-on MESFET was used as the load element connected between the cathode of the added Schottky diode and GND. However, it produces the same effect.
〔発明の効果]
以上のようにこの発明に係るガリウム砒素半導体記憶装
置によれば、メモリセル内部の各ストレージノードと、
ドライバFETのソースの電源よりも高い電位を有する
中間ノードとの間に、各ストレージノードをアノードと
し、かつ上記中間ノードをカソードとするショットキダ
イオードを接続し、さらに上記中間ノードとドライバF
ETのソースの電源との間に負荷素子を接続したので、
メモリセルのデータの電圧振幅を殆ど低下させることな
く、ストレージノードに容量を付加することができ、こ
の結果、ノイズマージンを低下させることなく効率良く
α線に対するソストエラー耐性を高めることができると
いう効果がある。[Effects of the Invention] As described above, according to the gallium arsenide semiconductor memory device according to the present invention, each storage node inside the memory cell,
A Schottky diode having each storage node as an anode and the intermediate node as a cathode is connected between an intermediate node having a potential higher than the source power supply of the driver FET, and further between the intermediate node and the driver FET.
Since I connected a load element between the ET source power supply,
Capacitance can be added to the storage node without reducing the voltage amplitude of the data in the memory cell, and as a result, the sost error resistance against alpha rays can be efficiently increased without reducing the noise margin. be.
第1図は本発明の一実施例によるガリウム砒素半導体記
憶装置のメモリセルの回路構成図、第2図は従来のガリ
ウム砒素半導体記憶装置のメモリセルの回路構成図、第
3図は従来のガリウム砒素半導体記憶装置のメモリセル
におけるE/Dインバータの伝達特性を示す図、第4図
は従来のガリウム砒素半導体記憶装置のメモリセルにダ
イオード付加を行った場合の回路構成図である。
図中1.2及び15はノーマリオン型MESFET、3
〜6はノーマリオフ型MESFET、7は電源、8.9
はストレージノード、10.11はビット線、12はワ
ード線、13.14はショットキダイオード、16は中
間ノード、17はE/Dインバータの伝達特性、18は
17をy=xに関して対称にした曲線、A、Bは安定点
である。
なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。FIG. 1 is a circuit diagram of a memory cell of a gallium arsenide semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram of a memory cell of a conventional gallium arsenide semiconductor memory device, and FIG. 3 is a diagram of a conventional gallium arsenide semiconductor memory device. FIG. 4 is a diagram showing the transfer characteristics of an E/D inverter in a memory cell of an arsenic semiconductor memory device, and is a circuit configuration diagram when a diode is added to a memory cell of a conventional gallium arsenide semiconductor memory device. In the figure, 1.2 and 15 are normally-on MESFETs, 3
~6 is a normally-off MESFET, 7 is a power supply, 8.9
is a storage node, 10.11 is a bit line, 12 is a word line, 13.14 is a Schottky diode, 16 is an intermediate node, 17 is a transfer characteristic of an E/D inverter, and 18 is a curve made by making 17 symmetrical with respect to y=x. , A, and B are stable points. Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or equivalent parts.
Claims (1)
トを第1の入力ノード、ドレインを第1の出力ノードと
し、ソースが第1の電源に接続される第1のノーマリオ
フ型MESFETと、上記第1の出力ノードと第2の電
源との間に接続された第1の負荷素子とからなる第1の
インバータ回路と、 そのゲートを第2の入力ノード、ドレインを第2の出力
ノードとし、ソースが上記第1の電源に接続される第2
のノーマリオフ型MESFETと、上記第2の出力ノー
ドと上記第2の電源との間に接続された第2の負荷素子
とからなる第2のインバータ回路とを有し、 上記第1の入力ノードと上記第2の出力ノード及び上記
第1の出力ノードと上記第2の入力ノードがそれぞれ接
続されるフリップフロップ型のメモリセルを有するメモ
リ回路装置において、上記第1の出力ノードをアノード
とし、上記第1の中間ノードをカソードとする第1のシ
ョットキダイオードと、 上記第2の出力ノードをアノードとし上記第1の中間ノ
ードをカソードとする第2のショットキダイオードと、 上記第1の中間ノードと上記第1の電源との間に接続さ
れた第3の負荷素子とを備えたことを特徴とするガリウ
ム砒素半導体記憶装置。(1) A first normally-off MESFET formed on a gallium arsenide semiconductor substrate, whose gate is a first input node, whose drain is a first output node, and whose source is connected to a first power supply; a first inverter circuit consisting of a first load element connected between a first output node and a second power supply; its gate is a second input node; its drain is a second output node; is connected to the first power source.
a normally-off MESFET; and a second load element connected between the second output node and the second power source, the first input node and In a memory circuit device having a flip-flop type memory cell to which the second output node, the first output node, and the second input node are respectively connected, the first output node is an anode, and the first output node is an anode; a first Schottky diode having the intermediate node of the first intermediate node as a cathode; a second Schottky diode having the second output node as the anode and the first intermediate node as the cathode; 1. A gallium arsenide semiconductor memory device, comprising: a third load element connected between a first power source and a third load element.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023904A JPH03228292A (en) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | Gaas semiconductor storage |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023904A JPH03228292A (en) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | Gaas semiconductor storage |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03228292A true JPH03228292A (en) | 1991-10-09 |
Family
ID=12123455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023904A Pending JPH03228292A (en) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | Gaas semiconductor storage |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03228292A (en) |
-
1990
- 1990-02-01 JP JP2023904A patent/JPH03228292A/en active Pending
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