JPH03218802A - Film peeling device - Google Patents
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- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
フィルム剥離装置に関し、
フィルム剥離時にグリーンシートに生じる変形を小さく
するとともに、グリーンシートごとの変形状態のばらつ
きを解消することを目的とし、グリーンシートを載置す
る治具と、治具の上方でグリーンシートの上面に貼られ
たフイノレムの上面に転接される剥離ローラと、剥離ロ
ーラの両端部をその軸心回りに回転自在に支持する1対
のスライダと、治具の剥離ローラ軸心方向両側6こ設番
ナられ、各スライダを剥離ローラの軸心に直角な方向に
摺動案内するガイドバーとを備えたフイノレム剥離装置
において、上記剥離ローラを両スライタ゛に軸心位置を
固定して回転可能に支持させるとともに、両スライダに
押えローラを剥離ローラに接離可能に支持させ、治具の
剥離ローラ軸心方向の少なくとも一側に上記スライダを
剥離ローラ軸心に直角な方向に所定の速度で駆動する定
速度駆動装置と、スライダの進行速度に剥離ローラの周
面速度を同調させる同期装置とを設けた構成とした。[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding a film peeling device, the purpose is to reduce the deformation that occurs in the green sheet during film peeling and to eliminate variations in the deformation state of each green sheet, and to place the green sheet. A jig, a peeling roller that rolls into contact with the top surface of the finolem attached to the top surface of the green sheet above the jig, and a pair of sliders that support both ends of the peeling roller so as to be rotatable around its axis. In the Finorem peeling apparatus, the peeling roller is installed on both sides in the axial direction of the jig, and is equipped with a guide bar that slides and guides each slider in a direction perpendicular to the axis of the peeling roller. The slider is rotatably supported with its axial position fixed, and both sliders support a presser roller so that it can approach and separate from the peeling roller, and the slider is placed on at least one side of the jig in the axial direction of the peeling roller. The structure includes a constant speed drive device that drives at a predetermined speed in a direction perpendicular to the axis, and a synchronization device that synchronizes the peripheral speed of the peeling roller with the advancing speed of the slider.
本発明は、セラミックプリント基板に関し、特に、セラ
ミソクプリント基板の原料となるグリーンシートからフ
ィルムを剥離するフィルム剥離装置に関する。The present invention relates to a ceramic printed circuit board, and particularly to a film peeling device for peeling a film from a green sheet that is a raw material for a ceramic printed circuit board.
セラミソクプリント基板の製法としては、いわゆる、グ
リーンシート法が主流を占めている。The so-called green sheet method is the mainstream method for manufacturing ceramic printed circuit boards.
このグリーンシート法では、孔明け工程、導体パターン
形成工程等の積層工程の前の工程におけるグリーンシー
トの変形を防止するため、グリーンシートの片面にフィ
ルムを貼着している.そして、積層工程の直前にフィル
ム剥離装置を使ってフィルムをグリーンシートから剥離
している。In this green sheet method, a film is attached to one side of the green sheet to prevent deformation of the green sheet during the processes before the lamination process, such as the hole-drilling process and the conductor pattern formation process. Immediately before the lamination process, the film is peeled off from the green sheet using a film peeling device.
従来のフィルム剥離装置は、例えば第5図に示すように
、フィルムが付着しているグリーンシート101を載置
する治具102と、治具102上でグリーンシート10
1から剥離するフィルムを剥離する位置の近傍で押さえ
る剥離ローラ104と、フィルムを剥離されたグリーン
シート101をフィルムを剥離する位置の近傍で押さえ
るビーム103と、ビーム103及び剥離ローラ104
の両端部を支持する1対のスライダ105・106と、
治具102の剥離ローラ軸心方向の両側に設けられ、各
スライダ105・106を剥離ローラ軸心方向に直角な
方向に摺動案内する1対のガイドバー107・108と
を備えている。For example, as shown in FIG. 5, a conventional film peeling device includes a jig 102 for placing a green sheet 101 to which a film is attached, and a jig 102 for placing a green sheet 101 on which a film is attached.
a peeling roller 104 that presses the film to be peeled from 1 near the peeling position; a beam 103 that presses the green sheet 101 from which the film has been peeled near the film peeling position; and the beam 103 and the peeling roller 104.
a pair of sliders 105 and 106 that support both ends of the
A pair of guide bars 107 and 108 are provided on both sides of the jig 102 in the axial direction of the peeling roller and slide and guide each slider 105 and 106 in a direction perpendicular to the axial direction of the peeling roller.
上記治具102は、その上面に載置されるグリーンシー
}101の位置及び方向を規制する基準部111を備え
るとともに、その上面に載置したグリーンシート101
を真空吸着して固定するように構成されている。The jig 102 includes a reference part 111 that regulates the position and direction of the green sheet 101 placed on the top surface of the jig 102.
It is configured to be fixed by vacuum suction.
スライダ105・106は上記ビーム1030両端に固
定され、第6図に示すように、上記剥離ローラ104は
スライダ106 (及びスライダ105)にアーム10
9を介して揺動可能に支持している。そして、このアー
ム109及び剥離ローラ104は切替付勢バネ110に
よって剥離ローラ104がビーム103に受け止められ
るセット位置と剥離ローラ104がビーム103から離
れた解除位置とに切替付勢するように構成されている.
剥離ローラ104はセット位置あるいは解除位置でグリ
ーンシート101の上面に付着されたフィルムに転接さ
れるようにしている。The sliders 105 and 106 are fixed to both ends of the beam 1030, and as shown in FIG.
It is swingably supported via 9. The arm 109 and the peeling roller 104 are configured to be biased by a switching biasing spring 110 between a set position where the peeling roller 104 is received by the beam 103 and a released position where the peeling roller 104 is separated from the beam 103. There is.
The peeling roller 104 is adapted to roll into contact with the film attached to the upper surface of the green sheet 101 at the set position or the release position.
この従来のフィルム剥離装置においては、次のような手
順でフィルムの剥離作業が行われる。In this conventional film peeling apparatus, the film peeling operation is performed in the following steps.
まず、剥離ローラ104を治具102のグリーンシート
101を載せる領域外に移動させてからフィルムを付着
させたグリーンシート101を治具102の上面に載置
し、基準部111にグリーンシート101の端縁を当接
させてグリーンシート101を所定の位置で、所定の方
向に向けた後、真空吸着してグリーンシート101を治
具102の上面に固定する。First, the peeling roller 104 is moved out of the area of the jig 102 where the green sheet 101 is placed, and then the green sheet 101 with the film attached is placed on the top surface of the jig 102, and the edge of the green sheet 101 is placed on the reference part 111. After the green sheet 101 is oriented at a predetermined position and in a predetermined direction by bringing the edges into contact with each other, the green sheet 101 is fixed to the upper surface of the jig 102 by vacuum suction.
この後、ガイドバ−107に沿ってスライダ105を移
動させ、剥離ローラ104を、治具102のグリーンシ
ート101を載せる領域外からグリーンシート101の
一端部の位置まで移動させるとともに、アーム109を
回転させてセント位置から解除位置に移動させる。After that, the slider 105 is moved along the guide bar 107, the peeling roller 104 is moved from outside the area where the green sheet 101 is placed on the jig 102 to the position of one end of the green sheet 101, and the arm 109 is rotated. to move it from the cent position to the release position.
また、この後、スライダ105・106の摺動方向の一
方の端部でフィルムの一端部をグリーンシート101か
ら手で剥がし、その一端部をビーム103と剥離ローラ
104の間に挿入し、n1離ローラ104をセット位置
に戻してビーム103と剥離ローラ104との間にフィ
ルムの一端部を挟む。After that, one end of the film is peeled off from the green sheet 101 by hand at one end in the sliding direction of the sliders 105 and 106, and the one end is inserted between the beam 103 and the peeling roller 104, and separated by n1. The roller 104 is returned to the set position and one end of the film is sandwiched between the beam 103 and the peeling roller 104.
更にこの後、ビーム103と剥離ローラ104の間から
上方に突出したフィルムの一端部を手で引っ張り上げる
、という手順でフィルムがグリーンシート101から剥
がされる。Furthermore, after this, the film is peeled off from the green sheet 101 by manually pulling up one end of the film that protrudes upward from between the beam 103 and the peeling roller 104.
ビーム103と剥離ローラ104の間から突出したフィ
ルムの一端部を手で引っ張り上げると、剥離ローラ10
4は引っ張り上げられるフィルムに連動して回転しなが
ら、第5図上、左方向に移動し、この剥離ローラ104
の移動につられてアーム109、スライダ105・10
6及びビーム103が同じ方向に移動する。When one end of the film protruding from between the beam 103 and the peeling roller 104 is pulled up by hand, the peeling roller 10
The peeling roller 104 moves to the left in FIG. 5 while rotating in conjunction with the film being pulled up.
As the arm 109 and sliders 105 and 10 move,
6 and beam 103 move in the same direction.
この従来のフィルム剥離装置においては、剥離ローラ1
04が切替付勢バネ110によってセット位置に付勢さ
れているので、フィルムを強く引っ張ると剥離ローラ1
04が切替付勢バネ110に抗してセット位置から解除
位置の方向に揺動することがあり、グリーンシート10
1がフィルムに追随して治具102の上面から浮き上が
り、フィルムが剥離される部分とビーム103に押さえ
られている部分との間で未硬化状態のグリーンシ110
1のが引き伸ばされて変形することがある。In this conventional film peeling device, the peeling roller 1
04 is biased to the set position by the switching bias spring 110, when the film is strongly pulled, the peeling roller 1
04 may swing from the set position to the release position against the switching biasing spring 110, and the green sheet 10
1 follows the film and rises from the top surface of the jig 102, and an uncured green sheet 110 is formed between the part where the film is peeled off and the part held by the beam 103.
1 may be stretched and deformed.
しかも、フィルムを手で引っ張り上げているので、フィ
ルムを介してグリーンシート101に作用する力は一定
せず、グリーンシート101の伸びが部分的に変化し、
しかも、各グリーンシート10lごとに変形状態にばら
つきが生じる。Moreover, since the film is pulled up by hand, the force acting on the green sheet 101 through the film is not constant, and the elongation of the green sheet 101 partially changes.
Moreover, variations occur in the deformed state for each green sheet 10l.
このため、この後の積層工程でフィルムを剥離したグリ
ーンシート101を積層した時に、各グリーンシート1
01に埋設したビア導体の位置が一致せず、導体接続不
良が発生するという問題が生じる。Therefore, when the green sheets 101 from which the films have been peeled are stacked in the subsequent lamination process, each green sheet 1
A problem arises in that the positions of the via conductors buried in 01 do not match, resulting in poor conductor connection.
本発明は、上記の事情を鑑みてなされたものであり、フ
ィルム剥離時にグリーンシートに生じる変形を小さくす
るとともに、グリーンシートごとの変形状態のばらつき
を解消できるようにしたフィルム剥離装置を提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a film peeling device that can reduce the deformation that occurs in a green sheet during film peeling, and eliminate variations in the deformation state of each green sheet. With the goal.
本発明は、例えば第1図ないし第4図に示すように、グ
リーンシート1を載置する治具2と、治具2に載置され
るグリーンシート1の位置及び方向を規制する基準部1
1と、治具の上方でグリーンシート1の上面に貼られた
フィルムの上面に転接されるM離ローラ4と、剥離ロー
ラ4の両端部をその軸心回りに回転自在に支持する1対
のスライダ5・6と、治具2の剥離ローラ軸心方向両側
に設けられ、各スライダ5・6を剥離ローラの軸心に直
角な方向に摺動案内するガイドバー7・8とを備えたフ
ィルム剥離装置を前提として、上記の目的を達成するた
め、次のような手段を講じている。As shown in FIGS. 1 to 4, for example, the present invention includes a jig 2 on which a green sheet 1 is placed, and a reference part 1 that regulates the position and direction of the green sheet 1 placed on the jig 2.
1, an M separation roller 4 that rolls into contact with the top surface of the film pasted on the top surface of the green sheet 1 above the jig, and a pair that supports both ends of the separation roller 4 rotatably around its axis. sliders 5 and 6, and guide bars 7 and 8 that are provided on both sides of the jig 2 in the axial direction of the peeling roller and slide and guide each slider 5 and 6 in a direction perpendicular to the axis of the peeling roller. In order to achieve the above object, the following measures are taken on the premise of a film peeling device.
即ち、上記剥離ローラ4を両スライダ5・6に軸心位置
を固定して回転可能に支持させるとともに、両スライダ
5・6に押えローラ3を剥離ローラ4に接離可能に支持
させ、治具の剥離ローラ軸心方向の少なくとも一側に上
記スライダ5・6を所定の速度で駆動する定速度駆動装
置12と、スライダ5・6の進行速度に剥離ローラ4の
周面速度を同調させる同期装置13とを設けている。That is, the above-mentioned peeling roller 4 is rotatably supported by both sliders 5 and 6 with the axial center position fixed, and the presser roller 3 is supported by both sliders 5 and 6 so as to be able to approach and separate from the peeling roller 4, and the jig is assembled. a constant speed drive device 12 that drives the sliders 5 and 6 at a predetermined speed on at least one side in the axial direction of the peeling roller; and a synchronizer that synchronizes the peripheral speed of the peeling roller 4 with the advancing speed of the sliders 5 and 6. 13 are provided.
グリンシート1を治具2上の所定位置に載置して真空吸
着して、フィルム剥離装置の押えローラ3と剥離ローラ
4との間にフィルムの一端部を挟んでから定速度駆動装
置12を定速度駆動装置12を順行作動させてスライダ
5・6、剥離ローラ4及び押えローラ3をグリーンシー
ト1の一端部から他端の方向(第1図及び第2図上、右
方向への進行)に移動させると、剥離ローラ4が同期装
置13によってスライダ5・6の進行速度に剥離ローラ
4の周面速度が同調するように回転する。The green sheet 1 is placed on a predetermined position on the jig 2 and vacuum-adsorbed, and one end of the film is sandwiched between the press roller 3 and the peeling roller 4 of the film peeling device, and then the constant speed drive device 12 is activated. The constant speed drive device 12 is operated in the forward direction to move the sliders 5 and 6, the peeling roller 4, and the presser roller 3 from one end of the green sheet 1 to the other end (towards the right in FIGS. 1 and 2). ), the peeling roller 4 is rotated by the synchronizer 13 so that the peripheral surface speed of the peeling roller 4 is synchronized with the advancing speed of the sliders 5 and 6.
従って、剥離ローラ4と押えローラ3との間に扶持され
たフィルムは剥離ローラ4の周面速度及びスライダ5・
6の進行速度と同じ速度でグリーンシート1の表面から
剥離されて行《。Therefore, the film supported between the peeling roller 4 and the presser roller 3 is
The green sheet 1 is peeled off from the surface of the green sheet 1 at the same speed as the progress speed of the green sheet 6.
本発明の一実施例に係るフィルム剥離装置を第1図ない
し第4図に基づき説明すれば、以下の通りである。A film peeling device according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 4.
このフィルム剥離装置は、グリーンシート1を載置する
治具2と、治具2に載置されるグリーンシート1の位置
及び方向を規制する基準部11と、治具2の上方でグリ
ーンシートlの上面に貼られたフィルムの上面に転接さ
れる剥離ローラ4と、剥離ローラ4の両端部をその軸心
回りに回転自在に支持する1対のスライダ5・6と、治
具2の剥離ローラ軸心方向両側に設けられ、各スライダ
5・6を剥離ローラの軸心に直角な方向に摺動案内する
ガイドバー7・8とを備えている。This film peeling device includes a jig 2 on which a green sheet 1 is placed, a reference part 11 that regulates the position and direction of the green sheet 1 placed on the jig 2, and a green sheet latch above the jig 2. A peeling roller 4 that rolls into contact with the top surface of the film pasted on the top surface, a pair of sliders 5 and 6 that support both ends of the peeling roller 4 rotatably around its axis, and a jig 2 for peeling. Guide bars 7 and 8 are provided on both sides in the axial direction of the roller and slide and guide the sliders 5 and 6 in a direction perpendicular to the axial center of the peeling roller.
上記治具2はその上面に載置したグリーンシートを真空
吸着して固定するように構成されている。The jig 2 is configured to fix a green sheet placed on its upper surface by vacuum suction.
また、上記基準部11は、治具2の上面にグリーンシー
トの外形に合わせて貼られたテープからなっている。The reference portion 11 is made of a tape attached to the top surface of the jig 2 in accordance with the outer shape of the green sheet.
上記1対のスライダ5・6ば連結枠l4を介して互いに
固定され、剥離ローラ4を連結枠14に固定した1対の
軸受15・16に回転可能に支持させることにより、両
スライダ5・6に軸心位置を固定して回転可能に支持さ
せている。なお、連結枠14の上面には、剥離ローラ4
の順行方向に伸びるフィルム受板17が固定され、剥離
ローラ4よりグリーンシート1から剥離されたフィルム
をこのフィルム受板l7の上面に載せるようにしている
。The pair of sliders 5 and 6 are fixed to each other via a connecting frame l4, and the peeling roller 4 is rotatably supported by a pair of bearings 15 and 16 fixed to the connecting frame 14, so that both sliders 5 and 6 are fixed to each other via a connecting frame l4. The shaft center position is fixed and rotatably supported. Note that a peeling roller 4 is provided on the upper surface of the connecting frame 14.
A film receiving plate 17 extending in the forward direction is fixed, and the film peeled from the green sheet 1 by the peeling roller 4 is placed on the upper surface of this film receiving plate 17.
両スライダ5・6には、剥離ローラ4に接離される押え
ローラ3がアーム9を介して揺動可能に支持され、この
押えローラ3は、剥離ローラ4に転接するセント位置と
、剥離ローラ4から離れた解除位置とに切替付勢バネ1
0に切替付勢されるようにしている。A presser roller 3 that contacts and separates from the peeling roller 4 is swingably supported on both sliders 5 and 6 via an arm 9. The biasing spring 1 is switched to the release position away from the
The power is switched to 0 and energized.
上記治具2の剥離ローラ軸心方向の一側に両スライダ5
・6を所定の速度で駆動する定速度駆動装置12が設け
られる。Both sliders 5 are located on one side of the peeling roller axis of the jig 2.
- A constant speed drive device 12 is provided to drive the motor 6 at a predetermined speed.
この定速度駆動装置12は、両スライダ5・6を所定の
速度で駆動するように構成してあればよく、例えば、定
速度回転するモータ12aと、これに連結された駆動ス
クリュー軸12bと、駆動スクリュー軸12bに螺進退
可能に螺合するとともに両スライダ5・6のうちの一方
のスライダ5に固定されたナント12Cとで構成される
。This constant speed drive device 12 may be configured to drive both sliders 5 and 6 at a predetermined speed, and includes, for example, a motor 12a that rotates at a constant speed, a drive screw shaft 12b connected to the motor 12a, and a drive screw shaft 12b connected to the motor 12a. The slider 12C is screwed onto the drive screw shaft 12b so as to be able to move forward and backward, and is fixed to one of the sliders 5 and 6.
なお・、この定速度駆動装置12には、スライダ5が順
行方向の終点に達したことを検出するマイクロスイッチ
12dと、スライダ5が逆行方向の終点に達したことを
検出するマイクロスイッチ12eとを備えている。Note that this constant speed drive device 12 includes a microswitch 12d that detects that the slider 5 has reached the end point in the forward direction, and a microswitch 12e that detects that the slider 5 has reached the end point in the backward direction. It is equipped with
また、このスライダ5の摺動案内をするガイドバー7と
平行に所定のストローク範囲にわたってラソク13aが
設けてあり、上記剥離ローラ4の軸4aの先端に固定し
たビニオン13bをこのラソクに噛み合わせることによ
り、スライダ5・6の進行速度に剥離ローラ4の周面速
度を同調させる同期装置l3を構成されている。Further, a rasock 13a is provided over a predetermined stroke range parallel to the guide bar 7 that guides the slider 5, and the pinion 13b fixed to the tip of the shaft 4a of the peeling roller 4 is engaged with this rastock. This constitutes a synchronizing device 13 that synchronizes the circumferential speed of the peeling roller 4 with the advancing speed of the sliders 5 and 6.
更に、上記剥離ローラ4の周面と押えローラ3の周面と
はゴムで覆ってある。Further, the circumferential surface of the peeling roller 4 and the circumferential surface of the presser roller 3 are covered with rubber.
このフィルム剥離装置を使用してフィルムを剥離する手
順は、以下の通りである。The procedure for peeling a film using this film peeling device is as follows.
まず、定速度駆動装置l2を逆行作動させ、剥離ローラ
4を治具2のグリーンシート1を載せる領域外に移動さ
せてからフィルムを付着させたグリーンシー}1を治具
lの上面に載置し、基準部11にグリーンシートlの端
縁を当接させてグリーンシート1を所定の位置で、所定
の方向に向けた後、真空吸着してグリーンシート1を治
具2の上面に固定する。First, the constant speed drive device l2 is operated in the reverse direction to move the peeling roller 4 out of the area of the jig 2 where the green sheet 1 is placed, and then the green sheet 1 with the film attached is placed on the top surface of the jig l. Then, after bringing the edge of the green sheet 1 into contact with the reference part 11 and orienting the green sheet 1 at a predetermined position and in a predetermined direction, the green sheet 1 is fixed to the top surface of the jig 2 by vacuum suction. .
この後、定速度駆動装置12を順行作動させて剥離ロー
ラ4をガイドバ−7.8に沿って治具2のグリーンシー
ト1を載せる領域外からグリーンシート1の一端部の位
置まで移動させ、押えローラ3を剥離ローラ4に接触す
るセント位置から剥離ローラ4から離れた解除位置に移
動させる。Thereafter, the constant speed drive device 12 is operated in forward motion to move the peeling roller 4 along the guide bar 7.8 from outside the area where the green sheet 1 is placed on the jig 2 to the position of one end of the green sheet 1. The presser roller 3 is moved from a cent position where it contacts the peeling roller 4 to a release position away from the peeling roller 4.
また、この後、スライダ5・6の摺動方向の一方の端部
でフィルムの一端部をグリーンシート1から手で剥がし
、その一端部を押えローラ3と剥離ローラ4の間に挿入
し、押−えローラ3をセント位置に戻して押えローラ3
と剥離ローラ4との間にフィルムの一端部を挟む。After that, one end of the film is manually peeled off from the green sheet 1 at one end in the sliding direction of the sliders 5 and 6, and the one end is inserted between the presser roller 3 and the peeling roller 4, and the film is pressed. - Return the presser roller 3 to the center position and
One end of the film is sandwiched between the roller and the peeling roller 4.
更にこの後、定速度駆動装112を順行作動させてスラ
イダ5・6、剥離ローラ4及び押えローラ3をグリーン
シート1の一端部から他端の方向に移動させる。Furthermore, after this, the constant speed drive device 112 is operated in forward motion to move the sliders 5 and 6, the peeling roller 4, and the press roller 3 from one end of the green sheet 1 to the other end.
押えローラ3と剥離ローラ4との間にフィルムの一端部
を挟んでから定速度駆動装置12を順行作動させてスラ
イダ5・6、剥離ローラ4及び押えローラ3をグリーン
シート1の一端部から他端の方向に移動させると、剥離
ローラ4は同期装置13によってスライダ5・6の進行
速度に剥離ローラ4の周面速度が同調するように回転さ
れるので、剥離ローラ4と押えローラ3との間に扶持さ
れたフィルムは剥離ローラ4の周面速度及びスライダ5
・6の進行速度と同じ速度でグリーンシート1の表面か
ら剥離されて行く。After sandwiching one end of the film between the presser roller 3 and the peeling roller 4, the constant speed drive device 12 is operated in forward motion to remove the sliders 5 and 6, the peeling roller 4, and the presser roller 3 from one end of the green sheet 1. When the peeling roller 4 is moved in the direction of the other end, the peeling roller 4 is rotated by the synchronizer 13 so that the circumferential speed of the peeling roller 4 is synchronized with the advancing speed of the sliders 5 and 6. The film supported between the peeling roller 4 and the slider 5
- It is peeled off from the surface of green sheet 1 at the same speed as that of green sheet 6.
ここで、フィルムは定速度駆動装置12により駆動され
る剥離ローラ4の周面との摩擦力によりグリーンシート
1から剥離され、しかも、剥離ローラ4が両スライダ5
・6に軸心位置を固定して回転可能に支持されているの
で、剥離ローラ4がを剥離する力によって上方に移動す
る恐れはなく、グリーンシート1を十分強力に治具2に
吸着させることができる。そして、この治具2の真空吸
着力によってグリーンシート1がフィルムにつられて治
具2の上面から浮上することが防止され、グリーンシー
ト1の変形が著しく小さくなる。Here, the film is peeled off from the green sheet 1 by frictional force with the circumferential surface of the peeling roller 4 driven by the constant speed drive device 12.
- Since the green sheet 1 is rotatably supported with the axis position fixed on the green sheet 6, there is no fear that the peeling roller 4 will move upward due to the peeling force, and the green sheet 1 can be sufficiently strongly attracted to the jig 2. I can do it. The vacuum suction force of the jig 2 prevents the green sheet 1 from floating up from the upper surface of the jig 2 while being attached to the film, and the deformation of the green sheet 1 is significantly reduced.
また、定速度駆動装置12がスライダ5・6を所定の速
度で駆動するように構成されているので、各グリーンシ
ート1に剥離ローラ4から作用する力の分布が一定にな
り、各グリーンシートlに生じる変形の分布が一定にな
る。Further, since the constant speed drive device 12 is configured to drive the sliders 5 and 6 at a predetermined speed, the distribution of the force acting on each green sheet 1 from the peeling roller 4 is constant, and each green sheet l The distribution of deformation that occurs in the area becomes constant.
以上説明したように、本発明によれば、定速度駆動装置
により駆動される剥離ローラの回転力でフィルムをグリ
ーンシートから剥離させるとともに、剥離ローラを両ス
ライダに軸心位置を固定して支持させているので、剥離
ローラがフィルムを剥がす力によって上方に移動する恐
れがなく、グリーンシートを治具に十分に吸着させるこ
とができる。これにより、グリーンシートがフィルムに
つられて治具から浮き上がることが防止され、グリーン
シートの変形が小さく抑えられる。As explained above, according to the present invention, the film is peeled off from the green sheet by the rotational force of the peeling roller driven by a constant speed drive device, and the peeling roller is supported by both sliders with the axial center position fixed. Therefore, there is no fear that the peeling roller will move upward due to the force of peeling off the film, and the green sheet can be sufficiently attracted to the jig. This prevents the green sheet from floating up from the jig due to the film, and deformation of the green sheet is suppressed to a small level.
また、定速度駆動装置がスライダを所定の速度で駆動す
るように構成してあるので、各グリーンシートに剥離ロ
ーラから作用する力の分布が一定になり、各グリーンシ
ートに生じる変形の分布が一定になる。In addition, since the constant speed drive device is configured to drive the slider at a predetermined speed, the distribution of the force acting on each green sheet from the peeling roller is constant, and the distribution of deformation occurring on each green sheet is constant. become.
そして、これらの効果が相乗的に作用することにより、
後の積層工程でフィルムを剥離した多数のグリーンシー
トを積層した時に各グリーンシートのビア導体の位置が
ずれることが防止され、ビア導体の位置ずれによる導体
接続不良の発生を防止することができる。And, as these effects work synergistically,
When a large number of green sheets from which films have been peeled are laminated in a later lamination process, the position of the via conductor of each green sheet is prevented from shifting, and it is possible to prevent conductor connection defects due to positional shift of the via conductor.
第1図は本発明の一実施例に係るフィルム剥離装置の平
面図、第2図は第1図のA−A線縦断側面図、第3図は
第1図のB−B線縦断正面図、第4図は第1図のC −
C線縦断面図、第5図は従来のフィルム剥離装置の平
面図、第6図はその要部の側面図である。
図中、
1
1
1
■・・・グリーンシート、
2・・・治具、
3・・・押えローラ、
4・・・剥離ローラ、
5・・・スライダ、
6・・・スライダ、
7・・・ガイドパー
8・・・ガイドパー
1・・・基準部、
2・・・定速度駆動装置、
3・・・同期装置。FIG. 1 is a plan view of a film peeling device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a vertical cross-sectional side view taken along line A-A in FIG. 1, and FIG. 3 is a vertical cross-sectional front view taken along line B-B in FIG. , Figure 4 shows C − in Figure 1.
A longitudinal sectional view taken along the line C, FIG. 5 is a plan view of a conventional film peeling device, and FIG. 6 is a side view of the main parts thereof. In the figure, 1 1 1 ■... Green sheet, 2... Jig, 3... Presser roller, 4... Peeling roller, 5... Slider, 6... Slider, 7... Guide par 8...Guide par 1...Reference part, 2...Constant speed drive device, 3...Synchronization device.
Claims (1)
、治具(2)に載置されるグーンシート(1)の位置及
び方向を規制する基準部(11)と、治具(2)の上方
でグリーンシート(1)の上面に貼られたフィルムの上
面に転接される剥離ローラ(4)と、剥離ローラ(4)
の両端部をその軸心回りに回転自在に支持する1対のス
ライダ(5)・(6)と、治具(2)の剥離ローラ軸心
方向両側に設けられ、各スライダ(5)・(6)を剥離
ローラ(4)の軸心に直角な方向に摺動案内するガイド
バー(7)・(8)とを備えたフィルム剥離装置におい
て、 上記剥離ローラ(4)を両スライダ(5)・(6)に軸
心位置を固定して回転可能に支持させるとともに、両ス
ライダ(5)・(6)に押えローラ(3)を剥離ローラ
(4)に接離可能に支持させ、治具(2)の剥離ローラ
軸心方向の少なくとも一側にスライダ(5)・(6)を
剥離ローラ軸心に直角な方向に所定の速度で駆動する定
速度駆動装置(12)と、スライダ(5)・(6)の進
行速度に剥離ローラ(4)の周面速度を同調させる同期
装置(13)とを設けたことを特徴とするフィルム剥離
装置。[Scope of Claims] [1] A jig (2) for placing the green sheet (1), and a reference part (for regulating the position and direction of the green sheet (1) placed on the jig (2)) 11), a peeling roller (4) that rolls into contact with the top surface of the film pasted on the top surface of the green sheet (1) above the jig (2), and a peeling roller (4).
A pair of sliders (5) and (6) are provided on both sides of the peeling roller of the jig (2) in the axial direction. In a film peeling device equipped with guide bars (7) and (8) for slidingly guiding the peeling roller (4) in a direction perpendicular to the axis of the peeling roller (4), the peeling roller (4) is moved between both sliders (5). - (6) is rotatably supported with the axis position fixed, and both sliders (5) and (6) support the presser roller (3) so that it can approach and separate from the peeling roller (4), and the jig A constant speed drive device (12) for driving the sliders (5) and (6) at a predetermined speed in a direction perpendicular to the peeling roller axis, and a slider (5) on at least one side of the peeling roller axis of (2). ) and a synchronizing device (13) for synchronizing the peripheral speed of the peeling roller (4) with the advancing speed of (6).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1457890A JPH03218802A (en) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | Film peeling device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1457890A JPH03218802A (en) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | Film peeling device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03218802A true JPH03218802A (en) | 1991-09-26 |
Family
ID=11865046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1457890A Pending JPH03218802A (en) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | Film peeling device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03218802A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0730252A (en) * | 1992-03-23 | 1995-01-31 | Ngk Insulators Ltd | Manufacture of multilayered ceramic board |
EP1207728A1 (en) * | 2000-11-09 | 2002-05-22 | Gisulfo Baccini | Automatic seperator and method to obtain circuits for microelectronics |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP1457890A patent/JPH03218802A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0730252A (en) * | 1992-03-23 | 1995-01-31 | Ngk Insulators Ltd | Manufacture of multilayered ceramic board |
EP1207728A1 (en) * | 2000-11-09 | 2002-05-22 | Gisulfo Baccini | Automatic seperator and method to obtain circuits for microelectronics |
US6681829B2 (en) | 2000-11-09 | 2004-01-27 | Gisulfo Baccini | Automatic separator and method to obtain circuits for microelectronics |
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